JPH0319456B2 - - Google Patents
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- JPH0319456B2 JPH0319456B2 JP61046808A JP4680886A JPH0319456B2 JP H0319456 B2 JPH0319456 B2 JP H0319456B2 JP 61046808 A JP61046808 A JP 61046808A JP 4680886 A JP4680886 A JP 4680886A JP H0319456 B2 JPH0319456 B2 JP H0319456B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- space
- clean
- unit
- clean unit
- cleanliness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
この発明は、生産装置などを収納する空間を高
い空気清浄度に維持するクリーンユニツトのクリ
ーンゾーンを拡張するクリーンユニツトの拡張方
法に関する。
い空気清浄度に維持するクリーンユニツトのクリ
ーンゾーンを拡張するクリーンユニツトの拡張方
法に関する。
＜従来の技術＞
従来、清浄空間室内において、作業通路域より
も高い空気清浄度を有する高清浄度空間に半導体
等を生産する機器を設置しなければならない。こ
のため、従来のトンネル型の高清浄度空間を形成
するクリーンユニツトとしては第３図に示すもの
がある。このクリーンユニツト１，１は、清浄空
間室２の略中央部の作業通路域３を挟んで左右に
対向して清浄空間室２の天井面２ａにそれぞれ設
置されている。そして、上記クリーンユニツト１
は、高性能フイルタ５の下方に高清浄度空間６を
トンネル状に形成し、この高清浄度空間６に生産
装置７を収納して、高性能フイルタ５から下方の
高清浄度空間６に向けて清浄空気を吹き出し、高
清浄度空間６を作業通路域３よりも高い空気清浄
度に維持している。
も高い空気清浄度を有する高清浄度空間に半導体
等を生産する機器を設置しなければならない。こ
のため、従来のトンネル型の高清浄度空間を形成
するクリーンユニツトとしては第３図に示すもの
がある。このクリーンユニツト１，１は、清浄空
間室２の略中央部の作業通路域３を挟んで左右に
対向して清浄空間室２の天井面２ａにそれぞれ設
置されている。そして、上記クリーンユニツト１
は、高性能フイルタ５の下方に高清浄度空間６を
トンネル状に形成し、この高清浄度空間６に生産
装置７を収納して、高性能フイルタ５から下方の
高清浄度空間６に向けて清浄空気を吹き出し、高
清浄度空間６を作業通路域３よりも高い空気清浄
度に維持している。
ところが、上記従来のクリーンユニツトでは、
一度所定位置に取付けられると、それ以後は高清
浄度空間６の左右方向の幅寸法が固定されるた
め、半導体などの生産工程を変更する場合や生産
装置７の大型化を図る場合、特に生産装置７が幅
方向に大きくなる場合、高清浄度空間６に収納さ
れた生産装置７が高清浄度空間６からはみ出て、
低い空気清浄度の作業通路域３に突出することに
なり、生産装置７の雰囲気全体を高い空気清浄度
に維持できないという問題がある。
一度所定位置に取付けられると、それ以後は高清
浄度空間６の左右方向の幅寸法が固定されるた
め、半導体などの生産工程を変更する場合や生産
装置７の大型化を図る場合、特に生産装置７が幅
方向に大きくなる場合、高清浄度空間６に収納さ
れた生産装置７が高清浄度空間６からはみ出て、
低い空気清浄度の作業通路域３に突出することに
なり、生産装置７の雰囲気全体を高い空気清浄度
に維持できないという問題がある。
また生産工程の変更あるいは生産装置７の大型
化に応じてそれに対応する大きさのクリーンユニ
ツト１を用いることも考えられるが、この場合に
は、その都度、クリーンユニツト１の取替工事が
必要となつて、その取替工事に手間と費用を要す
るという問題がある。
化に応じてそれに対応する大きさのクリーンユニ
ツト１を用いることも考えられるが、この場合に
