JPH03209152A - 電子部品の検査装置 - Google Patents
電子部品の検査装置Info
- Publication number
- JPH03209152A JPH03209152A JP527690A JP527690A JPH03209152A JP H03209152 A JPH03209152 A JP H03209152A JP 527690 A JP527690 A JP 527690A JP 527690 A JP527690 A JP 527690A JP H03209152 A JPH03209152 A JP H03209152A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- light
- solid
- image
- imaging device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000049 pigment Substances 0.000 abstract description 3
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000008844 regulatory mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、電子部品、たとえばビデオ・カメラやテレビ
ジョン等に使用される固体撮影装置の検査装置に関する
ものである。
ジョン等に使用される固体撮影装置の検査装置に関する
ものである。
し従来の技術］
電子部品は精密なものが多く、この検査手段も精密さ、
正確さが要求される。以下電子部品の一例として、固体
撮像装置を用いて説明する。
正確さが要求される。以下電子部品の一例として、固体
撮像装置を用いて説明する。
固体撮像装置は、たとえば光電変換素子とじて固体素子
を用いる方式があり、より具体的にはＣＣＤ （ｃｈａ
ｒｇｅｄ ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅｖｉｃｅ）を用いた光
電変換素子により、光が当たると光電流が流れる原理を
応用して、画像信号処理などに用いられる。
を用いる方式があり、より具体的にはＣＣＤ （ｃｈａ
ｒｇｅｄ ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅｖｉｃｅ）を用いた光
電変換素子により、光が当たると光電流が流れる原理を
応用して、画像信号処理などに用いられる。
固体撮像装置、特にＣＣＤ型の固体撮像装置は、シリコ
ン超ＬＳＩプロセス技術の発展に支えられて、高画素化
が行われ、現行のテレビジョン方式としてはほぼ十分と
いえる４０万画素程度のものが実用化時期に入り、民生
用および業務用のビデオカメラやテレビカメラに使用さ
れている。
ン超ＬＳＩプロセス技術の発展に支えられて、高画素化
が行われ、現行のテレビジョン方式としてはほぼ十分と
いえる４０万画素程度のものが実用化時期に入り、民生
用および業務用のビデオカメラやテレビカメラに使用さ
れている。
ところで、前記した固体撮像装置は、製造工程の最終工
程で精密な検査が必要である。この検査装置の従来の技
術を、第３図に基づき説明する。
程で精密な検査が必要である。この検査装置の従来の技
術を、第３図に基づき説明する。
第３図において、１は固体撮像装置、２は該固体撮像装
置が載置される規制台、３は固体撮像装置の斜め上方に
設けられた光源、５は前記固体撮像装置の上方に設けら
れ、内部にレンズ４を有するＣＣＤカメラである。
置が載置される規制台、３は固体撮像装置の斜め上方に
設けられた光源、５は前記固体撮像装置の上方に設けら
れ、内部にレンズ４を有するＣＣＤカメラである。
第４図は固体撮像装置の断面図であり、パッケージ１１
の凹部底面に、カラーフィルター１３の接着された固体
撮像装置素子１２と、フレア防止板１４が接着されてい
る。１５はカラーフィルタの色素部である。
の凹部底面に、カラーフィルター１３の接着された固体
撮像装置素子１２と、フレア防止板１４が接着されてい
る。１５はカラーフィルタの色素部である。
以下、第３図に基づき、その検査動作について説明する
。
。
まず光源３より光が固体撮像装置ｌに対し斜めに光が照
射され、その反射光を内部にレンズ４の取り付けられた
ＣＣＤカメラ５が撮像する。
射され、その反射光を内部にレンズ４の取り付けられた
ＣＣＤカメラ５が撮像する。
この像を２値化した画像を第５図に示す。フレア防止板
１４とカラーフィルターの色素部１５が暗部となり、す
き間の明部を認識して該フレア防止版工４のズレ量を検
査する。
１４とカラーフィルターの色素部１５が暗部となり、す
き間の明部を認識して該フレア防止版工４のズレ量を検
査する。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記従来の方法でＣＣＤカメラ５の映像
出力を２値化して、フレア防止板１４の開口部とカラー
フィルター１３の色素部１５とのすき間を認識すると、
