JPH03189544A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、部品が実装された基板につき、部品の欠落
、姿勢２位置、ハンダ付は状態の良否などを検査するの
に用いられる基板検査装置に関する。

〈従来の技術〉 従来、基板上に実装された部品の検査は目視検査により
行われており、例えばハンダ付は状態の良否、すなわち
ハンダの有無、量、溶解性。

短絡、導通不良などがこの目視検査によって判定されて
いる。

ところがこのような目視検査による方法では、検査ミス
の発生が避けられず、判定結果も検査する者によりまち
まちであり、また検査処理能力にも限界がある。

そこで近年、この種の検査を自動的に行うことができる
自動検査装置が各種提案された。

ところでハンダ付は部位の表面形状は、３次元の拡がり
をもつ立体形状であって、これを検査するには、３次元
の形状情報を検出できることが不可欠の条件となる。

第５図はこの条件を満たす自動検査装置の一例を示すも
ので、レーザなどの光源から板状をなすスリット光１を
基板２上のハンダ付は部位へ照射している。このスリッ
ト光１の照射により、ハンダ付は部位を含む基板２の表
面には、立体形状に沿って歪を受けた光切断線３が生成
されるもので、その光切断線３の反射光像を撮像装置４
で撮像して、その撮像パターンの歪状態をチエツクする
ことにより、ハンダ付は部位の立体形状を検出する。

ところがこの検査方法の場合、スリット光１が照射され
た部分の形状情報が得られるのみであって、それ以外の
部分の立体形状を把握することは困難である。

この問題を解消する方法として、ハンダ付は部位の表面
へ入射角が異なる光を照射してハンダ付は部位の各反射
光像のパターンを撮像することにより、ハンダ付は部位
が有する曲面要素の配向性を検出するという方法が存在
している。

この方法は、一定パターンの光束を検査対象に当てたと
き、その反射光束のパターンが検査対象の立体的形状に
応じた変形を受けることに着目したもので、その変形パ
ターンから検査対象の形状を推定するというものである
。

第６図は、この方法の原理説明図であり、光源５と撮像
部６とから成る検出系と、検査対象であるハンダ付は部
位７との位置関係を示している。

同図において、光源５よりハンダ付は部位７の表面へ入
射角ｉで光束８を投光すると、角度ビ　（＝ｉ）の反射
光束９が真上位置の撮像部６に入射して検出される。こ
れにより前記光束８で照明されたハンダ付は部位７の曲
面要素は基準面１０に対してｉの角度をなして配向して
いることが検出されたことになる。従って異なる方向に
配向する多数の曲面要素から成るハンダ付は部位７に対
して、入射角が異なる複数の投光装置による投光を行え
ば、それぞれの入射角に対応する曲面要素の群が撮像部
６により検出され、これによりハンダ付は部位７の各曲
面要素がそれぞれどんな配向をしているか、すなわちハ
ンダ付は部位の表面性状がどのようであるかを検出でき
る。

また光源５が、入射角がｉ＋Δｉからｉ−Δｉまで２Δ
ｉの幅をもつ光束８を投光するならば、その幅に対応し
た幅を有する反射光束９が撮像部６により検出されるこ
とになる。すなわちこの場合は、基準面１０となす傾斜
角がｉ十Δｉからｉ−Δｉまでの幅の角度をもつ曲面要
素を検出できることになる。

さらに光源５が、第７図に示す如く、基準面１０に対し
て水平に設置された円環状の光源であれば、ハンダ付は
部位７の表面が基準面１０に垂直な軸に対してどのよう
な回転角をもっていても、光源５とハンダ付は部位７と
の距離は一定であり、曲面要素の回転角方向の配向性は
消去されるので、基準面１０となす傾斜角だけが検出さ
れることになる。

またこの第７図に示すように、光源５をハンダ付は部位
７への入射角が異なる複数の円環状光源１１，１２．１
３をもって構成すれば、各光源による光束１４，１５．
１６の入射角に対応した配向をもつ曲面要素がそれだけ
詳細に検出できることは前述したとおりである。

