JPH04166710A

JPH04166710A - 表面性状観測装置

Info

Publication number: JPH04166710A
Application number: JP29512590A
Authority: JP
Inventors: Shigeki Kobayashi; 茂樹小林; Takahiro Namura; 名村　孝宏
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1990-10-30
Filing date: 1990-10-30
Publication date: 1992-06-12
Anticipated expiration: 2014-08-03
Also published as: JP2929701B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉この発明は、表面の曲面形状か異なる方向に配向する多
数の曲面要素の集合より成る曲面体につき、各曲面要素
の配向性を検出するのに適用される曲面性状観測装置に
関連し、殊にこの発明は、プリント基板上に実装された
部品につき、そのはんだ付は部分の形状などを検査する
のに好適な曲面性状観測装置に関する。

〈従来の技術〉多配向性曲面をもつ曲面体として、プリント基板上に実
装された部品におけるはんだ付は部位の表面形状がその
代表例に挙げられる。従来、このはんだ付は部位は、目
視検査により検査されており、はんだ付は状態の良否、
すなわちはんだの有無、量、溶解性、短絡、導通不良な
どがこの目視検査によって判定されている。

ところがこのような目視検査による方法では、検査ミス
の発生か避けられず、判定結果も検査する者によりまち
まちであり、また検査処理能力にも限界かある。

そこで近年、この種の検査を自動的に行うことかできる
自動検査装置が各種提案されている。

ところではんだ付は部位の表面形状は、３次元の拡がり
をもつ立体形状であって、これを検査するには、３次元
の形状情報を検出できることが不可欠の条件となる。

第８図はこの条件を満たす自動検査装置の一例を示すも
のであり、レーザなとの光源から板状をなすスリット光
１を基板２上のはんだ付は部位へ照射している。このス
リット光１の照射により、はんだ付は部位を含む基板２
の表面には、立体形状に沿って歪を受けた光切断線３か
生成されるもので、その光切断線３の反射光像を撮像装
置４で撮像して、その撮像パターンの歪状態をチエツク
することにより、はんだ付は部位の立体形状を検出する
。

ところがこの検査方法の場合、スリット光ｌか照射され
た部分の形状情報か得られるのみであって、それ以外の
部分の立体形状を把握することは困難である。しかもは
んだ付は部位の表面は、その配向方向か基板２の垂直方
向に対して不定であるため、光源と撮像装置４との組み
合わせが少なくとも４組以上は必要であり、これかため
装置が複雑化し、かつ高精度の組立作業が必要となり、
コスト高を招くなどの問題がある。

そこでこの種問題を解消した方法として、検査対象であ
る曲面体の表面へ入射角が異なる光を照射し、曲面体の
表面からの各反射光像を撮像して、それぞれの撮像パタ
ーンより曲面体の有する各曲面要素の配向性を検出する
という方法が存在する。この方法の原理は、３次元画像
情報検出のひとつである「アクティブ・センシング法」
に属するものである。すなわちこの方法は、一定のパタ
ーンをもった光束を検査対象に投光したとき、その検査
対象から得られる反射光束のパターンか検査対象の立体
的形状に対応して変形を受けることに着目したもので、
その変形パターンから検査対象の形状を推定するという
方法である。

第９図は、この方法の原理説明図であり、光源５と撮像
装置６とから成る観測系と、観測対象である曲面体７と
の位置関係を示している。

同図において、光源５より曲面体７の表面に対して入射
仰角ｉで光束８を投光すると、角度ｉ’　　（＝ｉ）の
反射光束９が真上に置かれた撮像装置６に入射して検出
される。これにより前記光束８で照明された曲面体７の
曲面要素は基準面１０に対してｉの仰角をなして配向し
ていることが検出されたことになる。従ってもし曲面体
７の表面性状が、はんだ付は面のように異なる仰角方向
に配向している多数の曲面要素から成るものであれば、
入射仰角か異なる複数の光源を用いて曲面体７の表面に
投光すれば、それぞれの入射仰角に対応する曲面要素の
群か撮像装置６により検出され、これにより曲面体７表
面の各曲面要素かそれぞれとんな仰角をなして配向をし
ているか、すなわちはんだ付は部位の表面性状がどのよ
うであるかを検出できる。

