JPH03208764A - クリーンルーム内のワーク搬送装置 - Google Patents
クリーンルーム内のワーク搬送装置Info
- Publication number
- JPH03208764A JPH03208764A JP394290A JP394290A JPH03208764A JP H03208764 A JPH03208764 A JP H03208764A JP 394290 A JP394290 A JP 394290A JP 394290 A JP394290 A JP 394290A JP H03208764 A JPH03208764 A JP H03208764A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tracks
- work
- clean room
- track
- ceiling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、クリーンルームの室内で使用するワーク搬送
装置に関する。
装置に関する。
半導体製造分野など、高清浄度な作業環境が要求される
クリーンルームの室内でワーク搬送を行う場合には、ワ
ークを塵埃汚損から保護するためにワーク搬送装置から
の発塵を防止する対策が必要となる。
クリーンルームの室内でワーク搬送を行う場合には、ワ
ークを塵埃汚損から保護するためにワーク搬送装置から
の発塵を防止する対策が必要となる。
次に、クリーンルームの室内で使用するワーク搬送装置
の従来構造を第２図，第３図に示す。図において、ｌは
垂直層流形のクリーンルーム、２はクリーンルーム１の
天井より吊り下げて室内に敷設したトンネル状の枠体と
して作られた軌道、３は軌道２に沿って矢印Ｐ方向に走
行する搬送台車、４は搬送台車３の下面側に設けたワー
ク吊り具、５はワーク吊り具４に搭載したワークである
。
の従来構造を第２図，第３図に示す。図において、ｌは
垂直層流形のクリーンルーム、２はクリーンルーム１の
天井より吊り下げて室内に敷設したトンネル状の枠体と
して作られた軌道、３は軌道２に沿って矢印Ｐ方向に走
行する搬送台車、４は搬送台車３の下面側に設けたワー
ク吊り具、５はワーク吊り具４に搭載したワークである
。
ここで、クリーンルーム１の天井側には全面域にＨＥＰ
Ａフィルタ（高性能フィルタ）６が配備されており、ダ
クトを通じて送風されて来た空気を前記ＨＥＰＡフィル
タ６により除塵した上で室内へダウンフローするように
している。一方、軌道２は吊りボルト７，吊りブラケッ
ト８を介してクリーンルーム１の天井に吊り下げられて
おり、該軌道２に対して搬送台車３は軌道２の左右に配
した案内レール９に車輪１０を担持して懸垂式に支持さ
れている。また、軌道体２．搬送台車３にはリニアパル
スモータ１１．吸引電磁石１２を装備し、走行時に搬送
台車３が前記の案内レール９より磁気浮上して走行する
よう構威されている。
Ａフィルタ（高性能フィルタ）６が配備されており、ダ
クトを通じて送風されて来た空気を前記ＨＥＰＡフィル
タ６により除塵した上で室内へダウンフローするように
している。一方、軌道２は吊りボルト７，吊りブラケッ
ト８を介してクリーンルーム１の天井に吊り下げられて
おり、該軌道２に対して搬送台車３は軌道２の左右に配
した案内レール９に車輪１０を担持して懸垂式に支持さ
れている。また、軌道体２．搬送台車３にはリニアパル
スモータ１１．吸引電磁石１２を装備し、走行時に搬送
台車３が前記の案内レール９より磁気浮上して走行する
よう構威されている。
上記の構威により、基本的には走行時に搬送台車３が軌
Ｍ２に対して非接触式に走行するので、車輪ｌＯなどの
可動部からの発塵を最小限に抑えることができる。
Ｍ２に対して非接触式に走行するので、車輪ｌＯなどの
可動部からの発塵を最小限に抑えることができる。
しかして、長期間使用の間には軌・道２の内部．特に案
内レール９には塵埃が堆積し、この塵埃が振動．衝撃な
どで不測に案内レールより脱落して飛散し、その下方の
空間を移動して搬送されるワーク５に振り掛かって思わ
ぬ塵埃汚染を引き起こすことがある。
内レール９には塵埃が堆積し、この塵埃が振動．衝撃な
どで不測に案内レールより脱落して飛散し、その下方の
空間を移動して搬送されるワーク５に振り掛かって思わ
ぬ塵埃汚染を引き起こすことがある。
本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、搬送
台車のワーク搭載構造を改良することにより、軌道から
の塵埃落下による不測なワークの汚染を確実に防止でき
るようにしたクリーンルーム内で使用するワーク搬送装
置を提供することを目的とする。
台車のワーク搭載構造を改良することにより、軌道から
の塵埃落下による不測なワークの汚染を確実に防止でき
るようにしたクリーンルーム内で使用するワーク搬送装
置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明のワーク搬送装置に
おいては、ワークを載せる載荷台を軌道よりも上方位置
に配置し、支柱を介して搬送台車に取付けて構威するも
のとする。
おいては、ワークを載せる載荷台を軌道よりも上方位置
に配置し、支柱を介して搬送台車に取付けて構威するも
のとする。
上記の構威により、搬送台車の載荷台に搭載したワーク
は軌道よりも上方位置を移動してクリーンルームの天井
側からＨＥＰＡフィルタを通じて室内へダウンフローす
る清浄空気流で直接洗流される．したがって長期稼働の
間に軌道の内部に堆積した塵埃が不測に落下しても、ワ
ークは清浄空気流の上流側に在るので塵埃による汚染を
受けるおそれがない。
は軌道よりも上方位置を移動してクリーンルームの天井
側からＨＥＰＡフィルタを通じて室内へダウンフローす
る清浄空気流で直接洗流される．したがって長期稼働の
