JPH03208659A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JPH03208659A JPH03208659A JP347990A JP347990A JPH03208659A JP H03208659 A JPH03208659 A JP H03208659A JP 347990 A JP347990 A JP 347990A JP 347990 A JP347990 A JP 347990A JP H03208659 A JPH03208659 A JP H03208659A
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- ink
- orifices
- recording head
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、インクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの
製造方法に関する。
製造方法に関する。
インクジェット記録方式に用いられる記録ヘッドは、イ
ンク液滴を形成するための一般に複数の微細な吐出口（
オリフィスともいう），オリフイスに連通ずるインク液
路，各インク液路へインクを供給するための共通液室、
およびインク液路に対応する部分に設けられる吐出エネ
ルギー発生素子を備えている。
ンク液滴を形成するための一般に複数の微細な吐出口（
オリフィスともいう），オリフイスに連通ずるインク液
路，各インク液路へインクを供給するための共通液室、
およびインク液路に対応する部分に設けられる吐出エネ
ルギー発生素子を備えている。
多数のオリフィスを精度良く配設形成する方法としては
、例えば、感光性樹脂によって基板上にインク液路形成
用の多数の溝を形成し、その溝が形成された面上に別の
基板（以下、天板と称す）を接着剤を用いて接合し、管
路としての液路を形成して多数のオリフィスを精度良く
配設形成する方法がある。
、例えば、感光性樹脂によって基板上にインク液路形成
用の多数の溝を形成し、その溝が形成された面上に別の
基板（以下、天板と称す）を接着剤を用いて接合し、管
路としての液路を形成して多数のオリフィスを精度良く
配設形成する方法がある。
ところで、以上のようにして製造された記録ヘッドにつ
いて、出荷時等の検査においてオリフィスやオリフィス
近傍を観察しインク液滴の吐出具合などを調べることが
ある。
いて、出荷時等の検査においてオリフィスやオリフィス
近傍を観察しインク液滴の吐出具合などを調べることが
ある。
この観察はオリフィスの各々について行なわれ、また、
不具合等が仮に発見された場合には、例えばこのオリフ
ィスに対応する吐出エネルギー発生素子を駆動してイン
ク液滴を吐出し、さらに詳細に吐出具合や記録媒体に付
着するインクドットの状態を調べる場合もある。さらに
、不具合等の生じたオリフィスを特定し、何らかの手当
を施す場合もある。
不具合等が仮に発見された場合には、例えばこのオリフ
ィスに対応する吐出エネルギー発生素子を駆動してイン
ク液滴を吐出し、さらに詳細に吐出具合や記録媒体に付
着するインクドットの状態を調べる場合もある。さらに
、不具合等の生じたオリフィスを特定し、何らかの手当
を施す場合もある。
このように、オリフイスの観察等においてオリフィスを
特定する場合、以下のような問題点があった。
特定する場合、以下のような問題点があった。
すなわち、オリフィスの観察等では、オリフイスを一番
端から数えるため、特に多数のオリフィスを有するヘッ
ドにおいてはオリフィスをまちがえやすい。また、オリ
フィスを特定するのに時間がかかり、結果として検査工
程のコストアップになるといった問題があった。
端から数えるため、特に多数のオリフィスを有するヘッ
ドにおいてはオリフィスをまちがえやすい。また、オリ
フィスを特定するのに時間がかかり、結果として検査工
程のコストアップになるといった問題があった。
本発明は、上述した従来の記録ヘッド検査における問題
点を解消するためになされたものであり、吐出口が配列
される吐出面に吐出口の所定の個数毎にマークを設ける
ことにより、吐出口の特定を容易に行なうことができ、
また、上記マークを記録ヘッドの製造工程において設け
ることにより、例えばインク液滴の吐出と干渉しないよ
うな位置に正確に上記マークを設けることのできるイン
クジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法を提供
することを目的とする。
点を解消するためになされたものであり、吐出口が配列
される吐出面に吐出口の所定の個数毎にマークを設ける
ことにより、吐出口の特定を容易に行なうことができ、
また、上記マークを記録ヘッドの製造工程において設け
ることにより、例えばインク液滴の吐出と干渉しないよ
うな位置に正確に上記マークを設けることのできるイン
クジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法を提供