は、その都度、クリーンユニツト１の取替工事が
必要となつて、その取替工事に手間と費用を要す
るという問題がある。
＜発明の目的＞
そこで、この発明の目的は、生産工程の変更お
よび生産装置の大型化をした場合に、必要に応じ
た大きさの高清浄度空間を簡単かつ安価に拡張で
きて、生産装置を常に高清浄度空間に収納でき、
生産装置の雰囲気を高い空気清浄度に維持できる
クリーンユニツトの拡張方法を提供することにあ
る。
よび生産装置の大型化をした場合に、必要に応じ
た大きさの高清浄度空間を簡単かつ安価に拡張で
きて、生産装置を常に高清浄度空間に収納でき、
生産装置の雰囲気を高い空気清浄度に維持できる
クリーンユニツトの拡張方法を提供することにあ
る。
＜発明の構成＞
上記目的を達成するために、この発明のクリー
ンユニツトの拡張方法は、清浄空間室内におい
て、作業通路域の空気清浄度よりもさらに高い空
気清浄度を有するトンネル状の高清浄度空間を形
成するために高性能フイルタから清浄空気を下方
に吹き出すようにしたクリーンユニツトを拡張す
るクリーンユニツトの拡張方法であつて、上記ク
リーンユニツトの高性能フイルタ上の空間の作業
通路域に面する前端部に接続口を設け、上記クリ
ーンユニツトの作業通路域側に増設ユニツトを設
け、上記クリーンユニツトの高性能フイルタ上の
空間に上記増設ユニツトの高性能フイルタ上の空
間を上記接続口により接続して高清浄度空間を拡
張したことを特徴とする。
ンユニツトの拡張方法は、清浄空間室内におい
て、作業通路域の空気清浄度よりもさらに高い空
気清浄度を有するトンネル状の高清浄度空間を形
成するために高性能フイルタから清浄空気を下方
に吹き出すようにしたクリーンユニツトを拡張す
るクリーンユニツトの拡張方法であつて、上記ク
リーンユニツトの高性能フイルタ上の空間の作業
通路域に面する前端部に接続口を設け、上記クリ
ーンユニツトの作業通路域側に増設ユニツトを設
け、上記クリーンユニツトの高性能フイルタ上の
空間に上記増設ユニツトの高性能フイルタ上の空
間を上記接続口により接続して高清浄度空間を拡
張したことを特徴とする。
＜実施例＞
第１図は拡張後のクリーンユニツトを示す概略
図、第２図は拡張前のクリーンユニツトを示す図
である。第２図において、１０は清浄空間室、１
１は清浄空間室１０の略中央部に位置する作業通
路域、１２は作業通路域１１をはさんで左右に対
向して清浄空間室１０の天井面１０ａに設置され
る１対のクリーンユニツトのうちの右側のクリー
ンユニツトである。第２図中一点鎖線Ａで示す面
を対称面にして上記作業通路域１１と１対のクリ
ーンユニツト１２，１２と全く同じものが紙面と
直交する方向に幾列も配列されている。また、１
４は清浄空間室１０の天井面１０ａの背面に設置
され、空気調和装置（図示せず）からの空気を清
浄化して作業通路域１１に送るフイルタユニツ
ト、１６はグレーチング１７上に設置され、かつ
クリーンユニツト１２の下方の高清浄度空間１８
内に収納された半導体等の生産装置である。
図、第２図は拡張前のクリーンユニツトを示す図
である。第２図において、１０は清浄空間室、１
１は清浄空間室１０の略中央部に位置する作業通
路域、１２は作業通路域１１をはさんで左右に対
向して清浄空間室１０の天井面１０ａに設置され
る１対のクリーンユニツトのうちの右側のクリー
ンユニツトである。第２図中一点鎖線Ａで示す面
を対称面にして上記作業通路域１１と１対のクリ
ーンユニツト１２，１２と全く同じものが紙面と
直交する方向に幾列も配列されている。また、１
４は清浄空間室１０の天井面１０ａの背面に設置
され、空気調和装置（図示せず）からの空気を清
浄化して作業通路域１１に送るフイルタユニツ
ト、１６はグレーチング１７上に設置され、かつ
クリーンユニツト１２の下方の高清浄度空間１８
内に収納された半導体等の生産装置である。
上記クリーンユニツト１２は、生産ラインに沿
つて長いトンネル状に形成された箱型のケーシン
グ７０内にフアン２８と高性能フイルタ２６とダ
ンパ３３とを収納している。上記クリーンユニツ
ト１２のケーシング７０の前端部としての前壁２
３には、作業通路域１１に通じる矩形の接続口２