また光源５か、入射仰角がｉ＋Δｉからｉ−Δｉまで２
Δｉの幅をもつ光束８を投光するならば、その幅に対応
した幅を有する反射光束９か撮像装置６により検出され
ることになる。すなわちこの場合は、基準面１０となす
仰角かｉ十Δｉからｉ−Δｉまでの幅の角度をもつ曲面
要素が検出できることになる。

さらに第１０図に示すように、曲面体７への入射仰角が
異なる複数の光源１１．　１２．　１３をもって投光装
置を構成すれば、各光源による光束１４，１５．１６の
入射仰角に対応した配向をもつ曲面要素かそれだけ詳細
に検出できることになる。

上記の原理に基づきはんだ付は部位の外観を検査する装
置として、円環状の白色光源を複数用いたものか提案さ
れている（特開昭６１−２９３６５７号）。

第１１図はその検査原理を示すもので、半径か異なる３
個の円環状の白色光源１７．１８゜１９を基準面１０に
対して異なる高さ位置に水平に配置されている。

いま各光源１７．１８．１９の半径がｒｌ（ただしｎ＝
１．２．３　）　、基準面ＩＯに対する高さがり、（ｎ
＝１．２．３）とすると、曲面体７への各光束の入射仰
角はそれぞれｉ、　　（ｎ＝１．２゜３）となり、曲面
体７における仰角がそれぞれｉｓである各曲面要素を撮
像装置６により検出することができる。このとき各光源
１７，１８゜１９から曲面体７の表面を経て撮像装置６
に至る全光路長に比して曲面要素の大きさが十分に小さ
いので、次式により入射仰角、すなわち検出しようとす
る曲面要素の仰角を定めればよい。

−Ｎ７「石−下この検査方法においては、はんだ付は面に対する入射仰
角の異なる３個の光源１７，１８゜１９による反射光像
を相互に識別するために、それぞれ光源１７，１８．１
９を時間的に異なったタイミングで点灯し、また消灯す
るようにしている。

〈発明か解決しようとする問題点〉しかしながらこのような方法では、曲面体７の各曲面要
素か基準面１０に対してとのような仰角をなして配向し
ているかを検出できるのみで、方位角の方向についての
配向の状態を検出するのは困難である。しかも順次点灯
方式であるから、曲面性状の検査を高速で行うことかで
きないばかりでなく、異なる投光タイミングで得た各画
像を貯蔵するためのメモリや、これら画像を同一視野像
として演算処理するだめの演算装置や、各光源を瞬間的
に点滅させるための制御装置などが必要であり、技術面
での煩雑さが多く、またそれかコスト面や信頼性の面で
課題となっている。

この発明は、上記問題に着目してなされたものて、はん
だ付は部位なとの曲面体の曲面性状、とくに方位角の方
向についての配向の状態を観測できる曲面性状観測装置
を提供することを目的とする。

またこの発明の他の目的は、曲面体の曲面性状を短時間
で観測でき、しかもコストの低減と信頼性の向上とを実
現した曲面性状観測装置を提供することにある。

く問題点を解決するための手段〉請求項（１）にかかる発明は、観測対象である曲面体を
観測位置へ導入して前記曲面体の表面形状を観測する表
面性状観測装置であって、投光装置と撮像装置とを有し
ている。前記投光装置は、特定の色彩の光を投射する光
源列を備えており、前記光源列は、観測位置から見て特
定の方位角に対応する方向に設けられている。そして前
記撮像装置は、観測位置の真上位置に前記曲面体の表面
の反射光像を撮像可能に配置されている。

請求項（２）にかかる発明は、投光装置と撮像装置とを
有する同様の表面形状観測装置であって、前記投光装置
は、特定の色彩の光を時系列的に投射する複数の光源列
を備えると共に、各光源列は、観測位置から見てそれぞ
れ異なる方位角に対応する各方向に設けられたものであ
る。

請求項（３）にかかる発明は、投光装置と撮像装置とを
有する同様の表面形状観測装置であって、前記投光装置
は、各列毎に異なる色彩の光を同時に投射する複数の光
源列を備えると共に、各光源列は、観測位置から見てそ
れぞれ異なる方位角に対応する方向に設けられたもので
ある。

請求項（４）にかかる発明は、請求項（１）〜（３）に
おける各光源列が複数の点状光源を整列配置して構成さ
れたものである。

請求項（５）にかかる発明は、請求項（１）〜（３）に
おける各光源列か長手形状をなす線状光源により構成さ
れたものである。

く作用〉観測位置から見て所定の方位角に対応する方向の光源列
から所定の色彩の光が観測対象に投射されるので、観測
対象の曲面性状につき、前記方位角に対応する方向につ
いての配向の状態を検出することかできる。