することを目的とする。
そのために本発明ではインク液滴を形成するための複数
の吐出口を有し、該吐出口からインク液滴を吐出して記
録を行なうためのインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記複数の吐出口が配設される吐出面において、前記複
数の吐出口の所定個数おきにマークが設けられたことを
特徴とする。
の吐出口を有し、該吐出口からインク液滴を吐出して記
録を行なうためのインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記複数の吐出口が配設される吐出面において、前記複
数の吐出口の所定個数おきにマークが設けられたことを
特徴とする。
またインク液滴を形成するための複数の吐出口を有し、
該吐出口からインク液滴な吐出して記録を行なうための
インクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記吐
出口に連通ずるインク液路の壁部材であって、前記吐出
口が配設される吐出面をも構成するインク液路の壁部材
を形或する工程は、前記吐出面に所定のマークを設ける
工程を含むことを特徴とする。
該吐出口からインク液滴な吐出して記録を行なうための
インクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記吐
出口に連通ずるインク液路の壁部材であって、前記吐出
口が配設される吐出面をも構成するインク液路の壁部材
を形或する工程は、前記吐出面に所定のマークを設ける
工程を含むことを特徴とする。
以上の構成によれば、複数の吐出口が配列される吐出面
に吐出口の所定個数おきにマークを設けることにより、
このマークを基準として吐出口の位置を計数することが
でき、吐出口の特定を容易に行なうことが可能となる。
に吐出口の所定個数おきにマークを設けることにより、
このマークを基準として吐出口の位置を計数することが
でき、吐出口の特定を容易に行なうことが可能となる。
また、上記マークを、記録ヘッド製造工程中のインク吐
出口およびインク液路形成工程において形成することに
より、吐出口との位置関係を正確にとることができ、こ
のマークによってインク吐出に悪影響を及ぼすことがな
い。
出口およびインク液路形成工程において形成することに
より、吐出口との位置関係を正確にとることができ、こ
のマークによってインク吐出に悪影響を及ぼすことがな
い。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明の一実施例に関する製造方法によって
製造されたいわゆるフルラインタイプのインクジェット
記録ヘッドを示す斜視図である。
製造されたいわゆるフルラインタイプのインクジェット
記録ヘッドを示す斜視図である。
この記録ヘッドは、約３，０００個以上のオリフィスを
有し、このオリフィスから吐出きれるインク液滴によっ
て記録を行なうものである。
有し、このオリフィスから吐出きれるインク液滴によっ
て記録を行なうものである。
図において、１は、吐出エネルギーを発生する電気熱変
換素子およびこれら素子を駆動するための機能素子等を
配設する基体であり、この基体はシリコンウエハよりな
る。２はインク液路の構成部材となる活性エネルギー線
硬化性材料層、３はガラス材で構成されている天板、４
はインク液滴を形成するための吐出口（オリフィス）、
５はインクタンクから記録ヘッドにインクを供給するた
めのインク供給口、６は、オリフィスのｌＯ個おきに設
けられる溝であり、この溝をオリフィス特定用のマーク
とし、これらマークを基準としてオリフィスを計数する
ことにより、少ない計数でオリフィスを特定することが
できる。
換素子およびこれら素子を駆動するための機能素子等を
配設する基体であり、この基体はシリコンウエハよりな
る。２はインク液路の構成部材となる活性エネルギー線
硬化性材料層、３はガラス材で構成されている天板、４
はインク液滴を形成するための吐出口（オリフィス）、
５はインクタンクから記録ヘッドにインクを供給するた
めのインク供給口、６は、オリフィスのｌＯ個おきに設
けられる溝であり、この溝をオリフィス特定用のマーク
とし、これらマークを基準としてオリフィスを計数する
ことにより、少ない計数でオリフィスを特定することが
できる。
第２図（Ａ）〜（Ｅ）は、第１図に示したインクジェッ
ト記録ヘッドを製造するための本発明のー実施例に関す
る製造方法の各工程を示す斜視図である。以下、これら
の図面を参照しつつ記録ヘッドの製造方法を説明する。
ト記録ヘッドを製造するための本発明のー実施例に関す
る製造方法の各工程を示す斜視図である。以下、これら
の図面を参照しつつ記録ヘッドの製造方法を説明する。
第２図（Ａ）は、吐出エネルギー発生素子を備えた基体
を示す斜視図である。この吐出エネルギー発生素子７は
、基体１のインク液路形成予定部位に対する部分に設け
られている。この基体１には、例えばガラス、シリコー
ンウエハ等を用いることができ、また吐出エネルギー発
