JPH03194415A - パターン検査装置及びパターン検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 本発明はパターンの検査装置及びパターンの検査方法に
関し、 検査用の辞書を辞書の作成者の能力に関係なく短時間で
容易に作成しうる方法を得る事を目的とし、 パターンを走査する手段、 パターンを走査しつつ所定間隔毎にその場所での単位パ
ターン形状を計測する手段、 計測された該単位パターン形状を所定の条件に従って数
値情報に変換する手段、 該数値情報の全て若しくは予め正常辞書に登録されてい
る情報を除いて記憶しておく記憶手段、該記憶手段に記
憶された数値情報を同一の単位パターン形状を表すそれ
ぞれの数値情報毎に分類し、その各々について発生頻度
を計数する発生頻度計数手段、 分類された該単位パターン形状毎の該発生頻度を所定の
基準値と比較して正常情報か欠陥情報かを判断する手段
、 該正常情報を正常辞書に登録する手段、欠陥情報と判断
された該単位パターン形状の一つを表示する表示手段、 表示手段に表示された該単位パターン形状について正常
情報か欠陥情報かを選択する選択手段、該選択手段によ
り欠陥情報と判断された当該単位パターン形状に関する
数値情報を欠陥辞書に登録する手段、 該欠陥辞書を用いて検査用パターンを検査する手段、 とから成る様に構成される。

〔産業上の利用分野〕

本発明はパターンの検査方法及びパターンの検査装置に
関するものであり、特に詳しくはプリント基板等の配線
パターンに関する外観検査に於けるパターンの検査方法
及び検査装置に関するものである。

〔従来の技術〕

プリント板等の配線パターンは多種多様なものが存在し
ており、これらのパターンの全ての部分に亘って正常か
欠陥が存在するかを検査する外観検査装置は正常なパタ
ーンか欠陥かを的確に判定することが要求されている。

このため外観検査装置の検査論理は検査対象となるプリ
ント板のパターンに応じて構成する必要があり、しかも
対象パターンが変わるのに応じて組み替える必要があっ
た。

又一般に実用されているプリント基板はかなりの大きさ
を有しているため、その板面全体を検査するには膨大な
データ処理を行わなければならず、処理の方法つまり検
査論理を最適なものにしておかないと余計な時間がかか
り非能率ともなっていた。

更にかかる検査におけるもう一つの問題点は上述のよう
にパターンの形状が製品毎に異っていることの他にその
プリント基板を使用するユーザー側での検査基準もユー
ザー毎に異っているためそれに対応した検査基準にもと
づく検査論理を組み立てる必要があり、そのための検査
用辞書を作成するのに相当の時間を要していた。

例えばあるパターンをもって形成されたプリント板の配
線が正常であるか欠陥部を有するかどうかを検査する場
合、該プリント板上を適宜の走査手段により検査用ビー
ムを照射しながらパターン画像を認識し、そのパターン
画像を所定の間隔毎に数値情報にコード化して当該コー
ド化された数値情報と予め作成されている検査用辞書と
比較してその特定のパターン部分が正常であるか欠陥部
を有するものであるかを判別するものであった。

かかる検査論理の一例としては特開昭６２−２６３４０
４に示される外観検査に関する検査論理が利用されてい
る。該検査論理においては、検査すべきプリント板を適
宜の走査手段によりスキャンし７ながら所定の間隔毎に
パターン画像の計測を行うものであって、画像のある一
点から放射状に例えば４方向に画像を計測し、その各方
向と長さを所定の規則に従って二値情報に変換した後、
各方向におけるデータの組み合わせの状態によりパター
ンが正常か欠陥かを判定する検査論理である。

この方法においてパターンが正常か欠陥かを判定するた
めの情報は熟練した作業者が当該部分におけるパターン
の形状を目視しながら前記数値情報のうちどれを正常と
みるか、欠陥とみるかを判断し、この判定情報は書き換
え可能なメモリ（ＲＡＭ等）に記憶されるものである。

