JPH03195907A - 偏光フィゾー干渉計 - Google Patents
偏光フィゾー干渉計Info
- Publication number
- JPH03195907A JPH03195907A JP1335337A JP33533789A JPH03195907A JP H03195907 A JPH03195907 A JP H03195907A JP 1335337 A JP1335337 A JP 1335337A JP 33533789 A JP33533789 A JP 33533789A JP H03195907 A JPH03195907 A JP H03195907A
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- Japan
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- polarization
- plate
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- Pending
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、非接触で高精度に物体の表面形状を測定でき
る偏光フィゾー干渉計に関するものであり、例えば軟質
材料や高い製作精度が要求される光学部品の表面形状計
測等に利用されるものである。
る偏光フィゾー干渉計に関するものであり、例えば軟質
材料や高い製作精度が要求される光学部品の表面形状計
測等に利用されるものである。
［従来の技術］
従来、フィゾー干渉計が物体の表面形状測定に用いられ
ている。この干渉計は、測定物体に可干渉光を照射する
光路中に半透明の参照面を配置することを特徴としてい
る。参照面から反射した光波と測定物体から反射した光
波とが干渉して、その干渉縞から物体の形状を知ること
ができる。従来のフィゾー干渉計では、半透明の参照面
を作るハーフミラ−が光学的に等方性の材料なので、物
体光と参照光が同一の偏光方向となる。
ている。この干渉計は、測定物体に可干渉光を照射する
光路中に半透明の参照面を配置することを特徴としてい
る。参照面から反射した光波と測定物体から反射した光
波とが干渉して、その干渉縞から物体の形状を知ること
ができる。従来のフィゾー干渉計では、半透明の参照面
を作るハーフミラ−が光学的に等方性の材料なので、物
体光と参照光が同一の偏光方向となる。
［発明が解決しようとする課題］
上記の干渉計では、物体光と参照光の偏光方向が同一で
あるため、これら２つの光が参照面を出た直後に干渉を
起こす。このため、参照面を出た後は、物体光と参照光
が分離できなくなるので、２つの光に各々独立して位相
変化や振幅変化を与えることができなくなるという問題
があった。
あるため、これら２つの光が参照面を出た直後に干渉を
起こす。このため、参照面を出た後は、物体光と参照光
が分離できなくなるので、２つの光に各々独立して位相
変化や振幅変化を与えることができなくなるという問題
があった。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とするところは、偏光フィゾー干渉計において、
ハーフミラ−に異方性結晶板を使用し、その結晶板の入
射面を参照面とすることにより物体光と参照光の偏光方
向を直交させて、２つの光に各々独立して位相変化や振
幅変化を与えることを可能とすることにある。
の目的とするところは、偏光フィゾー干渉計において、
ハーフミラ−に異方性結晶板を使用し、その結晶板の入
射面を参照面とすることにより物体光と参照光の偏光方
向を直交させて、２つの光に各々独立して位相変化や振
幅変化を与えることを可能とすることにある。
［課題を解決するための手段］
本発明にあっては、上記の課題を解決するために、第１
図に示すように、フィゾー干渉計において、測定光の１
／４波長の厚さを有する異方性結晶板５の入射光側の端
面Ｉ４を半透明の参照面として、物体光と参照先の偏光
方向を直交せしめたことを特徴とするものである。
図に示すように、フィゾー干渉計において、測定光の１
／４波長の厚さを有する異方性結晶板５の入射光側の端
面Ｉ４を半透明の参照面として、物体光と参照先の偏光
方向を直交せしめたことを特徴とするものである。
［作用］
本発明で用いる異方性結晶板は、ある方向の直線偏光に
対して、この結晶板を往復することにより（Ｈ光方向が
９０度変化するものを用いる。参照光は、この結晶板を
通過せずに参照面で反射され、物体光は結晶板を往復し
て通過するので、参照光と物体光は互いに直交した偏光
方向を持つようになる。したがって、これら２つの光に
対して別々に位相変化や振幅変化を与えることが可能と
なるものである。
対して、この結晶板を往復することにより（Ｈ光方向が
９０度変化するものを用いる。参照光は、この結晶板を
通過せずに参照面で反射され、物体光は結晶板を往復し
て通過するので、参照光と物体光は互いに直交した偏光
