JPH0320683B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の属する技術分野 本発明は、歯車測定機用の歯車測定プローブに
関する。その場合、この歯車測定プローブは、ケ
ーシングの中で旋回可能に支承された測定プロー
ブロツトを有している。測定プローブロツトは、
その一方の端部に測定プローブ尖端部材をを担持
し、他の端部には、測定系の２つの相対的に運動
可能な部分のうち一方を担持している。この測定
系は磁界を発生し、測定プローブ尖端部材の振れ
に比例する電気信号を整合回路に送出する。整合
回路は、この電気信号を処理して標準化された値
を形成する。 第１図は、このような公知測定プローブ（ドイ
ツ連邦共和国特許第2364918号明細書参照）の一
部断面図である。この測定プローブでは、測定プ
ローブ尖端部材の振れに応じて測定系M′の中に
誘導的に電気信号が発生され、標準化された値が
形成される。したがつて測定プローブの出力側に
は、プローブ尖端の例えば1μmの振れに対して
1mVの測定電圧が現れる。 第３図に示す測定プローブの構造は測定系
M′を除いて第１図の公知の測定プローブと同じ
である。第２図は公知の測定プローブの測定系
M′の電気回路図を示している。次に第１図〜第
３図を参照しながら公知の歯車測定プローブにつ
いて説明する。 測定プローブロツト１０は、一種の回転軸１６
によつて水平方向に旋回できるように支承され、
またその一方の端部に取換え可能な尖端部材１２
を、他方の端部に測定系M′ないしＭを担持して
いる。また測定プローブロツド１０には環状凸部
１８が設けられ、それには板ばね２０が押圧され
ている。測定プローブロツド１０の水平旋回面に
垂直に、互いに直径方向で向き合つた２つのねじ
２２がケーシング１４の中へねじ込まれている。
ただし第１図にはこのねじは現われていない。な
ぜなら第１図の図平面はプローブロツド１０の旋
回平面であるからである。２つのねじ２２とプロ
ーブロツド１０の間には幾らかの遊びがあるが、
それでもプローブロツド１０の垂直平面における
変位はねじ２２によつて防止される。またプロー
ブロツド１０の旋回面には、２つのばね式ストツ
パ２４が互いに直径方向で向き合つてケーシング
１４に取付けられている。ストツパ２４は測定プ
ローブロツド１０の過大な水平方向旋回を防止
し、かつ、水平方向の衝撃力を受止める。公知の
歯車測定プローブの測定系M′は差動トランスＴ
と電気回路とから成つている。差動トランスＴの
コイル系Ｓは測定プローブロツド１０と固定連結
され、差動トランスの鉄心Ｋはケーシング１４と
連結されている。電気回路はコイル系に対するも
のであり、プローブロツド１０と固定連結された
カプセル２６の中に収容されている。この電気回
路は、可撓性の高いリツツ線Ｌによつて歯車測定
プローブの出力端子と接続されている。 コイル系Ｓは、１次コイルＷ１と、その両側
（図では上下に）に配置された２つの２次コイル
から成つている。これらのコイルはボビンなしで
巻装されており、また測定プローブロツド１０に
固定された渦電流シリンダ２８の中に配置されて
いる。トランスの磁心Ｋは黄銅製の棒２９に固定
されている。この棒２９自体は、２つのケーシン
グフランジ３２の中に互いに120゜ずつずらして配
置された３つの位置調整ねじ３０によつてその両
端部を固定されている。 トランスの磁心Ｋとコイル系Ｓの間の間隔は約
２／１０mmである。また測定領域内におけるコイル系
の振れは±150μmであり、従つてコイル系の最大
振れ行程は300μmである。この場合、測定領域内
でトランスの磁心とコイル系が相対運動をしてい
る時は何の問題も起らない。しかし、粗雑な操作
によつて測定プローブが何かと衝突した時に問題
が生じる。この時、測定プローブ尖端部材はレリ
ーズ安全装置によつて保護されるので問題ない。
しかし、ストツパ２４の最大変位位置近くまでロ
ツド１０が振れた時、コイル系はトランスの鉄心
と接触するので、多くの場合コイルが損傷してし
まう。またそうならない場合でも、少くとも測定
プローブの再調整が必要となる。 また、差動トランスＴとその付属回路の製造に