いま半径がｒ、（ただしｎ＝１．２．３　）の３個の円
環状の光源１１，１２．１３を基準面１０に対して高さ
り、　　（ｎ＝１．２．３　）の位置に水平に設置すれ
ば、ハンダ付は部位７への各光束１４．１５．１６の入
射角はそれぞれｉｎ　（ｎ＝１．２．３　）となり、ハ
ンダ付は部位７における傾斜角がそれぞれｉ。である各
曲面要素を撮像部６により検出することができる。この
とき各光源１１，１２．１３からハンダ付は部位７の表
面を経て描像部６に至る全光路長に比して曲面要素の大
きさが十分に小さいので、次式により入射角、すなわち
検出しようとする曲面要素の傾斜角を定めればよい。

上記の原理に基づきハンダ付は部位の外観を検査する方
法として、前記の各光ｉｘ１，１２゜１３に白色光源を
用いたものが提案されている（特開昭６１−２９３６５
７号）。この検査方法においては、ハンダ付は部位に対
する入射角の異なる３個の光源１１，１２．１３による
反射光像を相互に識別するために、それぞれ光源１１゜
１２．１３を時間的に異なったタイミングで点灯させ、
また消灯させている。

ところがこの方法では、異なる投光タイミングで得た各
画像を貯蔵するためのメモリや、これら画像を同一視野
像として演算処理するための演算装置や、各発光体を瞬
間的に点灯動作させるための点灯装置などが必要であり
、技術面での煩雑さが多く、またそれがコスト面や信頼
性の面で問題となる。

そこでこのタイム・シェアリング方式の課題を一挙に解
消するため、この発明の発明者は、先般、新たな基板検
査装置を提案した。この基板検査装置は、その詳細は後
述するが、ノ＼ンダ付は部位の表面へ異なる色相光を入
射角を違えて照射するための投光部と、ハンダ付は部位
の表面からの反射光像を部品の真上位置で各色相側に撮
像する撮像部と、この撮像部で得た撮像パターンよりハ
ンダ付は部位の有する各曲面要素の性状を検出してハン
ダ付けの良否を判定する処理部とで構成されるもので、
前記投光部には、例えば赤色光、緑色光、青色光をそれ
ぞれ発生する３個の円環状光源が用いである。

また前記撮像部には、赤、緑、青の三原色の加法混合を
原理とするカラーテレビカメラが用いられており、内蔵
する三色分解光学系により入射光を三原色に分解した上
で各色の光量を検出している。

上記の基板検査装置によれば、ハンダ付は部位に対し異
なる入射角をもって各光源から赤色光、緑色光、青色光
を照射すると、ハンダ付は部位の表面からの赤色、緑色
、青色の各反射光像がその真上位置の撮像部により同時
に分離して検出される。

第８図は、ハンダ付けが良好であるとき、部品が欠落し
ているとき、ハンダ不足の状態にあるときのそれぞれハ
ンダ４４の断面形態と、各場合の撮像パターン、赤色パ
ターン、緑色パターン、青色パターンとの関係を一覧表
で示したものであり、いずれか色相パターン間には明確
な差異が現われるため、部品の有無やハンダ付けの良否
が判定できることになる。

ところで近年、部品の微小化が進み、部品の基板上のハ
ンダ付は部分の大きさも微小化している。従来、ハンダ
付は部分を自動検査するのに、基板検査装置の分解能は
人間の目の分解能といわれる１００μｍ程度は必要とさ
れているが、部品の微小化に従いこれを更に上昇させる
必要が生じている。

現在、集積回路部品（ｒｃ）のピンの間隔は０．５　ｍ
ｍであり、また表面実装用チップ部品の大きさは１．６
　ｘｏ、ａ　ｍｍまたは１．ＯＸｏ、５　ｍｍであるが
、部品の微小化によりこれらの寸法は一層小さなものと
なりつつある。

こうしてハンダ付は部分が微小化すると、基板検査装置
の分解能は７０μｍ、５０μｍ、３０μｍなどと必要に
応じて上昇させ、それにより目的とする検査精度を確保
する必要がある。そしてこの分解能を上昇させるには、
前記カラーテレビカメラのレンズ倍率を上げることにな
る。

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかしながらレンズ倍率を上げると、撮像すべき基板に
対する視野範囲が必然的に縮小する結果となるため、基
板全面を自動検査する場合に、撮像する視野数が著しく
増大してしまう。

この種基板検査において、１枚の部品実装基板を自動検
査するに要する時間は、画像処理に要する時間と撮像視
野の移動に要する時間とで構成されるが、通常、後者の
視野移動時間が所要時間の大部分を占めるため、視野数
の増大は検査時間を長いものとなし、基板検査装置の実
用化を阻害する要因となる。

