JPH0320679A - 誘電体材料の温度特性測定装置 - Google Patents
誘電体材料の温度特性測定装置Info
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- JPH0320679A JPH0320679A JP15525789A JP15525789A JPH0320679A JP H0320679 A JPH0320679 A JP H0320679A JP 15525789 A JP15525789 A JP 15525789A JP 15525789 A JP15525789 A JP 15525789A JP H0320679 A JPH0320679 A JP H0320679A
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- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
本発明は誘電体共振器等に使用されている誘電体材料定
数の温度特性を測定するための誘電体材料の温度特性測
定装置に関する。
数の温度特性を測定するための誘電体材料の温度特性測
定装置に関する。
[従来の技術1
近年、マイクロ波を使用する通信機器等において、高誘
電率の誘電体材料を用いて構威された誘電体共振器のT
E o lgモードもしくはT M o ,oモード
を利用した超小型の帯域通過フィルタが使用されている
。
電率の誘電体材料を用いて構威された誘電体共振器のT
E o lgモードもしくはT M o ,oモード
を利用した超小型の帯域通過フィルタが使用されている
。
従来、この種の帯域通過フィルタを構戊する誘電体共振
器の温度特性は、たとえば第5図Aいし第7図に示すよ
うな構成を有する温度特性測定装置lにより測定されて
いた。
器の温度特性は、たとえば第5図Aいし第7図に示すよ
うな構成を有する温度特性測定装置lにより測定されて
いた。
上記温度特性測定装置1は、導体空胴ケース2を備える
。この導体空胴ケース2の内部には、例えばフォルステ
ライト等の低誘電率材料からなる円筒状の支持部材3(
第6図1第7図参照)の上に温度特性が測定される試料
誘電体4が支持される。
。この導体空胴ケース2の内部には、例えばフォルステ
ライト等の低誘電率材料からなる円筒状の支持部材3(
第6図1第7図参照)の上に温度特性が測定される試料
誘電体4が支持される。
上記導体空胴ケース2は、アルミニウムあるいはその合
金などの導電材料からなるもので、上端が解放され、か
つ、底部を有する円筒形状を有する。従って、この導体
空胴ケース2の内壁面も円筒形状となっている。上記導
体空胴ケース2の上部開口は、第6図に示すように、同
様の導電材料からなる蓋部材2aによって閉塞される。
金などの導電材料からなるもので、上端が解放され、か
つ、底部を有する円筒形状を有する。従って、この導体
空胴ケース2の内壁面も円筒形状となっている。上記導
体空胴ケース2の上部開口は、第6図に示すように、同
様の導電材料からなる蓋部材2aによって閉塞される。
なお、上記導体空胴ケース2および蓋部材2aは、セラ
ミックのような誘電体の表面に導電膜を形成したものが
使用されることもある。
ミックのような誘電体の表面に導電膜を形成したものが
使用されることもある。
上記試料誘電体4は中空円筒状のものであり、かつ、上
記導体空胴ケース4の内壁面が円筒状であるので、上記
導体空胴ケース2と試料誘電体4とはTE.,.モード
の共振器として機能する。
記導体空胴ケース4の内壁面が円筒状であるので、上記
導体空胴ケース2と試料誘電体4とはTE.,.モード
の共振器として機能する。
上記導体空胴ケース2の側壁2blこは対向する位置に
入力用コネクタ5および出力用コネクタ6が取り付けら
れる。これら入力用コネクタ5および出力用フネクタ6
は、試料誘電体4と結合するだめの結合手段0ことえば
結合ループ)を有する。
入力用コネクタ5および出力用コネクタ6が取り付けら
れる。これら入力用コネクタ5および出力用フネクタ6
は、試料誘電体4と結合するだめの結合手段0ことえば
結合ループ)を有する。
すなわち、上記入力用コネクタ5から高周波信号が入力