フレア防止板１４とカラーフィルター↓３に段差がある
ことと斜め上方の光源３からの光のムラにより、第５図
のような歪んだ２値化画像となるため、フレア防止板１
４のカラーフィルターの色素部１５に対するズレ量の認
識が正確にできなかった。
出力を２値化して、フレア防止板１４の開口部とカラー
フィルター１３の色素部１５とのすき間を認識すると、
フレア防止板１４とカラーフィルター↓３に段差がある
ことと斜め上方の光源３からの光のムラにより、第５図
のような歪んだ２値化画像となるため、フレア防止板１
４のカラーフィルターの色素部１５に対するズレ量の認
識が正確にできなかった。
本発明は、前記従来技術の課題を解決するもので、検査
対象である電子部品の実質的な垂直上方に設けた光源の
光を照射し、その反射光を同じく実質的な垂直上方に設
置された撮像装置により撮像することにより、フレア防
止板の影や照明のムラも無く鮮明に安定した２値化画像
が得られる電子部品の検査装置を提供することを目的と
するものである。
対象である電子部品の実質的な垂直上方に設けた光源の
光を照射し、その反射光を同じく実質的な垂直上方に設
置された撮像装置により撮像することにより、フレア防
止板の影や照明のムラも無く鮮明に安定した２値化画像
が得られる電子部品の検査装置を提供することを目的と
するものである。
［課題を解決するための手段］
この課題を解決するために、本発明は下記の構或からな
る。すなわち本発明は、検査対象の電子部品を載置する
規制台と、前記電子部品に対して上方位置から光を照射
する照明系と、その反射光を同じく上方位置から撮像す
る撮像装置を備え、前記照明系と撮像装置とを、電子部
品の実質的な垂直上方位置に配置させたことを特徴とす
る電子部品の検査装置である。
る。すなわち本発明は、検査対象の電子部品を載置する
規制台と、前記電子部品に対して上方位置から光を照射
する照明系と、その反射光を同じく上方位置から撮像す
る撮像装置を備え、前記照明系と撮像装置とを、電子部
品の実質的な垂直上方位置に配置させたことを特徴とす
る電子部品の検査装置である。
［作用］
本発明の電子部品の検査装置によれば、電子部品はその
実質的な垂直上方より光が照射され、その反射光は同じ
く実質的な垂直上方に設置された撮像装置により撮像さ
れるため、フレア防止板の影や照明のムラも無く鮮明に
安定した２値化画像が得られ、正確な検査をすることが
できる。
実質的な垂直上方より光が照射され、その反射光は同じ
く実質的な垂直上方に設置された撮像装置により撮像さ
れるため、フレア防止板の影や照明のムラも無く鮮明に
安定した２値化画像が得られ、正確な検査をすることが
できる。
なお、前記本発明の構成において、実質的な垂直上方位
置とは、フレア防止板の影や照明のムラが実質的に発現
しない程度の位置をいい、角度が多少あること、たとえ
ば↓０°未満程度を含むものである。
置とは、フレア防止板の影や照明のムラが実質的に発現
しない程度の位置をいい、角度が多少あること、たとえ
ば↓０°未満程度を含むものである。
［実施例］
以下、一実施例を用いて本発明をさらに具体的に説明す
る。なお本発明は下記の一実施例に限定されるものでは
ない。以下電子部品の一例として、固体撮像装置を用い
て説明する。
る。なお本発明は下記の一実施例に限定されるものでは
ない。以下電子部品の一例として、固体撮像装置を用い
て説明する。
第ｔ図は本発明の一実施態様を示すものであり、２１は
検査対象である固体撮像装置、２２は固体撮像装置２１
を載置する規制台、２３は光源、２４はハーフミラー付
レンズ、２５は撮像装置装置の一例であるＣＣＤカメラ
より構或されている。
検査対象である固体撮像装置、２２は固体撮像装置２１
を載置する規制台、２３は光源、２４はハーフミラー付
レンズ、２５は撮像装置装置の一例であるＣＣＤカメラ
より構或されている。
次に前記した本発明の一実施態様の構成の作用を説明す
る。
る。
固体撮像装置２ｌは規正台２２の平らな規正部に載置さ
れ、光源２３とハーフミラー付レンズ２４によって、垂
直上方より光が照射され、その反射光はハーフミラー付
レンズ２４を通して垂直上方よりＣＣＤカメラ２５によ
って撮像されるため、第４図に示すフレア防止板１４と
カラーフィルターの色素部１５は暗部に、そのすき間の
カラーフィルター１３は明部というような画像が得られ
る。
れ、光源２３とハーフミラー付レンズ２４によって、垂
直上方より光が照射され、その反射光はハーフミラー付
レンズ２４を通して垂直上方よりＣＣＤカメラ２５によ
って撮像されるため、第４図に示すフレア防止板１４と
カラーフィルターの色素部１５は暗部に、そのすき間の
カラーフィルター１３は明部というような画像が得られ
る。
この２値化画像を第２図に示す。フレア防止板１４とカ
ラーフィルターの色素部ｌ５のすき間を認識判断するこ
とによりズレ量の検査を行う。
ラーフィルターの色素部ｌ５のすき間を認識判断するこ
とによりズレ量の検査を行う。
第２図に示す検査結果から明らかな通り、本発明の上記
実施例によれば、フレア防止板とカラーフィルターの段