また観測位置から見て特定の方位角に対応する方向に特
定の色彩の光を投射する光源列を１個設けたとき、その
方位角に対応する方向についての配向をもつ曲面要素の
有無や位置を直接判定できる。

さらに観測対象から見て異なる方位角に対応する各方向
の光源列からそれぞれ異なる色彩の光を同時に観測対象
へ投射させるとき、撮像装置では曲面体の表面からの反
射光像を各色彩別に同時を得ることができ、その撮像パ
ターンを用いて曲面体の表面性状を高速で判断し得る。

〈実施例〉第１図は、この発明が実施されたプリント基板検査装置
の概略構成を示す。

図示例の基板検査装置は、位置決め基板２Ｏ３を撮像し
て得られた前記位置決め基板２Ｏ３上にある各部品２１
Ｓの検査領域のパラメータ（判定データ）と、被検査基
板２０Ｔを撮像して得られた前記被検査基板２ＯＴ上に
ある各部品２１Ｔの検査領域のパラメータ（被検査デー
タ）とを比較して、これらの各部品２１Ｔか正しく実装
されかつはんだ付けされているかどうかを検査するため
のものであって、Ｘ軸テーブル部２２．Ｙ軸テーブル部
２３．投光部２４゜撮像部２５．処理部２６などをその
構成として含んでいる。

Ｘ軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３は、それ
ぞれ処理部２６からの制御信号に基づいて動作するモー
タ（図示せず）を備えており、これらモータの駆動によ
りＸ軸テーブル部２２が撮像部２５をＸ方向へ移動させ
、またＹ軸テーブル部２３か基板２Ｏ３，２０Ｔを支持
するコンベヤ２７をＸ方向へ移動させる。

これら基板２０Ｓ、２０Ｔは、投光部２４からの照射光
を受けつつ撮像部２５により撮像される。

投光部２４は、処理部２６からの制御信号に基づき各列
毎に異なる色彩の光をそれぞれ発生して検査対象へ異な
る入射方位角で同時に照射するための複数の光源列２８
ａ、２８ｂ、２８ｃ。

２８ｄを備えており、各光源列２８　ａ〜２８ｄを発し
た光束を前記基板２Ｏ３，２０Ｔを投光して、その反射
光像を撮像部２５て得て電気信号に変換する。

第２図および第３図は、この投光部２４の具体例を示し
ており、ドーム形状をなすフート２９の内面に前記の各
光源列２８ａ〜２８ｄを構成する多数の点状光源２８を
点在させた状態で配備しである。フード２９は下面開口
を下方に向け、上面の開口部３０に搬像部２５を位置さ
せである。

前記点状光源２８には、発光ダイオードか用いであるか
、異なる色彩の光を投射てきるものであれば、これに限
られないことは勿論である。

各光源列２８ａ〜２８ｄは、検査位置の上方であって検
査位置から見てそれぞれ異なる方位角に対応する各方向
に配置されるもので、第３図中、光源列２８ａに属する
各点状光源２８かそれぞれＯｏと１８０°の方位角に対
応する各方向に位置し、光源列２８ｂに属する各点状光
源２８がそれぞれ４５°と２２５°の方位角に対応する
各方向に位置し、光源列２８ｃに属する各点状光源２８
かそれぞれ９０°と２７０°の方位角に対応する各方向
に位置し、光源列２８ｄに属する各点状光源２８がそれ
ぞれ１３５°と３１５°の方位角に対応する各方向に位
置するものである。

なお光源列は、上記実施例のように必ずしも全方位角の
方向にわたって設ける必要はなく、特定の方位角の方向
に限って設けてもよく、その場合は、検出したい表面面
素の有無や位置を直接判定できる。

また前記の各光源列２８ａ〜２８ｄは、同じ色彩の光を
発生する点状光源２８を用いて構成すると共に、各光源
列を時系列的に点灯し、消灯させる方式であってもよく
、その場合は高速検査は実現できないものの、方位角の
方向についての配向の状態を検出し得ることは勿論であ
る。

なお各光源列２８ａ〜２８ｄは、点状光源２８を整列配
置した構成のものである必要はなく、第４図に示す如く
、色カバーを被せた蛍光灯のような線状光源２８′に置
き換えることも可能である。