４，２４……を生産ラインに沿つて互いに一定間
隔をあけて複数個設けている。上記クリーンユニ
ツト１２の接続口２４には四角形の盲板４４を、
第２図の部分拡大図である第４図において詳細に
示すようにボルトにより取り付けている。この盲
板４４を覆うように化粧板４５を作業通路域１１
側から設けている。前壁２３と盲板４４との間は
空気が漏れないようにシール材などが介設されて
いる。上記ケーシング７０の底面７０ａは下方に
開口されていて、この開口部に高性能フイルタ２
６，２６……を生産ラインに沿つて複数個設置し
ている。上記ケーシング７０内の後部には空気を
圧送するフアン２８を収納したフアン室２９を設
け、上記フアン室２９の上面２９ａには空気吸込
口３１を設ける一方、フアン室２９の下面２９ｂ
にはリターン空気吸込口３２を設けている。高性
能フイルタ２６とフアン室２９との間にはバツフ
ル８０を設けている。また高性能フイルタ２６と
フアン室２９との境に位置するケーシング７０の
底面７０ａには、右隔壁１３の上端を取り付けて
右隔壁を下方に吊り下げている。上記右隔壁１３
の下端とグレーチング１７との間に通気口３４を
形成している。この右隔壁１３により、クリーン
ユニツト１２の高清浄度空間１８とサービススペ
ース２１とが分離されている。そして、上記フア
ン室２９の空気吸込口３１を通して空気調和装置
からの空気をダクトを介して（図示せず）フアン
室２９に導入すると共に、リターン空気吸込口３
２を通して高清浄度空間１８、右隔壁１３の下部
の通気口３４からのリターン空気をフアン室２９
に導入している。一方、クリーンユニツト１２の
前壁２３の下端には下方に向かつて吊り下げた左
隔壁２０を取り付けている。
つて長いトンネル状に形成された箱型のケーシン
グ７０内にフアン２８と高性能フイルタ２６とダ
ンパ３３とを収納している。上記クリーンユニツ
ト１２のケーシング７０の前端部としての前壁２
３には、作業通路域１１に通じる矩形の接続口２
４，２４……を生産ラインに沿つて互いに一定間
隔をあけて複数個設けている。上記クリーンユニ
ツト１２の接続口２４には四角形の盲板４４を、
第２図の部分拡大図である第４図において詳細に
示すようにボルトにより取り付けている。この盲
板４４を覆うように化粧板４５を作業通路域１１
側から設けている。前壁２３と盲板４４との間は
空気が漏れないようにシール材などが介設されて
いる。上記ケーシング７０の底面７０ａは下方に
開口されていて、この開口部に高性能フイルタ２
６，２６……を生産ラインに沿つて複数個設置し
ている。上記ケーシング７０内の後部には空気を
圧送するフアン２８を収納したフアン室２９を設
け、上記フアン室２９の上面２９ａには空気吸込
口３１を設ける一方、フアン室２９の下面２９ｂ
にはリターン空気吸込口３２を設けている。高性
能フイルタ２６とフアン室２９との間にはバツフ
ル８０を設けている。また高性能フイルタ２６と
フアン室２９との境に位置するケーシング７０の
底面７０ａには、右隔壁１３の上端を取り付けて
右隔壁を下方に吊り下げている。上記右隔壁１３
の下端とグレーチング１７との間に通気口３４を
形成している。この右隔壁１３により、クリーン
ユニツト１２の高清浄度空間１８とサービススペ
ース２１とが分離されている。そして、上記フア
ン室２９の空気吸込口３１を通して空気調和装置
からの空気をダクトを介して（図示せず）フアン
室２９に導入すると共に、リターン空気吸込口３
２を通して高清浄度空間１８、右隔壁１３の下部
の通気口３４からのリターン空気をフアン室２９
に導入している。一方、クリーンユニツト１２の
前壁２３の下端には下方に向かつて吊り下げた左
隔壁２０を取り付けている。
しかして、第２図に示すクリーンユニツトの拡
張前の状態から次のようにして第１図に示すクリ
ーンユニツトの拡張した状態にする。
張前の状態から次のようにして第１図に示すクリ
ーンユニツトの拡張した状態にする。
第１図において、第２図および第４図の状態に
おける盲板４４および化粧板４５を取り外した
後、クリーンユニツト１２の接続口２４のフアン
２８側にダンパ４１とロツド４３を取り付け、つ
いで接続口２４の作業通路域１１側に生産装置１