差による影も照明のムラも無いため鮮明な画像が得られ
、誤認識が無くなり、正確な検査ができることが確認で
きた。
実施例によれば、フレア防止板とカラーフィルターの段
差による影も照明のムラも無いため鮮明な画像が得られ
、誤認識が無くなり、正確な検査ができることが確認で
きた。
なお、ＣＯＤカメラは他の撮像装置であっても良い。ま
たレンズはハーフミラーを内蔵していなくて、外付けで
も良いし、光源と一体となっていても良い。さらに規正
台は別に位置規正する機構等と組み合わせたりするので
あれば規正部は無くても良い。
たレンズはハーフミラーを内蔵していなくて、外付けで
も良いし、光源と一体となっていても良い。さらに規正
台は別に位置規正する機構等と組み合わせたりするので
あれば規正部は無くても良い。
また上記実施例では、電子部品の一例として固体撮像装
置を用いたが、本発明は固体撮像装置の検査装置に限ら
れることなく、一般の電子部品にも広く適用できる。
置を用いたが、本発明は固体撮像装置の検査装置に限ら
れることなく、一般の電子部品にも広く適用できる。
［発明の効果コ
本発明の電子部品の検査装置によれば、検査対象の電子
部品の実質的な垂直上方より光を照射してその反射光を
実質的な垂直上方より撮像するため、フレア防止板とカ
ラーフィルターの段差による影も照明のムラも無いため
鮮明な画像が得られ、誤認識が無くなり、実用的に極め
て有用な効果がある。
部品の実質的な垂直上方より光を照射してその反射光を
実質的な垂直上方より撮像するため、フレア防止板とカ
ラーフィルターの段差による影も照明のムラも無いため
鮮明な画像が得られ、誤認識が無くなり、実用的に極め
て有用な効果がある。
第１図は本発明の電子部品の検査装置の一実施例を示し
た外観図、第２図は第１図の装置によって得られる認識
画像図、第３図は従来の固体撮像装置の検査装置の外観
図、第４図は従来の固体撮像装置の断面図、第５図は従
来の固体撮像装置の検査装置によって得られる認識画像
図である。 １，２１：固体撮像装置 ２，２２：規正台 ３．２３：光源 ４：レンズ ５，２５：ＣＣＤカメラ 第２図
た外観図、第２図は第１図の装置によって得られる認識
画像図、第３図は従来の固体撮像装置の検査装置の外観
図、第４図は従来の固体撮像装置の断面図、第５図は従
来の固体撮像装置の検査装置によって得られる認識画像
図である。 １，２１：固体撮像装置 ２，２２：規正台 ３．２３：光源 ４：レンズ ５，２５：ＣＣＤカメラ 第２図
Claims (1)
- （１）検査対象の電子部品を載置する規制台と、前記電
子部品に対して上方位置から光を照射する照明系と、そ
の反射光を同じく上方位置から撮像する撮像装置を備え
、前記照明系と撮像装置とを、電子部品の実質的な垂直
上方位置に配置させたことを特徴とする電子部品の検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP527690A JPH03209152A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 電子部品の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP527690A JPH03209152A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 電子部品の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03209152A true JPH03209152A (ja) | 1991-09-12 |
Family
ID=11606721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP527690A Pending JPH03209152A (ja) | 1990-01-11 | 1990-01-11 | 電子部品の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03209152A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002032888A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Kyushu Electric Power Co Inc | 計器情報認識装置ならびに計器情報の集計システムおよびその方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713340A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus for surface defect |
| JPS6256901A (ja) * | 1985-09-06 | 1987-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
