JPH03198234A - 光記録媒体用スタンパ及びその製造方法 - Google Patents
光記録媒体用スタンパ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH03198234A JPH03198234A JP33625089A JP33625089A JPH03198234A JP H03198234 A JPH03198234 A JP H03198234A JP 33625089 A JP33625089 A JP 33625089A JP 33625089 A JP33625089 A JP 33625089A JP H03198234 A JPH03198234 A JP H03198234A
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- JP
- Japan
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- stamper
- resin
- optical recording
- glass master
- pattern
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- Pending
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Moulding By Coating Moulds (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光記録媒体用スタンパ及びその製造方法に関
する。
する。
［従来の技術］
従来、光記録媒体用スタンパとしては、Ｎｉスタンパか
一般的に知られている。このスタンパ−は、第２図（ａ
）〜（ｄ）に示す様な、以下に述べる方法により製造さ
れている。まず、ガラス板６にフォトレジスト５を塗布
したのち、フォトマスクｌを通して光ｌＯを照射してレ
ジストを露光する（第２図（ａ）参照）０次いで、エツ
チング等の方法によりフォトレジストがポジ型の場合に
は感光部分を除去し、ネガ型の場合には非感光部分を除
去する。これにより所定の凹凸パターンを形成したガラ
ス原盤２ａを得る（第２図（ｂ）参照）。
一般的に知られている。このスタンパ−は、第２図（ａ
）〜（ｄ）に示す様な、以下に述べる方法により製造さ
れている。まず、ガラス板６にフォトレジスト５を塗布
したのち、フォトマスクｌを通して光ｌＯを照射してレ
ジストを露光する（第２図（ａ）参照）０次いで、エツ
チング等の方法によりフォトレジストがポジ型の場合に
は感光部分を除去し、ネガ型の場合には非感光部分を除
去する。これにより所定の凹凸パターンを形成したガラ
ス原盤２ａを得る（第２図（ｂ）参照）。
次に、この上にスパッタリング等によりＮｉなとの金属
薄膜を形成して表面を導電化し、次いて電鋳して所定の
厚さの金属体を被着する（第２図（Ｃ）参照）、シかる
後、上記凹凸パターンを有するガラス原盤を剥離するこ
とにより、ガラス原盤上に形成された凹凸パターンと全
く逆の凹凸パターンを有する金属性スタンパ９を得る。
薄膜を形成して表面を導電化し、次いて電鋳して所定の
厚さの金属体を被着する（第２図（Ｃ）参照）、シかる
後、上記凹凸パターンを有するガラス原盤を剥離するこ
とにより、ガラス原盤上に形成された凹凸パターンと全
く逆の凹凸パターンを有する金属性スタンパ９を得る。
第２図（ｄ）は、この金属性スタンパ９を用いて光記録
媒体用基板（以下、基板と記す）４にグルーブパターン
を転写する方法を示す。
媒体用基板（以下、基板と記す）４にグルーブパターン
を転写する方法を示す。
このようにして得られた金属性スタンパは比較的に型耐
久性に優れたものであるが、射出成形に用いた場合など
、およそ５０００シヨツトで寿命となる。また、スタン
パの取扱いの際にキズがついたり、洗浄の際に洗浄シミ