されると、この結合手段によって上記試料誘電体4が励
振され、試料誘電体4の共振特性に応じた信号が、上記
出力結合手段を通して、出力用コネクタ6から取り出さ
れる。
されると、この結合手段によって上記試料誘電体4が励
振され、試料誘電体4の共振特性に応じた信号が、上記
出力結合手段を通して、出力用コネクタ6から取り出さ
れる。
このため、第5図に示すように、上記入力用コネクタ5
と出力用コネクタ6との間には、ネットワークアナライ
ザ7が接続される。この、不ット?ークアナライザ7は
、例えば掃引発振器、周波数変換器および周波数カウン
タ等により構戊される。
と出力用コネクタ6との間には、ネットワークアナライ
ザ7が接続される。この、不ット?ークアナライザ7は
、例えば掃引発振器、周波数変換器および周波数カウン
タ等により構戊される。
上記導体空胴ケース2には、その側壁2bにもう一つコ
ネクタ8が取り付けられる。このコネクタ8にも、アン
テナ結合のための解放端(結合ループ)が形成されてい
る。そして、このコネクタ8の他端には、加熱用高周波
注入装置9が接続される。この加熱用高周波注入装置9
は、マグネトロンのような高周波発生手段を含み、例え
ばi00ないし200ワット程度の高電力の高周波を試
料誘電体4内に注入する。
ネクタ8が取り付けられる。このコネクタ8にも、アン
テナ結合のための解放端(結合ループ)が形成されてい
る。そして、このコネクタ8の他端には、加熱用高周波
注入装置9が接続される。この加熱用高周波注入装置9
は、マグネトロンのような高周波発生手段を含み、例え
ばi00ないし200ワット程度の高電力の高周波を試
料誘電体4内に注入する。
上記のような構戊を有する誘電体材料の温度特性測定装
置における試料誘電体4の加熱原理は次の通りである。
置における試料誘電体4の加熱原理は次の通りである。
すなわち、試料誘電体の無負荷Q (Q.)は、次式で
与えられる。
与えられる。
1/Q.− (1/Q..) +(1/Q,■)+(l
/QC ) ここで、Q a +は試料誘電体4の誘電体損失(【?
nδI)に関するQ,Q.■は支持部材の誘電体損失(
tanδ2)に関するQ,Q。は導体空胴ケース2のジ
ュール損に関するQを表す。
/QC ) ここで、Q a +は試料誘電体4の誘電体損失(【?
nδI)に関するQ,Q.■は支持部材の誘電体損失(
tanδ2)に関するQ,Q。は導体空胴ケース2のジ
ュール損に関するQを表す。
まf− 、 1 / ()+、= E a
n δ i/a,1. / (Lz= t a nδ
z/bである。
n δ i/a,1. / (Lz= t a nδ
z/bである。
ここで、aは蓄積される全電気エネルギーのうち、試料
誘電体4内部に蓄積されているエネルギーの割合、bは
蓄積全電気エネルギーのうち支持部材3内に蓄積されて
いるエネルギーの割合を表す。
誘電体4内部に蓄積されているエネルギーの割合、bは
蓄積全電気エネルギーのうち支持部材3内に蓄積されて
いるエネルギーの割合を表す。
上記試料誘電体4にはコネクタ8を通して、加熱用高周
波注入装置9から高電力の高周波が印加される。このと
きの結合ループすなわちコネクタ8の外部Q (Qe
)を試料誘電体の無負荷Q (Q。)に近似ないし一致
させると、注入される高周波電界の殆どが試料誘電体4
に吸収される。このとき、加熱用高周波注入装置9から
の高電力の高周波の周波数は試料誘電体4の共振周波数
に一致させる必要がある。なぜなら、両周波数が一致し
ているときが最も反射が小さいからである。そう?ると
、加熱用高周波注入装置9から供給される高周波電力の
うち、Q./Q■の割合のものが試料誘電体4での発熱
に消費される。この発熱によって、試料誘電体4の温度
が上昇する。このようにして、試料誘電体4が加熱され
る。
波注入装置9から高電力の高周波が印加される。このと
きの結合ループすなわちコネクタ8の外部Q (Qe
)を試料誘電体の無負荷Q (Q。)に近似ないし一致
させると、注入される高周波電界の殆どが試料誘電体4
に吸収される。このとき、加熱用高周波注入装置9から
の高電力の高周波の周波数は試料誘電体4の共振周波数
に一致させる必要がある。なぜなら、両周波数が一致し