は非常に手間がかかり、従つてコスト高となる。
さらに、渦電流シリンダ２８とトランス鉄心Ｋを
構成する鉄の部分の焼なましをしなければならな
い。その上、鉄心は腐蝕防止のために金メツキを
必要とする。さらに、ボビンなしコイルの巻線操
作にも厄介な問題がある。つまりこの巻線は直径
がわずか百分の数ミリの銅線から成つているの
で、それ自体としては固定のコイル系を挾んで各
コイルを配置するためには、銅線にナイロンない
しポリ塩化ビニルから成る二層の絶縁層を被覆
し、加熱、融着しなければならないのである。さ
らにまた差動トランスの調整にも手間とコストが
かかる。と言うのも、トランスの鉄心は機械的な
偏心を避けるために位置調整ねじ３０によつて機
械的に正確に位置決めされるが、鉄心を担持する
黄銅の棒２８も、同じ位置調整ねじによつて固定
されるからである。 第２図は、差動トランスに付属の電気回路のブ
ロツク回路図である。この電気回路にも大きな問
題点がある。すなわち、差動トランスは電磁誘導
装置であり、その１次コイルから２次コイルへ電
圧が変圧されて、伝送されるようになつているの
で、交流電圧でしか使用できないのである。従つ
て、電気回路は２個のトランジスタ３４と４個の
抵抗３６とを含むブロツキング発振器を有し、そ
れは１次コイルに給電された直流電圧から周波数
7000〜900Hzの交流電圧を発生する。この交流電
圧は鉄心Ｋを介して１次コイルから２次コイルへ
伝送される。つまり、２次コイルが鉄心と共働し
て存在する場所では、１つの、またはもう１つの
２次コイルにかなりの電圧が誘起される。この２
つの２次コイルに誘起される電圧の差が測定信号
となる。交流電圧の測定信号は整流器３８で整流
され、フイルタ４０で平滑にされた後で出力端子
４２に現れる。しかしこの公知回路には、次のよ
うな難点がある。即ち、２つのトランジスタ３４
の特性ひいては動作点ができる限り等しくなけれ
ばならず、そうでなければ持続時間の異なる矩形
パルスが発生して測定結果を誤らせるのである。
しかし、対のトランジスタの特性を正確に一致さ
せようとすると、非常にコスト高になる。しか
も、出力端子４２に現れる測定電圧には、除去不
可能な20mVの残留搬送波分が付随する。測定信
号が機械的減衰機構を有する記録系へ直接加えら
れる限りは、この残留搬送波分も問題にはならな
い。しかし、測定信号をＡ／Ｄ変換器を介してコ
ンピユータで処理する場合には、この残留搬送波
分によつて測定結果に誤差が生じる。このことを
回避しようとすれば、非常に大きな回路費用を投
入するか、あるいは直流電圧を用いた測定が非要
となる。しかし、公知の歯車測定プローブのよう
に誘導形の測定系M′を使用すれば、上述の理由
から直流電圧による測定は不可能である。 また公知の歯車測定プローブでは、集積回路か
ら成る特別の外部電流源（図示せず）によつて測
定系M′を給電しなければならない。ブロツキン
グ発振器を所定の全温度範囲で正確に作動させる
ためには、この発振器に一定電流を給電しなけれ
ならないので、上記の外部電流源にコストがかか
る。 さらにまた、測定系M′の出力側は高抵抗であ
る。しかし実際には、この出力側と接続される長
い線路を低抵抗で成端した方が有利である。なぜ
なら、そうすれば、障害の影響を低減できるから
である。 最後に、測定系M′中における情報の交流電圧
の周波数は７〜9KHzであるのに対して公知歯車
測定プローブの周波数特性は比較的小さく、
0.5KHz程度である。機械的な慣性によつていく
らかの時定数が存在し、さらに残留搬送波分をで
きるだけ低く抑えるためにフイルタ４０の応動が
遅くなつている。そのため、0.5KHz以上の周波
数を発生することは不可能なのである。 発明の目的 本発明の課題は、冒頭に述べた形式の歯車測定
プローブを改善し、測定系の構造が簡単で容易に
監視、調整することができ、また周波数特性がか
なり大きく、しかも出力側が低抵抗である歯車測
定プローブを提供することである。 発明の構成と効果 本発明によれば、この課題は次のようにして解
決される。すなわち、測定プローブロツドを有