第５図は、検査対象４８の表面の方位角検出原理を示す
もので、任意の点状光源２８と検査対象４８との幾何学
的関係を上方より俯撤して表したものである。

同図において、点状光源２８より検査対象４８０表面に
対して入射方位角ｊで光束４９が投光されると、その反
射光束が検査対象４８の真上に位置する撮像部２５に入
射して検出される。

これにより前記光束４９で照明された検査対象４８にお
ける曲面要素は座標軸５０に対しｊの方位角をなして配
向していることか検出される。

従って検査対象４８の表面形状がはんだ付は面のように
異なる方位角方向に配向している多数の曲面要素から成
るものであれば、入射方位角か異なる複数の点状光源２
８より検査対象４８の表面へ投光すれば、それぞれの入
射方位角に対応する曲面要素の群が撮像部２５により検
出される。これにより検査対象４８の表面の各曲面要素
かそれぞれとんな方位角をなして配向しているかを検出
できる。

また点状光源２８か入射方位角かｊ−Δｊからｊ＋Δｊ
まで２Δｊの幅をもつ光束４９を投光するならば、その
幅に対応した幅を有する反射光束が撮像されることにな
り、この場合は、座標軸５０となす方位角かｊ−Δｊか
らｊ＋Δｊまての幅の角度をもつ曲面要素か検出できる
ことになる。

かくして第６図に示すように、検査対象４８から見て異
なる方位角に対応する各方向にそれぞれ点状光源２８を
配置して投光部２４を構成すれば、各点状光源２８によ
る光束４９の入射方位角に対応した配向性をもつ曲面要
素をそれだけ詳細に検出できることになる。

つぎに撮像部２５は、検査位置の真上に位置させたカラ
ーテレビカメラ３２を備えており、前記基板２０Ｓまた
は２０Ｔからの反射光はこのカラーテレビカメラ３２に
よって三原色のカラー信号Ｒ，Ｇ、Ｂに変換されて処理
部２６へ供給される。

処理部２６は、Ａ／Ｄ変換部３３．メモリ３８゜ティー
チングテーブル３５２画像処理部３４゜判定部３６．Ｘ
、Ｙテーブルコントローラ３７゜撮像コントローラ３１
．ＣＲＴ表示部４１．プリンタ４２．キーボード４０．
フロッピーディスク装置４３．制御部（ＣＰＵ）３９な
とから構成されるもので、ティーチングモードのとき、
位置決め基板２Ｏ３についてのカラー信号Ｒ２Ｇ、Ｂを
処理し、はんだ付は状態か良好な各部品２１Ｓの所定領
域につき投光された各色彩の光の反射光により形成され
た色彩パターンを検出して、判定データファイルを作成
し、また検査モードのとき、被検査基板２０Ｔについて
のカラー信号Ｒ，Ｇ、Ｂを処理し、基板上の各部品２１
Ｔの所定領域につき同様の色彩パターンを検出して被検
査データファイルを作成する。

そしてこの被検査データファイルと前記判定データファ
イルとを比較して、この比較結果から被検査基板２ＯＴ
上の所定の部品２１Ｔにつきはんだ付は部分の良、不良
を自動的に判定する。

第７図（１）は、はんだ付けか良好であるとき、第７図
（２）ははんだか欠落しているとき、第７図（３）は部
品が欠落しているときのそれぞれのはんだ４４の断面形
態と、各場合の撮像パターン４５〜４７との関係を対応
付けして示したものであり、各撮像パターン４５〜４７
間には明確な差異が現われるため、部品の存無やはんだ
付けの良否が判定できることになる。

第１図に戻って、Ａ／Ｄ変換部３３は前記撮像部２５か
らカラー信号Ｒ，Ｇ、Ｂが供給されたときに、これをア
ナログ・ディジタル変換して制御部３９へ出力する。メ
モリ３８はＲＡＭなどを備え、制御部３９の作業エリア
として使われる。画像処理部３４は制御部３９を介して
供給された画像データを画像処理して前記被検査データ
ファイルや判定データファイルを作成し、これらを制御
部３９や判定部３６へ供給する。

ティーチングテーブル３５はティーチング時に制御部３
９から判定データファイルか供給されたとき、これを記
憶し、また検査時に制御部３９が転送要求を出力したと
き、この要求に応じて判定データファイルを読み出して
、これを制御部３９や判定部３６などへ供給する。