従って検査を行うプリント板が異るごとにこのデータを
書き換えて最も適した判定情報を用いて検査を行う必要
があった。

従来、この判定情報を作成する方法は熟練した作業者が
パターンの違うプリント板毎の正常パターンを抽出し、
それを数値化した後、辞書と呼ばれる不揮発性記憶部（
フロッピーディスクなど）に入力し検査データを作成し
ていた。

つまり従来においては、配線のパターンが異なるプリン
ト板毎に、又ユーザー側の検査実行基準（例えば全ての
欠陥を欠陥として認識するような基準を採用するユーザ
ーと、極めて小さな欠陥に該当するものは検査対象から
はずすような基準を採用するユーザーが考えられる）の
違い等によって、それぞれ異なる検査論理をもった検査
辞書を作成しなければならず、然しなからこのような辞
書は誰でも簡単に作成しえるものではなく、熟練した人
間が個々のパターンを目視して検討を加えながら判断し
て作成するものであるため膨大な時間がかかっていた。

しかも前述したように、プリント板全体を前面的に検査
するには膨大なデータを処理する必要があるため判定用
の辞書を作るのに時間がかかるのみでなく、処理に要す
る記憶装置メモリーの容量も膨大となるとともに、それ
等を処理する演算処理手段、演算ソフトも複雑となって
いた。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は上記した従来技術の欠点を改良し、係る検査用
の辞書を作成に関して作成者の熟練度や能力に係わらず
短時間で適正な検査用辞書を作成しうる方法及び装置を
提供するものである。

〔課題を解決するための手段］ 本発明は上記した目的を達成するために以丁の様な技術
構成を採用するものである。即ち、本発明に係るパター
ン検査装置は、パターンを走査する手段、パターンを走
査しつつ所定間隔毎にその場所での単位パターン形状を
計測する手段、計測された該単位パターン形状を所定の
条件に従って数値情報に変換する手段、該数値情報の全
て若しくは予め正常辞書に登録されている情報を除いて
記憶しておく記憶手段、該記憶手段に記憶された数値情
報を同一の単位パターン形状を表すそれぞれの数値情報
毎に分類し、その各々について発生頻度を計数する発生
頻度計数手段、分類された該単位パターン形状毎の該発
生頻度を所定の基準値と比較して正常情報か欠陥情報か
を判断する手段、該正常情報を正常辞書に登録する手段
、欠陥情報と判断された該単位パターン形状の一つを表
示する表示手段、表示手段に表示された該単位パターン
形状について正常情報か欠陥情報かを選択する選択手段
、該選択手段により欠陥情報と判断された当該単位パタ
ーン形状に関する数値情報を欠陥辞書に登録する手段、
該欠陥辞書を用いて検査用パターンを検査する手段、と
から構成されているパターン検査装置であり、又本発明
におけるパターン検査方法は、検査用パターンの１部の
領域のパターンを走査しながら所定間隔毎にその場所で
の単位パターン形状を計測する工程、計測された該単位
パターン形状を所定の条件に従って数値情報に変換する
工程、該数値情報を全て欠陥情報として記憶手段に記憶
しておく工程、該記憶手段に記憶された数値情報を同一
の単位パターン形状を表すそれぞれの数値情報毎に分類
し、その各々について発生頻度を計数する工程、分類さ
れた該単位パターン形状毎の該発生頻度を所定の基準値
と比較して正常情報か欠陥情報かを判断し、該正常情報
を正常辞書に登録する工程、前記領域に隣接する他の領
域について該正常辞書に登録された正常情報を除き該数
値情報を欠陥情報として記憶手段に記憶させる条件の下
で前記各工程を繰り返す工程、検査用パターンの全ての
領域に関して前記各工程が繰り返された後に、欠陥情報
として残された該情報を該記憶手段に残しておく工程、
該記憶手段に残されている該欠陥情報と判断された該単
位パターン形状の内から発生頻度の高い単位パターン形
状から順番に個別に表示手段に表示する表示工程、該表
示手段に表示された該単位パターン形状について正常情
報か欠陥情報かを選択し、欠陥情報と判断された当該単
位パターン形状に関する数値情報を欠陥辞書に登録する
工程、該表示、選択工程を該記憶手段に残されている該
欠陥情報と判断された該単位パターン形状で所定の基準
以上の発生頻度を有する該単位パターン形状の全てにつ
いて繰り返す工程、該欠陥辞書を使用して検査用パター
ンを検査する工程、とから構成されているパターン検査
方法である。

