JPH03208898A - TiCウィスカーの製造方法 - Google Patents

TiCウィスカーの製造方法

Info

Publication number
JPH03208898A
JPH03208898A JP311190A JP311190A JPH03208898A JP H03208898 A JPH03208898 A JP H03208898A JP 311190 A JP311190 A JP 311190A JP 311190 A JP311190 A JP 311190A JP H03208898 A JPH03208898 A JP H03208898A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
propane
whiskers
tic
reaction
titanium tetrachloride
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP311190A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0583519B2 (ja
Inventor
Atsushi Tokunaga
敦之 徳永
Eiji Yanai
柳井 栄二
Yasushi Kida
喜田 康
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central Glass Co Ltd
Original Assignee
Central Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Central Glass Co Ltd filed Critical Central Glass Co Ltd
Priority to JP311190A priority Critical patent/JPH03208898A/ja
Publication of JPH03208898A publication Critical patent/JPH03208898A/ja
Publication of JPH0583519B2 publication Critical patent/JPH0583519B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、繊維強化プラスチック(F RP)や繊維強
化金属(FRM)、繊維強化セラミックス(F RC”
)等の複合材料の強化材として有用な高純度で高品質な
TiCウィスカーの製造方法に関するものである。
[従来技術] TiCウィスカーの製造方法としては、従来より気相法
による方法が知られており、例えば、四塩化チタン−メ
タン−水素系から触媒にニッケル等の金属あるいはムラ
イト等の耐火酸化物を用いて、1050〜1450℃で
TiCウィスカーを製造する方法[Jornal of
 Crystal Growth 44fi(1979
)221〜2371や触媒となるAu等の貴金属塩の水
溶液を含浸、乾燥させた黒鉛および活性炭からなる成形
体上に、ハロゲン化チタンーー酸化炭素−水素系からT
iCウィスカーを1100〜1400℃で合成する方法
(特公昭59−45638号)が知られている。前者の
方法においてはカーボン源として高価なメタンを用いる
ためコスト高となり、また後者の方法においては、カー
ボン源に一酸化炭素を用いるため合成されるTiCウィ
スカー中に酸素が混入し、高純度で高品質なTiCウィ
スカーが得られない。
また、触媒となる貴金属塩は一般に高価である。
一方、安価なカーボン源を用い、酸素の混入のない製造
方法として四塩化チタン−プロパン−水素系から触媒と
してマンガン、金、白金、パラジウム、銀等の金属を用
いる方法(J 、 E lec trochea+ 、
 Soc。
117(1970)541〜545)が知られている。
しかしこの方法においても金、白金等の貴金属は高価で
あり、マンガンはTiCウィスカーの収率が低く効率的
ではない。
[問題点を解決するための手段] 本発明者らはかかる従来の方法における問題点に鑑み、
鋭意検討の結果、カーボン源としてプロパンを用い、高
純度で高品質なTiCウィスカーを効率よく製造できる
ことを見出し本発明に到達した。すなわち本発明は、ニ
ッケルまたはその化合物を含む系内にて、四塩化チタン
、プロパンおよび水素からなり、かつ四塩化チタンとプ
ロパンの混合比率がカーボンのチタンに対する原子比で
0.8〜2である原料ガスを、反応温度1050〜13
50℃で気相反応させることを特徴とするTiCウィス
カーの製造方法である。
本発明においてはカーボン源に安価でウィスカーへの酸
素混入の可能性がほとんどないプロパンを用いるもので
あり、ブタン、ペンタン、ヘキサン等では、熱分解温度
が低過ぎるため、効率よくTiCウィスカーが得られな
い。
触媒としては、ニッケルまたはその化合物を用いるもの
であり、ニッケルを基板として用いるが、あるいは各種
基板上にニッケルおよびニッケル化合物の粉末を散布す
るようにする。また化合物として塩化ニッケル等のニッ
ケル塩の水溶液を用い、黒鉛や多孔質の耐火物、例えば
多孔質アルミナ、ムライト等の基板に含浸、乾燥させて
使用してもよい。
また各ガスの混合比率は、四塩化チタンとプロパンの比
がカーボンのチタンに対する原子比で0゜8〜2の範囲
が好ましく、この範囲未満ではTiC1liが主生成物
となり、ウィスカー収率が著しく低下する。また、この
範囲を越えると形状のいびつな針状結晶が得られるため
好ましくない。反応温度は1050〜1350℃の範囲
が好ましく、この範囲未満ではTiC膜が主生成物とな
り、また、この範囲を越えるとTiC粉末が主生成物と
なり、いずれもウィスカー収率が著しく低下する。
反応の圧力は、特に限定的てはないが、大気圧で十分で
ある。
以下、実施例により本発明の詳細な説明する。
実施例1 内径35m m 、長さ1000m mのアルミナ管か
らなる反応管を具備した横型流通方式の熱CVD装置を
用いて反応をおこなった。以下の実施例、比較例のいず
れも同じ装置を用いておこなった。
反応管の中央に幅20m m 、長さ200mm、厚さ
3mmのニッケル板を設置し、反応管中央を1200℃
に加熱、保持した。その後四塩化チタン、プロパンおよ
び水素からなる原料ガスを以下に示す流量にて導入した
。なお、反応圧力は大気圧である。
四塩化チタン:55sccm プロパン  :25sccm 水素    :2.50s1m C/Ti   :1.2 90分間反応後ニッケル板を取り出すと、板の上に約1
.2gのウィスカーが生成していた。このウィスカーを
SEM観察したところ、直径10μm以下の形状良好な
ウィスカーであった。また、X線回折パターンはTiC
のそれと良好に一致した。
第1図はこのウィスカーの繊維形状を示すSEM写真で
ある。
実施例2 反応管の中央に幅20mm、長さ200mm、厚さ3m
mのニッケル板を設置し、反応管中央を1300℃に加
熱、保持した。その後、四塩化チタン、プロパンおよび
水素からなる原料ガスを以下に示す流量にて導入した。
なお、反応圧力は大気圧である。
四塩化チタン:62sccm プロパン  :13secm 水素    :1.50s1m C/Ti   :0.87 90分間反応後ニッケル板を取り出すと、板の上に約0
.6gのウィスカーが生成していた。このウィスカーを
SEM観察したところ、直径10μm以下の形状良好な
ウィスカーであった。またX線回折パターンはTiCの
それとよく一致した。
実施例3 1モル/lの塩化ニッケル水溶液を含浸、乾燥した黒鉛
板(幅20mm、長さ200mm、厚さ5mm)を反応
管の中央に設置し、反応管中央を1100℃に加熱、保
持した。その後、四塩化チタン、プロパンおよび水素か
らなる原料ガスを以下に示す流量にて導入した。なお、
反応圧力は大気圧である。
四塩化チタン:55sccm プロパン  :40secm 水素    :3.50s1m C/Ti   :1.85 90分間反応後黒鉛板を取り出すと、板の上に約1.0
gのウィスカーが生成していた。このウィスカーをSE
M観察したところ、直径10mm以下の形状良好なウィ
スカーであった。また、X線回折パターンはTiCのそ
れと良好に一致した。
比較例1 1モル/lの硝酸マンガン水溶液を含浸、乾燥した黒鉛
板(幅20mm、長さ200mm、厚さ5 m m )
を反応管の中央に設置し、反応管中央を1200℃に加
熱、保持した。その後、四塩化チタン、プロパンおよび
水素からなる原料ガスを以下に示す流量にて導入した。
なお、反応圧力は大気圧である。
四塩化チタン:67secm プロパン  :25secm 水素    :2.50s1m C/Ti   :1.1 90分間反応後黒鉛板を取り出したが、板の上には極め
てわずかのウィスカーしか認められなかった。
比較例2 反応管の中央に幅20m m、長さ200mm、厚さ3
mmのニッケル板を設置し、反応管中央を1200℃に
加熱、保持した。その後、四塩化チタン、プロパンおよ
び水素からなる原料ガスを以下に示す流量にて導入した
。なお、反応圧力は大気圧である。
四塩化チタン:57sccm プロパン  :5Qsccm 水素    :2.50s1m C/Ti   :2.63 90分間反応後ニッケル板を取り出すと、板の上に約1
.0gの粉末生成物が得られていた。この生成物をSE
M観察したところ、形状のいびつな針状結晶であった。
[発明の効果] 本発明の方法によれば、酸素の混入のない高純度で高品
質なTiCウィスカーを安価に、かつ収率よく製造する
ことができるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例1で得られたTiCウィスカーの繊維の
形状を示すSEM写真である。 第 図 10μm