判定部３６は、検査時に制御部３９から供給された判定
データファイルと、前記画像処理部３４から転送された
被検査データファイルとを比較して、その被検査基板２
０Ｔにつきはんだ付は状態の良否を判定し、その判定結
果を制御部３９へ出力する。

撮像コントローラ３１は、制御部３９と投光部２４およ
び撮像部２５とを接続するインターフェースなどを備え
、制御部３９の出力に基づき投光部２４の各点状光源２
８の光量を調整したり、撮像部２５のカラーテレビカメ
ラ３２の各色相光出力の相互バランスを保つなどの制御
を行う。

Ｘ、　Ｙテーブルコントローラ３７は制御部３９と前記
Ｘ軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３とを接続
するインターフェースなどを備え、制御部３９の出力に
基づきＸ軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３を
制御する。

ＣＲＴ表示部４１はブラウン管（ＣＲＴ）を備え、制御
部３９から画像データ、判定結果、キー人力データなど
が供給されたとき、これを画面上に表示する。プリンタ
４２は制御部３９から判定結果などが供給されたとき、
これを予め決められた書式（フォーマット）でプリント
アウトする。キーボード４０は操作情報や位置決め基板
２Ｏ３に関するデータ、この位置決め基板２Ｏ３上の部
品２１Ｓに関するデータなとを入力するのに必要な各種
キーを備えており、このキーボード４０から入力された
情報やデータなどは制御部３９へ供給される。

制御部３９は、マイクロプロセッサなどを備えており、
つぎに述へる手順に沿って動作する。

まず新たな被検査基板２０Ｔを検査するときには、制御
部３９は、ティーチングを実行するために装置各部を制
御して投光部２４や撮像部２５をオンし、また撮像条件
やデータの処理条件を整える。つぎにＹ軸テーブル部２
３上に位置決め基板２Ｏ３かセットされると、制御部３
９はＸ軸テーブル部２２およびＹ軸テーブル部２３を制
御して位置決め基板２Ｏ３を位置出しした後、撮像部２
５に位置決め基板２Ｏ３を撮像させる。この撮像動作で
得られた三原色のカラー信号Ｒ，Ｇ、　ＢはＡ／Ｄ変換
部３３てＡ／Ｄ変換され、その変換結果はメモリ３８に
リアルタイムで記憶される。

ついで制御部３９は、前記メモリ３８より各色相に対応
する画像データを画像処理部３４へ転送させ、この画像
処理部３４にて各色相の画像データを各色相別の適当な
しきい値で２値化するなどして、反射光の色彩パターン
を検出する。また制御部３９は、画像処理部３４を制御
し、各部品２１Ｓの撮像パターンにつき各部分（電極な
ど）の明度をチエツクするなとして各部品２１Ｓの電極
の位置や極性マークの位置などを識別させる。

この後制御部３９は、前記の各色彩パターンと前記の識
別結果とに基づいて、被検査基板２０Ｔを検査するのに
必要な判定データファイルを作成し、これをティーチン
グテーブル３５に記憶させた後、ティーチングを終了す
る。

つぎに検査モードに移行すると、制御部３９はティーチ
ングテーブル３５やキーボード４０からその日の日付デ
ータや、被検査基板２０ＴのＩＤナンバ（識別番号）を
取り込むとともに、ティーチングテーブル３５から判定
データファイルを読み出して、これを判定部３６に供給
する。

この後、制御部３９は、撮像条件やデータの処理条件を
整えた後、Ｙ軸テーブル部２３上に被検査基板２０Ｔか
セットされたかどうかをチエツクする。

もしセットされておれば、制御部３９は前記と同様、画
像処理部３４にて各色彩パターンの検出および電極や極
性マークの識別を順次行わせた後、各色彩パターンと前
記の識別結果とに基づき被検査データファイルを作成す
る。ついて制御部３９は、前記被検査データファイルを
判定部３６に転送させ、この被検査データファイルと前
記判定データファイルとを比較させて、被検査基板２Ｏ
Ｔ上の所定の部品２１Ｔにつきはんだ付けの良否を判定
させると共に、この判定結果をＣＲＴ表示部４１やプリ
ンタ４２に供給して、これらを表示させ、またプリント
アウトさせる。

〈発明の効果〉この発明は上記の如く、観測位置から見て所定の方位角
に対応する方向に光源列を設けてその光源列より観測対
象へ所定の色彩の光を投射するから、観測対象の曲面性
状につき、前記方位角に対応する方向についての配向の
状態を検出することが可能となった。