し、前記測定プローブロツドが、ケーシングの中
に旋回自在に支承されると共にその一方の端部
に、測定プローブ尖端部材を、また、他方の端部
に、測定系の２個の相対的に可動な部材の内の一
方を支持しており、前記測定系は、磁界を発生し
且つ前記測定プローブ尖端部材の振れに比例する
電気信号を電子回路に送出し、前記電子回路が、
前記電気信号を標準化された値にし、更に、前記
測定系の２個の相対的に可動な部材の内の前記一
方が、静磁界を発生する手段から成り、また、前
記電子回路が、ケーシングの中に固定されてお
り、更に、前記静磁界を発生する手段が、ホール
センサの両側に向かい合つて配置されている２個
の永久磁石５４から成り立つており、前記永久磁
石が、前記ホールセンサから間隔を置いて磁石保
持体の中に保持されている歯車測定プローブにお
いて、前記永久磁石保持体が、鋼製の磁束集中リ
ングにより包囲されていることを特徴とする歯車
測定プローブにより解決される。 本発明による歯車測定プローブの測定系では、
２つの相対的に可動な部分の間の間隙が、公知歯
車測定プローブにおけるトランス鉄心とコイル系
との間の間隔よりも大きい。従つて、測定プロー
ブロツドの振れが最大の時でも、２つの相対的に
可動な部分が係合固定されたり接触したりするこ
とはない。また整合回路がケーシング内で固定さ
れているので、整合回路と歯車測定プローブの接
続端子を接続する接続線が切断することはない。 本発明による歯車測定プローブで使用されてい
るホールセンサは直流電圧によつて作動するの
で、残留搬送波分が発生することはない。従つ
て、得られる測定信号は誤差なく処理される。ま
たホールセンサを用いれば周波数特性を制限する
必要がないので、機械系だけを考慮して、100K
Hzに達する周波数特性で測定信号を処理すること
ができる。また、公知歯車測定プローブの出力イ
ンピーダンスが50KΩであるのに比べ、本発明に
よる歯車測定プローブの出力インピーダンスは
1Ωである。従つて、より確実に障害ノイズの影
響を受け難くすることができる。さらに本発明に
よる歯車測定プローブは特別な給電装置を必要と
しない。つまり公知歯車測定プローブに設けられ
た定電流源を省略できる。加えて、例えば、２％
の同一の測定精度の場合に、２つの相対的に可動
な部分間のより大きな間隔は、測定行程が公知歯
車測定プローブの±150μmに比べて±500μmとよ
り大きくなる。 実施態様項には、本発明の有利な実施例が記載
されている。 永久磁石は、特許請求の範囲第２項および第３
項記載の構成に従つて測定プローブロツドまたは
ケーシングに固定される。ただし磁石を測定プロ
ーブロツドに固定した方が有利である。なぜな
ら、この場合にはホールセンサがケーシング内で
運動しないので、測定系の可動部分に導体を接続
しなくともよいからである。 特許請求の範囲第４項記載の構成によれば、ホ
ールセンサは、有利には厚膜技術により形成さ
れ、かつレーザ加工された市販製品である。この
ホールセンサは、軽金属等から成る支持体とねじ
によつてケーシングに固定される。 特許請求の範囲第５項記載の構成によれば、整
合回路は２つの演算増幅器とゼロ点補正回路から
成る非常に簡単な構成を有している。ゼロ点補正
回路を用いれば簡単にゼロ点を補正することがで
き、従つて、公知歯車測定プローブに必要な厄介
な機械的位置調整は省略される。 特許請求の範囲第６項記載の構成によれば、ア
ルミニユウム−ニツケル−−コバルト磁石の５倍
の磁界強度を発生する永久磁石が用いられる。し
かもこの磁石は温度変化に対して安定であり、磁
界強度が長時間にわたつて変化しない。 以上すべての構成のよつて、本発明による歯車
測定プローブでは、測定系の構成素子が公知歯車
測定プローブの測定系よりもはるかに少く、半分
程度となつている。 実施例の説明 次に第３図〜第６図を参図しながら実施例につ
いて本発明を詳しく説明する。 第３図〜第６図に示す歯車測定プローブと第１
図、第２図に示す歯車測定プローブとでは、その
測定系の構成だけが異なつている。従つて以下に
おいてはその点についてだけ説明する。 第３図、第４図から分るように測定系Ｍは、全
