JPH03203701A - 反射防止膜 - Google Patents
反射防止膜Info
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- JPH03203701A JPH03203701A JP1342436A JP34243689A JPH03203701A JP H03203701 A JPH03203701 A JP H03203701A JP 1342436 A JP1342436 A JP 1342436A JP 34243689 A JP34243689 A JP 34243689A JP H03203701 A JPH03203701 A JP H03203701A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/0018—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means for preventing ghost images
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は光学ガラスにコーティングされた反射防止膜に
関する。
関する。
［従来の技術］
従来、光学ガラス表面の反射特性を改善するために、こ
の光学ガラス基板上に反射防止膜を設けることは良く知
られている。このような反射防止膜として、例えば米国
特許箱３．１８５．０２Ｏ号明ａ書には、基板のガラス
上に、第１層目を膜厚λ／４、第２１１１目をλ／２、
第３層目をλ／４（λは反射防止波長域の基準波長であ
る。）よりなる３１１１型反射防止膜が開示されている
。しかしながら前記米国特許用ＩＩＩに開示されている
反射防止膜をガラスレンズに施した場合、可視波長域全
域（３８０〜７Ｂ０ｎｍ）に対する反射防止効果が不十
分であり、眼鏡レンズとして使用づると、ゴースト現象
、フレア現象などの反射のちらつきを感じる問題点を有
している。上記問題を解決するために、例えば、特公昭
５７−２５８０１号公報には、７層型反射防止膜が、ま
た特公昭６４８８０１号公報には、４層以上の多層反射
防止膜が開示されている。
の光学ガラス基板上に反射防止膜を設けることは良く知
られている。このような反射防止膜として、例えば米国
特許箱３．１８５．０２Ｏ号明ａ書には、基板のガラス
上に、第１層目を膜厚λ／４、第２１１１目をλ／２、
第３層目をλ／４（λは反射防止波長域の基準波長であ
る。）よりなる３１１１型反射防止膜が開示されている
。しかしながら前記米国特許用ＩＩＩに開示されている
反射防止膜をガラスレンズに施した場合、可視波長域全
域（３８０〜７Ｂ０ｎｍ）に対する反射防止効果が不十
分であり、眼鏡レンズとして使用づると、ゴースト現象
、フレア現象などの反射のちらつきを感じる問題点を有
している。上記問題を解決するために、例えば、特公昭
５７−２５８０１号公報には、７層型反射防止膜が、ま
た特公昭６４８８０１号公報には、４層以上の多層反射
防止膜が開示されている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、特公昭５７−２５８０１号公報、特公昭
６４−８８０１号公報に開示されている反射防止膜は、
ＴｌＯ２に代表されるような、膜厚の厚さ方向に屈折率
が異なる性質を有する不均質膜が施こされている。前記
不均質膜の屈折率は真空度に大きく依存するため、所望
の反射特性を再現良く得ることが困難である問題を有し
ている。
６４−８８０１号公報に開示されている反射防止膜は、
ＴｌＯ２に代表されるような、膜厚の厚さ方向に屈折率
が異なる性質を有する不均質膜が施こされている。前記
不均質膜の屈折率は真空度に大きく依存するため、所望
の反射特性を再現良く得ることが困難である問題を有し
ている。
従って本発明の目的は、可視光線域の波長範囲において
、反射防止効果に優れ、ガラスレンズに施した場合にで
もゴースト現象、フレア現象が起こりにくく、さらに所
望の反射特性を再現良く得ることができる反射防止膜を
提供づることにある。
、反射防止効果に優れ、ガラスレンズに施した場合にで
もゴースト現象、フレア現象が起こりにくく、さらに所
望の反射特性を再現良く得ることができる反射防止膜を
提供づることにある。
［課題を解決するための手段］