ているときが最も反射が小さいからである。そう?ると
、加熱用高周波注入装置9から供給される高周波電力の
うち、Q./Q■の割合のものが試料誘電体4での発熱
に消費される。この発熱によって、試料誘電体4の温度
が上昇する。このようにして、試料誘電体4が加熱され
る。
高周波による上記加熱を利用して、試料誘電体4の温度
特性の測定は次のように行なわれる。
特性の測定は次のように行なわれる。
まず、試料誘電体4を力n熱する前に、この試料誘電体
4の共振周波数を、ネットワークアナライザ7によって
測定する。
4の共振周波数を、ネットワークアナライザ7によって
測定する。
次に、上記のようにして、加熱用高周波注入装置9から
の高電力の高周波電界によって、試料誘電体4を加熱す
るとともに、その表面温度を測定する。そして、再び、
ネットワークアナライザ7によって、試料誘電体4の共
振周波数を測定することによって、試料誘電体4の周波
数温度特性が測定される。
の高電力の高周波電界によって、試料誘電体4を加熱す
るとともに、その表面温度を測定する。そして、再び、
ネットワークアナライザ7によって、試料誘電体4の共
振周波数を測定することによって、試料誘電体4の周波
数温度特性が測定される。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、上記従来の誘電体材料の温度特性測定装置で
は、コネクタ8を通して上記加熱用高周波注入装置9か
ら試料誘電体4に注入される高電力の高周波により試料
誘電体4が発熱しても、試料誘電体4は支持部材3のリ
ング状の一端面と面接触しているので、試料誘電体4の
熱は上記支持部材3を通して導体空胴ケース2に逃げて
しまう。
は、コネクタ8を通して上記加熱用高周波注入装置9か
ら試料誘電体4に注入される高電力の高周波により試料
誘電体4が発熱しても、試料誘電体4は支持部材3のリ
ング状の一端面と面接触しているので、試料誘電体4の
熱は上記支持部材3を通して導体空胴ケース2に逃げて
しまう。
このため、試料誘電体4の温度上昇が遅れて、試料誘電
体4のみを高速で加熱することができず、試料誘電体4
の温度特性を効率よく測定することができないという問
題があった。
体4のみを高速で加熱することができず、試料誘電体4
の温度特性を効率よく測定することができないという問
題があった。
本発明の目的は、温度特性を測定する誘電体材料を効率
よく加熱するとともに、安定した温度状態を実現し、誘
電体材料の温度特性を短時間で精度よく測定することの
できる誘電体材料の温度特性測定装置を提供することで
ある。
よく加熱するとともに、安定した温度状態を実現し、誘
電体材料の温度特性を短時間で精度よく測定することの
できる誘電体材料の温度特性測定装置を提供することで
ある。
【課題を解決するための千段1
このため、本願の第1の発明は、導体空胴ケースを備え
、この導体空胴ケースの内部にて低誘電率材料からなる
筒状の支持部材の一つの端面上に温度特性を測定する試
料誘電体を支持し、加熱用高周波注入装置より上記試料
誘電体に高周波を注入し、その温度を上昇させて上記試
料誘電体の温度特性を測定するようにした誘電体材料の
温度特性測定装置であって、 上記支持部材はそれを通して試料誘電体の熱が上記導体
空胴ケースに逃げるのを妨げる低熱伝導部を有している
ことを特徴としている。
、この導体空胴ケースの内部にて低誘電率材料からなる
筒状の支持部材の一つの端面上に温度特性を測定する試
料誘電体を支持し、加熱用高周波注入装置より上記試料
誘電体に高周波を注入し、その温度を上昇させて上記試
料誘電体の温度特性を測定するようにした誘電体材料の
温度特性測定装置であって、 上記支持部材はそれを通して試料誘電体の熱が上記導体
空胴ケースに逃げるのを妨げる低熱伝導部を有している
ことを特徴としている。
また、本願の第2の発明は、本願の第2の発明において
、低熱伝導部は支持部材の上記一つの端面に向かって肉
厚が減少する肉厚減少部分を含んでいることを特徴とし
ている。
、低熱伝導部は支持部材の上記一つの端面に向かって肉
厚が減少する肉厚減少部分を含んでいることを特徴とし
ている。
さらに、本願の第3の発明は、本願の第lの発明におい