生素子７には、例えば圧電素子、発熱素子などを用いる
ことができるが、本例では、上述の如く基体としてシリ
コンウエハを用い、素子７としては電気熱変換素子を用
いる。
を示す斜視図である。この吐出エネルギー発生素子７は
、基体１のインク液路形成予定部位に対する部分に設け
られている。この基体１には、例えばガラス、シリコー
ンウエハ等を用いることができ、また吐出エネルギー発
生素子７には、例えば圧電素子、発熱素子などを用いる
ことができるが、本例では、上述の如く基体としてシリ
コンウエハを用い、素子７としては電気熱変換素子を用
いる。
なお、基体１には電気熱変換素子７を駆動するための機
能素子および電極配線が設けられている。
能素子および電極配線が設けられている。
次に、第２図（Ｂ）に示すように、基体ｌ上に液路およ
びその全ての液路と連通ずる共通液室に対応したパター
ンで、さらにはオリフィス１０個おきオリフィスに隣接
する溝のパターンで、溶解除去可能な固体層８をパター
ン形成する。
びその全ての液路と連通ずる共通液室に対応したパター
ンで、さらにはオリフィス１０個おきオリフィスに隣接
する溝のパターンで、溶解除去可能な固体層８をパター
ン形成する。
この固体層８としては、例えばナフトキノンジアジド誘
導体とオルソクレゾールノボラック樹脂を主成分とする
ボジ型レジスト材料、あるいはボジ型ドライフィルムレ
ジストなどを用いることができる。固体層８のパターン
形成は、例えばフォトリソグラフィーによって厚さ２０
μｍ−１００μｍ、流路巾２０μｍ〜１００μｍの程度
にパターン形成することにより行なう。また、固体層８
は、そのパターン形成後に任意の溶媒等によって溶解除
去できるものであれば、それ以外の化学的性質は特に限
定されないので、ボジ型の化学反応形態はいずれであっ
ても良い。なお、共通液室形成予定部位への固体層８の
形或は必ずしも必要というものではなく、例えば作製し
ようとするヘッドの種類、引き続く加工工程などに応じ
て、形成するかどうか選択すればよい。
導体とオルソクレゾールノボラック樹脂を主成分とする
ボジ型レジスト材料、あるいはボジ型ドライフィルムレ
ジストなどを用いることができる。固体層８のパターン
形成は、例えばフォトリソグラフィーによって厚さ２０
μｍ−１００μｍ、流路巾２０μｍ〜１００μｍの程度
にパターン形成することにより行なう。また、固体層８
は、そのパターン形成後に任意の溶媒等によって溶解除
去できるものであれば、それ以外の化学的性質は特に限
定されないので、ボジ型の化学反応形態はいずれであっ
ても良い。なお、共通液室形成予定部位への固体層８の
形或は必ずしも必要というものではなく、例えば作製し
ようとするヘッドの種類、引き続く加工工程などに応じ
て、形成するかどうか選択すればよい。
次に、第２図（Ｃ）に示すように、固体層８が形成され
た基体１の面に活性エネルギー線硬化性材料２を被覆す
る。この活性エネルギー線硬化性材料２は、液路壁等の
構成材であるので、基体との接着性、機械的強度、耐薬
品性の優れた物質を選ぶことが望ましい。また、この硬
化性材料２は、固体層８上に被覆したときに固体層８を
容易に溶解するものであってはならない。
た基体１の面に活性エネルギー線硬化性材料２を被覆す
る。この活性エネルギー線硬化性材料２は、液路壁等の
構成材であるので、基体との接着性、機械的強度、耐薬
品性の優れた物質を選ぶことが望ましい。また、この硬
化性材料２は、固体層８上に被覆したときに固体層８を
容易に溶解するものであってはならない。
第２図（Ｄ）は、共通液室となるべき掘り込み９が形成
された天板を示す斜視図である。この天板３の上面側に
はインク供給口５が設けられる。天板３の材料には、例
えば金属、ガラス、プラスチック、セラミックス等を用
いることができ、またその材質に適した加工法に従って
掘り込み９およびインク供給口５を形成すればよい。
された天板を示す斜視図である。この天板３の上面側に
はインク供給口５が設けられる。天板３の材料には、例
えば金属、ガラス、プラスチック、セラミックス等を用
いることができ、またその材質に適した加工法に従って
掘り込み９およびインク供給口５を形成すればよい。
次に、第２図（Ｅ）に示すように、第２図（Ｃ）に示し
た活性エネルギー線硬化性材料２の上面と第２図（Ｄ）
に示した天板３とを接合する。その後、共通液室形成予
定部位をマスクし、活性エネルギー線を照射する。この
照射を行なった後、現像液にて現像処理する。
た活性エネルギー線硬化性材料２の上面と第２図（Ｄ）
に示した天板３とを接合する。その後、共通液室形成予
定部位をマスクし、活性エネルギー線を照射する。この
照射を行なった後、現像液にて現像処理する。
上記接着においては、双方の接合面はそり等が少ないこ
とが必要であるが、表面は平滑であることは必ずしも必
要とされない。また、接着性向上のための物理的，化学
的処理がされたものであってもよい。
とが必要であるが、表面は平滑であることは必ずしも必
要とされない。また、接着性向上のための物理的，化学
的処理がされたものであってもよい。