この発明は、上記問題に着目してなされたもので、検査
部位を描像して必要な分解能を判別した上で、その判別
結果に応じて自動的にレンズ倍率を大小変更することに
より、高精度の検査を効率良く行うことができる新規な
基板検査装置を提供することを目的とする。

〈問題点を解決するための手段〉 上記目的を達成するため、この発明の基板検査装置では
、基板上の検査部位へ異なる色相光を入射角度を違えて
照射するだめの円環状光源と、基板表面からの反射光を
各色相側に撮像するためのレンズ倍率の変更が可能な撮
像装置と、標準のレンズ倍率下で得た入力画像より検査
に必要な分解能を判別する判別手段と、判別手段による
判別結果に応じて撮像装置のレンズ倍率を最適状態に変
更するための制御を実行する制御手段と、最適なレンズ
倍率下で得た撮像パターンより部品の実装状態を判断す
る判断手段とを具備させている。

〈作用〉 各検査部位につき検査に必要な分解能を判別した上で撮
像装置のレンズ倍率を最適状態に変更するので、検査部
位が微小部分であればレンズ倍率を上げた高分解能の検
査が行われ、また広大な部分であればレンズ倍率を下げ
た広視野の検査が行われる。従って高分解能の検査で視
野数が増して検査所要時間が増加しても、その増加度合
は広視野の検査で必要最小限に抑えられるため、高精度
の検査が効率良（行われる。

〈実施例〉 第１図は、この発明の一実施例にかかる基板検査装置の
概略構成を示している。

図示例の基板検査装置は、位置決め基板２０Ｓを撮像し
て得られた前記位置決め基板２Ｏ３上にある各部品２１
３の検査領域のパラメータ（判定データ）と、被検査基
板２０Ｔを撮像して得られた前記被検査基板２ＯＴ上に
ある各部品２１Ｔの検査領域のパラメータ（被検査デー
タ）とを比較して、これらの各部品２１Ｔが正しく実装
されかつハンダ付けされているかどうかを検査するため
のものであって、Ｘ軸テーブル部２２．Ｙ軸テーブル部
２３．投光部２４゜撮像部２５．処理部２６などをその
構成とじて含んでいる。

Ｘ軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３は、それ
ぞれ処理部２６からの制御信号に基づいて動作するモー
タ（図示せず）を備えており、これらモータの駆動によ
りＸ軸テーブル部２２が撮像部２５をＸ方向へ移動させ
、またＹ軸テーブル部２３が基板２０３，２０Ｔを支持
するコンベヤ２７をＹ方向へ移動させる。

これら基板２０Ｓ、２０Ｔは、投光部２４からの照射光
を受けつつ撮像部２５により撮像される。

投光部２４は、処理部２６からの制御信号に基づき赤色
光、緑色光、青色光をそれぞれ発生して検査対象へ異な
る入射角で照射するための３個の円環状光源２Ｂ、２９
．３０を備えており、これら光源２８，２９．３０を発
した三原色光の混合した光により前記基板２０５，２０
Ｔを投光して、その反射光像を撮像部２５で得て電気信
号に変換する。この実施例の場合、前記の各光源２８，
２９．３０は白色光源に赤色。

緑色、青色の各フィルタを被せた構造のものを用いてい
るが、三原色の各色相光を発生させるものであれば、こ
のような構成に限られないことは勿論である。

またこの投光部２４は、その照明下で基板２０３．２０
Ｔ上の部品に関する情報（部品番号、極性、カラーコー
ドなど）や基板パターン情報（種々のマークなど）を検
出することを可能となすため、各光ａ２ｓ、２９．３０
が発する各色相の光が混色されると完全な白色光となる
ような工夫を施しである。すなわち各光源２８．２９．
３０は、混色により白色光となるような対波長発光エネ
ルギー分布を有する赤色光スペクトル、緑色光スペクト
ル、青色光スペクトルの光を発する発光体をもって構成
すると共に、各光源２Ｂ、２９．３０から照射された赤
色光、緑色光、青色光が混色して白色光となるように、
撮像コントローラ３１により各色相光の光量の調整を可
能としている。