また請求項（１）にかかる発明では、観測位置から見て
特定の方位角に対応する方向に特定の色彩の光を投射す
る光源列を設けたから、その方位角に対応する方向につ
いての配向をもつ曲面要素の有無や位置を直接判定でき
る。

さらに請求項（３）にかかる発明では、異なる色彩の光
を同時に投射する複数の光源列をもって投光装置を構成
すると共に、各光源列を観測位置から見てそれぞれ異な
る方位角に対応する各方向に配置したから、撮像装置で
は曲面体の表面からの反射光像を各色彩別に同時を得る
ことかでき、その撮像パターンを用いて曲面体の表面性
状を高速で判断し得る。また時系列的に各光源を点灯動
作させる方式のように、大きなメモリ容量を必要とせず
、また時間ずれのある画像を結合するための演算や光源
の点滅の夕゛イミングをとるための制御か不要であり、
コストの低減および信頼性の向上を実現する。

また光源列は複数の点状光源を整列配置して構成される
から、発光ダイオードのような高寿命かつ小型の光源を
採択できる。

さらに光源列は長手形状をなす線状光源により構成され
るから、蛍光灯のような安価で簡易な光源も採択できる
なと、発明目的を達成した顕著な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例にかかる基板検査装置の全
体構成を示す説明図、第２図は投光部の構成を示す拡大
断面図、第３図は光源列の構成例と配置状態とを示す投
光部の下面図、第４図は光源列の他の構成例と配置状態
を示す投光部の下面図、第５図および第６図は方位角の
検出原理を示す説明図、第７図ははんだ付は状態の良否
と撮像パターンとの関係を示す説明図、第８図は従来例
を示す説明図、第９図および第１０図は仰角の検出原理
を示す説明図、第１１図は従来例を示す説明図である。２４・・・・投光部　　　　２５・・・・撮像部２６・
・・・処理部　　　　２８・・・・点状光源２８ａ〜２
８ｄ・・・・光源列第２図股九静詰携底と示す搗天虻１梢図７Ｇ＝〆Ｓ（２
０Ｔ）第１ｏ図仰肉＝−蚕ね原理と子、４名（明図第１１図従
訂り（Σ〒１１え咽ｊ」１、事件の表示　　特願平２−２９５１２５号、発明の
名称　　表面性状観測装置、補正をする者事件との関係　　特許出願人住所〒６１６京都市右京区花園土堂町ｌＯ番地名称（２
９４）オムロン株式会社代表者立石義雄、代理人、補正の対象図面、補正の内容図面中、「第４図」を別紙のとおり補正。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）観測対象である曲面体を観測位置へ導入して前記
曲面体の表面形状を観測する表面性状観測装置であって
、投光装置と撮像装置とを有し、前記投光装置は、特定の色彩の光を投射する光源列を備
え、前記光源列は、観測位置から見て特定の方位角に対応す
る方向に設けられており、前記撮像装置は、観測位置の真上位置に前記曲面体の表
面の反射光像を撮像可能に配置されて成る表面性状観測
装置。
（２）観測対象である曲面体を観測位置へ導入して前記
曲面体の表面形状を観測する表面性状観測装置であって
、投光装置と撮像装置とを有し、前記投光装置は、特定の色彩の光を時系列的に投射する
複数の光源列を備え、各光源列は、観測位置から見てそれぞれ異なる方位角に
対応する各方向に設けられており、前記撮像装置は、観測位置の真上位置に前記曲面体の表
面の反射光像を撮像可能に配置されて成る表面性状観測
装置。
（３）観測対象である曲面体を観測位置へ導入して前記
曲面体の表面形状を観測する表面性状観測装置であって
、投光装置と撮像装置とを有し、前記投光装置は、各列毎に異なる色彩の光を同時に投射
する複数の光源列を備え、各光源列は、観測位置から見てそれぞれ異なる方位角に
対応する各方向に設けられており、前記撮像装置は、観測位置の真上位置に前記曲面体の表
面の反射光像を撮像可能に配置されて成る表面性状観測
装置。
（４）前記光源列は、複数の点状光源を整列配置して構
成されている請求項（１）〜（３）のいずれかに記載の
表面性状観測装置。
（５）前記光源列は、長手形状をなす線状光源により構
成されている請求項（１）〜（３）のいずれかに記載の
表面性状観測装置。