がついたりして使用できなくなるケースも多い。従って
、大量生産を行なう場合、また−度に多数枚のスタンパ
を使用する場合などには、スタンパを何枚も複製する必
要がある。
久性に優れたものであるが、射出成形に用いた場合など
、およそ５０００シヨツトで寿命となる。また、スタン
パの取扱いの際にキズがついたり、洗浄の際に洗浄シミ
がついたりして使用できなくなるケースも多い。従って
、大量生産を行なう場合、また−度に多数枚のスタンパ
を使用する場合などには、スタンパを何枚も複製する必
要がある。
スタンパを複製する場合１本来ならば基準となるスタン
パから樹脂型を取り、この樹脂型を母型として複製すれ
ばよいのであるが、実際にはエラレートの上昇などの理
由により非常に困難てあり、従って、一般にスタンパの
複製は一枚毎、前記製造過程を繰り返すことにより製造
されている。
パから樹脂型を取り、この樹脂型を母型として複製すれ
ばよいのであるが、実際にはエラレートの上昇などの理
由により非常に困難てあり、従って、一般にスタンパの
複製は一枚毎、前記製造過程を繰り返すことにより製造
されている。
［発明か解決しようとする課題］
しかしながら、上記の従来例の光記録媒体用スタンパの
製造方法においては、Ｎｉの電鋳工程は、律速工程の１
つであり、スタンパの量産性を落とす原因となっていた
。
製造方法においては、Ｎｉの電鋳工程は、律速工程の１
つであり、スタンパの量産性を落とす原因となっていた
。
また、Ｎｉの電鋳工程を採用して大版のスタンパを作製
する場合には、下記に示すような問題かある。すなわち
、 ■電特による応力ひずみの緩和 ■膜厚分布の均一化 ■裏面研磨の必要性 等の点に関し、解決すべき問題が山積みの状態である。
する場合には、下記に示すような問題かある。すなわち
、 ■電特による応力ひずみの緩和 ■膜厚分布の均一化 ■裏面研磨の必要性 等の点に関し、解決すべき問題が山積みの状態である。
本発明は、この様な従来技術の問題を解決するためにな
されたものであり、電鋳工程を採用することなく、精度
の良い光記録媒体用スタンパを容易に製造する方法を提
供することを目的とするものである。
されたものであり、電鋳工程を採用することなく、精度
の良い光記録媒体用スタンパを容易に製造する方法を提
供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
即ち１本発明は、補材上に、基板にグルーブパターンを
転写するための凹凸パターンを有する樹脂層を設けてな
ることを特徴とする光記録媒体用スタンパである。
転写するための凹凸パターンを有する樹脂層を設けてな
ることを特徴とする光記録媒体用スタンパである。
また、本発明は、基板に形成されるグルーブパターンと
同一の凹凸パターンをガラス原盤に形成し、該ガラス原
盤の凹凸パターン上に樹脂を上から補材を用いて押し付
けて密着した後、樹脂を硬化せしめて樹脂層を形成し、
次いでガラス原盤と樹脂層を剥離して補材上に基板にグ
ルーブパターンを転写するための凹凸パターンを有する
樹脂層を設けることを特徴とする光記録媒体用スタンパ
の製造方法である。
同一の凹凸パターンをガラス原盤に形成し、該ガラス原
盤の凹凸パターン上に樹脂を上から補材を用いて押し付
けて密着した後、樹脂を硬化せしめて樹脂層を形成し、
次いでガラス原盤と樹脂層を剥離して補材上に基板にグ
ルーブパターンを転写するための凹凸パターンを有する
樹脂層を設けることを特徴とする光記録媒体用スタンパ
の製造方法である。
以下、本発明を説明する。
本発明の光記録媒体用スタンパは、補材上に。
基板にグルーブパターンを転写するための凹凸パターン
を有する樹脂層を設けてなるものである。
を有する樹脂層を設けてなるものである。
補材には、板状のものが用いられ、例えばステンレス、
ニッケル、銅の金属板等を用いるのが好ましい。
ニッケル、銅の金属板等を用いるのが好ましい。
また、凹凸パターンを有する樹脂層には、２Ｐ樹脂（紫
外線硬化性樹脂）、熱硬化性樹脂、エポキシ樹脂等を用