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ニッケルまたはその化合物を含む系内にて、四塩化チタ
    ン、プロパンおよび水素からなり、かつ四塩化チタンと
    プロパンの混合比率がカーボンのチタンに対する原子比
    で0.8〜2である原料ガスを、反応温度1050〜1
    350℃で気相反応させることを特徴とするTiCウィ
    スカーの製造方法。
JP311190A 1990-01-10 1990-01-10 TiCウィスカーの製造方法 Granted JPH03208898A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP311190A JPH03208898A (ja) 1990-01-10 1990-01-10 TiCウィスカーの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP311190A JPH03208898A (ja) 1990-01-10 1990-01-10 TiCウィスカーの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03208898A true JPH03208898A (ja) 1991-09-12
JPH0583519B2 JPH0583519B2 (ja) 1993-11-26

Family

ID=11548242

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP311190A Granted JPH03208898A (ja) 1990-01-10 1990-01-10 TiCウィスカーの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03208898A (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0583519B2 (ja) 1993-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4851206A (en) Methods and compostions involving high specific surface area carbides and nitrides
JPS61158877A (ja) セラミツクス多孔質膜の製造方法
JPS63222011A (ja) 多結晶シリコンの製造方法
EP0174622B1 (en) A process for preparing fine fibers
JPH03208898A (ja) TiCウィスカーの製造方法
JPH03208897A (ja) TiCウィスカーの製造法
Naito et al. Synthesis of nonstoichiometric zirconium carbide whiskers by chemical vapor deposition
US5160574A (en) Process for production of small diameter titanium carbide whiskers
JP2003112050A (ja) 炭化水素の分解による接触的カーボンナノファイバーの製造方法及びその触媒
JPH09169522A (ja) チタンの炭化物、窒化物および炭窒化物ホィスカーの製造方法
JPH0234599A (ja) コイル状窒化珪素ウイスカーの製造方法
JPS61291498A (ja) 炭化けい素ウイスカ−の製造方法
JPS6278217A (ja) 気相法炭素繊維の製造法
JPS59164606A (ja) ダイヤモンド合成法
JPS644999B2 (ja)
JPS645000B2 (ja)
JP2619888B2 (ja) 窒化アルミニウムの製造方法
JPS6250466A (ja) 窒化珪素膜を有する物品の製造法
JPS63277599A (ja) 炭化珪素ウイスカ−の製造方法
JPS5874598A (ja) 繊維状窒化珪素の製造方法
JPH02217400A (ja) 炭化ケイ素ウイスカーの製造方法
JPH0416594A (ja) 二ホウ化チタン繊維の製造方法
JPH0497997A (ja) 炭化硅素ウイスカーの製造方法
JPS63248800A (ja) 収率にすぐれたウイスカ−の製造方法
JPH0648891A (ja) ダイヤモンドの製造方法