JPH03190212A - 被作業物の確認方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体製品のように、種々の装置での処理を順
次径させて生産する物品の生産工程における物品の確認
方法及びその実施に使用する装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体製品の製造工程は酸化、写真食刻、拡散。

エピタキシャル成長、イオン注入等の処理が次々と或い
は反復して行われる。これらの処理を行うために素材又
は半製品が処理のための装置又は作業設備間を移動せし
められる。

このために誤った条件での処理をすることがないよう半
製品等と、それを特定する情報及び処理内容等を記載し
た書類（作業指示書）とを併せて移動させるようにして
いる。各作業設備における作業者は送られてきた作業指
示書によりその物品と照合して物品と作業指示書とが対
応するものであることを確認し、その上で作業指示書に
記された処理を行うこととしている。

Ｃ発明が解決しようとする課題〕 ところでこの作業指示書と物品との照合は目視で行うも
のであり、作業指示書の読みちがいにより誤った判断を
することがある。また物品はそれ自体に又はそれに付さ
れたタグ等にそれを特定する情報が記されているが、そ
れの読みちがいによって誤判断をすることもある。誤判
断がなされると、当該物品に対して誤った処理を行い、
その結果不良品を製造することとなる。

本発明は斯かる問題に鑑みてなされたものであり、作業
指示書等の書類にバーコードを記しておき、これを各作
業設備の配置位置に設けたバーコードリーダによって読
み取らせ、同様に設けた表示器にその物品つまり被作業
物を特定する情報を表示させるようにして照合を容易な
らしめ書類と被作業物との誤対応による不具合を生ぜし
めないようにする被作業物の確認方法及びその実施に使
用する装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段］ 本発明に係る被作業物の確認方法は、作業指示書等の書
類にはバーコードによって被作業物を特定する情報を記
し、また各作業設備の配置位置にはバーコードリーダ及
び表示器を設け、被作業物と共に送られてきた書類のバ
ーコードをバーコードリーダで読取らせ、これに対応す
る被作業物を特定する情報を表示器に表示させるもので
ある。

また本発明に係る確認装置は、被作業物を特定する情報
とこれに対応するバーコードとを対応づけて記憶してい
るバーコード記憶部と、前述のバーコードリーダ及び表
示器とを備え、書類から読取ったバーコードに対応する
被作業物を特定する情報をバーコード記憶部から検索し
て表示器に表示させるようにしたものである。

〔作用〕

作業者はその担当する作業設備へ送られてきた書類のバ
ーコードをバーコードリーダで読取らせる。そうすると
そのバーコードに対応する被作業物を特定する情報をバ
ーコード記憶部から読出し、これが表示器に表示される
ことになる。これを被作業物自体又はそれに記された被
作業物特定情報若しくは、それに付されたタグ等に記さ
れた被作業物特定情報と照合することにより被作業物の
確認が可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明をその実施例を示す図面に基いて詳述する
。第１図は本発明に係る被作業物確認装置の全体構成を
示す模式図である。図において１はコンピュータであり
、作業設備２ａ＋２ｂ＋・・・２ｎへ送られる被作業物
３についての種々の情報を有しており、そのメモリとし
て備えたバーコード記憶部１ａにはこの作業設備２ａ、
２ｂ、・・・２ｎで作業をすべき被作業物３を特定する
情報、具体的にはその名称。

製品番号又は型名と、これに対応づけたバーコードとが
対応づけて記憶されている。各作業段（ｉｉ２ａ。

２ｂ、・・・２ｎの配置位置には端末機４ａ、４ｂ＋・
・・４ｎが設置されている。この端末機４ａ＋４ｂ、・
・・４ｎはパーソナルコンヒュータを用いてなり、コン
ピュータ１とのデータ送受を行うインターフェース５ａ
、５ｂ＋・・・５ｎと、バーコードリーダ６ａ、６ｂ＋
・・・６ｎと、ＣＲＴデイスプレィからなる表示器７ａ
１７ｂ＋・・・７ｎとを備えている。