つぎに撮像部２５は、前記投光部２４の上方に位置させ
たカラーテレビカメラ３２と、このカメラ３２に装着さ
れた電動式のズームレンズ（例えばキャノン株式会社製
Ｊ６Ｘ１１ＲＥＡ）とから成るもので、前記基板２Ｏ３
または２０Ｔからの反射光はカラーテレビカメラ３２が
内蔵する三原色分解光学系により三原色のカラー信号Ｒ
１Ｇ、Ｂに変換されて処理部２６へ供給される。

前記ズームレンズ４５は、検査に必要な分解能に応じて
カラーテレビカメラ３２のレンズ倍率を大小変更するた
めのもので、検査部位が微小なハンダ付は部位であれば
レンズ倍率を上げた高分解能の検査が行われ、検査部位
が広大なハンダ付は部位であればレンズ倍率を下げた広
視野の検査が行われることになる。

第３図および第４図は、ＬＳＩの一種であるＱＦＰ４６
の外観を示すもので、矩形状をなすパッケージ部４７の
周囲に多数本のリード・ピン４８が設けられている。

この種部品において、リード・ピン４８の間隔ρが０．
６５ｍｍのものの場合、ピン４８の幅Ｗが０．３　ｎｕ
ｎ、基板上のパッド４９の幅Ｗが０．３６ｍｍ、パッド
４９の間隔りが０．２９ｍｍであるとすれば、画像の分
解能が４０μｍであると、パッド４９の幅Ｗは画像上で
９画素となる。

一方、リード・ピン４８の間隔！が０．５　ｒｔｍのも
のの場合、ピン４８の幅Ｗが０．２　ａｍ、基板上のパ
ッド４９の幅Ｗが０．２　ｍｍ、パッド４９の間隔りが
０．３　ｍｍであるとすれば、画像の分解能が４０μｍ
であると、パッド４９の幅Ｗは画像上で５画素となり、
検査精度として十分でない。そこで分解能を２０μｍに
上げることによりパッド４９の幅Ｗは１０画素となり、
ピン４８の間隔ｌが０．６５ｍｍのものと同等と精度を
もって検査することが可能となる。

他方、リード・ピン４８の間隔ｌが０．８　ｍｍのもの
の場合、ピン４８の幅Ｗが０．３５１、基板上のパッド
４９の幅Ｗが０．４９ｍｍ、パッド４９の間隔りが０．
３１ｍｍであるとすれば、画像の分解能が４０μｍであ
ると、パッド４９の幅Ｗは画像上で１２画素となり、検
査精度として十分過ぎる結果となる。そこで分解能を５
５μｍに下げることによりパッド４９の幅Ｗは９画素と
なり、ピン４８の間隔ｌが０．６５ｍｍのものと同等と
精度をもって検査することが可能となる。

この実施例では標準の分解能を４０μｍとしてズームレ
ンズ４５の倍率をセットし、この状態でカラーテレビカ
メラ３２の視野内にＱＦＰ４６が存在しておれば、それ
を撮像してその画像よＩＱハツト４９の画像を抽出する
。そしてその画像上ででパッド４９の幅Ｗを測定し、そ
の測定結果に応じてズームレンズ４５のレンズ倍率を大
小変更して前記の分解能の設定を行っている。

第１図に戻って、処理部２６は、Ａ／Ｄ変換部３３．メ
モリ３８．ティーチングテーブル３５、画像処理部３４
９判定部３６．　Ｘ、　Ｙチーフルコントローラ３７．
ｔＨ＆コントローラ３１、ＣＲＴ表示部４１．　プリン
タ４２．キーボード４０．フロッピディスク装置４３．
制御部（ＣＰＵ）３９などから構成されるもので、ティ
ーチングモードのとき、位置決め基板２０Ｓについての
カラー信号Ｒ，Ｇ、Ｂを処理しハンダ付は状態が良好な
各部品２１３の所定領域につき赤色、緑色、青色の各色
相パターンを検出して判定データファイルを作成し、ま
た検査モードのとき、被検査基板２０Ｔについてのカラ
ー信号Ｒ，Ｇ、Ｂを処理し基板上の各部品２１Ｔの所定
領域につき同様の各色相パターンを検出して被検査デー
タファイルを作成する。

そしてこの被検査データファイルと前記判定データファ
イルとを比較して、この比較結果から被検査基板２ＯＴ
上の所定の部品２１Ｔにつきハンダ付は部分の良、不良
を自動的に判定する。