本発明は、上述の目的を達成するために鋭意研究した結
果、ほぼ、１．５から１．８の屈折率を有するガラス基
板上に設けられる７層構成の反射防止膜であって基材よ
り数えて順に第１層、第２層とした時に以下の条件を満
足し、さらに第６層がＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３
との混合物からなることを特徴とする反射防止膜を見い
出し本発明に至った。
果、ほぼ、１．５から１．８の屈折率を有するガラス基
板上に設けられる７層構成の反射防止膜であって基材よ
り数えて順に第１層、第２層とした時に以下の条件を満
足し、さらに第６層がＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３
との混合物からなることを特徴とする反射防止膜を見い
出し本発明に至った。
第１１！！ １．３８ ≦ ０１ ≦１．３９０
．０７λ０≦ｎｌ ｄ１≦０．１４λ０第２層 １．
６２ ≦ ｎ２ ≦２．０５０．０２λ０≦ｎ２ ｄ２
≦０．０６λＯ第３１１ ｎｓ ≧１．９０ ０．０６λ０≦ｎ３ ｄ３≦０．１０λ０第４層 １
．３８ ≦ ｎ４ ≦１．３９０．１０λ０≦ｎ４ ｄ
４≦０．１３λＯ第５１ ｎｓ ≧１．９０ ０．０５λ０≦ｎ５ ｄ５≦０．１０λ０第６層 ２
．０５ ≦ ｎ６ ≦２．１５０．４８λ０≦ｎ６ ｄ
６≦０．５２λ０第７層 １．３８≦ ０７ ≦１
．３９０．２３λ０≦ｎ７ ｄ７≦０．２７λ０但し、
λ０は４５０〜５５０ｎｍの範囲において選択された設
計波長、ｎｌは屈折率、ｎｉｄは光学的膜厚、ｉは１〜
７の整数を示す。
．０７λ０≦ｎｌ ｄ１≦０．１４λ０第２層 １．
６２ ≦ ｎ２ ≦２．０５０．０２λ０≦ｎ２ ｄ２
≦０．０６λＯ第３１１ ｎｓ ≧１．９０ ０．０６λ０≦ｎ３ ｄ３≦０．１０λ０第４層 １
．３８ ≦ ｎ４ ≦１．３９０．１０λ０≦ｎ４ ｄ
４≦０．１３λＯ第５１ ｎｓ ≧１．９０ ０．０５λ０≦ｎ５ ｄ５≦０．１０λ０第６層 ２
．０５ ≦ ｎ６ ≦２．１５０．４８λ０≦ｎ６ ｄ
６≦０．５２λ０第７層 １．３８≦ ０７ ≦１
．３９０．２３λ０≦ｎ７ ｄ７≦０．２７λ０但し、
λ０は４５０〜５５０ｎｍの範囲において選択された設
計波長、ｎｌは屈折率、ｎｉｄは光学的膜厚、ｉは１〜
７の整数を示す。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明の反射防止膜の第６１は、ＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５
、Ｙ２Ｏ３との混合蒸着膜から構成されることを必須
条件としている。その理由は、Ｔａ２Ｏ５にＺｒＯ２と
Ｙ２Ｏ５とを混合することによって、膜厚の厚さ方向に
屈折率が異なる性質を有する不均質膜の不均質性を調整
することが可能であり、また吸収を示さず、屈折率が２
．０５〜２．１５と＾い屈折率を有するからである。尚
、ＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３とのモル組成比は、
ＺｒＯ２が１に対して、Ｔａ２ｏｓが０．８〜１．８、
Ｙ２Ｏ３が０．０５〜０．３が好ましく用いられる。
、Ｙ２Ｏ３との混合蒸着膜から構成されることを必須
条件としている。その理由は、Ｔａ２Ｏ５にＺｒＯ２と
Ｙ２Ｏ５とを混合することによって、膜厚の厚さ方向に
屈折率が異なる性質を有する不均質膜の不均質性を調整
することが可能であり、また吸収を示さず、屈折率が２
．０５〜２．１５と＾い屈折率を有するからである。尚
、ＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３とのモル組成比は、
ＺｒＯ２が１に対して、Ｔａ２ｏｓが０．８〜１．８、
Ｙ２Ｏ３が０．０５〜０．３が好ましく用いられる。
その理由は、前記モル組成比であれば、前記屈折率の範
囲と不均質性を調整することが容易で、また得られる蒸
着膜に吸収が生じさせないためである。１モルのＺｒＯ
２に対してＴａ２Ｏ５が０゜８モル未満の場合や１．８
モルを超える場合には、得られる蒸着膜に吸収が生じ易
く、Ｙ２Ｏ３が０゜３モルを超えると、蒸着速度が早く
なり、得られる蒸着膜に吸収が生じ易くなるとともに、
蒸着原料の飛散が生じ易くその制御が難しくなる。
囲と不均質性を調整することが容易で、また得られる蒸