〔作　用〕

本発明に於いては上記の様な技術構成を採用したことに
より、パターンの検査に於いて検査論理を構成する検査
辞書の作成の大部分をハードウェアを用いて自動的に作
成出来、判断の微妙な部分、即ちグレイ部分を人間と機
械とのコミュニケーションを導入して対話式に判断を実
行させるものであるから、極めて正確な検査辞書が専門
的な回路知識を持たない作業員であっても容易に且つ短
時間に作成することが可能となる。

又、本発明に於い°Ｃは、パターンを数値情報に変換し
たコード化情報を記憶しておくメモリ或いはバファの容
量をそれほど大きくしなくとも短時間で検査辞書を作成
しうるものである。

〔実施例〕

以下に本発明のパターン検査装置及びパターン検査方法
の具体例を図面を参照しながら詳細に説明する。

尚、以下の具体例では、プリント基板の配線に於ける正
常か欠点かを検査する例を示すが、本発明はかかるプリ
ント基板の外観の検査に限られるものではなく、パター
ンマスクの形状の検査等、複数のパターンが存在する部
材を画像処理してそのパターン認識を行い基準画像と比
較してその画像部分の正常か欠陥かを判断する全ての方
式に適用しうるものであることは明らかである。

まず本発明に係るパターン検査方法に使用するパターン
の認識技術つまり画像認識手段と画像処理方法について
基本的技術を説明する。

第３図（ａ）及び（ｂ）はプリント配線基板上に形成さ
れた代表的な配線パターンの例を示すものであり３０は
いづれもパッド又はランドと称されるものであって、今
回のパターン検査の対象としては特に考慮されてはいな
い。又３１はランドから延長された直線状の配線部分を
示し、３２は同様に一定の角度で屈曲された配線部分を
示している。

その他配線部分は直角状に屈曲した部分とか曲線状に湾
曲したものとか種々の形状をもつもので連続的に構成さ
れている。又各配線部分の幅もプリント板毎に異ってい
るが一つのプリント板内ではほぼ一定になるよう設計さ
れている。即ちプリント板の正常（良品）パターンは一
定のルールで描かれたものでありそれ等の各単位パター
ンが同一基板内で繰り返し発生ずる。

次にこのようなパターンが形成されているプリント板を
検査するに際し、前記したように適宜の走査手段を用い
てプリント板上のパターンをスキャンしてその画像をと
り込み、走査の時点時点においてその時のパターンの画
像を二値情報に変換して次でかかる二値情報から特定の
方向とその方向の長さを測長してそれを組合わせてパタ
ーンの形状を認識する各単位パターン毎のコードを作成
する。このように作成されたコード即ち数値化情報を適
宜のメモリーに格納された基準コード群つまり検査辞書
と比較して各々の単位パターン部が正常パターンか欠陥
パターンかを判断することになる。

このような従来の検査方法の概要を第４図に示しておく
。第４図はパターン検査装置の構成図である。レンズ４
２およびＣＣＤ４３からなるラインセンサが被検査試料
４０上を走査することにより、該試料上の配線パターン
４１が電気信号に変換される。