Ａ／Ｄ変換部３３は前記撮像部２５からカラー信号Ｒ，
Ｇ、Ｂが供給されたときに、これをアナログ・ディジタ
ル変換して制御部３９へ出力する。メモリ３８はＲＡＭ
などを備え、制御部３９の作業エリアとして使われる。

画像処理部３４は制御部３９を介して供給された画像デ
ータを画像処理して前記被検査データファイルや判定デ
ータファイルを作成し、これらを制御部３９や判定部３
６へ供給する。

ティーチングテーブル３５はティーチング時に制御部３
９から判定データファイルが供給されたとき、これを記
憶し、また検査時に制御部３９が転送要求を出力したと
き、この要求に応じて判定データファイルを読み出して
、これを制御部３９や判定部３６などへ供給する。

判定部３６は、検査時に制御部３９から供給された判定
データファイルと、前記画像処理部３４から転送された
被検査データファイルとを比較して、その被検査基板２
’ＯＴにつきハンダ付は状態の良否を判定し、その判定
結果を制御部３９へ出力する。

撮像コントローラ３■は、制御部３９と投光部２４およ
び撮像部２５とを接続するインターフェースなどを備え
、制御部３９の出力に基づき投光部２４の各光源２８，
２９．３０の光量を調整したり、撮像部２５のカラーテ
レビカメラ３２の各色相光出力の相互バランスを保った
り、ズームレンズ４５のレンズ倍率を変更するなどの制
御を行う。

Ｘ、Ｙテーブルコントローラ３７は制御部３９と前記Ｘ
軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３とを接続す
るインターフェースなどを備え、制御部３９の出力に基
づきＸ軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３を制
御する。

ＣＲ７表示部４１はブラウン管（ＣＲＴ）を備え、制御
部３９から画像データ、判定結果、キー人力データなど
が供給されたとき、これを画面上に表示する。プリンタ
４２は制御部３９から判定結果などが供給されたとき、
これを予め決められた書式（フォーマット）でプリント
アウトする。キーボード４０は操作情報や位置決め基板
２０Ｓに関するデータ、この位置決め基板２０Ｓ上の部
品２１Ｓに関するデータなどを入力するのに必要な各種
キーを備えており、このキーボード４０から入力された
情報やデータなどは制御部３９へ供給される。

制御部３９は、マイクロプロセッサなどを備えており、
第２図に示す検査手順に従って制御動作を実行する。

まず同図の手順に先立ち、前記位置決め基板２０Ｓを用
いてティーチングが実行され、その結果、判定データフ
ァイルが作成されてティーチングテーブル３５に格納さ
れる。

検査モードでは、同図のスタート時点において、制御部
３９はティーチングテーブル３５やキーボード４０から
その日の日付データや、被検査基ｔｔＩｉ２０ＴのＩＤ
ナンバ（識別番号）を取り込むとともに、ティーチング
テーブル３５から判定データファイルを読み出して、こ
れを判定部３６に供給する。

つぎにステップ１（図中ｒｓＴＩＪで示す）で制御部３
９は、装置各部を制御して投光部２４や撮像部２５をオ
ンし、また撮像条件やデータの処理条件を整える。この
場合、撮像部２５におけるズームレンズ４５のレンズ倍
率は、分解能が標準の状態（ここでは４０μｍ）となる
よう初期設定される。

つぎにＹ軸テーブル部２３上に被検査基板２０、Ｔがセ
ットされると、制御部３９はＸ軸テーブル部２２および
Ｙ軸テーブル部２３を制御して被検査基板２０Ｔを位置
出しする。その位置でカラーテレビカメラ３２の視野内
にＱＦＰ４６が存在する場合は、ステップ２の判定が“
ＹＥＳ”となってステップ３へ進み、パッド幅Ｗの測定
処理へ移行する。

このステップ３において、標準のレンズ倍率下でカラー
テレビカメラ３２が被検査基板２０Ｔを撮像すると、こ
の撮像動作で得られた画像情報が画像処理部３４に取り
込まれた後、制御部３９はその画像内のパッド４９の画
像を抽出してパッド幅Ｗを測定する。