６の大きさに応じた大きさの増設ユニツト１５を
ボルトで増設して、各ユニツト１２，１５の高性
能フイルタ２６，３８の下方の高清浄度空間１８
を拡張し、この高清浄度空間１８内に生産装置１
６を収める。この増設ユニツト１５は、箱型のケ
ーシング３７の右壁１５ａを開口し、下面１５ｂ
に高性能フイルタ３８を設置してなる。第１図の
部分拡大図である第３図において詳細に示すよう
に、このケーシング３７の天井面３５の一端をク
リーンユニツト１２の前壁２３の型鋼８１にボル
トなどで連結する。そして、上記増設ユニツト１
５の高性能フイルタ３８の上部の空間４７とフイ
ルタユニツト１２の高性能フイルタ２６の上部の
空間２７が接続口２４を介して連通される。また
クリーンユニツト１２の各接続口２４，２４……
のフアン２８側には、フアン２８からの空気の流
量をクリーンユニツト１２側と増設ユニツト１５
側とに配分するダンパ４１，４１……をそれぞれ
設ける。このダンパ４１は前壁２３に着脱自在に
ボルトなどで取り付けられる。上記ダンパ４１の
開度を調整するハンドル４２は、傘歯車５０を介
してダンパ４１からケーシング７０の天井面近傍
に沿つてサービススペース２１の上部まで延びる
ロツド４３の先端に接続され、手動で操作できる
ようになつている。上記ロツド４３はダンパ４１
から容易に取り外せるようにダンパ４１にネジな
どで連結されている。
おける盲板４４および化粧板４５を取り外した
後、クリーンユニツト１２の接続口２４のフアン
２８側にダンパ４１とロツド４３を取り付け、つ
いで接続口２４の作業通路域１１側に生産装置１
６の大きさに応じた大きさの増設ユニツト１５を
ボルトで増設して、各ユニツト１２，１５の高性
能フイルタ２６，３８の下方の高清浄度空間１８
を拡張し、この高清浄度空間１８内に生産装置１
６を収める。この増設ユニツト１５は、箱型のケ
ーシング３７の右壁１５ａを開口し、下面１５ｂ
に高性能フイルタ３８を設置してなる。第１図の
部分拡大図である第３図において詳細に示すよう
に、このケーシング３７の天井面３５の一端をク
リーンユニツト１２の前壁２３の型鋼８１にボル
トなどで連結する。そして、上記増設ユニツト１
５の高性能フイルタ３８の上部の空間４７とフイ
ルタユニツト１２の高性能フイルタ２６の上部の
空間２７が接続口２４を介して連通される。また
クリーンユニツト１２の各接続口２４，２４……
のフアン２８側には、フアン２８からの空気の流
量をクリーンユニツト１２側と増設ユニツト１５
側とに配分するダンパ４１，４１……をそれぞれ
設ける。このダンパ４１は前壁２３に着脱自在に
ボルトなどで取り付けられる。上記ダンパ４１の
開度を調整するハンドル４２は、傘歯車５０を介
してダンパ４１からケーシング７０の天井面近傍
に沿つてサービススペース２１の上部まで延びる
ロツド４３の先端に接続され、手動で操作できる
ようになつている。上記ロツド４３はダンパ４１
から容易に取り外せるようにダンパ４１にネジな
どで連結されている。
そして、上記高清浄度空間１８に生産装置１６
を収納して、クリーンユニツト１２側と増設ユニ
ツト１５側に所定流量の空気が供給されるように
ダンパ４１の開度をハンドル４２により調整す
る。その後、フアン２８を起動して高性能フイル
タ２６，３８から下方に高清浄化した清浄空気を
生産装置１６に向けて送り、生産装置１６の雰囲
気全体を高い空気清浄度に維持する。
を収納して、クリーンユニツト１２側と増設ユニ
ツト１５側に所定流量の空気が供給されるように
ダンパ４１の開度をハンドル４２により調整す
る。その後、フアン２８を起動して高性能フイル
タ２６，３８から下方に高清浄化した清浄空気を
生産装置１６に向けて送り、生産装置１６の雰囲
気全体を高い空気清浄度に維持する。
このように、クリーンユニツト１２の前壁に増
設ユニツト１５を接続して両者を接続口２４で接
続するだけで、簡単に高清浄度空間が拡張できる
のである。
設ユニツト１５を接続して両者を接続口２４で接
続するだけで、簡単に高清浄度空間が拡張できる
のである。
一方、幅寸法の小さい生産装置１６の場合に
は、第２図に示すように、既設のクリーンユニツ
ト１２の前壁２３の接続口２４から増設ユニツト