間に軌道の内部に堆積した塵埃が不測に落下しても、ワ
ークは清浄空気流の上流側に在るので塵埃による汚染を
受けるおそれがない。
第１図は本発明実施例の構或を示すものであり、第２図
に対応する同一部材には同じ符号が付してある。
に対応する同一部材には同じ符号が付してある。
図において、トンネル構造の軌道２は吊りボルト７，枠
状の吊りブラケット８を介してクリーンルーム１の天井
に吊り下げ式に敷設されている。
状の吊りブラケット８を介してクリーンルーム１の天井
に吊り下げ式に敷設されている。
一方、第２図と同様に軌道２に懸垂支持された搬送台車
３に対し、その上部には軌条２の上面に開口したスリッ
トを通じて軌条２の上方側に引き出した支柱１３が設け
てあり、かつこの支柱１３にワーク５を載置する載荷台
１４が取付けてある．上記の構威によれば、載荷台１４
に載せたワーク５は常に軌道２よりも上方位置、つまり
クリーンルームｌの天井側からＨＥＰＡフィルタ６を通
じてダウンフローする清浄空気流から見て軌道２より上
流側の空間を移動して搬送される．したがって、搬送台
車３の走行中に軌道２の内部に堆積していた塵埃が不測
に落下，飛散しても、載荷台ｌ４に搭載した搬送中のワ
ーク５に塵埃が降り掛かるおそれはなく、かつワーク５
は室内をダウンフローする清浄空気流により洗浄される
ので、ワーク５を塵埃汚染から確実に保護できる。
３に対し、その上部には軌条２の上面に開口したスリッ
トを通じて軌条２の上方側に引き出した支柱１３が設け
てあり、かつこの支柱１３にワーク５を載置する載荷台
１４が取付けてある．上記の構威によれば、載荷台１４
に載せたワーク５は常に軌道２よりも上方位置、つまり
クリーンルームｌの天井側からＨＥＰＡフィルタ６を通
じてダウンフローする清浄空気流から見て軌道２より上
流側の空間を移動して搬送される．したがって、搬送台
車３の走行中に軌道２の内部に堆積していた塵埃が不測
に落下，飛散しても、載荷台ｌ４に搭載した搬送中のワ
ーク５に塵埃が降り掛かるおそれはなく、かつワーク５
は室内をダウンフローする清浄空気流により洗浄される
ので、ワーク５を塵埃汚染から確実に保護できる。
本発明によるワーク搬送装置は、以上説明したように構
威されているので、次記の効果を奏する．−５− すなわち、ワークを載せる載荷台を軌道よりも上方位置
に配置し、支柱を介して搬送台車に連結して構威したこ
とにより、クリーンルームの室内をダウンフローする清
浄空気流に対して搬送中のワークは常に軌道よりも上流
側に位置して清浄空気流の洗浄を受ける．したがって、
仮に軌道の内部に堆積した塵埃が不測に落下，飛散して
も、ワークが塵埃の汚損を受けるおそれがない。
威されているので、次記の効果を奏する．−５− すなわち、ワークを載せる載荷台を軌道よりも上方位置
に配置し、支柱を介して搬送台車に連結して構威したこ
とにより、クリーンルームの室内をダウンフローする清
浄空気流に対して搬送中のワークは常に軌道よりも上流
側に位置して清浄空気流の洗浄を受ける．したがって、
仮に軌道の内部に堆積した塵埃が不測に落下，飛散して
も、ワークが塵埃の汚損を受けるおそれがない。
第１図は本発明実施例の構威図、第２図は従来における
ワーク搬送装置の構威図、第３図は第２図の側面図であ
る．図において、 ｌ：クリーンルーム、２：軌道、３：搬送台車、５：ワ
ーク、６ ： ＨＥＰＡフィルタ、９：案内レール、ｌ
Ｏ：車輪、ｌ１：吸引磁石、ｌ２：リニアパル−６−
ワーク搬送装置の構威図、第３図は第２図の側面図であ
る．図において、 ｌ：クリーンルーム、２：軌道、３：搬送台車、５：ワ
ーク、６ ： ＨＥＰＡフィルタ、９：案内レール、ｌ
Ｏ：車輪、ｌ１：吸引磁石、ｌ２：リニアパル−６−
Claims (1)
- １）天井側から清浄空気をダウンフローする垂直層流形
クリーンルームの室内に据付けて使用するワーク搬送装
置であり、天井より吊り下げて室内に敷設した軌道に対
し、搬送台車を軌道に懸垂支持して磁気浮上式に走行さ
せるものにおいて、ワークを載せる載荷台を前記軌道よ
りも上方位置に配置し、支柱を介して搬送台車に連結し
たことを特徴とするクリーンルーム内のワーク搬送装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP394290A JPH03208764A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | クリーンルーム内のワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP394290A JPH03208764A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | クリーンルーム内のワーク搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03208764A true JPH03208764A (ja) | 1991-09-11 |
Family
ID=11571180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP394290A Pending JPH03208764A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | クリーンルーム内のワーク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03208764A (ja) |
-
1990
- 1990-01-11 JP JP394290A patent/JPH03208764A/ja active Pending
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