ステップ４はパッド幅Ｗが５画素以下かどうかを、また
ステップ５は、パッド幅Ｗが１０画素以上かどうかを、
それぞれ制御部３９にて判定しており、もしステップ４
の判定が“ＹＥＳ”であれば、ステップ６で制御部３９
は撮像コントローラ３１に対しズームレンズ４５のレン
ズ倍率を変更して分解能を２０μｍに設定するよう指示
を出す。撮像コントローラ３１はこの指示を受けてズー
ムレンズ４５のレンズ倍率を上げ、しかる後カラーテレ
ビカメラ３２は対象領域の撮像を実行する（ステップ８
）。またもしステップ４の判定がＮＯ′、ステップ５の
判定が”ＹＥＳ”であれば、ステップ７でズームレンズ
４５のレンズ倍率が変更されて分解能が５５μｍに設定
された後、ステップ８の撮像動作が行われることになる
。

もしステップ５の判定が°“Ｎｏ”である場合や視野内
にＱＦＰ４６が存在しない場合（ステップ２が“ＮＯ″
の場合）は、ズームレンズ４５のレンズ倍率を標準状態
に維持したままステップ８へ移行する。

ステップ８の撮像動作で三原色のカラー信号Ｒ，Ｇ、Ｂ
が得られると、これら信号はＡ／Ｄ変換部３３でＡ／Ｄ
変換され、その変換結果はメモリ３８にリアルタイムで
記憶される。ついで制御部３９は、前記メモリ３８より
各色相に対応する画像データを画像処理部３４へ転送さ
せ、この画像処理部３４にて各色相の画像データを各色
相側の適当なしきい値で２値化するなどして、赤色、緑
色、青色のパターンを検出する。この場合に制御部３９
は、画像処理部３４を制御し、各部品２１Ｔの撮像パタ
ーンにつき各部分（電極など）の明度をチエツクするな
どして各部品２１Ｔの電極の位置や極性マークの位置な
どを識別させる。

この後制御部３９は、前記の各色相パターンと前記の識
別結果とに基づいて、被検査データファイルを作成した
後、この被検査データファイルを判定部３６に転送させ
、この被検査データファイルと前記判定データファイル
とを比較させて、被検査基板２０Ｔ上の所定の部品２１
Ｔにつきハンダ付けの良否を判定させると共に、この判
定結果をＣＲＴ表示部４１やプリンタ４２に供給して、
これらを表示させ、またプリントアウトさせる。

同様の手順が基板上の全てのエリアにつき実行されると
、ステップ１００判定がＹＥＳ”となり、１枚の基板検
査が終了する。

なお上記実施例では、ＱＦＰ４６についてのみズームレ
ンズ４５の倍率変更を行っているが、微小なチップ部品
に対しても同様の倍率変更を行ってもよい。

またこの倍率変更は、検査モードのみならず、ティーチ
ングモードにおいても適用可能である。

〈発明の効果〉 この発明は上記の如く、基板上の検査部位へ異なる色相
光を照射し、その反射光を各色相側に撮像して部品の実
装状態を検査するのに、各検査部位につき検査に必要な
分解能を判別した上で撮像装置のレンズ倍率を最適状態
に変更するようにしたから、微小部分については高分解
能検査が、また広大な部分については広視野検査が、そ
れぞれ行われることになり、高精度な検査を効率良（行
うことができるなど、発明目的を達成した顕著な効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例にかかる基板検査装置の全
体構成を示す説明図、第２図はこの基板検査装置の検査
手順を示すフローチャート、第３図はＱＦＰの外観を示
す平面図、第４図はその拡大平面図、第５図〜第７図は
従来のハンダ付は状態の自動検査装置を示す原理説明図
、第８図はハンダ付は状態の良否と理想形態の撮像パタ
ーンとの関係を示す説明図である。 ２４・・・・投光部　　　　２５・、・・撮像部２６・
・・・処理部　　　　２８，２９．３０．・・・光源３
１・・・・撮像コントローラ ３２・・・・カラーテレビカメラ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　基板上に実装された部品の実装状態を検査するための
   基板検査装置であって、 基板上の検査部位へ異なる色相光を入射角度を違えて照
   射するための円環状光源と、 基板表面からの反射光を各色相別に撮像するためのレン
   ズ倍率の変更が可能な撮像装置と、標準のレンズ倍率下
   で得た入力画像より検査に必要な分解能を判別する判別
   手段と、 判別手段による判別結果に応じて撮像装置のレンズ倍率
   を最適状態に変更するための制御を実行する制御手段と
   、 最適なレンズ倍率下で得た撮像パターンより部品の実装
   状態を判断する判断手段とを備えて成る基板検査装置。