この信号は二値化回路４４により二値化された後、記憶
回路４５に格納される。記憶回路４５の出力は測長回路
４６に送られ、測長回路４６の出力は参照辞書記憶回路
４７又は比較判定回路４日に送られる。比較判定回路４
８は測長回路４６からのデータと参照辞書記憶回路４７
の内容との比較を行い、欠陥検出結果の出力４９として
出力する。

かかるパターンの画像情報を数値化し例えば二値化情報
に変換しかつ方向と長さの各情報を組み合せて各単位パ
ターンの形状をそれぞれ特定する数値情報とするつまり
コード化する方法は特に限定されるものではなく適宜の
方法を採用することが出来るが、代表的な数値化方法と
しては前述したように、特開昭６２−２６３４０４に記
載された方法を使用するものである。

即ち該公開公報に示されている方法は、検査すべきパタ
ーンを走査する際に、各測定地点においてまず中心点を
定め、該中心点から等角度に分けられた４方向又は８方
向におけるパターンの長さを測定し、その測定長を第５
図に示すような例えば３種の直径を有する同心円５１〜
５３を用いてショー　ト（ｓｈｏｒｔ（ｓ））　、コレ
クト　（Ｃｏｒｅｃ　ｔ　（Ｃ）　）、ロング（Ｌｏｎ
ｇ　（Ｌ）　）及びオーバー（Ｏｖｅｒ　（ＯＶ）　）
の４段階の判定を行うものである。

第５図の例では４方向にそのパターンの長さを測定する
例を示したものであって、０°の方向の長さは最小径の
円５１と中間径をもつ円５２との間にあるからＣと判断
され、４５°方向の長さは中間径をもつ円５２と最大径
をもつ円５３の中間にあるからしと判断され、９０°方
向は配線パターンの形成される方向と一致する故に無限
大となり当然最大径をもつ円５３より外側となるから０
■と判断される。

又１３５°の方向は４５°の方向と同じにＬと判断され
る。従って第５図の時点における単位パターンとしては
Ｃ，Ｌ、ＯＶ、Ｌという方向別の数値の組み合せとして
コード化されることになる。

この組み合せを例えば１２ビツトの情報としてメモリー
に記憶させかつ演算処理に使用する。

かかるコード化された情報が第６図（ａ）。

（ｂ）に示すように各地点地点でそれぞれ測定され、パ
ターンの形状が異なるごとに異なるコード化情報として
メモリー或はバッファー等に格納され蓄積される。

処で正常な配線であれば、同じような数値情報（つまり
コード情報）が連続して発生するのに対し第７図（ａ）
（ｂ）（ｃ）に示すような欠陥ツマターン部分が存在す
ると今まで発生していた数値情報とは異なる数値情報が
発生ずる。例えば第７図（ａ）においてはｓ、ｓ、ｏｖ
、ｓなるコードが発生し、又第７図（ｂ）ではｓ、ｓ、
ｓ、ｓなるコードとなり更に第７図（Ｃ）ではり、Ｃ，
ＯＶＣのようなコードとなることが考えられる。

かかる多種多様は数値情報を収集して適正な検査辞書を
作るには前述したように膨大なデータ処理と熟練者によ
る判断とが必要で検査辞書の作成には相当の時間が必要
であったのを改良するため本発明にあっては欠陥となる
パターンはランダムに発生ずるものであり、その発生頻
度は全体からみると非常に低くなることに着目したもの
であって、得られた画像パターンの数値情報（コード）
を収集・分析して同一コードの発生頻度を計算すること
により自動的に正常（発生頻度大）か欠陥（発生頻度小
）かを判定するという方法を採用したものである。

即ち本発明においては、１つの被検査プリント板のパタ
ーン全部検査し終ったのちに記憶回路に格納されている
各単位パターンのコード情報（数値化情報）をそのコー
ドの種類（少くとも４種類の数値の組み合せ）毎に分類
して発生頻度を計数し発生頻度別に並べると例えば第８
図のような分布図が得られる。