１５とダンパ４１とロツド４３を取り外して接続
口２４に盲板４４および化粧板４５をボルトで取
り付け、高性能フイルタ２６の下方の高清浄度空
間１８に生産装置１６を収納する。
は、第２図に示すように、既設のクリーンユニツ
ト１２の前壁２３の接続口２４から増設ユニツト
１５とダンパ４１とロツド４３を取り外して接続
口２４に盲板４４および化粧板４５をボルトで取
り付け、高性能フイルタ２６の下方の高清浄度空
間１８に生産装置１６を収納する。
このように、この方法によれば生産装置１６の
幅寸法に応じて、既設のクリーンユニツト１２に
適宜な大きさの増設ユニツト１５を簡単かつ安価
に増設できる。また、生産工程を変更したりする
場合、その変更に応じて高清浄度空間１８を任意
の大きさに拡大することができる。
幅寸法に応じて、既設のクリーンユニツト１２に
適宜な大きさの増設ユニツト１５を簡単かつ安価
に増設できる。また、生産工程を変更したりする
場合、その変更に応じて高清浄度空間１８を任意
の大きさに拡大することができる。
＜発明の効果＞
以上より明らかなように、この発明によれば、
クリーンユニツトの高性能フイルタ上の空間の作
業通路域に面する前端部に接続口を設け、上記ク
リーンユニツトの作業通路域側に増設ユニツトを
設け、上記クリーンユニツトの高性能フイルタ上
の空間に上記増設ユニツトの高性能フイルタ上の
空間を上記接続口により接続しているので、既設
のクリーンユニツトを用いて高性能フイルタの下
方の高清浄度空間を適切な大きさに簡単、安価に
拡張できる。またこの発明によれば、クリーンユ
ニツトと増設ユニツトとを接続口を介して接続で
きるようにしているので、クリーンユニツトを取
り付け後であつても、そのまま、そのクリーンユ
ニツトと増設ユニツトとを接続口で接続するだけ
で高清浄度空間を簡単に拡張できる。またクリー
ンユニツトに増設ユニツトを接続するという簡単
な構造で高清浄度空間を拡張できるようにしてい
るので、従来のクリーンユニツトと全く同様に取
り扱い操作することができる。
クリーンユニツトの高性能フイルタ上の空間の作
業通路域に面する前端部に接続口を設け、上記ク
リーンユニツトの作業通路域側に増設ユニツトを
設け、上記クリーンユニツトの高性能フイルタ上
の空間に上記増設ユニツトの高性能フイルタ上の
空間を上記接続口により接続しているので、既設
のクリーンユニツトを用いて高性能フイルタの下
方の高清浄度空間を適切な大きさに簡単、安価に
拡張できる。またこの発明によれば、クリーンユ
ニツトと増設ユニツトとを接続口を介して接続で
きるようにしているので、クリーンユニツトを取
り付け後であつても、そのまま、そのクリーンユ
ニツトと増設ユニツトとを接続口で接続するだけ
で高清浄度空間を簡単に拡張できる。またクリー
ンユニツトに増設ユニツトを接続するという簡単
な構造で高清浄度空間を拡張できるようにしてい
るので、従来のクリーンユニツトと全く同様に取
り扱い操作することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す概略断面
図、第２図は上記実施例の増設ユニツトを取り外
した状態を示す一部断面図、第３図は第１図にお
けるクリーンユニツトと増設ユニツトとの連結部
の拡大図、第４図は第２図における盲板および化
粧板の取付部の拡大図、第５図は従来例を示す概
略断面図である。 １０……清浄空間室、１１……作業通路域、１
２……クリーンユニツト、１５……増設ユニツ
ト、１６……生産装置、１８……高清浄度空間、
２４……接続口、２６，３８……高性能フイル
タ、２７，４７……空間。
図、第２図は上記実施例の増設ユニツトを取り外
した状態を示す一部断面図、第３図は第１図にお
けるクリーンユニツトと増設ユニツトとの連結部
の拡大図、第４図は第２図における盲板および化
粧板の取付部の拡大図、第５図は従来例を示す概
略断面図である。 １０……清浄空間室、１１……作業通路域、１
２……クリーンユニツト、１５……増設ユニツ
ト、１６……生産装置、１８……高清浄度空間、
２４……接続口、２６，３８……高性能フイル