て、低熱伝導部は支持部材に形成された窓の縦桟部分に
より構或されていることを特徴としている。
て、低熱伝導部は支持部材に形成された窓の縦桟部分に
より構或されていることを特徴としている。
さらにまt;、本願の第4の発明は、導体空胴ケースを
備え、この導体空胴ケースの内部にて支持部材により温
度特性を測定する試料誘電体を支持し、加熱用高周波注
入装置より上記試料誘電体に高周波を注入し、その濃度
を上昇させて上記試料誘電体の温度特性を測定するよう
にした誘電体材料の温度特性測定装置であって、 上記支持部材は導体空胴ケース内に上記試料誘電体を吊
り下げ支持するセラミック繊維であることを特徴として
いる。
備え、この導体空胴ケースの内部にて支持部材により温
度特性を測定する試料誘電体を支持し、加熱用高周波注
入装置より上記試料誘電体に高周波を注入し、その濃度
を上昇させて上記試料誘電体の温度特性を測定するよう
にした誘電体材料の温度特性測定装置であって、 上記支持部材は導体空胴ケース内に上記試料誘電体を吊
り下げ支持するセラミック繊維であることを特徴として
いる。
[作用コ
上記加熱用高周波注入装置より試料誘電体に加熱用の高
周波が注入されて温度が上昇すると、その熱は試料誘電
体の支持部材もしくはセラミック繊維を伝わって導体空
胴ケースに伝わる。しかし、試料誘電体の支持部材の低
熱伝導部もしくはセラミック繊維は熱容量が小さく、か
つ熱伝導性が悪く、試料誘電体もしくはセラミック繊維
を通しての熱伝導は行なわれにくい。従って、試料誘電
体から導体空胴ケースへの熱伝導が抑えられる。これに
より、試料誘電体は速やかに温度が上昇することになる
。
周波が注入されて温度が上昇すると、その熱は試料誘電
体の支持部材もしくはセラミック繊維を伝わって導体空
胴ケースに伝わる。しかし、試料誘電体の支持部材の低
熱伝導部もしくはセラミック繊維は熱容量が小さく、か
つ熱伝導性が悪く、試料誘電体もしくはセラミック繊維
を通しての熱伝導は行なわれにくい。従って、試料誘電
体から導体空胴ケースへの熱伝導が抑えられる。これに
より、試料誘電体は速やかに温度が上昇することになる
。
[発明の効果1
本発明によれば、試料誘電体からの熱の逃げが抑えられ
るので、加熱用の高周波の注入により試料誘電体の温度
が速やかに上昇し、試料誘電体の温度特性を高い精度で
短い時間で効率良く測定することができる。
るので、加熱用の高周波の注入により試料誘電体の温度
が速やかに上昇し、試料誘電体の温度特性を高い精度で
短い時間で効率良く測定することができる。
また、試料誘電体をセラミック繊維により吊り下げるこ
とにより、ほぼ試料誘電体のみを発熱させることができ
、試料誘電体の温度特性をより高精度で効率よく測定す
ることができる。
とにより、ほぼ試料誘電体のみを発熱させることができ
、試料誘電体の温度特性をより高精度で効率よく測定す
ることができる。
[実施例1
以下、添付の図面を参照して本発明の実施例を説明する
。
。
本発明に係る試料誘電体の温度特性測定装置の一実施例
の縦断面を第1図に示す。
の縦断面を第1図に示す。
上記誘電体材料の温度特性測定装置11は、第5図ない
し第7図において説明した誘電体材料の温度特性測定装
置lに本発明を適用したもので、第l図において第5図
ないし第7図に対応する部分には対応する符号を付して
示し、重複した説明は省略する。
し第7図において説明した誘電体材料の温度特性測定装
置lに本発明を適用したもので、第l図において第5図
ないし第7図に対応する部分には対応する符号を付して
示し、重複した説明は省略する。
上記誘電体材料の温度特性測定装置l1は、試料誘電体
4を導体空胴ケース2の内部で支持する支持部材3が低
熱伝導部l2を備える。
4を導体空胴ケース2の内部で支持する支持部材3が低
熱伝導部l2を備える。
この低熱伝導部l2は、それを通して試料誘電体4の熱
が上記導体空胴ケース2に逃げるのを妨げる機能を有し
、例えば第2図に示すように、支持部材3の上記一つの
端面3aの近くからこの端面3aに向かって肉厚が減少
する肉厚減少部分13により構成される。
が上記導体空胴ケース2に逃げるのを妨げる機能を有し
、例えば第2図に示すように、支持部材3の上記一つの
端面3aの近くからこの端面3aに向かって肉厚が減少
