JPH03194501A - 防曇処理された無機コート膜およびその防曇処理法 - Google Patents

防曇処理された無機コート膜およびその防曇処理法

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JPH03194501A
JPH03194501A JP1335532A JP33553289A JPH03194501A JP H03194501 A JPH03194501 A JP H03194501A JP 1335532 A JP1335532 A JP 1335532A JP 33553289 A JP33553289 A JP 33553289A JP H03194501 A JPH03194501 A JP H03194501A
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inorganic
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lens
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Junji Kawashima
川嶋 淳史
Hideaki Umezaki
梅嵜 秀明
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Seiko Epson Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野J 本発明は、防曇処理された無機コート膜およびその防記
曇処理法に関する。
更には、真空蒸着等により多層膜による反射防止加工さ
れた基材の防曇処理方法に関する。
更には、量りのつきにくい反射防止膜を有する眼鏡レン
ズに関する。
【発明の概要J 本発明は、無機コート膜の防記曇処理法において、該コ
ート膜に親水性のモノマーを含浸させた後に、重合させ
る事により該コート膜の水に対する濡れ性を向上させる
ことにより基材を防曇化するものである。
[従来の技術1 本発明で述べる無機コート膜とは、真空蒸着法、イオン
ブレーティング法、スパックリング法などによって得ら
れるものを指すものである。このようにして得られる無
機コート膜は、一般に複数の薄膜を積層することにより
反射防止効果やあるいは赤外線遮断等、光の干渉を利用
した光学機能を引出す為に用いられている。そして、眼
鏡、レンズ等光学材料の反射防止膜やハードコート膜等
各f!機能性肋に広く用いられている。
特に、眼鏡レンズでは、寒い外から暖かい部屋に入った
ときによく経験する事象であるが、眼鏡が云って、−瞬
前方の視野が確保できなくなり不愉快であるばかりでな
く危険でもある。
近年、眼鏡レンズは1反射防止レンズが、−鍜化してい
るが、この反射防止性能は、本発明に述べるように無機
コート膜により得られるものである。詳しく述べれば、
真空蓋@法により、いくつかの金属酸化物を膜厚を制御
し幾層にも積層して得るものである0反射防止の理屈は
、可視光が各薄膜間を通過する際に各薄膜の屈折率の差
に起因し発生する光の反射を干渉させることによる。従
って、反射防止機能を保持するには、膜厚が無視出来る
程少ないものでないと問題が発生することは明白である
次に、防記曇処理法に関して従来の技術について述べる
。曾りの発生は、環境の温度差により光学材料表面に水
滴が細かく付着して生ずるもので、材享4の透過率が低
下するという問題を惹起する。
そこで、量りの抑制のために、基材表面を親水化するこ
とに着目して、いくつかのものが開発されている。特に
、透明材料の量り止め処理は、重要で、従来より用途に
応じて種々開発されてきた。例えば、眼鏡用あるいは車
のガラス用には界面活性剤を主成分とする溶液が、−り
止め剤として市販されている。また、恒久的に防曇効果
を得るための方法もいくつか提案されている0例えば、
特開昭57−72856号には、微粒子状シノカとポリ
ビニルアルコールよりなるコーティング剤が、また特開
昭57−73059号には、微粒子状シリカとポリビニ
ルアルコールと特定の有機ケイ素化合物よりなるコーテ
ィング剤が開示されている。また、無機ガラスの防曇処
理では、表面の硫酸処理や、アルカリ処理が知られてい
る。
また、プラスチック素材に関してはプラズマ放電やコロ
ナ放電処理、あるいは、プラスチック表面への親水性七
ツマ−のグラフト重合による親水化処理法(工業材料、