次に、上記接合体のオリフィスが形或される側の面を切
断、研摩し、吐出エネルギー発生素子７からオリフィス
５までの距離を正確な所定の距離とし、かつ平滑なオリ
フィス面（吐出面）に仕上げる。次に撥インク処理、金
属の蒸着等のメタライジング処理等を行なう。以上のよ
うな研摩および他の処理工程を行なう際には、液路内お
よびオリフィス１０個おきに設けられる溝には固体層８
が充填されており、その研摩および他の処理は液路の内
壁に影響を与えることがない。なお、必要ならば、他の
部分の切断を行なってもよいし、必要がなければ上記研
摩および他の処理を行なわなくともよい。また、上記切
断には、例えば半導体製造用の精密切断装置などを用い
ることが好ましい。
断、研摩し、吐出エネルギー発生素子７からオリフィス
５までの距離を正確な所定の距離とし、かつ平滑なオリ
フィス面（吐出面）に仕上げる。次に撥インク処理、金
属の蒸着等のメタライジング処理等を行なう。以上のよ
うな研摩および他の処理工程を行なう際には、液路内お
よびオリフィス１０個おきに設けられる溝には固体層８
が充填されており、その研摩および他の処理は液路の内
壁に影響を与えることがない。なお、必要ならば、他の
部分の切断を行なってもよいし、必要がなければ上記研
摩および他の処理を行なわなくともよい。また、上記切
断には、例えば半導体製造用の精密切断装置などを用い
ることが好ましい。
次に、液路とオリフィス１０個おきの溝を設けるために
、充填されている固体層８を溶解除去し、その内部を洗
浄することによって、液路とオリフィス面上に溝を設け
ることが出来る。
、充填されている固体層８を溶解除去し、その内部を洗
浄することによって、液路とオリフィス面上に溝を設け
ることが出来る。
固体層８の溶解除去および洗浄としては、例えば有機溶
剤に浸漬して超音波洗浄槽中で処理することにより、短
時間に完了させることができる。
剤に浸漬して超音波洗浄槽中で処理することにより、短
時間に完了させることができる。
なお、以上の研磨および他の処理工程ならびに固体層８
の溶解除去工程は、天板３を接合する工程の前に行なっ
てもかまわない。
の溶解除去工程は、天板３を接合する工程の前に行なっ
てもかまわない。
以上説明した本発明の方法により、第１図に示したイン
クジェット記録ヘッドを得ることができる。
クジェット記録ヘッドを得ることができる。
第３図は、上記実施例で示した製造方法によって製造さ
れたフルラインタイプの記録ヘッドの他の実施例を示す
斜視図である。
れたフルラインタイプの記録ヘッドの他の実施例を示す
斜視図である。
本実施例では、オリフィスを簡単に特定するための溝を
、オリフィスのＩＯ個，１００個， １０００個お１ ■ きにそれぞれ溝の数を変えての形態を異ならせたものと
する。これにより、オリフィスの特定をより速く行なう
ことが可能となる。
、オリフィスのＩＯ個，１００個， １０００個お１ ■ きにそれぞれ溝の数を変えての形態を異ならせたものと
する。これにより、オリフィスの特定をより速く行なう
ことが可能となる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば複数の
吐出口が配列される吐出面に吐出口の所定個数おきに溝
等のマークを設けることにより、このマークを基準とし
て吐出口の位置を計数することができ、吐出口の特定を
容易に行なうことが可能となる。
吐出口が配列される吐出面に吐出口の所定個数おきに溝
等のマークを設けることにより、このマークを基準とし
て吐出口の位置を計数することができ、吐出口の特定を
容易に行なうことが可能となる。
また、上記マークを、記録ヘッド製造工程中のインク吐
出口およびインク液路形成工程において、形成すること
により、吐出口との位置関係を正確にとることができ、
このマークによってインク吐出に悪影響を及ぼすことが
ない。
出口およびインク液路形成工程において、形成すること
により、吐出口との位置関係を正確にとることができ、
このマークによってインク吐出に悪影響を及ぼすことが
ない。
以上の結果、例えば吐出口検査工程において吐出口の特
定を速やかに行なうことができ、検査のための時間を短
縮化することができる。
定を速やかに行なうことができ、検査のための時間を短
縮化することができる。
１ ２
第１図は、本発明の一実施例に関するインクジェット記
録ヘッドの斜視図、 第２図（Ａ）〜（Ｅ）は、第１図に示したインクジェッ
ト記録ヘッドを製造するための方法の一例を示す斜視図
、 第３図は、本発明の他の実施例に関するインクジェット
記録ヘッドの斜視図である。 ｌ・・・基体、 ２・・・活性エネルギー線硬化性材料、３・・・天板、 ４・・・オリフィス、 ５・・・インク供給口、 ６・・・オリフィス認識用溝、 ７・・・吐出エネルギー発生素子、 ８・・・固体層、 ９・・・掘り込み。 −４７０−
録ヘッドの斜視図、 第２図（Ａ）〜（Ｅ）は、第１図に示したインクジェッ
ト記録ヘッドを製造するための方法の一例を示す斜視図
、 第３図は、本発明の他の実施例に関するインクジェット