| JPS6413442A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-18 | Toyo Denshi Kk | Inspection device for soldered part |
| JPH01272946A (ja) * | 1989-03-10 | 1989-10-31 | Hitachi Ltd | プリント基板上の配線パターン検出装置 |
| JPH01315881A (ja) * | 1988-06-15 | 1989-12-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 顕微鏡撮影装置における画像作成方法 |
-
1990
- 1990-01-11 JP JP527690A patent/JPH03209152A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5713340A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Hitachi Ltd | Inspection apparatus for surface defect |
| JPS6256901A (ja) * | 1985-09-06 | 1987-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子用色分解フイルタ−の製造方法 |
| JPS6413442A (en) * | 1987-07-07 | 1989-01-18 | Toyo Denshi Kk | Inspection device for soldered part |
| JPH01315881A (ja) * | 1988-06-15 | 1989-12-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 顕微鏡撮影装置における画像作成方法 |
| JPH01272946A (ja) * | 1989-03-10 | 1989-10-31 | Hitachi Ltd | プリント基板上の配線パターン検出装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002032888A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-01-31 | Kyushu Electric Power Co Inc | 計器情報認識装置ならびに計器情報の集計システムおよびその方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4949117A (en) | Camera | |
| JP2005127989A (ja) | 傷検出装置および傷検出プログラム | |
| CN115022610B (zh) | 一种线阵相机平场校正方法 | |
| KR960005090B1 (ko) | 본딩와이어 검사장치 | |
| JPH048996B2 (ja) | ||
| JP2558193B2 (ja) | 被検体表面の撮像及び検査装置 | |
| JP3701353B2 (ja) | 画像取得装置 | |
| TWI843820B (zh) | 使用多種波長之光單色成像的顏色檢查方法 | |
| JP2718510B2 (ja) | 着色周期性パターンの検査方法 | |
| JPH03209152A (ja) | 電子部品の検査装置 | |
| JPH08254499A (ja) | 表示・外観検査装置 | |
| JPWO2020166075A1 (ja) | 情報処理装置 | |
| JPH07151704A (ja) | ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置 | |
| JPS63134940A (ja) | パターン検査装置 | |
| JP2009276108A (ja) | イメージセンサ表面検査方法 | |
| JP2000214103A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH0257905A (ja) | Ｊリードｉｃパッケージのリード平坦度検出機 | |
| KR100710703B1 (ko) | 반도체 리드프레임 도금 선폭 측정 검사장치 및 그 방법 | |
| JP2529070B2 (ja) | 光電変換カメラ | |
| KR102346827B1 (ko) | 컬러 광학 검사 장치 및 이를 포함하는 시스템 | |
| KR100243219B1 (ko) | 전하 결합 소자의 수광면 검사 방법 | |
| JPS63134938A (ja) | パターン検査装置 | |
| JPH0373451U (ja) | ||
| JP2002333406A (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
| JPS63134939A (ja) | パターン検査装置 |