JPH03172221A - クリーン搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体、バイオ関連品などの製造工程に採用
してワークを清浄空間内で搬送するクリーン搬送装置に
関する。

〔従来の技術〕

頭記のクリーン搬送装置として、クリーンチューブ内に
レールを敷設して搬送台車を走行させるようにしたクリ
ーンチューブ型搬送装置が公知である。

次に、従来におけるクリーンチューブ型搬送装置の構成
を第３図に示す０図において、ｌはワークの搬送経路に
沿って周囲空気と遮断するように密閉構造で構築された
クリーンチューブのチューブ本体、２はチューブ本体１
の内部床面上に敷設したレール、３は被搬送物（例えば
半導体ウェハを収納したカセット）であるワーク４を搭
載してレール２の上を走行する搬送台車、５はチューブ
本体ｌの天井部に設置した高性能フィルタ（ＨＥＰＡフ
ィルタ）　５ａと送風ｍｓｂとの組合せからなるクリー
ンユニット、６はクリーンユニット５とチューブ本体ｌ
の下部との間を連通してチューブ本体ｌの側方に配管し
た吸気ダクトである。

ここで、前記の搬送台車３は台車本体３ａの上部に支柱
３ｂを介してワーク４を載せる荷台３Ｃを設けた構造で
あり、台車本体３ｊは電源パンテリを搭載するか、ある
いはトロリ線を通じて外部より給電を受け、台車本体に
組み込んだ回転モータにより車輪３ｄを駆動してレール
上を走行する。なお、搬送台車３の駆動方式として、前
記した回転モータの代わりにリニアモータを採用した駆
動方式もある。一方、チューブ本体工の中段部には、前
記しため送り車３の支柱３ｂが通過する中央の狭いスリ
ットを残して左右側壁より片持式に張り出した仕切隔壁
１ａを備えており、この仕切隔壁１ａを境にしてチュー
ブ本体ｌの内部空間が上部空間１ｂと下部空間１ｃとに
区分されている。

かかる構成で、運転時にはクリーンユニット５゜吸気ダ
クト６を経由してチューブ本体ｌとの間に空気が循環送
風され、この循環送風過程で高性能フィルタ５ａを透過
して除塵された清浄空気がチューブ本体ｌの上部空間１
ｂに向けてダウンフロー式に吹き出す、また、クリーン
ユニット５より吹出した清浄空気流は上部空間１ｂを流
下した後に仕切隔壁１ａの中央に開口するスリットを通
じて下部空間１ｃに入り、ここから吸気ダクト６に吸い
込まれて再びクリーンユニット５に還流する。

これにより、搬送台車３の走行に伴って台車本体３ａの
車輪３ｄなどから発塵する塵埃は、空気流と一緒に吸気
ダクト６に吸い込まれるので仕切隔壁ｌａで仕切られた
上部空間１ｂに侵入することがなく、ワーク４を塵埃に
よる汚損から保護しつつクリーンチューブ内を搬送する
ことができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、前記した従来のクリーン搬送装置では次記の
ような難点がある。

ずなわら、従来構造では搬送台車３の走行に伴う発塵か
ワーク４に影響を及ぼすことのないように、チューブ本
体１の中段に仕切隔壁１ａを設け゛Ｃ内部空間を上下段
に区分し、この仕切隔壁１ａに開けた狭いスリットを搬
送台車３の支柱３ｂが通過するようにしている。

しかして、前記の仕切隔壁１ａはチューブ本体ｌの左右
側壁から張り出すように片持式に支持されているので支
持が不安定であり、搬送台車３の走行時に振動などが加
わると搬送台車３に接触して走行を阻害することがある
。さらに、搬送台車３゜ないしチューブ本体１の内部を
点検する場合には、チューブ本体１の内部を上下段に仕
切る仕切隔壁１ａがメンテナンス作業の障害物となる。

本発明は上記の点にかんがみなされたものであり、チュ
ーブ本体に対する循環送風路を改良することにより、搬
送台車の走行に伴う台車本体からの発塵がワークに影響
を及ぼすのを安全に回避しつつ、しかもＦＪＭな構造で
内部のメンテナンス作業が容品に行えるようにしたクリ
ーン搬送装置を提供することを目的とする。

（！Ｉｆｆを解決するための手段〕 上記課題を解決するために、本発明のクリーン搬送装置
は、その内部に搬送台車が走行するクリーンチューブに
対し、チューブ本体内部の底部側に残余空間を残してそ
の上方の中段位置にレールを敷設するとともに、クリー
ンユニットに通じる吸気ダクトの吸込口をレールより下
方の底部空間に開口して配管するものとする。

〔作用〕

上記の構成により、上部のクリーンユニットからチュー
ブ本体の内部空間へ向けてダウン２０−した清浄空気流
は、同じ空間内で搬送台車に搭載されているワーク、台
車本体、レール周辺の順にその周囲を流下した後にチュ
ーブ本体内部の底部空間に流入し、ここから吸気ダクト
を経由して再びクリーンユニットに還流するように循環
送風される。したがって搬送台車の走行に伴って車輪の
周辺より発塵した塵埃はワークの方へ逆流することなく
内部空間をダウンフローする空気流と一緒にレール下方
の底部空間へ移行し、ここから吸気ダクトに殴い込まれ
ることになる。