方向を持つようになる。したがって、これら２つの光に
対して別々に位相変化や振幅変化を与えることが可能と
なるものである。
［実施例１
第１図は本発明の一実施例の概略構成図である。
この装置は、フィゾー干渉計を利用した平面度測定装置
である。光源１から出た光は、ビームエキスパンダー２
を通り、偏光板３を通過して直線偏光となる。この光は
ハーフミラ−４により分割され、１／４波長板５に入射
する９人射光の一部は、１／４波長板５に入射する直前
の半透明参照面Ｈで反射される。これが参照光となる。
である。光源１から出た光は、ビームエキスパンダー２
を通り、偏光板３を通過して直線偏光となる。この光は
ハーフミラ−４により分割され、１／４波長板５に入射
する９人射光の一部は、１／４波長板５に入射する直前
の半透明参照面Ｈで反射される。これが参照光となる。
１／４波長板５の光学結晶軸は、入射光の偏光方向に対
して４５度の角度で配置されている。このため、測定物
体６を反射した物体光は、１／４波長板５を２回通るこ
とにより、偏光方向が９０度変化する。
して４５度の角度で配置されている。このため、測定物
体６を反射した物体光は、１／４波長板５を２回通るこ
とにより、偏光方向が９０度変化する。
これらの参照光と物体光は、共に直交した偏光方向を持
って、観察面８としてのＣＣＤカメラの方へ進む。この
途中、偏光板７を置いて、その光学軸方向が２つの光の
偏光方向と一致しないように配置すると、干渉縞が観察
される。この際、連光板７を回転させれば、物体光及び
参照光の振幅の比率を任意に変化させることができるの
で、測定物体６の反射率が変化しても常に最適のコンＩ
・ラストが容易に得られる。従来のフィゾー干渉計で同
様の結果を持たせるためには、半透明参照面１■を有す
る１／４波長板５をその都度交換するしかなく、非常に
面倒であるが、本発明では、その交換作業が省力化され
る。また、偏光板７の結晶軸方向を物体光や参照光の偏
光面方向に合わせることで、これら２つの光の一方だけ
を観察することもできる。これにより、物体光と参照光
のそれぞれの光の状態をもチエツクすることができる。
って、観察面８としてのＣＣＤカメラの方へ進む。この
途中、偏光板７を置いて、その光学軸方向が２つの光の
偏光方向と一致しないように配置すると、干渉縞が観察
される。この際、連光板７を回転させれば、物体光及び
参照光の振幅の比率を任意に変化させることができるの
で、測定物体６の反射率が変化しても常に最適のコンＩ
・ラストが容易に得られる。従来のフィゾー干渉計で同
様の結果を持たせるためには、半透明参照面１■を有す
る１／４波長板５をその都度交換するしかなく、非常に
面倒であるが、本発明では、その交換作業が省力化され
る。また、偏光板７の結晶軸方向を物体光や参照光の偏
光面方向に合わせることで、これら２つの光の一方だけ
を観察することもできる。これにより、物体光と参照光
のそれぞれの光の状態をもチエツクすることができる。
第２図は本発明の他の実施例の概略構成図であり、凹面
鏡１１を測定するための装置を示している。本実施例に
あっては、第１図に示す装置の半透明参照面Ｈと測定物
体である凹面鏡１１との間に、凸レンズ１０を挿入した
構成となっている。
鏡１１を測定するための装置を示している。本実施例に
あっては、第１図に示す装置の半透明参照面Ｈと測定物
体である凹面鏡１１との間に、凸レンズ１０を挿入した
構成となっている。
なお、凸面鏡を測定する場合には、凸面鏡を凸レンズ１
０とその焦点Ｆの間に配置すれば良い、その他の構成に
ついては、第１図に示す装置と同じである。
０とその焦点Ｆの間に配置すれば良い、その他の構成に
ついては、第１図に示す装置と同じである。
第３図は本発明のさらに他の実施例の概略構成図である
０本実施例にあっては、第１図に示す装置の１／４波長
板５と偏光板７の間に位相子９を挿入したものである０
位相子９の光学結晶軸は物体光と参照先の偏光方向に一
致させる。位相子９の位相変化量を適当に選ぶことによ
り、物体光と参照光の間に任意の位相差を与えることが
できる。
０本実施例にあっては、第１図に示す装置の１／４波長
板５と偏光板７の間に位相子９を挿入したものである０
位相子９の光学結晶軸は物体光と参照先の偏光方向に一
致させる。位相子９の位相変化量を適当に選ぶことによ
り、物体光と参照光の間に任意の位相差を与えることが
できる。
［発明の効果］
本発明にあっては、上述のように、フィゾー干渉計にお
いて、測定光の１／４波長の厚さを有する異方性結晶板
の入射光側の端面を半透明の参照面として、物体光と参
照先の偏光方向を直交せしめたものであるから、物体光
と参照光とが偏光方向により分離できる。これにより、
物体光と参照先の位相・振幅を独立して自由に操作する
ことが可能となり、干渉計の計測精度が飛躍的に向上す
るという効果がある。
いて、測定光の１／４波長の厚さを有する異方性結晶板
の入射光側の端面を半透明の参照面として、物体光と参
照先の偏光方向を直交せしめたものであるから、物体光