体を５０で示すホールセンサ、ホールセンサの両
側でそれと間隔を置いて磁石保持体５２の中に配
置された２つのの永久磁石５４、および全体を５
６で示す電子回路部から成つている。電子回路部
５６は整合回路を有している。また接続端子スリ
ーブ５８も設けられ、それにはホールセンサ５０
の接続ピン６０が差込まれている。 この実施例では、永久磁石５４は頑丈なサマリ
ウム−コバルト磁石である。それは大きな磁界強
度を発生し、またその経年安定性は極めて良好で
ある。永久磁石５４は、磁石保持体５２の直径方
向で向い合う孔に保持されている。磁石保持体５
２は、第３図では測定プローブロツド１０の右端
と連結されている。また磁石保持体５２は軽金属
またはプラスチツクから成る旋盤加工部材なの
で、安価に製造することができる。磁石保持体５
２は、磁束集中リング６２によつて囲繞される。
このリング６２は、この実施例では鋼から成る。
従つて、焼なまし等の工程が不要なので製造コス
トを低く抑えることができる。この磁束集中リン
グ６２によつて、２つの永久磁石５４の間の磁束
は集中され、また永久磁石もホールセンサ５０も
外部磁界から遮蔽される。また２つの永久磁石５
４は、同一極性の磁極が互いに向合うように磁石
保持体５２の中に保持されている。 ホールセンサ５０は市販の素子であり、厚膜技
術によりセラミツク板上に形成された集積回路と
して集積されており、本来のホール発生器６４、
電圧調整器、および増幅器VSを有している。セ
ラミツク板上に配置された電気回路は、接続ピン
６０および接続スリーブ５８を介して電子回路部
５６と接続されている。この電子回路部５６の回
路図は第５図に示されている。第３図、第４図で
ボタン状の部材として示すホール発生器６４は、
２つの永久磁石５４の中間に配置されている。ホ
ール発生器６４と両側の永久磁石５４との間には
１〜数ミリの間隙がある。従つて、測定プローブ
ロツド１０がストツパ２４の最終変位位置まで旋
回しても、ホールセンサ５０と永久磁石５４が接
触することはない。測定に利用し得る測定プロー
ブロツドの振れ行程は、直線測定領域で誤差を２
％とすれば、約500μmである。（公知の歯車測定
プローブでは、同じ精度で振れ行程は150μmであ
つた。）ホールセンサ５０は支持体６６に固定さ
れ、支持体６６はビス６８によつてケーシング１
４に固定されている。支持体６６は例えば軽金属
からできている。電子回路部５６は、プラスチツ
ク板７０の１つの面に固定され、このプラスチツ
ク板の他方の面には接続ピン６０と接続スリーブ
５８によつてホールセンサ５０が差込み装着され
ている。プラスチツク板７０の斜めに切落された
コーナの対角線方向相互間の間隔は、ケーシング
１４の内径に相応している。従つて電子回路部５
６はケーシング内で確実に保持される。この電子
回路部５６はホールセンサ５０と共にケーシング
１４の中で固定的に配置されており、測定プロー
ブロツド１０の運動に追随しないので、この電子
回路部５６をを固定接続線７２によつて歯車測定
プローブの接続スリーブと接続することができ
る。 この実施例では、磁石保持体５２は測定プロー
ブロツド１０の右端に取付けられ、ホールセンサ
５０はケーシング１４に固定されている。ホール
センサ５０と電子回路部５６を接続するには、接
続ピン６０と接続スリーブ５８とを直接に固定接
続すればよいので、この実施例は有利である。 第６図は本発明による歯車測定プローブの別の
実施例を示している。ここでは、磁石保持体５２
が磁束集中リング６２と共にブシユ８２およびね
じ８４によつてケーシング１４に固定されてお
り、ホールセンサ５０は支持体８８によつて測定
プローブロツド１０の右端に取付けられている。
そのためホールセンサ５０が測定プローブロツド
１０と共に運動するので、接続ピン６０と接続ス
リーブ５８との間に、可撓性の大きいリツツ線８
６が設けられている。 第５図は、電子回路部５６の回路構成と、ホー
ルセンサ５０との接続関係を示している。ホール
センサ５０は市販の素子なので、その構成につい
ては詳述しない。第５図では、ホールセンサに集
積された増幅器VSを略示するのみである。ホー