第31巻、第7号、61〜69頁)などが提案されてい
る。
また、この他に、反応性ガスを基材に接触させて、必要
に応じてプラズマ等により活性化させて、基材の表面を
代λる方法が開示されている。
また、反対に、フッ素材料や、ジメチルシロキサン系コ
ーティング剤等の清水処理により、表面を疎水性とし、
伝りの原因である微少な水滴粒の付着を抑える方法が提
案されている。
[発明が解決しようとする課題1 しかし、無機コート膿の防曇処理方法として、従来の方
法では次に述べる問題点を有する。
即ち、界面活性剤等の量り止め溶液による処理は一次的
には効果があるが、−度湿潤すると成分が流れ出し、ま
た表面が湿っており汚れの付着が問題である。
次に、シリコン系の防曇処理コーティングは膜厚を数μ
必要とする。一方、先に、無機コート膜の反射防止の理
屈に関して述べたように、この厚さでは反射防止膜の光
学特性が失われ、使用できない。
次に、プラズマ放電やコロナ放電処理では5プラスチツ
ク材料には効果が確認されているが、本来有機物への反
応であり、本発明の無機コート膜表面に防曇効果を与え
る事は不可能である。また、表面へのグラフト重合につ
いてもこれと同じ理由で本発明の無機コート1mには適
用できない。
この他、アルカリ処理は効果があるが、基材表面は、大
気中では1表面の親木基が減少するのに加λて油脂など
の汚れが付着し易(効果は一時的である。
また、不活性ガス雰囲気中あるいは大気中で該モノマー
ガスをコート膜と反応させる方法では得られたコート膜
の防曇膜の耐久性が充分ではないため実用上問題である
また、反対に、表面を疎水性とする方法では、曇り発生
の水滴粒子は非常に小さいため、重力なと脱離の為に働
く力より付着力が上回り、実質的に効果が無い状況であ
る。
以上述べたように、無機コート膜について、有効な防記
曇処理法は、得られていないのが実状であ机 そこで、本発明は、無機コート膜を有する透明材料の大
気中の水の結露による曇り発生を長期にわたって持続的
におさえる防記曇処理法を提供することを課題として鋭
意検討を行った結果到達したものである。
即ち、その目的とするところは、良好な無機コート膜表
面の防記曇処理法、及び防曇処理された無機コート膜な
提供するものである。
「課題を解決するための手段] 本発明の防曇処理された無機コート膜は、無機コート膜
の表面に、該コート膜構造の微細間隙中に侵入した親水
性ポリマー化合物末端が露出しており、表面の水の接触
角が50度以下であることを特徴とするものである。
ここで、本発明の無機コート膜について説明する。この
コート膜は、真空蒸着あるいはイオンスパッタリング等
の従来公知の方法に従って施したコート薄膜をさす、更
には、コーティング時の温度が次に述べる蒸発材料の融
点以下、好ましくは、200℃以下の温度でコーティン
グ処理したものに対し、本発明が有効である。あるいは
、無機コート膜が、均質な層で光学的に透明であるが微
細構造において多孔質性で重合用モノマーの拡散の可能
な構造であることが必要である。このような条件から考
えて、用途は高温蒸着が出来ない2J、板をもちいた場
合、特に、無機反射防止膜を有するプラスチックレンズ
にたいして有用である。
この無機コート膜を作成するためのコーティング用蒸発
材料としては例えば、SiOx、Si0、 AlxOx
、ZrOx、Ti0i、MgF2 、Crow 、Ta
x Ox 、WOs等の金属酸化物、フッ化物等の無機
材料が用いられるが、反応性の点から、特に、5iOa
膿、SiO膜、S i Oll*Xl  (1<x<2
)で表わされる膜が有効である。
ここで、防曇効果は、モデル実験の結果、水に対する接
触角が、50度以下であることが重要であることがわか
った。即ち、50度以上では、防曇効果は充分でないた
め、基材が冷たい場所から、相対的に温度が高く、且つ
環境の相対温度が基材の結露点より高いケースでは、基
材表面、つまり、無機コート膜表面に結露による微少な
水滴の付着による量りが発生し、光学機能に異常をきた
す。
次に、親水性ポリマーについて述べる。該ポリマーは、
ポリマー鎖あるいは側鎖に、水酸基、カルボニル基、カ
ルボキシル基、チオール基、チオカルボキシル基、アミ
ノ基、アミド基、イミド基スルホニル基等の極性基また
はイオン性基からなる親木基を含有する化合物である。
このポリマーの原料となる親水性モノマーは、分子骨格
に親水性の基と重合性の基を有し、また比較的重合し易