いるのか好ましい。
外線硬化性樹脂）、熱硬化性樹脂、エポキシ樹脂等を用
いるのか好ましい。
この様な本発明の光記録媒体用スタンパを製造する方法
は、まず、第１工程において、フォトマスクより、ガラ
ス板上に形成したフォトレジストを露光・現像し、ガラ
スエツチングをして、基板に形成されるグルーブパター
ンと同一の凹凸パターンを有するガラス原盤側得る。フ
ォトレジストの厚さはウェットまたはケミカＪレエッチ
ン・グの場合は、７００〜５０００人、物理的にドライ
エウチングする場合はそれ以上必要な場合もありうる。
は、まず、第１工程において、フォトマスクより、ガラ
ス板上に形成したフォトレジストを露光・現像し、ガラ
スエツチングをして、基板に形成されるグルーブパター
ンと同一の凹凸パターンを有するガラス原盤側得る。フ
ォトレジストの厚さはウェットまたはケミカＪレエッチ
ン・グの場合は、７００〜５０００人、物理的にドライ
エウチングする場合はそれ以上必要な場合もありうる。
次に、第２工程で、ガラス原盤の凹凸面上に２Ｐ樹脂を
上から金属板の補材を用いて押し付けて密着させ、ガラ
ス原盤側よりＵＶ照射して２Ｐ樹脂を硬化させる。この
工程において、熱硬化性樹脂を用いた場合には、樹脂を
加熱硬化させる。
上から金属板の補材を用いて押し付けて密着させ、ガラ
ス原盤側よりＵＶ照射して２Ｐ樹脂を硬化させる。この
工程において、熱硬化性樹脂を用いた場合には、樹脂を
加熱硬化させる。
金属板には２Ｐ樹脂との密着性を向上させる為にカップ
リング材を使用する。２Ｐ樹脂を硬化せしめて樹脂層を
形成した後、２Ｐ樹脂をガラス原盤から剥離することに
より２Ｐ樹脂−金属スタンパを作成する。
リング材を使用する。２Ｐ樹脂を硬化せしめて樹脂層を
形成した後、２Ｐ樹脂をガラス原盤から剥離することに
より２Ｐ樹脂−金属スタンパを作成する。
作成された２Ｐ樹脂−金属スタンパを用いて、基板にグ
ルーブパターンを形成するには、一般にコンプレッショ
ン法か用いられているが、本発明のスタンパは、押し出
し成形時にローラースタンパにより連続的にグループ形
成を行なうローラークルーピング法用スタンパとして最
適である。
ルーブパターンを形成するには、一般にコンプレッショ
ン法か用いられているが、本発明のスタンパは、押し出
し成形時にローラースタンパにより連続的にグループ形
成を行なうローラークルーピング法用スタンパとして最
適である。
［作用］
本発明の光記録媒体用スタンパの製造方法によれば、透
明なガラス板をエツチングすることにより、基板と同一
凹凸パターンをガラス板上に形成してガラス原盤とし、
このガラス原盤の凹凸パターン上に樹脂を上から金属板
の補材を用いて押し付けて密着した後、樹脂材料なＵＶ
または加熱硬化させて、ガラス原盤上の凹凸を樹脂に転
写して、金属−樹脂スタンパを形成することにより、電
鋳工程なしに、金属ベースのスタンパを作成することか
てきる。
明なガラス板をエツチングすることにより、基板と同一
凹凸パターンをガラス板上に形成してガラス原盤とし、
このガラス原盤の凹凸パターン上に樹脂を上から金属板
の補材を用いて押し付けて密着した後、樹脂材料なＵＶ
または加熱硬化させて、ガラス原盤上の凹凸を樹脂に転
写して、金属−樹脂スタンパを形成することにより、電
鋳工程なしに、金属ベースのスタンパを作成することか
てきる。
［実施例］
以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明する。
実施例１
第１図（ａ）〜（ｇ）は本発明の光記録媒体用スタンパ
の製造工程を示す概略説明図である。
の製造工程を示す概略説明図である。
まず、石英ガラスからなるガラス板６Ｌに、フォトレジ
スト５（ヘキストジャパン製、ＡＺ１３００ＳＦ４．６
ｃｐ）を膜厚１０００人に塗布し、該フォトレジスト５
上にフォトマスクｌを密着またはプロキシミティの状態
で配置し、光ｔｏ ＜ ｓｏｏｗ水銀灯 キャノンＰＬ
Ａ６００ＦＡ）を３秒間露光し、現像してフォトレジス