タ、２７，４７……空間。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 清浄空間室内において、作業通路域の空気清
浄度よりもさらに高い空気清浄度を有するトンネ
ル状の高清浄度空間を形成するために高性能フイ
ルタから清浄空気を下方に吹き出すようにしたク
リーンユニツトであつて、 上記クリーンユニツトの高性能フイルタ上の空
間の作業通路域に面する前端部に接続口を設け、
上記クリーンユニツトの作業通路域側に増設ユニ
ツトを設け、上記クリーンユニツトの高性能フイ
ルタ上の空間に上記増設ユニツトの高性能フイル
タ上の空間を上記接続口により接続して高清浄度
空間を拡張したことを特徴とするクリーンユニツ
トの拡張方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61046808A JPS62202949A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | クリ−ンユニツトの拡張方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61046808A JPS62202949A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | クリ−ンユニツトの拡張方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62202949A JPS62202949A (ja) | 1987-09-07 |
| JPH0319456B2 true JPH0319456B2 (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=12757629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61046808A Granted JPS62202949A (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | クリ−ンユニツトの拡張方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62202949A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6668565B1 (en) | 2002-04-12 | 2003-12-30 | American Power Conversion | Rack-mounted equipment cooling |
| US6859366B2 (en) | 2003-03-19 | 2005-02-22 | American Power Conversion | Data center cooling system |
| US7046514B2 (en) | 2003-03-19 | 2006-05-16 | American Power Conversion Corporation | Data center cooling |
| US7259963B2 (en) | 2004-12-29 | 2007-08-21 | American Power Conversion Corp. | Rack height cooling |
| US7841199B2 (en) | 2005-05-17 | 2010-11-30 | American Power Conversion Corporation | Cold aisle isolation |
| KR101214736B1 (ko) * | 2007-10-26 | 2012-12-21 | 파나소닉 주식회사 | 클린 룸 |
-
1986
- 1986-03-03 JP JP61046808A patent/JPS62202949A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62202949A (ja) | 1987-09-07 |
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