いモノマーが適している。
例示すれば、 アクリル酸、 メタクリル酸、 2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2.3−
ジヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、 N−ビニル−2−ピロリドン、 アクリルアミド。
N、N−ジメチルアクリルアミド 等が挙げられる。なお、本明細書中、化合物乞の(メタ
)アクリレートとは、メタクリレート及び、アクリレー
トの何れかを示すこととする。ここで、特に、アクリル
アミドおよび、N、N−ジメチルアクリルアミドは、重
合性と親水性が優れた千ツマ−である。
次に、本発明の特徴をなす防曇処理プロセスについて記
載する。
即ち、無機コート膜の防記曇処理法において。
0)親水性モノマー化合物を成分とする溶液を基材と接
触させ、 b)該千ツマ−を基材に含浸させ、 C)基材に含浸させた該モノマーを重合させることによ
り、基材表面を親水性とすることを特徴とするものであ
る。
ここで、親木性モノマー化合物を成分とする溶液とは、
さきに述べた親水性のモノマーの一種または二種以上を
主成分とし、必要に応じて架橋剤や、親水性でない重合
性の千ツマ−を含むことが可能である。これらのモノマ
ーは、−Hに知られているメタアクリレートやアクリレ
ート類、ビニル化合物等がある。架橋剤としては、 エチリングリコールジ(メタ)アクリレ−+−。
ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレト テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート。
ブロビレングリコールジ(メタ)アクリレート ブタンジ才−ルジ(メタ)アクリレート、ペンクエリス
リトールジ(メタ)アクリレート等のジ(メタ)アクリ
レート類や、 トリメチロールプロパン、 ペンクエリスリトール 等の多価アルコールと(メタ)アクリル酸との多価エス
テル等が挙げられる。
また、塗布法に応じて、溶剤やレベリング剤を加^たり
、重合反応促進のためラジカル重合開始剤や光重合開始
剤及び光増感剤を加えるとよい。
このラジカル重合開始剤は、例えば。
ベンゾイルパーオキサイド、 ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、t−ブチル
パーオキシ−2−エチルヘキサノエート。
t−ブチルパーオキシビバレート、 t−ブチルパーオキシジイソブチレート、t−プチルパ
ーオキシイソブロビルカーボネ−− ラウロイルバーオキサイド、 アゾビスイソブチロニトリル、 アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)等が挙げ
られる。また、光重合開始剤では、ベンゾインエーテル
等が挙げられる。これらの開始剤の使用量は、使用する
モノマーに対し、0.01〜2重■パーセントが望まし
い。
また、溶剤としては、七ツマー成分が充分溶解すること
、基材を充分濡らすことが出来るものを任意に選択でき
る。例示すれば。
メタノール イソプロピルアルコール、 エタノール、 アセトン。
トルエン、 セロソルブ類、 塩化メチレン、 トリクロロエチレン、 テトラヒドロフラン 等を挙げられる。
モノマーの1度は、特に限定するものでは無いが、0.
1重量%〜10重量%で、コーティング(8液の粘度が
、0.1がら1oセンチボイズのものが適当である。
このようにして得られる溶液を基材にコーティングした
のち、室温あるいは加熱下、充分に含浸する時間放置す
る。このコーティングと含浸の操作は同時に行ってもよ
く、その時は、適度な時間の浸漬を行う、含浸させるた
めの時間は、千ツマ−によって設定するべきであるが、
1分ないし30分の間が望ましい0次に、余分な液を、
遠心法あるいは、自然落下乾燥等により取り除いた後、
基材に含浸させた該モノマーを重合させることにより、
基材表面を親水性とすることができる。
重合方法は、コート膿の特性に影響を与えない程度の加
熱、あるいは、コロナ放電、紫外線、プラズマ等照射あ
るいは、オゾン雰囲気下にて、重合反応をさせる。更に
は、先はど述べたラジカル重合開始剤や、酸化剤を加え
ることにより反応を促進することも有用である。
なお、本処理において、重合操作前あるいは、重合後、
コート膜との付着の弱いポリマー、オリゴマーや反応に
