JPH03205797A - 多目的型ｓｏｒ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、電子ビームをシンクロトロン内で光速で周回
させて放射光を取り出すＳＯＲ装置に係り、特にシンク
ロトロンに電子を入射する線形加速器を有効に利用でき
る多目的型ＳＯＲ装置に関するものである。

［従来の技術］ 最近半導体のリソグラフィー用光源としてＳＯＲ装置が
注目されてきている。

ＳＯＲ装置は、蓄積リング内の電子ビームを光速で周回
させ、電子ビームが磁場で偏向される際に放射される放
射光（ＳＯＲ光）を取り出すものである。

通常ＳＯＲ装置は、大型の場合、線形加速器とシンクロ
トロンと蓄積リングの３台の装置から構成され、小型の
場合は、シンクロトロンと蓄積リングを兼用したものが
用いられる。このＳＯＲ装置において、線形加速器で電
子が繰返シンクロトロンに入射され、蓄積リング（また
はシンクロトロン）に所定の電子が蓄積されたならば、
線形加速器からの電子入射は停止され、蓄積リング（シ
ンクロトロン）内の電子ビームエネルギーを最終エネル
ギーまで高め、そのエネルギーのまま電子ビームが消滅
するまで数十時間連続運転してＳＯＲ光を取り出すよう
にしている。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、シンクロトロン（蓄積リング）のみが常
時運転され、線形加速器は入射時のみ使用され、ＳＯＲ
光を取り出している間は、線形加速器は実質的に使用さ
れていない問題がある。この線形加速器は電子の入射エ
ネルギーが高ければ数十メートルと長く、実質的に稼動
していない間はスペース上も無駄になりやすい。

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、線形加速
器を有効に利用できる多目的ＳＯＲ装置を提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、上記の目的を達成するために、電子を加速す
る線形加速器に偏向磁石からなる入射部を介してシンク
ロトロンを接続したＳＯＲ装置において、上記線形加速
器に電子線利用実験装置を接続すると共に線形加速器に
、加速した電子をシンクロトロンと電子線利用実験装置
に切り替える切替電磁石を設けたものである。

［作用］ 上記の構成によれば、ＳＯＲ運転時、線形加速器よりシ
ンクロトロンに所定量の電子の入射が終えた後は、加速
電子を切替電磁石にて電子線利用実験装置に入射するこ
とで線形加速器を常時有効に利用することができる。

［実施例］ 以下、本発明の好適実施例を添付図面に基づいて説明す
る。

第１図において、１はシンクロトロンで、電子ビームが
周回する環状の真空容器２と、その真空容器２内を周回
する電子ビームにエネルギーを袖給する高周波加速空洞
３と、電子ビームを偏向する偏向電磁石４とから構成さ
れる。このシンクロトロン１の電子ビームの偏向部には
光取り出しライン５か接続され、その光取り出しライン
５に露光装置６が接続される。

このシンクロトロン１には、電子発生装置７で発生した
電子を加速し、１祠向磁石８からなる入射部９を介して
電子を入射する線形加速器１０が接続される６この線形
加速器１０の出射端には、切替電磁石１１が接続され、
その切替電磁石１１にて加速電子の出射方向を入射部９
を介してシンクロトロン１に、またビームラインｌ２を
介して電子線利用実験装置ｌ３に入射できるようになっ
ている。この電子線利用実験装置１３は、例えば構造解
析など物性分析装置などからなる。

次に本実施例の作用を説明する。

先ずＳＯＲ運転を説明する。

電子発生装置７からの電子は、線形加速器１０で、例え
ば４５ＭｅＶまで加速され、切替電磁石１１にて入射部
９に偏向され、適宜偏向電磁石８で偏向されてシンクロ
トロン１の真空容器２内に入射される。

この真空容器２内に入射された電子は、偏向電磁石４で
偏向され、かつ高周波加速空洞３でエネルギーを補給さ
れながら真空容器２内を光速で周回する。この線形加速
器１０よりの電子の入射を繰返し行い、シンクロトロン
１内に所定の電流が蓄積された後、偏向電磁石４の磁場
を順次高めて電子ビームのエネルギーを最終エネルギー
（例えば８００ＭｅＶ）まで高め、その間、偏向磁石４
で偏向されるビームの接線方向に放射されるＳＯＲ光を
光取り出しライン５より取り出し、露光装置６に入射し
、半導体のリングラフィを行う。

シンクロトロン１内の電子ビームが最終エネルギーで周
回する際の電子ビームの寿命は数十時間以上あり、電子
入射を終えた線形加速器１０は、その間ＳＯＲ装置の運
転には不要となるため、この間切替電磁石１１にて加速
電子の出射方向を変え電子線利用実験装置１３に入射す
ることで、例えば物性分析などの実験を並行して行うこ
とができる。

尚上述の実施例においては、小型ＳＯＲ装置の例で説明
したが、大型ＳＯ．Ｒ装置にも適用できる。

この場合、線形加速器からの電子はシンクロトロンに入
射された後、そのシンクロトロンで所定のエネルギーま
で加速され、その加速された電子ビームか蓄積リングに
入射され、その蓄積リング内の電子ビームが所定量蓄積
されたならば蓄積リング内の電子ビームエネルギーを最
終エネルギーまで゛上げてＳＯＲ光を取り出すように横
或され、線形加速器は、加速専用のシンクロトロンと電
子線利用実験装置の双方に切り替えて入射できる用にす
ることは勿論である。

［発明の効果］ 以上説明したことから明らかなように本発明によれば次
のごとき優れた効果を発揮する。

（１）線形加速器からの電子を、シンクロトロンと電子
線利用実験装置の双方に切り替えて入射することで線形
加速器を有効に利用することができる，

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図である。 図中、１はシンクロトロン、２は真空容器、３は高周波
加速空洞、４は偏向磁石、９は入射部、１０は線形加速
器、１１は切替電磁石、１３は電子線利用実験装置であ
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、電子を加速する線形加速器に偏向磁石からなる入射
   部を介してシンクロトロンを接続したＳＯＲ装置におい
   て、上記線形加速器に電子線利用実験装置を接続すると
   共に線形加速器に、加速した電子をシンクロトロンと電
   子線利用実験装置に切り替える切替電磁石を設けたこと
   を特徴とする多目的型ＳＯＲ装置。