着膜に吸収が生じさせないためである。１モルのＺｒＯ
２に対してＴａ２Ｏ５が０゜８モル未満の場合や１．８
モルを超える場合には、得られる蒸着膜に吸収が生じ易
く、Ｙ２Ｏ３が０゜３モルを超えると、蒸着速度が早く
なり、得られる蒸着膜に吸収が生じ易くなるとともに、
蒸着原料の飛散が生じ易くその制御が難しくなる。
本発明の反射防止膜の各層の膜材料は、各層の屈折率と
光学的膜厚の範囲をみたすものであれば特に限定はない
が、第１層、第４層及び第７Ｈは、低屈折率の物質、た
とえば、屈折率１．３８〜１゜３９のＭＯＦ２、第２層
は、Ａｌ２Ｏ３またはＺｒＯ２、第３層、第５層は、Ｚ
ｒＯ２またはＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３との混合
物によッテ構成することが好ましい。その理由は、吸収
を示さず、所望の屈折率と強い膜強度を得ることができ
るからである。
光学的膜厚の範囲をみたすものであれば特に限定はない
が、第１層、第４層及び第７Ｈは、低屈折率の物質、た
とえば、屈折率１．３８〜１゜３９のＭＯＦ２、第２層
は、Ａｌ２Ｏ３またはＺｒＯ２、第３層、第５層は、Ｚ
ｒＯ２またはＺｒＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３との混合
物によッテ構成することが好ましい。その理由は、吸収
を示さず、所望の屈折率と強い膜強度を得ることができ
るからである。
尚、本発明におけるガラス基材の屈折率は、１゜５から
１．８の範囲のものを用いる。その理由は、ガラス基材
の屈折率が１．５から１．８の範囲であれば、本発明の
反射防止膜の各層の蒸着物質、蒸着物質の積層順を変え
ることなく前記ガラス基材に適用することが可能だから
である。
１．８の範囲のものを用いる。その理由は、ガラス基材
の屈折率が１．５から１．８の範囲であれば、本発明の
反射防止膜の各層の蒸着物質、蒸着物質の積層順を変え
ることなく前記ガラス基材に適用することが可能だから
である。
本発明では、反射防止膜の膜構成を７層構成とし、各層
の屈折率、光学的膜厚の範囲を前記の如く限定すること
により表面反射率が極めて低い反射防止膜を得ることが
可能になる。
の屈折率、光学的膜厚の範囲を前記の如く限定すること
により表面反射率が極めて低い反射防止膜を得ることが
可能になる。
本発明において前記第１〜７層は、真空蒸着、スパッタ
リングによって設けることができる。より、好ましくは
真空蒸着である。イオンビームアシストなどの方法も適
宜応用してもよい。
リングによって設けることができる。より、好ましくは
真空蒸着である。イオンビームアシストなどの方法も適
宜応用してもよい。
［実施例］
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本
発明は、これら実施例に限定されるものでない。
発明は、これら実施例に限定されるものでない。
第１図は、本発明にかかる反射防止膜を示す断面図であ
る。第１図において、反射防止膜Ｃは基板Ａ側から空気
Ｂ側へ順に、第１層１、第２８２、第３層３、第４層４
、第５層５、第６層６、第７層７構成からなる。
る。第１図において、反射防止膜Ｃは基板Ａ側から空気
Ｂ側へ順に、第１層１、第２８２、第３層３、第４層４
、第５層５、第６層６、第７層７構成からなる。
次に、本発明実施例１〜４の具体的構成を表１に、実施
例５〜８の具体的構成を表２に、実施例９〜１２の具体
的構成を表３に示し、実施例１〜３の分光反射率曲線を
第２図に、実施例５〜７の分光反射率曲線を第３図に、
実施例９〜１１の分光反射率曲線を第４図に、また、実
施例４，８゜１２の分光反射率曲線を第５図に示す。但
し、表１〜表３において各層の光学的膜厚は設計波長λ
０を５００ｎｍとして計算した場合の値である。
例５〜８の具体的構成を表２に、実施例９〜１２の具体
的構成を表３に示し、実施例１〜３の分光反射率曲線を
第２図に、実施例５〜７の分光反射率曲線を第３図に、
実施例９〜１１の分光反射率曲線を第４図に、また、実
施例４，８゜１２の分光反射率曲線を第５図に示す。但
し、表１〜表３において各層の光学的膜厚は設計波長λ
０を５００ｎｍとして計算した場合の値である。
尚、蒸着法は真空蒸着法を用い、基板温度３００℃、真
空度３ｘ １０’Ｔｏ ｒ ｒの条件で行なった。屈折
率１．６のガラスレンズとしてＬ ＨＩ −■（ホーヤ