そこである所定の発生頻度数例えば１００個を基準Ｘと
して選定それ以上の頻度を有するコードをもつ単位パタ
ーンは正常パターンとして判断し、それを−たん検査用
辞書に正常パターンとして記憶させておく、この作業は
完全にハードウェアのみで適宜の演算手段を用いて自動
的に実行することが出来る。然しなから基準Ｘ以下の発
生頻度を有するコードをもつ単位パターンについては正
常か欠陥であるか自動的な判定が困難な場合が多いので
人間の判断を組み合せて正常か欠陥かの判断を行わせる
。つまり機械と人間とのコミュニケーションを利用して
より正確な検査辞書を作成しようとするものである。

かかるモードにおいては、未だ正常か欠陥かの判断がさ
れていないコード情報（数値情報）つまり未だ欠陥デー
タとして検査辞書に残されているもののうちからその発
生頻度の高いもの順に１つづつ指定してそのコードをも
つ単位パターンの一部又は全部を個別的に又は複数個ま
とめて適宜のパターン表示デイスプレー上に表示する。

これはコード情報が予め座標値を併せて記憶されている
ため、プロッター、ＣＲＴ画面等に容易に表示すること
が出来る。この場合には前記した計測点における計測値
１点のみを示すのではなくその計測点を包含する前後の
パターンを表示することによりそのコードを有する部分
周辺の形状を把握することが出来るので人間による判断
がやりやすくなる。この様な方法により表示された当該
コードを有する単位パターン部分を複数個人間が目視し
ながらそのパターンが正常か欠陥かを判断する。

この様な工程を一定数の発生頻度を示す他の基準値Ｙ（
例えば５）をもつコードまで個別にくり返して、正常と
判断されたものは上述したように正常の単位パターンと
して検査辞書に登録する。

そして最後まで欠陥として残ったものを検査用辞書の欠
陥パターンとして登録し、それを用いて本来のパターン
検査を実施するものである。

本発明において基準値Ｙをどの辺で決めるかは発生頻度
の極端に少なくなる特異のパターンの存在による。特異
パターンが含まれる場合はθ程度となり、含まれなけれ
ば発生頻度の少ないパターンは欠陥と定義できるため５
程度でよい。

ことになり、又５程度にすれば多少の欠陥は無視しても
検査を行うということになる。

以上本発明における基本的検査辞書作成方法について説
明したが、以下に本発明を実施するためのより詳細な具
体例を説明する。

第１図は本発明に係るパターン検査装置の原理図及び１
具体例を示すブロック図である。

パターンを走査して二値化された画像情報は第４図の二
値化回路４４に相当する二値化画像パターン形成回路９
から画像計測部１に入力される。かかる画像計測部ｌで
は入力された二値化データからパターンを走査の所定間
隔毎にその場所での方向と長さとを求め単にパターン形
状を計測する手段と計測された該単位パターン形状を所
定の条件に従って数値情報（コード情報）に変換する手
段とを含んでいる。

次で該数値情報（コード情報）はメモリーバッファー或
はレジスターの機能を有する数値情報収集部である記憶
手段２に格納される。

該記憶手段は記憶に際して全ての数値情報を例えば欠陥
情報（Ｂ＾０）として登録することも出来るし又、後述
するように検査用辞書の正常辞占部に正常情報（ＧＯＯ
Ｄ）として登録されている数値情報を除外して欠陥情報
である残りの数値情報を記憶登録するようにしておくこ
とも出来る。

前者の場合は特に後述する検査用辞書７において入力さ
れる数値情報は全て欠陥情報（ＢＡＤ）であると登録し
ておくことにより後述する比較器８との比較操作によっ
て全てを記憶することが出来る。

次に該記憶手段に記憶された数値情報を同一の単位パタ
ーン形状を表すそれぞれの数値情報毎に分類し、その各
々について発生頻度を計数する発生頻度計数手段３及び
該発生頻度計数手段３により分類された該単位パターン
形状毎の該発生頻度を所定の基準値と比較して正常情報
か欠陥情報かを判断する手段４とが設けられている。