トの凹凸パターンを得た。（第１図（ａ）、（ｂ）参照
） 次に、フッ酸に６０秒間浸漬してウェットエツチングを
行い、ガラス原盤２を得た。（第１図（Ｃ）参照） 次いで、ガラス原盤２上に、耐熱性２Ｐ樹脂７を滴下し
、その上から金属板（厚み０．：１ｍｍ Ｎｉ板６″
角）からなる補材８を重ね合わせて２Ｐ樹脂を延展させ
た後、ガラス原＠２ｍよりＵｖ光１１を照射し、２Ｐ樹
脂を硬化させた。（第１図（ｄ）。
スト５（ヘキストジャパン製、ＡＺ１３００ＳＦ４．６
ｃｐ）を膜厚１０００人に塗布し、該フォトレジスト５
上にフォトマスクｌを密着またはプロキシミティの状態
で配置し、光ｔｏ ＜ ｓｏｏｗ水銀灯 キャノンＰＬ
Ａ６００ＦＡ）を３秒間露光し、現像してフォトレジス
トの凹凸パターンを得た。（第１図（ａ）、（ｂ）参照
） 次に、フッ酸に６０秒間浸漬してウェットエツチングを
行い、ガラス原盤２を得た。（第１図（Ｃ）参照） 次いで、ガラス原盤２上に、耐熱性２Ｐ樹脂７を滴下し
、その上から金属板（厚み０．：１ｍｍ Ｎｉ板６″
角）からなる補材８を重ね合わせて２Ｐ樹脂を延展させ
た後、ガラス原＠２ｍよりＵｖ光１１を照射し、２Ｐ樹
脂を硬化させた。（第１図（ｄ）。
（ｅ）参照）
その後、ガラス原盤２と２Ｐ樹脂７を剥離することによ
り、補材８上に基板にグルーブパターンを転写するため
の凹凸パターンを有する２Ｐ樹脂層を設けた２Ｐ樹脂−
金属スタンパ３を得た。補材８は、カップリング材（シ
リコーン系）処理して２Ｐ樹脂との密着を向上させであ
る為、２Ｐ樹脂は金属と密着して２Ｐ樹脂−金属スタン
パが形成される。（第１図（ｆ）参照） 第１図（ｇ）に、この２Ｐ樹脂−金属スタンパ３を用い
て基板４にグルーブパターンを転写する方法を示す。
り、補材８上に基板にグルーブパターンを転写するため
の凹凸パターンを有する２Ｐ樹脂層を設けた２Ｐ樹脂−
金属スタンパ３を得た。補材８は、カップリング材（シ
リコーン系）処理して２Ｐ樹脂との密着を向上させであ
る為、２Ｐ樹脂は金属と密着して２Ｐ樹脂−金属スタン
パが形成される。（第１図（ｆ）参照） 第１図（ｇ）に、この２Ｐ樹脂−金属スタンパ３を用い
て基板４にグルーブパターンを転写する方法を示す。
本実施例では、１枚のガラス原盤より洗浄なして５０枚
程のスタンパが形成可能で、洗浄を行なえばさらに使用
することができる。
程のスタンパが形成可能で、洗浄を行なえばさらに使用
することができる。
実施例２
実施例１では、凹凸パターン形成用樹脂に２．Ｐ樹脂を
用いたか、２Ｐ樹脂の代わりに熱硬化性樹脂を用いた例
を示す。
用いたか、２Ｐ樹脂の代わりに熱硬化性樹脂を用いた例
を示す。
下記の材料および条件以外は実施例１と同様にして２Ｐ
樹脂−金属スタンパを作成した。
樹脂−金属スタンパを作成した。
樹 脂 ：耐熱性熱硬化性樹脂
（硬化温度１２０℃）
金属板 ：銅板０．：１ｍｍｔ ３０ｃ■角ガラス原
盤二Ｃｒ膜 ３０００人付（９ェットエツチング）石英
ガラス板 ３０ｃ腸ロ バターニング：レーザービーム露光 レジスト ： ＡＺ１３００ＳＦ ４．５ｃｐ Ｉｌ
！厚１０００λ（ヘキストジャバン） この場合は、ＵＶ光を当てる必要がない為、スタンパ原
盤となるガラス原盤に、フォトマスクの様な、メタル−
ガラス原盤が使用でき、ガラス原盤の作成がより容易に
なる。
盤二Ｃｒ膜 ３０００人付（９ェットエツチング）石英
ガラス板 ３０ｃ腸ロ バターニング：レーザービーム露光 レジスト ： ＡＺ１３００ＳＦ ４．５ｃｐ Ｉｌ
！厚１０００λ（ヘキストジャバン） この場合は、ＵＶ光を当てる必要がない為、スタンパ原
盤となるガラス原盤に、フォトマスクの様な、メタル−
ガラス原盤が使用でき、ガラス原盤の作成がより容易に
なる。
［発明の効果］
以上説明した様に、本発明によれば、ガラス原盤に凹凸
パターンを形成する工程と、その凹凸パターンを樹脂に
より転写して金属板等を補材とし、スタンパを形成する
ので、従来のスタンパ形成方法における金属導電化処理