（株）！ＦＪ）、屈折率１．７のガラスレンズとしてＬ
ＨＩ（ホーヤ（株）製）、屈折率１゜８のガラスレンズ
としてＴＨＩ−Ｉ［（ホーヤ（株）製）を用い、ＺｒＯ
２、Ｔａ２Ｏ５ 、Ｙ２Ｏ３ ｆ７）モル組成比はＺｒ
Ｏ２が１に対して、Ｔａ２Ｏｓが１．２、Ｙ２Ｏ３が０
．３で行なツタ。第２図〜第５図から明らかなようにい
ずれの実施例においても、片面の検感反射率は、約０．
１５％以下と極めて優れた反射防止性を有していた。
空度３ｘ １０’Ｔｏ ｒ ｒの条件で行なった。屈折
率１．６のガラスレンズとしてＬ ＨＩ −■（ホーヤ
（株）！ＦＪ）、屈折率１．７のガラスレンズとしてＬ
ＨＩ（ホーヤ（株）製）、屈折率１゜８のガラスレンズ
としてＴＨＩ−Ｉ［（ホーヤ（株）製）を用い、ＺｒＯ
２、Ｔａ２Ｏ５ 、Ｙ２Ｏ３ ｆ７）モル組成比はＺｒ
Ｏ２が１に対して、Ｔａ２Ｏｓが１．２、Ｙ２Ｏ３が０
．３で行なツタ。第２図〜第５図から明らかなようにい
ずれの実施例においても、片面の検感反射率は、約０．
１５％以下と極めて優れた反射防止性を有していた。
また、第６図は、単色測光法（λＯ＝５５０ｎｍ）にて
制御を行ない、第６層０．５０λＯを５回繰り返して形
成したときの第６層の蒸着時間（膜厚変化）に対する反
射率変化を示す図である。第６図に示すように、いづれ
の場合にも蒸着開始点ａと０．５０λＯの最小極値点す
の反射率値がほぼ同一であり、第６層のＺｒＯ２、Ｔａ
２Ｏｓ 、Ｙ２Ｏ３からなる膜は均質なものであった。
制御を行ない、第６層０．５０λＯを５回繰り返して形
成したときの第６層の蒸着時間（膜厚変化）に対する反
射率変化を示す図である。第６図に示すように、いづれ
の場合にも蒸着開始点ａと０．５０λＯの最小極値点す
の反射率値がほぼ同一であり、第６層のＺｒＯ２、Ｔａ
２Ｏｓ 、Ｙ２Ｏ３からなる膜は均質なものであった。
さらに、実施例１〜１２に示す反射防止膜を施したガラ
スレンズをそれぞれ繰り返し製作したところ、すべての
ガラスレンズにおいて片面検感反射率が約０．１５％以
下と反射特性を再現良く得ることができた。
スレンズをそれぞれ繰り返し製作したところ、すべての
ガラスレンズにおいて片面検感反射率が約０．１５％以
下と反射特性を再現良く得ることができた。
（以下余白）
［発明の効果１
以上詳述したように、本発明の反射防止膜は、ガラスレ
ンズ上に設けたときに、可視光線域の波長範囲において
表面反射率が極めて低く、優れた反射防止効果を有して
いることから、ゴースト現象、フレア現象が解消され眼
鏡レンズとして特に好適に用いることができる。また第
６層に不均質の問題を解消できる物質を用いていること
から、反射特性を再現良く得ることができる。さらに、
本発明の反射防止膜は、屈折率１．５〜１．８のガラス
レンズにおいて蒸着物質、蒸着物質の積層順を変えずに
ほぼ同一の反射特性を得ることが可能になった。
ンズ上に設けたときに、可視光線域の波長範囲において
表面反射率が極めて低く、優れた反射防止効果を有して
いることから、ゴースト現象、フレア現象が解消され眼
鏡レンズとして特に好適に用いることができる。また第
６層に不均質の問題を解消できる物質を用いていること
から、反射特性を再現良く得ることができる。さらに、
本発明の反射防止膜は、屈折率１．５〜１．８のガラス
レンズにおいて蒸着物質、蒸着物質の積層順を変えずに
ほぼ同一の反射特性を得ることが可能になった。
第１図は本発明にかかる反射防止膜の構成を示す断面図
、第２図は本実施例１〜３の分光反射率曲線図、第３図
は、本実施例５〜７の分光反射率曲線図、第４図は、実
施例９〜１１の分光反射率曲線図、第５図は、本実施例
４，８．１２の分光反射率曲線図、第６図は、第６層を
単色測光法にて制御した第６層の反射率変化図である。 Ａニガラス基材、Ｂ：空気 Ｃ：反射防止膜 １：第１層、２：第２層 ３：第３層、４：第４層 ５：第５層、６：第６層 ７：第７層
、第２図は本実施例１〜３の分光反射率曲線図、第３図
は、本実施例５〜７の分光反射率曲線図、第４図は、実
施例９〜１１の分光反射率曲線図、第５図は、本実施例
４，８．１２の分光反射率曲線図、第６図は、第６層を
単色測光法にて制御した第６層の反射率変化図である。 Ａニガラス基材、Ｂ：空気 Ｃ：反射防止膜 １：第１層、２：第２層 ３：第３層、４：第４層 ５：第５層、６：第６層 ７：第７層
Claims (4)
- （１）ほぼ、１．５から１．８の屈折率を有するガラス