上記正常／欠陥判断手段により正常と判断された単位パ
ターンを表わす数値情報（コード情報）を不揮発性メモ
リ等からなる辞書データ作成部５及び辞占書き換部６を
介してＲＡＭ等からなる検査辞書７の正常辞書部に登録
する。かかる登録は前述したように全ての数値情報が欠
陥情報として登録されているので当該数値情報を正常と
して書きかえることにより実行される。即ち欠陥辞書を
更新するのである。この際前記記憶部２のバッファーに
記憶されている当該正常情報に該当する数値情報は消去
しておくことも可能である。

このようにして検査用辞書７に正常情報が登録された正
常辞書と前述のように予め欠陥と指定されている欠陥情
報が登録されている欠陥辞書部とが形成される。従って
次の繰り返し工程で画像計測部から単位パターンについ
ての数値情報が入力された時には比較器８の作用によっ
て正常辞書に登録された単位パターンを示す数値情報は
記憶されることなく除外され欠陥辞書に登録されている
数値情報のみが記憶され０行くことになる。

つまり所定のプリント板の全体を検査する場合に前述し
た通り膨大なデータが発生ずるため膨大な容量をもつメ
モリーを用いるごとになるが、これでは経済性に不適と
なるためある限られた容量のメモリーを用いることにな
らざるを得ない。この場合にも本発明は極めて有用な効
果を発揮するのである。

即ち本発明において１つのプリント板を一方向に短冊に
区割けしてその一方端部の短冊状区域の上端又は下端か
ら他方端へ検査のためにスキャンを行い、次で隣りの短
冊状区域を走査するようにして順次走査を行って全面を
走査するものである。

かかる装置を用いた検査方法の例を第２図のフローチャ
ートに従って説明すると、第１図のスタート時は前記し
たようにまず検査辞書を入力される全ての数値情報に対
し欠陥情報となるように指定しておく（ステップａ）、
従って画像計測部ｌからの数値情報は全てが記憶部２に
格納されるのでスタートシだ後（ステップｂ）すぐにバ
ッファーは−ばいとなり、その時点で−たん検査操作は
終了する（ステップＣ）。つまり第１回目の検査しうる
領域は極めて小さい。ここで前記したように欠陥情報（
全ての情報）を発生頻度計数部３に送り（ステップｄ）
発生頻度を所定の基準値と比較して正常か欠陥かを判定
する（ステップｅ）操作を実行させ正常情報と判断され
るものを正常辞書に登録（ステップｎ）後、その終了地
点から第２回目の検査操作をスタートさせる（ステップ
ｂにもどる）。この時は比較器８の作用によりて正常辞
書に登録されている単位パターンを示す数値情報は記憶
部２には入力されることがなく、又前回入力されていた
同一数値情報は消去されているので、かなり多くの数値
情報を該記憶部２に格納することが出来る。換言すれば
第２回目の検査領域は第１回のそれより大幅に拡大され
る。又、第２回目の操作においては、第１回目の操作で
発生頻度が所定値より低いため欠陥情報として検査辞書
の欠陥辞書に残されている数値情報に関してはそのまま
累積されて行くため、前記所定基準値Ｘを越えることも
ありうる。従ってこの発生頻度が所定値Ｘを越えたもの
について前記と同様ステップｄ、ｅ適用して正常情報と
して正常辞書に書きかえ登録し、正常情報を増して行く
。

このようにしてプリン）　ｔｆｆｉ全面の検査が終了す
るまで上記操作がｎ回繰返される。この時点てはこれ以
上検査を繰り返しても新しい数値情報は発生しない状態
となりここで検査は終了する。（ステップｆ） この時点で欠陥辞書に残された数値情報につい゛ζ前記
発生頻度の基準値Ｘをこえるものがなければ検査を終了
し、残された数値情報を欠陥情報の候補とする。