する肉厚減少部分13により構成される。
このような構戊において、加熱用高周波注入装置9(第
5図参照)より加熱用高周波が注入されて上記試料誘電
体4の温度が上昇すると、その熱は試料誘電体4の支持
部材3を伝わって導体空胴ケース2に伝わる。しかし、
試料誘電体4の支持部材3の低熱伝導部12を通しての
熱伝導は行なわれにくく、試料誘電体4から導体空胴ケ
ース2への熱伝導が抑えられる。これにより、温度特性
を測定する試料誘電体4は速やかに温度が上昇すること
になる。
5図参照)より加熱用高周波が注入されて上記試料誘電
体4の温度が上昇すると、その熱は試料誘電体4の支持
部材3を伝わって導体空胴ケース2に伝わる。しかし、
試料誘電体4の支持部材3の低熱伝導部12を通しての
熱伝導は行なわれにくく、試料誘電体4から導体空胴ケ
ース2への熱伝導が抑えられる。これにより、温度特性
を測定する試料誘電体4は速やかに温度が上昇すること
になる。
従って、試料誘電体4の温度が速やかに上昇し、効率良
く試料誘電体4の温度特性を測定することができる。
く試料誘電体4の温度特性を測定することができる。
上記低熱伝導部12は、具体的には図示しないが、支持
部材3が途中に肉厚減少部分l3を有して、その肉厚が
途中で薄くなり、肉厚が他の部分よりも薄い上記一つの
端面にて上記試料誘電体4を支持するものであってもよ
い。
部材3が途中に肉厚減少部分l3を有して、その肉厚が
途中で薄くなり、肉厚が他の部分よりも薄い上記一つの
端面にて上記試料誘電体4を支持するものであってもよ
い。
また、上記低熱伝導部l2は、第3図に示すように、支
持部材3に窓l4を形成し、これら窓l4の間の縦桟部
分15により構戊されていてもよい。
持部材3に窓l4を形成し、これら窓l4の間の縦桟部
分15により構戊されていてもよい。
上記支持部材3の形状は、円筒状のもののほかに、横断
面が三角形や多角形の筒状のものであってもよい。
面が三角形や多角形の筒状のものであってもよい。
以上の実施例では、試料誘電体4は、円筒状の支持部材
3により支持されているが、試料誘電体4は、上記のよ
うな支持部材3に代えて、第4図に示すように、セラミ
ック繊維16により導体空胴ケース2内に支持するよう
にしてもよい。
3により支持されているが、試料誘電体4は、上記のよ
うな支持部材3に代えて、第4図に示すように、セラミ
ック繊維16により導体空胴ケース2内に支持するよう
にしてもよい。
上記各セラミック繊維l6の一端は、例えばガラスグレ
ーズl7によって、試料誘電体4に接着され、また、上
記各セラミック繊維16の他端は導体空胴ケース2に設
けられた7ツク18に係止される。これにより、上記の
ように試料誘電体4が導体空胴ケース内に支持される。
ーズl7によって、試料誘電体4に接着され、また、上
記各セラミック繊維16の他端は導体空胴ケース2に設
けられた7ツク18に係止される。これにより、上記の
ように試料誘電体4が導体空胴ケース内に支持される。
上記のように、セラミック繊維l6により試料誘電体4
を支持すれば、ほぼ試料誘電体4のみが加熱され、試料
誘電体からの熱の逃げがより抑えられ、試料誘電体4の
温度特性をより高精度に測定することができる。
を支持すれば、ほぼ試料誘電体4のみが加熱され、試料
誘電体からの熱の逃げがより抑えられ、試料誘電体4の
温度特性をより高精度に測定することができる。
第l図は本発明に係る誘電体材料の温度特性測定装置の
一実施例の縦断面図、 第2図は第1図の誘電体材料の温度特性測定装置に使用
される支持部材の斜視図、 第3図は本発明に係る誘電体材料の温度特性測定装置に
使用されるいま一つの支持部材の斜視図、第4図は本発
明に係る誘電体材料の温度特性測定装置のいま一つの実
施例の縦断面図、第5図は誘電体材料の温度特性測定装
置の構戊を示すブロック図、 第6図は従来の誘電体材料の温度特性測定装置の縦断面
図、 第7図は第6図の誘電体相料の温度特性測定装置により
温度特性が測定される試料誘電体とその支持部材の斜視
図である。 2・・・導体空胴ケース,3・・・支持部材14・・・
試料誘電体,5・・・入力用コネクタ,6・・・出力用
コネクタ, 7・・・ネットワークアナライザ,8・・・コネクタ.