ルセンサ５０とそれに後置接続された電子回路部
５６は、通常の場合測定機（これに歯車測定プロ
ーブが用いられる）に設けられている直流電源か
ら給電される。この直流電源は±15Vの電圧を供
給する。電子回路部５６の中にあり、ホールセン
サ５０の出力側と接続された整合回路は、ゼロ点
補正回路７４と、直列接続された２つの演算増幅
器７６，７８を有している。演算増幅器７６，７
８は同じような集積回路であるが、その接続が違
つている。回路７４によるゼロ点補正は必要であ
る。なぜなら、ホールセンサ５０は直流電圧での
み動作するのに対し、歯車測定プローブを用いて
歯面を測定する場合は、所定のゼロ点位置からプ
ラス、マイナス両方向へ向つて測定プローブロツ
ドが振れを測定しなければならないからである。
つまり、直流電圧の形では一方向の電圧しか得ら
れないが、出力側に現れる測定電圧は、左方向へ
の振れを正電圧で、右方向への振れを負電圧で表
わさなければならないので、ホールセンサ５０の
出力電圧は対称性を有していなければならないの
である。この目的でゼロ点補正回路７４は、演算
増幅器７６の前でホールセンサ５０の出力電圧に
加算される電圧を供給する。演算増幅器７６はホ
ールセンサ５０の較正調整のために使用される。
なぜなら、このようなホールセンサは、製造時か
らすべての回路に同じ電圧を供給するように調整
されてはいないからである。 ホールセンサ５０の出力側は、抵抗Ｒ１を介し
て演算増幅器７６の反転入力側と接続されてい
る。演算増幅器７６の出力側は、抵抗Ｒ２を介し
て同じ反転入力側と接続されている。演算増幅器
７６の出力側はさらに、抵抗Ｒ３を介して演算増
幅器７８の反転入力側と接続されている。演算増
幅器７８の出力側は、ポテンシヨメータＰ１を介
してその反転入力側と接続されている。演算増幅
器７６の非反転入力側は抵抗Ｒ４を介して、また
演算増幅器７８の非反転入力側は抵抗Ｒ５を介し
て、それぞれ給電電流源と接続されている。演算
増幅器７６の正および負の給電電圧のための端子
は、給電電源のプラス極V₊ないしマイナス極V_-
と接続され、かつコンデンサＣ１ないしＣ２と接
続されている。ゼロ点補正回路７４の出力側は、
演算増幅器７６の反転入力側と接続されている。 ゼロ点補正回路７４は、集積回路から成る基準
電圧発生器８０を有している。この基準電圧発生
器は、給電電源の電圧が変動しても、温度変化に
対して安定で、かつ変動のない電圧を供給する。
基準電圧発生器８０と給電電源は抵抗Ｒ６を介し
て接続されている。基準電圧発生器８０と抵抗Ｒ
６との間の接続点は、そのループ回路内に抵抗Ｒ
７を有するポテンシヨメータＰ２を介して演算増
幅器７６の反転入力側と接続されている。従つ
て、ポテンシヨメータＰ２により調整可能なゼロ
点電圧が、抵抗Ｒ１の後でホールセンサ５０の出
力電圧に加算され、その合成電圧が演算増幅器７
６に印加される。演算増幅器７８は、ホールセン
サ５０の出力電圧を評価する際の増幅を、発生し
たホール電圧と関連しながら調整する。この実施
例では、測定プローブロツドの1μmの振れが
10mVの出力電圧に相当するように、評価が行な
われる。 ポテンシヨメータＰ１で増幅度を調整し、ポテ
ンシヨメータＰ２でゼロ点電圧を調整するので、
機械的な偏心を電気的に簡単に補償することがで
きる（これに対して公知測定プローブでは、複雑
な機械的位置較正しかできなかつた）。この場合
ゼロ点および増幅度は、出力インピーダンスを変
えることなく電気的に調整可能である。また本発
明による歯車測定プローブの出力インピーダンス
は非常に低く、1Ω程度なので、有利である（公
知の歯車測定プローブでは出力インピーダンスは
50KΩであつた）。 この歯車測定プローブでは、搬送波交流電圧の
代わりに直流電圧を用いて歯車測定を行なうの
で、出力側に現れる測定信号は残留搬送波分を全
く含まない。同じ理由から、周波数特性は非常に
大きくなり、100KHzにも達する。なぜなら、フ
イルタがないので電気的慣性が発生せず、周波数
特性は機械系だけによつて決定されるからであ
る。 上述の測定系Ｍは、既存の測定プローブに容易