なお、搬送台車の駆動モータとしてリニアモータを採用
することにより、走行時に回転モータのようにモータ本
体の回転機構部からの発塵がないので有利である。

〔実施例〕

第１図、第２図は本発明実施例の構成を示すものであり
第３図に対応する同一部材には同じ符号が付しである。

まず、クリーンチューブのチューブ本体１は隔壁を組合
せて横築したトンネル状の密閉箱構造体としてなり、特
にチューブ本体１の下部構造は、チャンネル形鋼を使用
した左右一対のレール支持枠１１と、レール支持枠１１
の間の下部に取付けてチューブ本体の底面を閉塞するケ
ーブルダクト兼用の底面板１２とを組合せてこの部分に
底部空間１３を形成するとともに、前記レール支持枠１
１の上面側には左右の支持枠１１の間にまたがって架設
した枕木１４を介してその上面にレール２が敷設されて
いる。なお、１５はチューブ本体１の側壁部に設けた保
守点検用の扉である。

また、搬送台車３はリニアモータ駆動方式として、前記
枕木１４の中央部にはレール２と並べてリニアモータ７
の電機子コイル７１が、該電機子コイル７１に対向して
台車３の底部には界磁永久磁石７２が装備されている。

なお、３１は搬送台車３の走行車輪、３２は搬送台車３
に搭載したワーク４を支持する荷台である。

一方、チューブ本体１の頂部１６にはクリーンユニット
５が収設されており、かつ前記のレール支持枠１１の側
面に開口した連通穴Ｉ７と頂部１６との間を結んでクリ
ーンユニット５と底部空間１３との間を連通ずるように
、チューブ本体１の側方に吸気ダクト６が配管されてい
る。

かかる構成のクリーンチューブ組立体は、支持梁８．吊
りボルト９を介してクリーンルームの天井に吊り下げ支
持されている。なお、１０はクリーンユニット５．リニ
アモータ７などに対する給電。

制御ケーブルであり、前記した底部空間１３を利用して
皿形底板１２の上に敷設、配線されている。

かかる構成で、クリーンユニット５の送風機５ｂを運転
すると、高性能フィルタ５Ｂを透過して除塵された清浄
空気がチューブ本体１の内部空間に向けてダウンフロー
し、ワーク４．搬送台車３の順にその周囲を流下した後
に、レール２の周辺より枕木１４の間を逼って下部空間
１３に流入し、ここから吸気ダクト６を経て再び空気ユ
ニット５に還流するように循環送風される。また、搬送
台車３の走行に伴い車輪の回転、レールと車輪との接触
により発塵した塵埃は、チューブ本体内をダウンフロー
する空気流とともにレール周辺から直ちにレール２より
下方の底部空間１３に移行し、ここから吸気ダクト６に
唆い込まれてクリーンユニット５にて除塵される。した
がって、ワーク４は常に清浄な雰囲気中で搬送されるこ
とになり、塵埃による汚損を受けるおそれはない。

また、チューブ本体１の内部には第３図で述べたような
仕切隔壁がなく、搬送装置の保守点検時には第１図に示
した扉１５を解放することにより、チューブ本体Ｉの内
部、および搬送台車３に保守員がアクセスして容易にメ
ンテナンス作業を進めることができる。また、図示実施
例のようにチューブ本体ｌの底部空間１３を利用してこ
こにケーブルダクトを画成したことにより、ケーブル配
線に対する省スペース化が図れる。

〔発明の効果〕

本発明によるクリーン搬送装置は、以上説明したように
構成されているので、次記の効果を奏する。

（１）クリーンユニットに通じる吸気ダクトを、その吸
込口がレールより下方に画成した底部空間に開口するよ
う配管したので、搬送台車の走行に伴う発塵はチューブ
本体の内部空間にダウンフローする清浄空気流とともに
発塵箇所から直ちに底部空間に移行し、ここから吸気ダ
クトを通じてクリーンユニットで除塵される。したがっ
て、従来装置のようにワークの塵埃汚損を防ぐ狙いから
、チューブ本体の内部空間をワークが移動する空間と搬
送台車の台車本体が走行する空間とに区分して仕切る必
要がなく、搬送台車に搭載したワークを搬送台車ととも
に同じ空間内で塵埃による汚損を回避しつつクリーンな
状態で搬送することができる。

（２）チューブ本体の内部で搬送台車の走行する空間に
は従来装置における仕切隔壁のような障害物がないので
、チューブ本体の内部、および搬送台車に対する検時の
メンテナンス作業が容易に実施できる。

（３）チューブ本体内部の下部に画成した底部空間を利
用してここに給電、制御用ケーブルを敷設することがで
き、装置全体での省スペース化が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の構造を示す縦断面図、第２図は
第１図の要部構造の鳥嶽図、第３図は従来におけるクリ
ーン搬送装置の略示構成断面図である０図において、 ｌ：チューブ本体、２：レール、３：搬送台車、４：ワ
ーク、５：クリーンユニット、６：吸気ダクト、１１：
レール支持枠、１３；底部空間、１４；枕第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）クリーンチューブ内にレールを敷設して搬送台車を
   走行させるクリーン搬送装置であり、密閉構造のチュー
   ブ本体に対し、その内部空間の上部に設置したクリーン
   ユニット、および該クリーンユニットとチューブ本体内
   部空間の下部との間に連通配管した吸気ダクトを通じ空
   気を循環送風して搬送台車の走行経路に清浄空気を給気
   するものにおいて、チューブ本体内部の底部側に残余空
   間を残してその上方の中段位置にレールを敷設するとと
   もに、クリーンユニットに通じる吸気ダクトの吸込口を
   レールより下方の底部空間に開口して配管したことを特
   徴とするクリーン搬送装置。