9・・・加熱用高周波注入装置, 1l・・・温度特性測定装置,12・・・低熱伝導部,
13・・・肉厚減少部分,14・・・窓,15・・・縦
桟部分,l6・・・セラミック繊維。
一実施例の縦断面図、 第2図は第1図の誘電体材料の温度特性測定装置に使用
される支持部材の斜視図、 第3図は本発明に係る誘電体材料の温度特性測定装置に
使用されるいま一つの支持部材の斜視図、第4図は本発
明に係る誘電体材料の温度特性測定装置のいま一つの実
施例の縦断面図、第5図は誘電体材料の温度特性測定装
置の構戊を示すブロック図、 第6図は従来の誘電体材料の温度特性測定装置の縦断面
図、 第7図は第6図の誘電体相料の温度特性測定装置により
温度特性が測定される試料誘電体とその支持部材の斜視
図である。 2・・・導体空胴ケース,3・・・支持部材14・・・
試料誘電体,5・・・入力用コネクタ,6・・・出力用
コネクタ, 7・・・ネットワークアナライザ,8・・・コネクタ.
9・・・加熱用高周波注入装置, 1l・・・温度特性測定装置,12・・・低熱伝導部,
13・・・肉厚減少部分,14・・・窓,15・・・縦
桟部分,l6・・・セラミック繊維。
Claims (4)
- (1)導体空胴ケースを備え、この導体空胴ケースの内
部にて低誘電率材料からなる筒状の支持部材の一つの端
面上に温度特性を測定する試料誘電体を支持し、加熱用
高周波注入装置より上記試料誘電体に高周波を注入し、
その温度を上昇させて上記試料誘電体の温度特性を測定
するようにした誘電体材料の温度特性測定装置であって
、上記支持部材はそれを通して試料誘電体の熱が上記導
体空胴ケースに逃げるのを妨げる低熱伝導部を有してい
ることを特徴とする誘電体材料の温度特性測定装置。 - (2)上記低熱伝導部は支持部材の上記一つの端面に向
かって肉厚が減少する肉厚減少部分を含んでいることを
特徴とする請求項1記載の誘電体材料の温度特性測定装
置。 - (3)上記低熱伝導部は支持部材に形成された窓の縦桟
部分により構成されていることを特徴とする請求項1記
載の誘電体材料の温度特性測定装置。 - (4)導体空胴ケースを備え、この導体空胴ケースの内
部にて支持部材により温度特性を測定する試料誘電体を
支持し、加熱用高周波注入装置より上記試料誘電体に高
周波を注入し、その温度を上昇させて上記試料誘電体の
温度特性を測定するようにした誘電体材料の温度特性測
定装置であって、 上記支持部材は導体空胴ケース内に上記試料誘電体を吊
り下げ支持するセラミック繊維であることを特徴とする
誘電体材料の温度特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15525789A JPH0320679A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 誘電体材料の温度特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15525789A JPH0320679A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 誘電体材料の温度特性測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320679A true JPH0320679A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=15601965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15525789A Pending JPH0320679A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 誘電体材料の温度特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320679A (ja) |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP15525789A patent/JPH0320679A/ja active Pending
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