基板上に設けられる７層構成の反射防止膜であつて基材
より数えて順に第１層、第２層とした時に以下の条件を
満足し、さらに第６層がＺｒＯ＿２、Ｔａ＿２Ｏ＿５、
Ｙ＿２Ｏ＿３との混合物からなることを特徴とする反射
防止膜； 第１層１．３８≦ｎ＿１≦１．３９ ０．０７λ＿０≦ｎ＿１ｄ＿１≦０．１４λ＿０第２層
１．６２≦ｎ＿２≦２．０５ ０．０２λ＿０≦ｎ＿２ｄ＿２≦０．０７λ＿０第３層
ｎ＿３≧１．９０ ０．０６λ＿０≦ｎ＿３ｄ＿３≦０．１０λ＿０第４層
１．３８≦ｎ＿４≦１．３９ ０．１０λ＿０≦ｎ＿４ｄ＿４≦０．１３λ＿０第５層
ｎ＿５≧１．９０ ０．０５λ＿０≦ｎ＿５ｄ＿５≦０．１０λ＿０第６層
２．０５≦ｎ＿６≦２．１５ ０．４８λ＿０≦ｎ＿６ｄ＿６≦０．５２λ＿０第７層
１．３８≦ｎ＿７≦１．３９ ０．２３λ＿０≦ｎ＿７ｄ＿７≦０．２７λ＿０但し、
λ＿０は４５０〜５５０ｎｍの範囲において選択された
設計波長、ｎｉは屈折率、ｎｉｄｉは光学的膜厚、ｉは
１〜７の整数を示す。 - （２）第１層、第４層、第７層がＭｇＦ＿２からなるこ
とを特徴とする請求項１記載の反射防止膜。 - （３）第２層がＡｌ＿２Ｏ＿３またはＺｒＯ＿２からな
ることを特徴とする請求項１または請求項２記載の反射
防止膜。 - （４）第３層、第５層がＺｒＯ＿２またはＺｒＯ＿２、
Ｔａ＿２Ｏ＿５、Ｙ＿２Ｏ＿３との混合物からなること
を特徴とする請求項１または請求項２または請求項３記
載の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342436A JP2815951B2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1342436A JP2815951B2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 反射防止膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03203701A true JPH03203701A (ja) | 1991-09-05 |
| JP2815951B2 JP2815951B2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=18353725
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1342436A Expired - Lifetime JP2815951B2 (ja) | 1989-12-29 | 1989-12-29 | 反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2815951B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6606196B2 (en) * | 2000-08-29 | 2003-08-12 | Hoya Corporation | Optical element having antireflection film |
| US11456094B2 (en) | 2020-03-03 | 2022-09-27 | Koa Corporation | Surface-mounted resistor |
-
1989
- 1989-12-29 JP JP1342436A patent/JP2815951B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6606196B2 (en) * | 2000-08-29 | 2003-08-12 | Hoya Corporation | Optical element having antireflection film |
| US11456094B2 (en) | 2020-03-03 | 2022-09-27 | Koa Corporation | Surface-mounted resistor |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2815951B2 (ja) | 1998-10-27 |
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