記録ヘッドの斜視図である。 ｌ・・・基体、 ２・・・活性エネルギー線硬化性材料、３・・・天板、 ４・・・オリフィス、 ５・・・インク供給口、 ６・・・オリフィス認識用溝、 ７・・・吐出エネルギー発生素子、 ８・・・固体層、 ９・・・掘り込み。 −４７０−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）インク液滴を形成するための複数の吐出口を有し、
該吐出口からインク液滴を吐出して記録を行なうための
インクジェット記録ヘッドにおいて、 前記複数の吐出口が配設される吐出面において、前記複
数の吐出口の所定個数おきにマークが設けられたことを
特徴とするインクジェット記録ヘッド。 ２）インク液滴を形成するための複数の吐出口を有し、
該吐出口からインク液滴を吐出して記録を行なうための
インクジェット記録ヘッドの製造方法において、 前記吐出口が配設される吐出面を構成する工程は、前記
吐出面に所定のマークを設ける工程を含むことを特徴と
するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003479A JP2714200B2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| AT90303137T ATE123705T1 (de) | 1989-03-24 | 1990-03-23 | Tintendruckkopf-substrat und tintendruckkopf mit einem solchen substrat. |
| DE69020021T DE69020021T2 (de) | 1989-03-24 | 1990-03-23 | Tintendruckkopf-Substrat und Tintendruckkopf mit einem solchen Substrat. |
| EP90303137A EP0389296B1 (en) | 1989-03-24 | 1990-03-23 | Ink jet head substrate and ink jet head having the same |
| US07/849,809 US5237343A (en) | 1989-03-24 | 1992-03-11 | Ink jet head substrate, ink jet head having same and manufacturing method for ink jet head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003479A JP2714200B2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03208659A true JPH03208659A (ja) | 1991-09-11 |
| JP2714200B2 JP2714200B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=11558477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003479A Expired - Fee Related JP2714200B2 (ja) | 1989-03-24 | 1990-01-12 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2714200B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5698470U (ja) * | 1979-12-27 | 1981-08-04 | ||
| JPS6238174U (ja) * | 1985-08-26 | 1987-03-06 | ||
| JPS6364758A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-23 | Ricoh Co Ltd | 荷電偏向型インクジエツト記録装置 |
-
1990
- 1990-01-12 JP JP2003479A patent/JP2714200B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5698470U (ja) * | 1979-12-27 | 1981-08-04 | ||
| JPS6238174U (ja) * | 1985-08-26 | 1987-03-06 | ||
| JPS6364758A (ja) * | 1986-09-05 | 1988-03-23 | Ricoh Co Ltd | 荷電偏向型インクジエツト記録装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2714200B2 (ja) | 1998-02-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |