JPH0422700B2 - - Google Patents
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- JPH0422700B2 JPH0422700B2 JP56094882A JP9488281A JPH0422700B2 JP H0422700 B2 JPH0422700 B2 JP H0422700B2 JP 56094882 A JP56094882 A JP 56094882A JP 9488281 A JP9488281 A JP 9488281A JP H0422700 B2 JPH0422700 B2 JP H0422700B2
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- JP
- Japan
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- orifice
- ink
- head
- head body
- orifice plate
- Prior art date
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、インクジエツトヘツドに関し、詳し
くは、所謂、インクジエツト記録方式に用いる記
録用インク小滴を発生する為のインクジエツトヘ
ツドに関する。
くは、所謂、インクジエツト記録方式に用いる記
録用インク小滴を発生する為のインクジエツトヘ
ツドに関する。
［従来の技術］
インクジエツト記録方式に適用されるインクジ
エツトヘツドは、一般に微細な吐出口（オリフイ
ス）、インク通路及びこのインク通路の一部に設
けられるインク吐出圧発生部を具えている。
エツトヘツドは、一般に微細な吐出口（オリフイ
ス）、インク通路及びこのインク通路の一部に設
けられるインク吐出圧発生部を具えている。
そして、この様なインクジエツトヘツドを作成
する方法として、例えば、ガラスや金属の板に切
削やエツチング等により、微細な溝を形成した
後、この溝を形成した板を他の適当な板と接合し
てヘツド内にインク通路の形成を行なう方法が知
られている。
する方法として、例えば、ガラスや金属の板に切
削やエツチング等により、微細な溝を形成した
後、この溝を形成した板を他の適当な板と接合し
てヘツド内にインク通路の形成を行なう方法が知
られている。
しかし、叙上の方法により得られるヘツドに
は、吐出するインク滴の直進性が損なわれること
が多いという問題点があつた。これは、とりわ
け、ヘツドの吐出口（オリフイス）が異質の素材
から形成される為に、オリフイス周縁に於てイン
クに対する漏れ性の差が生じていることに起因し
ている。
は、吐出するインク滴の直進性が損なわれること
が多いという問題点があつた。これは、とりわ
け、ヘツドの吐出口（オリフイス）が異質の素材
から形成される為に、オリフイス周縁に於てイン
クに対する漏れ性の差が生じていることに起因し
ている。
このことに加えて、長時間に亙つてインクの吐
出が行われたり、ヘツドに振動が加わつた場合に
は、オリフイスから漏出したインクがオリフイス
周辺の一部に付着した後、合体したインク溜を作
り、吐出したインク滴をその方向に引張るために
インク滴の直進性が損なわれることになる。
出が行われたり、ヘツドに振動が加わつた場合に
は、オリフイスから漏出したインクがオリフイス
周辺の一部に付着した後、合体したインク溜を作
り、吐出したインク滴をその方向に引張るために
インク滴の直進性が損なわれることになる。
従来、この様な問題点を除く目的で、金属板や
感光性ガラス板をエツチングしてオリフイスを形
成して成るオリフイスプレートを別途作成してそ
れをヘツド本体に貼り付けてインクジエツトヘツ
ドを作成することが提案されている。
感光性ガラス板をエツチングしてオリフイスを形
成して成るオリフイスプレートを別途作成してそ
れをヘツド本体に貼り付けてインクジエツトヘツ
ドを作成することが提案されている。
しかし、この方法に於ては、エツチングによつ
てオリフイスを成形するので、エツチング率の差
から得られるオリフイスに歪が生じたり、オリフ
イスの形状にバラツキが出て、寸法精度の良いオ
リフイスプレートを作成することが難しかつた。
てオリフイスを成形するので、エツチング率の差
から得られるオリフイスに歪が生じたり、オリフ
イスの形状にバラツキが出て、寸法精度の良いオ
リフイスプレートを作成することが難しかつた。
又、金属板を利用したオリフイスプレートは吐
出口を形成する際に所望の吐出口をエツチングで
形成するために金属表面にレジスト材を付与しエ
ツチング後そのレジスト材を除去する必要があつ
た。
出口を形成する際に所望の吐出口をエツチングで
形成するために金属表面にレジスト材を付与しエ
ツチング後そのレジスト材を除去する必要があつ
た。
そして、金属板や感光性ガラスのエツチングに
際しては、強酸類のエツチング液を使用するため
安全衛生上の問題が生ずる場合があつた。
際しては、強酸類のエツチング液を使用するため
安全衛生上の問題が生ずる場合があつた。
感光性ガラスの場合、取扱い作業上、材料の割
れや欠けに充分注意を払う必要があつた。
れや欠けに充分注意を払う必要があつた。
従つて、従来のオリフイスプレートでは、その
作製作業上非効率的な要素を含んでおり、大量生
産性、歩溜り性という点からみて解決すべき点も
多く残されていた。
作製作業上非効率的な要素を含んでおり、大量生
産性、歩溜り性という点からみて解決すべき点も
多く残されていた。
更に、この方法で製造されるインクジエツトヘ
ツドでは、オリフイスプレートをヘツド本体に貼
り付けるのに使用する接着剤が極めて微細である
オリフイスやインク通路内に流入してそれ等を塞
ぐことが多いと言う不都合も見られる。
ツドでは、オリフイスプレートをヘツド本体に貼
り付けるのに使用する接着剤が極めて微細である
オリフイスやインク通路内に流入してそれ等を塞
ぐことが多いと言う不都合も見られる。
本発明は、上記した従来の問題点を解除すると
共に更なる特徴を備えて成るインクジエツトヘツ
ドを提供することを主目的とする。
共に更なる特徴を備えて成るインクジエツトヘツ
ドを提供することを主目的とする。
つまり、本発明は第１に吐出するインク滴の直
進性を長期間に亙つて保証するインクジエツトヘ
ツドを提供することを目的とする。
進性を長期間に亙つて保証するインクジエツトヘ
ツドを提供することを目的とする。
そして、本発明は、精密であり、しかも、信頼
性の高いインクジエツトヘツドを提供することを
他の目的とする。又、オリフイスを含めたインク
通路が精度良く且つ、設計に忠実に微細加工され
た構成を有するインクジエツトヘツドを提供する
ことも本発明の目的である。
性の高いインクジエツトヘツドを提供することを
他の目的とする。又、オリフイスを含めたインク
通路が精度良く且つ、設計に忠実に微細加工され
た構成を有するインクジエツトヘツドを提供する
ことも本発明の目的である。
更に、簡略な方法により歩留り良く製造するこ
とができ、しかも使用耐久性に優れたマルチオリ
フイス型のインクジエツトヘツドを提供すること
も本発明の他の目的である。
とができ、しかも使用耐久性に優れたマルチオリ
フイス型のインクジエツトヘツドを提供すること
も本発明の他の目的である。
［問題点を解決するための手段］
そして、この様な諸目的を達成した本発明のイ
ンクジエツトヘツドは、インク通路を有するヘツ
ド本体と、前記インク通路に連通してインクを吐
出するためのオリフイスを有するオリフイスプレ
ートと、を有し、前記ヘツド本体に前記オリフイ
スプレートを接合して成るインクジエツトヘツド
において、前記オリフイスプレートが、光に対し
て前記オリフイス部分に非透過部のパターン及び
前記オリフイスの周縁を除いた領域に透過部と非
透過部とを組み合わせたパターンとを有するマス
クを介して感光性樹脂材料の表面部に光を照射す
ることによつて前記表面部に硬化領域と未硬化領
域とを形成するとともに、前記未硬化領域を溶解
除去することにより前記表面部の前記オリフイス
の周縁を除いた領域を粗面化して形成されている
ことを特徴とする。
ンクジエツトヘツドは、インク通路を有するヘツ
ド本体と、前記インク通路に連通してインクを吐
出するためのオリフイスを有するオリフイスプレ
ートと、を有し、前記ヘツド本体に前記オリフイ
スプレートを接合して成るインクジエツトヘツド
において、前記オリフイスプレートが、光に対し
て前記オリフイス部分に非透過部のパターン及び
前記オリフイスの周縁を除いた領域に透過部と非
透過部とを組み合わせたパターンとを有するマス
クを介して感光性樹脂材料の表面部に光を照射す
ることによつて前記表面部に硬化領域と未硬化領
域とを形成するとともに、前記未硬化領域を溶解
除去することにより前記表面部の前記オリフイス
の周縁を除いた領域を粗面化して形成されている
ことを特徴とする。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説
明する。
明する。
第１図乃至第５図は、本発明インクジエツトヘ
ツドの構成とその作製手順を説明する為の模式図
である。
ツドの構成とその作製手順を説明する為の模式図
である。
先ず、第１図に示す様に、ガラス、セラミツク
ス、プラスチツク或は金属等、適当な基板１上に
発熱素子或は圧電素子等のインク吐出圧発生素子
（吐出エネルギー発生素子）２を所望の個数（図
に於ては２個）、配設し、この基板１とインク通
路となる溝を形成した別の板３とを接合してヘツ
ド本体４を作成する。因に、図中、５−１，５−
２は何れもヘツド本体４に於るインク吐出口（オ
リフイス）である。尚、前記インク吐出圧発生素
子２として発熱素子が用いられるときには、この
素子が、近傍のインクを加熱することにより、イ
ンク吐出圧を発生させる。又、圧電素子が用いら
れるときは、この素子の機械的振動によつてイン
ク吐出圧を発生させる。そして、これ等の素子２
には、図示されていないが、信号入力用電極が接
続してある。
ス、プラスチツク或は金属等、適当な基板１上に
発熱素子或は圧電素子等のインク吐出圧発生素子
（吐出エネルギー発生素子）２を所望の個数（図
に於ては２個）、配設し、この基板１とインク通
路となる溝を形成した別の板３とを接合してヘツ
ド本体４を作成する。因に、図中、５−１，５−
２は何れもヘツド本体４に於るインク吐出口（オ
リフイス）である。尚、前記インク吐出圧発生素
子２として発熱素子が用いられるときには、この
素子が、近傍のインクを加熱することにより、イ
ンク吐出圧を発生させる。又、圧電素子が用いら
れるときは、この素子の機械的振動によつてイン
ク吐出圧を発生させる。そして、これ等の素子２
には、図示されていないが、信号入力用電極が接
続してある。
斯かるヘツド本体４の構成は、本発明の要旨に
直接には関係するものでないので、叙上の他の詳
細説明は省略する。
直接には関係するものでないので、叙上の他の詳
細説明は省略する。
次に、第２図に示す様に、ヘツド本体４のオリ
フイス側端面を清浄化して乾燥させた後、（尚、
このときオリフイス側端面を粗面化することもあ
る。）この端面に80℃〜105℃程度に加温されたド
ライフイルムフオトレジスト６（膜厚、約25μ〜
100μ）を0.5〜0.4f／分の速度、１〜３Kg／cm3の加
圧条件下で熱圧着する。このとき、ドライフイル
ムフオトレジスト６はヘツド本体４に半ば融着し
て固定された状態となり、以後、相当の外圧が加
わつた場合にもヘツド本体４から剥離することは
ない。
フイス側端面を清浄化して乾燥させた後、（尚、
このときオリフイス側端面を粗面化することもあ
る。）この端面に80℃〜105℃程度に加温されたド
ライフイルムフオトレジスト６（膜厚、約25μ〜
100μ）を0.5〜0.4f／分の速度、１〜３Kg／cm3の加
圧条件下で熱圧着する。このとき、ドライフイル
ムフオトレジスト６はヘツド本体４に半ば融着し
て固定された状態となり、以後、相当の外圧が加
わつた場合にもヘツド本体４から剥離することは
ない。
次いで、第３図の略画断面図で示すとおり、ヘ
ツド本体４のオリフイス側端面に固定したドライ
フイルムフオトレジスト６上に所望形状のオリフ
イスに相当するマスタパターン７ａ及び７ｂを有
するフオトマスク７を重ね合せた後、第４図に略
画断面図で示す様にこのマスク７の上部から露光
を行なう。尚、上記パターン７ａ及び７ｂは光を
透過しないので、これ等のパターン７ａ，７ｂで
覆われている領域のドライフイルムフオトレジス
ト６は露光されない。このとき、マスクパターン
７ａと７ｂが夫々、ヘツド本体４のオリフイス５
−１及び５−２に合致する様、正確な位置合せを
周知の手法で行う。又、網目状パターン７ｃによ
つて覆われている領域のドライフイルムフオトレ
ジスト６は完全にはマスクされていないので若干
露光された状態になる。これに加えて、オリフイ
スに相当するパターン７ａ，７ｂのの周縁のパタ
ーン１０ａ，１０ｂによつて、図示のとおり環状
に露光される様にしている。これは、後の現像処
理工程に於いて、オリフイスの周縁そのものが粗
面化されてしまい、かえつて吐出インク滴の直進
性が損なわれるからである。
ツド本体４のオリフイス側端面に固定したドライ
フイルムフオトレジスト６上に所望形状のオリフ
イスに相当するマスタパターン７ａ及び７ｂを有
するフオトマスク７を重ね合せた後、第４図に略
画断面図で示す様にこのマスク７の上部から露光
を行なう。尚、上記パターン７ａ及び７ｂは光を
透過しないので、これ等のパターン７ａ，７ｂで
覆われている領域のドライフイルムフオトレジス
ト６は露光されない。このとき、マスクパターン
７ａと７ｂが夫々、ヘツド本体４のオリフイス５
−１及び５−２に合致する様、正確な位置合せを
周知の手法で行う。又、網目状パターン７ｃによ
つて覆われている領域のドライフイルムフオトレ
ジスト６は完全にはマスクされていないので若干
露光された状態になる。これに加えて、オリフイ
スに相当するパターン７ａ，７ｂのの周縁のパタ
ーン１０ａ，１０ｂによつて、図示のとおり環状
に露光される様にしている。これは、後の現像処
理工程に於いて、オリフイスの周縁そのものが粗
面化されてしまい、かえつて吐出インク滴の直進
性が損なわれるからである。
叙上のとおり露光すると、パターン７ａ，７ｂ
に相当する領域外、つまり露光されたフオトレジ
スト６が重合反応を起して硬化し、溶剤不溶性に
なる。他方、露光されなかつたフオトレジスト６
は硬化せず、溶剤化溶性のまま残る。この様な露
光操作を経た後、ドライフイルムフオトレジスト
６を揮発性有機溶剤、例えば、トリクロルエタン
中に浸漬して、未重合（未硬化）のフオトレジス
トを溶解除去すると、硬化フオトレジスト膜６Ｈ
にはパターン７ａ及び７ｂに従つて第５図に示す
貫通孔８−１，８−２が形成され、またパターン
１０ａ及び１０ｂに従つて第５図に示す、オリフ
イス周縁の未溶解除去部１１−１、１１−２が形
成され、またオリフイス周縁を除く外表面にはパ
ターン７ｃに従つて第５図に示す微細凹凸面９が
形成される。その後、ヘツド本体４のオリフイス
側端面に残された硬化フオトレジスト膜６Ｈの耐
溶剤性を向上させる目的でこれを更に硬化させ
る。その方法としては、熱重合（130℃〜160℃で
10分〜60分程度、加熱）させるか、紫外線照射を
行うか、これ等、両者を併用するのが良い。
に相当する領域外、つまり露光されたフオトレジ
スト６が重合反応を起して硬化し、溶剤不溶性に
なる。他方、露光されなかつたフオトレジスト６
は硬化せず、溶剤化溶性のまま残る。この様な露
光操作を経た後、ドライフイルムフオトレジスト
６を揮発性有機溶剤、例えば、トリクロルエタン
中に浸漬して、未重合（未硬化）のフオトレジス
トを溶解除去すると、硬化フオトレジスト膜６Ｈ
にはパターン７ａ及び７ｂに従つて第５図に示す
貫通孔８−１，８−２が形成され、またパターン
１０ａ及び１０ｂに従つて第５図に示す、オリフ
イス周縁の未溶解除去部１１−１、１１−２が形
成され、またオリフイス周縁を除く外表面にはパ
ターン７ｃに従つて第５図に示す微細凹凸面９が
形成される。その後、ヘツド本体４のオリフイス
側端面に残された硬化フオトレジスト膜６Ｈの耐
溶剤性を向上させる目的でこれを更に硬化させ
る。その方法としては、熱重合（130℃〜160℃で
10分〜60分程度、加熱）させるか、紫外線照射を
行うか、これ等、両者を併用するのが良い。
この様にして、オリフイスプレートに相当する
硬化フオトレジスト膜６Ｈにより成形される貫通
孔８−１，８−２の横断面の形状は（図示してい
ないが）円形、角形等所望のものとすることがで
きる。又、貫通孔８−１，８−２の縦断面形状
も、第５図示のとおりのインクの吐出方向に向け
て先細り形の他、先広がり形やストレート形等に
任意に変更することができる。
硬化フオトレジスト膜６Ｈにより成形される貫通
孔８−１，８−２の横断面の形状は（図示してい
ないが）円形、角形等所望のものとすることがで
きる。又、貫通孔８−１，８−２の縦断面形状
も、第５図示のとおりのインクの吐出方向に向け
て先細り形の他、先広がり形やストレート形等に
任意に変更することができる。
叙上の実施例に於て使用したドライフイルムフ
オトレジストは、取扱い上の簡便さと、厚さの制
御が容易且つ精確にできることから本発明に好適
な感光性樹脂であると言うことができる。この様
なフイルムタイプのものとしては、例えば、デユ
ポン社パーマネントフオトポリマーコーテイング
RISTON、ソルダーマスク730S，同740S，同
730FR，同740FR，，同SM1等の商品名で市販さ
れている感光性樹脂がある。
オトレジストは、取扱い上の簡便さと、厚さの制
御が容易且つ精確にできることから本発明に好適
な感光性樹脂であると言うことができる。この様
なフイルムタイプのものとしては、例えば、デユ
ポン社パーマネントフオトポリマーコーテイング
RISTON、ソルダーマスク730S，同740S，同
730FR，同740FR，，同SM1等の商品名で市販さ
れている感光性樹脂がある。
本発明の実施例に於て、マスクパターン７ａ，
７ｂを夫々、直径60μの円形にした場合、実際に
フオトレジスト硬化膜６Ｈ（厚さ50μ）に形成さ
れる貫通孔８−１，８−２は±5μ程度の精度で
得られる。参考迄に厚さ50μのシリコン平板に上
記実施例と同等の貫通孔をエツチング法で形成し
た場合、その精度は約±15μである。
７ｂを夫々、直径60μの円形にした場合、実際に
フオトレジスト硬化膜６Ｈ（厚さ50μ）に形成さ
れる貫通孔８−１，８−２は±5μ程度の精度で
得られる。参考迄に厚さ50μのシリコン平板に上
記実施例と同等の貫通孔をエツチング法で形成し
た場合、その精度は約±15μである。
又、オリフイス５−１，５−２と貫通孔８−
１，８−２との位置ズレは本発明の場合、±5μ程
であるが、後者の方法では±30μと相当に大きい
ものである。その結果、上記夫々のオリフイスプ
レートを設けたヘツドから噴射されるインクの着
弾精度は、本発明の方が約５倍程優れている。
１，８−２との位置ズレは本発明の場合、±5μ程
であるが、後者の方法では±30μと相当に大きい
ものである。その結果、上記夫々のオリフイスプ
レートを設けたヘツドから噴射されるインクの着
弾精度は、本発明の方が約５倍程優れている。
そして、オリフイスプレートの表面に形成され
る凹凸の程度、つまり粗面の程度は、網目状マス
ク７ｃ（第３図）に於ける網目の粗密如何により
（露光量を調整して）かなり自由に制御すること
ができる。
る凹凸の程度、つまり粗面の程度は、網目状マス
ク７ｃ（第３図）に於ける網目の粗密如何により
（露光量を調整して）かなり自由に制御すること
ができる。
又、この様に、オリフイスプレートの表面を粗
面化する為のマスクは叙上の実施例で用いた網目
状のものだけに限らず、例えば、放射状のものや
平行線状のものであつても良い。
面化する為のマスクは叙上の実施例で用いた網目
状のものだけに限らず、例えば、放射状のものや
平行線状のものであつても良い。
［効果］
以上に詳しく説明した本発明によるインクジエ
ツトヘツドの効果としては、 １ オリフイスが同一素材を以つて極めて寸法精
度良く形成されているので、吐出インク滴の直
進性に優れており、インク滴のサイズも一様化
される。
ツトヘツドの効果としては、 １ オリフイスが同一素材を以つて極めて寸法精
度良く形成されているので、吐出インク滴の直
進性に優れており、インク滴のサイズも一様化
される。
２ オリフイスプレートのフエイス面がインクに
対して一様な濡れ性を示す様に成つているの
で、オリフイス周辺にインク溜が生じ難く、長
時間駆動したときにもインク滴の直進性が安定
化される。
対して一様な濡れ性を示す様に成つているの
で、オリフイス周辺にインク溜が生じ難く、長
時間駆動したときにもインク滴の直進性が安定
化される。
３ 一様な寸法、形状のオリフイスを多数同時成
形できるので、高密度マルチアレイインクジエ
ツトヘツドを作成し易く、又、作製過程におけ
る取扱い性も良好であり、量産性も優れてい
る。
形できるので、高密度マルチアレイインクジエ
ツトヘツドを作成し易く、又、作製過程におけ
る取扱い性も良好であり、量産性も優れてい
る。
４ 適用するフオトマスク次第で所望の形状にオ
リフイスを成形することができる。
リフイスを成形することができる。
５ フオトレジストの自己接着性を利用するので
別途、接着剤を使用する必要がなく、接着剤の
流れ込みによつてオリフイス等のインク通路を
閉塞する恐れがない。
別途、接着剤を使用する必要がなく、接着剤の
流れ込みによつてオリフイス等のインク通路を
閉塞する恐れがない。
６ ヘツド本体と成形オリフイスとの位置合せ精
度が良く、その位置合せ操作も容易である。
度が良く、その位置合せ操作も容易である。
７ エツチング液（フツ化水素酸等の強酸類）を
使用する必要がないので、安全衛生の面でも有
利である。
使用する必要がないので、安全衛生の面でも有
利である。
８ オリフイス周縁を除いて粗面化することによ
り、現像処理工程に於いて、オリフイスの周縁
そのものの粗面化を防ぎ、吐出インク滴の直進
性が損なわれることを防ぐことができる。
り、現像処理工程に於いて、オリフイスの周縁
そのものの粗面化を防ぎ、吐出インク滴の直進
性が損なわれることを防ぐことができる。
こと等、多数、列挙することができる。
第１図乃至第５図は本発明の実施例の説明図で
ある。 図に於て、４はインクジエツトヘツド本体、５
−１，５−２はオリフイス、６はドライフイルム
フオトレジスト、６Ｈはフオトレジスト硬化膜、
８−１，８−２は貫通孔、１１−１，１１−２は
オリフイス周縁部である。
ある。 図に於て、４はインクジエツトヘツド本体、５
−１，５−２はオリフイス、６はドライフイルム
フオトレジスト、６Ｈはフオトレジスト硬化膜、
８−１，８−２は貫通孔、１１−１，１１−２は
オリフイス周縁部である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ インク通路を有するヘツド本体と、 前記インク通路に連通してインクを吐出するた
めのオリフイスを有するオリフイスプレートと、 を有し、前記ヘツド本体に前記オリフイスプレー
トを接合して成るインクジエツトヘツドにおい
て、 前記オリフイスプレートが、光に対して前記オ
リフイス部分に非透過部のパターン及び前記オリ
フイスの周縁を除いた領域に透過部と非透過部と
を組み合わせたパターンとを有するマスクを介し
て感光性樹脂材料の表面部に光を照射することに
よつて前記表面部に硬化領域と未硬化領域とを形
成するとともに、前記未硬化領域を溶解除去する
ことにより前記表面部の前記オリフイスの周縁を
除いた領域を粗面化して形成されていることを特
徴とするインクジエツトヘツド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9488281A JPS57208256A (en) | 1981-06-18 | 1981-06-18 | Ink jet head |
| US06/383,099 US4450455A (en) | 1981-06-18 | 1982-05-28 | Ink jet head |
| DE3222680A DE3222680C2 (de) | 1981-06-18 | 1982-06-16 | Tintenstrahlkopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
| GB08217573A GB2113148B (en) | 1981-06-18 | 1982-06-17 | Ink jet head |
| US06/859,230 US4701766A (en) | 1981-06-18 | 1986-05-05 | Method of making an ink jet head involving in-situ formation of an orifice plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9488281A JPS57208256A (en) | 1981-06-18 | 1981-06-18 | Ink jet head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57208256A JPS57208256A (en) | 1982-12-21 |
| JPH0422700B2 true JPH0422700B2 (ja) | 1992-04-20 |
Family
ID=14122415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9488281A Granted JPS57208256A (en) | 1981-06-18 | 1981-06-18 | Ink jet head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57208256A (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0572948B1 (en) * | 1992-06-01 | 2000-09-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head fabrication method |
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| JP3143307B2 (ja) * | 1993-02-03 | 2001-03-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP3143308B2 (ja) | 1994-01-31 | 2001-03-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
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| WO1999012740A1 (en) * | 1997-09-10 | 1999-03-18 | Seiko Epson Corporation | Porous structure, ink jet recording head, methods of their production, and ink jet recorder |
| JP3619036B2 (ja) | 1997-12-05 | 2005-02-09 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| AU2640099A (en) | 1999-02-25 | 2000-09-14 | Seiko Epson Corporation | Structure member excellent in water-repellency and manufacturing method thereof |
| JP4497633B2 (ja) | 1999-03-15 | 2010-07-07 | キヤノン株式会社 | 撥液体層の形成方法及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP3963456B2 (ja) | 2003-06-16 | 2007-08-22 | キヤノン株式会社 | 感光性樹脂組成物およびこれを用いたインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPS55118876A (en) * | 1979-03-07 | 1980-09-12 | Canon Inc | Method of fabricating multinozzle recording head |
| JPS55121077A (en) * | 1979-03-13 | 1980-09-17 | Seiko Epson Corp | Manufacture of ink jet head |
-
1981
- 1981-06-18 JP JP9488281A patent/JPS57208256A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57208256A (en) | 1982-12-21 |
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