寄与できなかった未反応モノマーを洗浄により洗い流す
ことにより、処理前と反射防止特性などの外観が変わら
ない処理を行うことができる。
本処理を行うに際して、すでに、基材上に存在している
コート膜の性質、密着性、耐久性を低下させずに処理を
行う必要がある。その為には、密着性、耐久性を低下さ
せない温度及び環境で、かつ反射防止等の分光特性に影
響を与えないなど、膿全体に影響を与えない程度の厚さ
の処理が望ましい。
本表面処理の前処理として、無機コート膜表面に、洗浄
、薬品処理、プラズマ処理を行うとより効果的である。
この、洗浄用溶剤としては、先に述べたモノマー溶解用
の溶剤の他、ジメチルホルムアミド等のポリマー溶解用
の有機溶剤も使用できる。
[作 用J 本発明は、親水性部分を表面にもつため、表面の水の接
触角が低下することにより、細かい水滴が発生しにくく
なり光の乱反射による量りの現象を防げることが出来る
ものである。
無機コート膜、特に、微細空隙を有する蒸着やイオンス
パッタで形成するコート膜中に、親水性ポリマーが一部
侵入した形で重合形成されているため、隔置処理機能部
分が脱離しにく(充分な耐久性を得ることが出来た。特
に、従来は、親水性材料を含浸させていたのにたいし、
本発明では、微細空間内への浸透力の強いモノマー段階
で含浸させ、後に、ラジカル重合や光重合あるいは、酸
化による重合物形成をさせることにより効果を出すこと
が出来る。
〔実 施 例1 以下実施例に基づき本発明の詳細な説明するが本発明は
これらに限定されるもの°ではない、なお実施例中、部
は重量部を示す、また、えは1反射防止膜設計の光の波
長を示す。
夫丘皿−ユ 防曇処理用反応液は、次の手順で調整した。即ち、アク
リルアミド 2部、イオン交換水 98部、アゾビスイ
ソブチロニトリル 0.1部、界面活性剤 0.02部
を加え、均一な水溶液とし、コーティング反応液とした
基材として反射防止コート膜を有するプラスチックレン
ズは次の様にして作成した。
ジエチレングリコールビス(アリルカーボネート)製樹
脂からなる合成樹脂製レンズをアセトンで洗浄し、その
後真空蒸着法により基板温度50°Cで合成樹脂性レン
ズ表面に反射防止処理を行なった。反射防止膜の構成は
レンズから5iO=がん/4、Zrox層とSi0g層
の合計膜厚がλ/4、Z r O*がλ/4、最上層の
S i Ow層がん/4とした。
次にこのレンズをイソプロピルアルコールで洗浄し、十
分乾燥させた後、液温15℃で、先のコーテイング液に
、1分間浸漬した。その後、湿度60%、温度25℃の
雰囲気中で、1cm/分の速度でレンズを引き上げた。
引き上げ後、窒素気流中、高圧水銀灯゛を用いて、紫外
線照射と50℃まで加熱を行った。その後、トリクロロ
エチレンにより洗浄を行なった。洗浄後のレンズの外観
、反射防止特性に、大きな変化はみられなかった。
得られたコート膜の評価方法は以下に示す方法を用いた
■ 防曇性:20℃に保管したサンプルを、−気に、温
度40℃、温度90%保った環境中に移し、表面の曇り
発生を目視観察する。この量り方を、次の4段階に分け
て評価する。即ち、0・・全熱量らないもの ○・・15秒後に曇りが消える Δ・・2分後に曇りが消える ×・・2分経っても曇りが消えない ■ 耐久性:コート膜表面を布で1kgの荷重をかけ、
500回摩擦した後、防曇性の低下の程度を、■と同様
に評価した。
(■ 密着性、30°Cの純水に1週間浸漬した後、コ
ート膜の密着性を調べた。コート膜の密着性は、JIS
D−0202に準じてクロスカットテープ試験によって
行った。即ち、ナイフを用い、レンズ表面に1mm間閘
に切れ目を入れ、1 mm”のマス目を100個形成さ
せる6次に、その上へセロファン粘着テープ(日東化学
(へ製部品名°°セロテープ)を強くおしつけた後、基
材に直角方向へ、急に引っ張り剥離したのち、全然剥が
れないものを○、剥がれ部の発生するものを×とし、た
■ 接触角:接触角計(協和科学株式会社製 CA−D
型)を用いて液適法により測定し、水の接触角を度で示
した。
これらの評価試験の結果を、第−表に示した。
夫五皿−ユ 防曇処理用反応液は、次の手順で調整した。即ち、N、
N−ジメチルアクリルアミド 2部、メタノール 98
部、ベンゾインメチルエーテル0.01部、シリコン系
界面活性剤 0.02部を加え、均一な水溶液を作成し
、これをコーテイング液とした。
処理される基材は次のようにして作成した。即ち、クラ
ウンガラスからなるレンズ表面に、レンズからA1.0