と参照光とが偏光方向により分離できる。これにより、
物体光と参照先の位相・振幅を独立して自由に操作する
ことが可能となり、干渉計の計測精度が飛躍的に向上す
るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の１Ｆｌｌ略楕成図構成２図
は本発明の他の実施例の概略構成図、第３図は本発明の
さらに他の実施例の概略構成図である。 １は光源、２はビームエキスパンダー、３は偏光板、４
はハーフミラ−１５は１／４波長板、６は測定物体、７
は偏光板、８は観察面、Ｈは半透明番照面である。
は本発明の他の実施例の概略構成図、第３図は本発明の
さらに他の実施例の概略構成図である。 １は光源、２はビームエキスパンダー、３は偏光板、４
はハーフミラ−１５は１／４波長板、６は測定物体、７
は偏光板、８は観察面、Ｈは半透明番照面である。
Claims (1)
- （１）フィゾー干渉計において、測定光の１／４波長の
厚さを有する異方性結晶板の入射光側の端面を半透明の
参照面として、物体光と参照光の偏光方向を直交せしめ
たことを特徴とする偏光フィゾー干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1335337A JPH03195907A (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 | 偏光フィゾー干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1335337A JPH03195907A (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 | 偏光フィゾー干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03195907A true JPH03195907A (ja) | 1991-08-27 |
Family
ID=18287386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1335337A Pending JPH03195907A (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 | 偏光フィゾー干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03195907A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998051992A1 (de) * | 1997-05-15 | 1998-11-19 | Deutsche Telekom Ag | Mit pancharatnam-phase nicht mechanisch abstimmbares interferometer |
| JP2007046938A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Mitsutoyo Corp | 干渉計 |
| WO2009069127A1 (en) * | 2007-11-28 | 2009-06-04 | Mellitor Ltd | Polarimeter employing a fizeau interferometer |
-
1989
- 1989-12-25 JP JP1335337A patent/JPH03195907A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998051992A1 (de) * | 1997-05-15 | 1998-11-19 | Deutsche Telekom Ag | Mit pancharatnam-phase nicht mechanisch abstimmbares interferometer |
| AU736850B2 (en) * | 1997-05-15 | 2001-08-02 | Deutsche Telekom Ag | Interferometer |
| JP2007046938A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Mitsutoyo Corp | 干渉計 |
| WO2009069127A1 (en) * | 2007-11-28 | 2009-06-04 | Mellitor Ltd | Polarimeter employing a fizeau interferometer |
| US8199328B2 (en) | 2007-11-28 | 2012-06-12 | Mellitor Ltd. | Polarimeter employing a fizeau interferometer |
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