−電鋳一裏面ラップの工程が不要になり、スタンパを非
常に短時間てかつ容易に作成することができる。
パターンを形成する工程と、その凹凸パターンを樹脂に
より転写して金属板等を補材とし、スタンパを形成する
ので、従来のスタンパ形成方法における金属導電化処理
−電鋳一裏面ラップの工程が不要になり、スタンパを非
常に短時間てかつ容易に作成することができる。
また、スタンパの大版化は、ガラス原盤の大版化をすれ
ばよく、また樹脂成形段階の大版化は容易に行うことが
できるために、本発明によればスタンパの大版化は可能
である。
ばよく、また樹脂成形段階の大版化は容易に行うことが
できるために、本発明によればスタンパの大版化は可能
である。
第１図（ａ）〜（ｇ）は本発明の光記録媒体用スタンパ
の製造工程を示す概略説明図および第２図（ａ）〜（ｄ
）は従来の光記録媒体用スタンパの製造工程を示す概略
説明図である。 ｌ・・・フォトマスク ２，２ａ・・・ガラス原盤３
・・・２Ｐｓｌ脂−金属スタンパ ４・・・基板 ５・・・フォトレジスト６・
・・ガラス板 ７・・・２Ｐ樹脂８・・・補材
９・・・金属性スタンパ１０−・・光
１ｔ−ｔｒｖ光出願出願人ャノン株式会社
の製造工程を示す概略説明図および第２図（ａ）〜（ｄ
）は従来の光記録媒体用スタンパの製造工程を示す概略
説明図である。 ｌ・・・フォトマスク ２，２ａ・・・ガラス原盤３
・・・２Ｐｓｌ脂−金属スタンパ ４・・・基板 ５・・・フォトレジスト６・
・・ガラス板 ７・・・２Ｐ樹脂８・・・補材
９・・・金属性スタンパ１０−・・光
１ｔ−ｔｒｖ光出願出願人ャノン株式会社
Claims (2)
- （１）補材上に、光記録媒体用基板にグルーブパターン
を転写するための凹凸パターンを有する樹脂層を設けて
なることを特徴とする光記録媒体用スタンパ。 - （２）光記録媒体用基板に形成されるグルーブパターン
と同一の凹凸パターンをガラス原盤に形成し、該ガラス
原盤の凹凸パターン上に樹脂を上から補材を用いて押し
付けて密着した後、樹脂を硬化せしめて樹脂層を形成し
、次いでガラス原盤と樹脂層を剥離して補材上に光記録
媒体用基板にグルーブパターンを転写するための凹凸パ
ターンを有する樹脂層を設けることを特徴とする光記録
媒体用スタンパの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33625089A JPH03198234A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 光記録媒体用スタンパ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33625089A JPH03198234A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 光記録媒体用スタンパ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03198234A true JPH03198234A (ja) | 1991-08-29 |
Family
ID=18297186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33625089A Pending JPH03198234A (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 光記録媒体用スタンパ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03198234A (ja) |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP33625089A patent/JPH03198234A/ja active Pending
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