.をλ/4の厚さでアルゴンプラズマ中でイオンブレー
ティングした後、Cry。
をえ/2で真空蒸着し、その上にM g F zをえ/
4の厚さにアルゴンプラズマ中でイオンブレーティング
して反射防止層を形成した。この様にして円られたレン
ズを、純水で洗浄後、充分に水を切り乾燥させた。その
後、先に調整したコーテイング液にレンズを1分間浸漬
した。浸漬後、10cm/分の割合でレンズを引き上げ
、30℃で30分間予備硬化させた後、実施例1と同様
にして重合反応を行った。続いて、アセトンで手拭き洗
浄し表面の余分な反応物を取り除いた。洗浄後の外観は
処理前とほとんど変化がなかった。
このレンズを、実施例1と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
夫五」L−1 防曇処理用反応液は1次の手順で調整した。即ち、2−
ヒドロキシエチルメタクリレート  1部、グリシジル
メタクリレート 05部、NN−ジメチルアクリルアミ
ド 0.5部、50%エタノール水溶液 98部、過塩
素酸アンモニウム 0.005部、界面活性剤 0.0
2部を加え、均一な水?8液とし、コーテイング液とし
た。
次に、用いる基材は、実施例1において最上層の810
2層を形成後、5iOi表面をアルゴンガスプラズマで
1分間表面処理を行なったプラスデックレンズを用い、
先に調整したコーテイング液をスピンコーティングによ
り、塗布した。その後レンズを30℃で30分間予備硬
化させた後、テトラヒドロフランにより洗浄を行なった
。つづいて、40″Cの唄墳下、電子線昭射を行い重合
させた。洗浄後、外観は処理前とほとんど変化がなかっ
た。
このレンズを、実施例1と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
よffi 防曇処理用反応液は、次の手順で調整した。即ち、2−
ヒドロキシエチルアクリレート 1部、N、N−ジメチ
ルアクリルアミド 0 5部。
50%エタノール水溶液 198部、アゾビス(2,4
−ジメチルバレロニトリル) 001部、ポリエチレン
グリコール系界面活性剤 002部を加λ、均一な水溶
液とし、コーテイング液とした。
続いて、基材となるプラスチックレンズは、実施例Iに
おいて最上層のSin、層を形成後、Sin、表面をア
ルゴンガスプラズマで1分間表面処理を行なったものを
用い、このレンズを、先のコーテイング液中に浸漬し充
分脱気した後、40℃で30分間さらに、60℃で1時
間加温し重合反応させた。その後レンズを大気中に取り
出して、水洗したのち、アセトンで拭きあげた。
このレンズを、実施例1と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
犬丘豊−1 イソプロピルアルコールで洗浄されたジエチレングリコ
ールビス(アリルカーボネート)製レンズを室温で5分
間、5%水酸化ナトリウム水溶液で処理を行い、以下に
述べるハードコーティング液を、ディッピング法により
、液温5℃、引き上げ速度30 c m 7分の条件で
塗布した0次に熱風乾燥炉中で50℃で30分、130
℃で2時間加熱硬化させた。
ハードコーティング液は次の様にして作成した。#I汎
装置を備えた反応溶液中にメチルセロソルブ200部、
エタノール分散コロイダルシリカ400部(固形分濃度
30%)、て−グリシドキシプロビルトリメトキシシラ
ン 238部、シリコン系界面活性剤 0.05部(日
本ユニカー(掬製商品名” L −7604°゛)及び
0.05Nfg酸水 18部を加え、室温で5時間攪汎
をし、コーテイング液とした。
上記の様にして得られたレンズに実施例1に記載した条
件で反射防止処理を行ない、その後、実施例1と同様に
して防曇処理レンズを得た。
このレンズは、防曇性の他、耐擦傷性が特に優れるレン
ズであった。
このレンズを、実施例1と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
L里五−玉 防曇処理用反応液は、次の手順で調整した。即ち、ペン
タエリスリトールのテトラアクリレート及び、トリアク
リレートの混合物 0.5部。
N、N−ジメチルアクリルアミド 1.5部、イソプロ
ピルアルコール 50部、メタノール48部、ベンゾイ
ンメチルエーテル 0.001部、シリコン系界面活性
剤 0.02部を加え、均一な水溶液を作成し、これを
コーテイング液とした。
実施例5のハードコート及び反射防止膜を有するプラス
チックレンズを用い、このコーテイング液を塗布した後
、低圧水銀灯照射を行い、オゾン共存下で重合を行った
。実施例1と同様に洗浄を行い、外観の良好なレンズを
得た。
このレンズを、実施例2と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
嵐較五−ユ 実施例1で得られた防曇処理前の反射防止つき合成樹脂
製レンズを比較例1とした。
このレンズを、実施例1と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
え較五−ユ 実施例2で得られた防曇処理前の反射防止膜つきクラウ
ンガラスレンズを比較例2とした。
このレンズを、実施例1と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
工狡皿−ユ 実施例5で得られた防曇処理を行う前の反射防止膜つき
合成樹脂製レンズを比較例3とした。
このレンズを、実施例1と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
L枚奥−1 実施例5において、防曇処理剤として、界面活性剤より
なる市販の社り止め剤(商品名゛°めがねクリンビュー
“)を用いて、防曇処理を行った。
このものは非常に優れた防曇効果を示したが、数回使用
すると効果が著しく低下した。
このレンズを、実施例1と同様にして評価試験を行い、
その結果を第−表に示した。
第−表 〔発明の効果〕 本発明によって、無機コート膜の表面を親水性にするこ
とにより、基材を防御性とすることが出来る6更に、表
面の親水性で電気伝導度が上がるため、表面の帯電防止
性が発現し、コート膜表面にホコリ等がつき難くなる効
果もある。
更には、表面の水濡れ性が向上することにより、油脂分
の付着汚れがなくなり、また付着したゴミなどは、容易
に水洗浄で取り除ける。
本発明は、無機コート膜とりわけ真空挟着法やイオンス
パッタリング法等により形成されるところの反射防止膜
、赤外線反射躾、ハードコート膜、導電性薄膜等の機能
薄膜を有する光学部材に応用できる。特に、反射防止膜
を有する眼鏡に適用することにより、レンズの量りによ
る不快感が軽減され視野を良好に保つことが出来るなど
、本発明の効果が発揮できる。
特に1本発明は、プラスチックレンズの反射防止膜に対
して非常に適している。
更に1本発明は、ガラス製眼鏡レンズ、カメラレンズ、
表示用パネル、時計用カバーガラス、窓ガラス等無機コ
ート膜を使用した製品全般に応用できる。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)無機コート膜の表面に、該コート膜構造の微細間
    隙中に侵入した親水性ポリマー化合物末端が露出してお
    り、表面の水の接触角が50度以下であることを特徴と
    する防曇処理された無機コート膜。
  2. (2)前記無機コート膜が、真空蒸着により形成されて
    なる反射防止膜であることを特徴とする請求項1記載の
    防曇処理された無機コート膜。
  3. (3)無機コート膜の防曇処理法において、 a)親水性モノマー化合物を成分とする溶液を基材と接
    触させ、 b)該モノマーを基材に含浸させ、 c)基材に含浸させた該モノマーを重合させることによ
    り、基材表面を親水性とすることを特徴とする防曇処理
    された無機コート膜の防記曇処理法。
  4. (4)前記無機コート膜が、真空蒸着により形成されて
    なる反射防止膜であることを特徴とする請求項3記載の
    防曇処理された無機コート膜の防曇処理法。
JP1335532A 1989-12-25 1989-12-25 防曇処理された無機コート膜およびその防曇処理法 Pending JPH03194501A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007332174A (ja) * 2006-06-12 2007-12-27 Toto Ltd 防曇性コーティング組成物およびそれを用いた防曇性被膜の製造方法
JP2021119419A (ja) * 2017-09-25 2021-08-12 マクセル株式会社 レンズユニットおよびカメラモジュール

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