かかる候補データは、機械による自動演算処理によって
は正常か欠陥かの判別がつけ難い分野のものであるので
、これを更に減らしてより正確な検査辞書を作成するた
め次の検査モードを実行する。即ちこの欠陥候補のコー
ドから発生頻度の高い順に１つずつ選択し、このコード
のみを欠陥とした辞書を作成し検査を行う。この時の欠
陥となる箇所の画像を人間が確認しながら正常か欠陥か
の判別を行うものである。

より具体的に説明すると、まず該記憶手段に残されてい
る該欠陥情報と判断された該単位パターン形状の内から
発生頻度の一番高い単位パターン形状を示す数値情報の
みを欠陥情報として欠陥辞書に登録する。（ステップｇ
） このステップは既に検査辞書にあるデータを利用しても
良い。

次で検査を開始（ステップｈ）して当該数値情報をもつ
単位パターンを一部もしくは全部適宜のダイスプレー上
に表示する（ステップｉ）。次で作業員が該表示手段に
表示された該単位パターン形状について正常情報か欠陥
情報かを選択判断しくステ・ンプｊ）欠陥情報と判断さ
れた当該単位パターン形状に関する数値情報を欠陥辞書
に登録する工程（ステップｋ）を実行するとともに正常
と判断されたものは正常辞書に登録（ステップ０）する
。

次でステップｇにもどり次に発生頻度の多い数値情報に
ついて同様の操作を繰り返す。かかる操作は該表示、選
択工程を該記憶手段に残されている該欠陥情報と判断さ
れた該単位パターン形状で所定の基準７以上の発生頻度
を有する該単位パターン形状の全てについて繰り返ス。

このようにして最後まで記憶手段２及び欠陥辞書に残さ
れた数値情報が正式な欠陥情報となりこれが検査用辞書
の内容となるのであり、これを用い°ζ実際のプリント
板検査が実行されることになる。

〔効　果〕

多品種のプリント板を検査するためには、それぞれのパ
ターンに最適な検査基準があり、検査を行うための検査
辞書もそれぞれに最適なものが要求される。

本発明によれば、この辞書を作成する場合、装置臼らが
自動的に検査辞書の大分部を作成することにより、大幅
な作成時間の短縮を図ることが可能となる。また、専門
的な回路知識を持たないものであっても容易に検査辞書
を作成することを可能とする効果を有する。又本発明に
おける検査辞書の作成において判断の微妙な部分、即ち
グレイ部分を人間と機械とのコミュニケーションを導入
し゛Ｃ対話式に判断を実行させるものであるから、極め
°ζ正確な検査辞書が専門的な回路知識を持たない作業
員であっても容易に且つ短時間に作成することが可能と
なる。