また端末機の一部又は全部にはキーボードからなる入力
部８とプリンタ９とを備えている。この実施例では端末
機４ａにのみ設けている。入力部８及びプリンタ９は被
作業物３を特定すべき情報、更には各作業設備での作業
内容を記した作業指示書等の書類１０を発行するための
ものであり、入力部８から入力した情報、或いはこの入
力をコンピュータ１へ送出してそこから送られてきたそ
の蓄積情報をプリンタ９に装填した書類にプリントアウ
トする。

また入力部８から入力した被作業物の情報をコンピュー
タ１へ送出し、コンピュータ１はバーコード記憶部１ａ
にアクセスしてこれに対応するバーコードを端末機４ａ
へ送り出し、これを受けたインターフェース５ａはプリ
ンタ９の装填書類にこれをバーコードの形で打ち出させ
るようにしである。

書類に対するバーコードの記載はこのように端末機側で
行ってもよいが、コンピュータ１側で行ってもよい。こ
の場合には端末機側に入力部８．プリンタ９を設けるこ
とは不要である。また書類に記載する他の情報とは別に
作成したバーコード記載のシールを貼付することとして
もよい。

なお入力部８を全端末機に設けて、生産管理情報、つま
り被作業物、その個数、作業に要した時間、作業者名等
の入力をコンピュータ１へ行わせるようにしてもよい。

而して上述した如き情報、バーコードが記された書類１
０は対応する被作業物３と共に作業設備２ａ＋２ｂ、・
・・２ｎに順次送られていくが、これを受取った各作業
設備における作業者は書類１０をバーコードリーダ６８
等により第２図に示すようにこれに記されたバーコード
を読取らせる。読取信号はインターフェース５８等に送
られ、ここからコンピュータ１へ送出され、コンピュー
タ１は読取ったバーコードを基に対応する被作業物の名
称、型名等、これを特定する情報をバーコード記憶部１
ａにアクセスして検索し、これをインターフェース５８
等へ返す。インターフェース５ａ等はこれを表示器７ａ
等に与えて表示せしめる。

作業者は表示器７ａ等に表示された情報と被作業物３ま
たはこれに付されたタグの記載事項とを比べて書類１０
と被作業物３との組合せの適否を所定し、正しい場合は
書類１０に記載の作業を行う。

〔発明の効果〕

本発明は以上の如く書類１０に記載される主要事項であ
る被作業物特定情報を表示器に表示させて被作業物との
照合を行うことができるので、書類の読み誤りによる誤
判断がなくなり、それによる不良品発生が未然に防止で
きることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の模式図、第２図はその動作を略示
するフローチャートである。 １・・・コンピュータ　１ａ・・・バーコード記憶部６
ａ、６ｂ　　・・・６ｎ・・・バーコードリーダ７ａ、
７ｂ　　・・・７ｎ・・・表示器なお、図中、同一符号
は同一、又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被作業物と、該被作業物を特定する情報及びこれ
   に為すべき作業に関する情報を記してある書類とを併せ
   て複数の作業設備へ順次的に送る生産工程において、前
   記書類には前記被作業物を特定するバーコードを記して
   おき、各作業設備の配置位置にはバーコードリーダ及び
   表示器を設けておき、前記書類のバーコードをバーコー
   ドリーダで読取らせ、読取ったバーコードに対応する被
   作業物を特定する情報を表示器に表示させ、その表示内
   容により当該書類と併せて送られた被作業物の確認を行
   うことを特徴とする被作業物の確認方法。
2. （２）被作業物と、該被作業物を特定する情報及びこれ
   に為すべき作業に関する情報を記してある書類とを併せ
   て複数の作業設備へ順次的に送る生産工程にて被作業物
   を確認する装置であって、 前記被作業物を特定する情報とその夫々に 対応するバーコードとを対応づけて記憶しているバーコ
   ード記憶部と、 被作業物を特定するバーコードを記してあ る前記書類と、 各作業設備の配置位置に設けられたバーコ ードリーダ及び表示器と を備え、バーコードリーダによって読取ら れたバーコードに対応する被作業物を特定する情報を前
   記バーコード記憶部から検索して前記表示器に表示すべ
   くなしてあることを特徴とする被作業物の確認装置。