に取付けることができる。というのも、そのため
には単に測定系M′測定系Ｍと取替えればよいか
らである。 第５図に示した回路では、以下に示したような
素子が用いられる。（ただし各抵抗は1/8Ｗの皮膜
抵抗である。） 【表】

【図面の簡単な説明】

第１図は公知の歯車測定プローブの一部断面
図、第２図は第１図の歯車測定プローブが有する
測定系M′の回路図、第３図は本発明による歯車
測定プローブの一部を切欠して示す斜視図、第４
図は第３図の歯車測定プローブが有する測定系Ｍ
の拡大図、第５図は測定系Ｍのブロツク図、第６
図は本発明による歯車測定プローブの別の実施例
のブロツク図。 １０…歯車測定プローブロツド、１２…歯車測
定プローブ尖端部材、１４…ケーシング、１６…
回転軸、１８…環状凸部、２０…板ばね、２２，
８４…ねじ、２４…ストツパ、２６…カプセル、
２８…渦電流シリンダ、２９…黄銅棒、３０…位
置調整ねじ、３２…フランジ、３８…整流器、４
０…フイルタ、４２…出力端子、５０…ホールセ
ンサ、５２…磁石保持体、５４…永久磁石、５６
…電子回路部、５８…接続スリーブ、６０…接続
ピン、６２…磁束集中リング、６４…ホール発生
器、６６，８８…ホールセンサ支持体、６８…ビ
ス、７０…プラスチツク板、７２…接続線、７４
…ゼロ点補正回路、７６，７８…演算増幅器、８
０…基準電圧発信器、８２…ブシユ、８６…リツ
ツ線、Ｓ…コイル系、Ｗ１，Ｗ２…コイル、Ｔ…
差動トランス、Ｋ…磁心、Ｍ，M′…測定系、VS
…増幅器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 測定プローブロツド１０を有し、前記測定プ
   ローブロツド１０が、ケーシング１４の中に旋回
   自在に支承されると共にその一方の端部に、測定
   プローブ尖端部材１２を、また、他方の端部に、
   測定系Ｍの２個の相対的に可動な部材の内の一方
   を支持しており、前記測定系Ｍは、磁界を発生し
   且つ前記測定プローブ尖端部材１２の振れに比例
   する電気信号を電子回路５６に送出し、前記電子
   回路５６が、前記電気信号を標準化された値に
   し、更に、前記測定系Ｍの２個の相対的に可動な
   部材の内の前記一方が、静磁界を発生する手段５
   ４から成り、また、前記電子回路５６が、ケーシ
   ング１４の中に固定されており、更に、前記静磁
   界を発生する手段５４が、ホールセンサ５０の両
   側に向かい合つて配置されている２個の永久磁石
   ５４から成り立つており、前記永久磁石５４が、
   前記ホールセンサ５０から間隔を置いて磁石保持
   体５２の中に保持されている歯車測定プローブに
   おいて、前記永久磁石保持体５２が、鋼製の磁束
   集中リング６２により包囲されていることを特徴
   とする歯車測定プローブ。 ２ 前記磁石保持体５２が、前記測測定プローブ
   ロツト１０の他方の端部に固定され、前記ホール
   センサ５０が、前記ケーシング１４に固定して取
   り付けられている特許請求の範囲第１項記載の歯
   車測定プローブ。 ３ 前記磁石保持体５２が、前記ケーシング１４
   に取り付けられ、前記ホールセンサ５０が、前記
   測定プローブロツド１０の他方の端部に固定され
   ている特許請求の範囲第１項記載の歯車測定プロ
   ーブ。 ４ 前記ホールセンサ５０が、セラミツク板上に
   形成された集積回路として構成されており、前記
   集積回路が、ホール発生器６４、電圧調整器及び
   増幅器VSから成り立つている特許請求の範囲第
   １，２又は３項記載の歯車測定プローブ。 ５ 前記電子回路５６が、２個の演算増幅器７
   ６，７８から成る直列回路を有し、前記直列回路
   の入力側が、前記ホールセンサ５０の出力側並び
   に基準電圧発生器８０を含んでいるゼロ点補償回
   路７４の出力側に接続されている特許請求の範囲
   第１〜４項のいずれかに記載の歯車測定プロー
   ブ。 ６ 前記永久磁石５４が、サマリウムーコバルト
   磁石である特許請求の範囲第１〜５項のいずれか
   に記載の歯車測定プローブ。