又、本発明に於いては、パターンを数値情報に変換した
コード化情報を記憶しておくメモリ或いはバッファの容
量をそれほど大きくしなくとも短時間で検査辞書を作成
しうるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るパターン検査装置の原理を説明す
ると共に本発明を実施するための１具体例を示すもので
ある。 第２図は本発明に係るパターン検査方法を実施するため
のフローチャートを示すものである。 第３図はパターン形状の例を示す図である。 第４図は従来のパターン検査装置の一例を示す図である
。 第５図は従来のパターン検査方法に於ける単位パターン
形状を数値情報化する方法の例を示す図である。 第６図は第３図のパターン形状に第５図の数値情報化手
段を適用した図である。 第７図は欠陥部分を有する単位パターンの例を示す図で
ある。 第８図は単位パターンを表す数値情報（コード情報）と
発止頻度を表ず図ごある。 １・・・パターン形状計測手段及び数値情報変換手段、 ２・・・記憶手段、　　　　３・・・発生頻度計数手段
、４・・・正常情報か欠陥情報かの判断手段、５・・・
辞書データ作成部、 ６・・・辞書書き換部、　　７・・・検査辞書、８・・
・比較器、 ９・・・二値化画像パターン形成回路、３０・・・パッ
ド部、　　　　３１・・・配線部、４０・・・被検査試
料（プリント板）、４１・・・配線パターン、　　４２
・・・レンズ、４３・・・ＣＣＤ、　　　　　４４・・
・二値化回路、４５・・・記憶回路、　　　　４６・・
・測長回路、４７・・・辞書記憶回路、　　４８・・・
比較回路、４９・・・出力回路。 （ａ） （ｂ） ４］ 従来のパターン検査装置の構成を示す図第４図 単位パターン形状を数値情報化する方法の例を示す因ｙ
５図 各パターンに第５図の数値情報化手段を適用した倒を示
す図（ａ）　　　　　　　　　　　　　（ｃ）欠陥部を
有する単位パターン形状の計測状況を示す因Ｌ７図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. １．パターンを走査する手段、 パターンを走査しつつ所定間隔毎にその場所での単位パ
   ターン形状を計測する手段、 計測された該単位パターン形状を所定の条件に従って数
   値情報に変換する手段、 該数値情報の全て若しくは予め正常辞書に登録されてい
   る情報を除いて記憶しておく記憶手段、該記憶手段に記
   憶された数値情報を同一の単位パターン形状を表すそれ
   ぞれの数値情報毎に分類し、その各々について発生頻度
   を計数する発生頻度計数手段、 分類された該単位パターン形状毎の該発生頻度を所定基
   準値と比較して正常情報か欠陥情報かを判断する手段、 該正常情報を正常辞書に登録する手段、 欠陥情報と判断された該単位パターン形状の１つを表示
   する表示手段、 表示手段に表示された該単位パターン形状について正常
   情報か欠陥情報かを選択する選択手段、該選択手段によ
   り欠陥情報と判断された当該単位パターン形状に関する
   数値情報を欠陥辞書に登録する手段、 該欠陥辞書を用いて検査用パターンを検査する手段、 とから構成されている事を特徴とするパターン検査装置
   。
2. ２．検査用パターンの１部の領域のパターンを走査しな
   がら所定間隔毎にその場所での単位パターン形状を計測
   する工程、 計測された該単位パターン形状を所定の条件に従って数
   値情報に変換する工程、 該数値情報を全て欠陥情報として記憶手段に記憶してお
   く工程、 該記憶手段に記憶された数値情報を同一の単位パターン
   形状を表するそれぞれの数値情報毎に分類し、その各々
   について発生頻度を計数する工程、分類された該単位パ
   ターン形状毎の該発生頻度を所定の基準値と比較して正
   常情報か欠陥情報かを判断し、該正常情報を正常辞書に
   登録する工程、前記領域に隣接する他の領域について該
   正常辞書に登録された正常情報を除き該数値情報を欠陥
   情報として記憶手段に記憶させる条件の下で前記各工程
   を繰り返す工程、 検査用パターンの全ての領域に関して前記各工程が繰り
   返された後に、欠陥情報として残された該情報を該記憶
   手段に残しておく工程、 該記憶手段に残されている該欠陥情報と判断された該単
   位パターン形状の内から発生頻度の高い単位パターン形
   状から順番に個別に表示手段に表示する表示工程、 該表示手段に表示された該単位パターン形状について正
   常情報か欠陥情報かを選択し、欠陥情報と判断された当
   該単位パターン形状に関する数値情報を欠陥辞書に登録
   する工程、 該表示、選択工程を該記憶手段に残されている該欠陥情
   報と判断された該単位パターン形状で所定の基準以上の
   発生頻度を有する該単位パターン形状の全てについて繰
   り返す工程、 該欠陥辞書を使用して検査用パターンを検査する工程、 とから構成されている事を特徴とするパターン検査方法
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