JPH0320950A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0320950A JPH0320950A JP1154133A JP15413389A JPH0320950A JP H0320950 A JPH0320950 A JP H0320950A JP 1154133 A JP1154133 A JP 1154133A JP 15413389 A JP15413389 A JP 15413389A JP H0320950 A JPH0320950 A JP H0320950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation
- acceleration voltage
- excitation coil
- current
- switching device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は走査電子顕微鏡等に関し、特に加速電圧に対応
させ励磁コイルの接続を切換えるようにした走査電子顕
微鏡に関する。
させ励磁コイルの接続を切換えるようにした走査電子顕
微鏡に関する。
［従来技術］
走査電子顕微鏡等の例えば対物レンズでは磁極片内に巻
回された励磁コイルに励磁電源より励磁電流を供給して
磁束を発生させるようにしている。
回された励磁コイルに励磁電源より励磁電流を供給して
磁束を発生させるようにしている。
この磁極から発生する磁束φは、電流×コイル巻数、即
ち、アンペアターン（Ａ／Ｔ）で決まるが、磁束の変化
は通常は励磁電源より供給される励磁電流を変化させる
ことにより行っている。
ち、アンペアターン（Ａ／Ｔ）で決まるが、磁束の変化
は通常は励磁電源より供給される励磁電流を変化させる
ことにより行っている。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、このように構成された走査電子顕微鏡では、
電子ビームを試料上で集束させるために加速電圧によっ
て電子レンズの励磁強度を変化させる必要があり、加速
電圧が例えば低加速（０．２ＫＶ）から高加速（３０Ｋ
Ｖ）の広い範囲で使用される装置おいては、電子レンズ
の励磁強度を広い範囲にわたって変化させる必要がある
。
電子ビームを試料上で集束させるために加速電圧によっ
て電子レンズの励磁強度を変化させる必要があり、加速
電圧が例えば低加速（０．２ＫＶ）から高加速（３０Ｋ
Ｖ）の広い範囲で使用される装置おいては、電子レンズ
の励磁強度を広い範囲にわたって変化させる必要がある
。
そのため、電子レンズを励磁するための励磁電源に要求
される電流可変中も広くなり、従って、励磁電源が大型
になると共に高価になる欠点があった。
される電流可変中も広くなり、従って、励磁電源が大型
になると共に高価になる欠点があった。
本発明は以上の点に鑑みなされたもので、加速電圧を低
加速から高加速まで変化させて使用する走査電子顕微鏡
において、加速電圧に対応させ電子レンズを構成する励
磁コイルの接続を切換えることにより、加速電圧を広範
囲に変化させて使用する場合でも励磁電源の電流可変巾
を少なくして励磁電源を小型にすることを目的としてい
る。
加速から高加速まで変化させて使用する走査電子顕微鏡
において、加速電圧に対応させ電子レンズを構成する励
磁コイルの接続を切換えることにより、加速電圧を広範
囲に変化させて使用する場合でも励磁電源の電流可変巾
を少なくして励磁電源を小型にすることを目的としてい
る。
［問題点を解決するための手段］
本目的を達成するための本発明は、電子レンズを構成す
る磁極片と、該磁極片内にそれぞれ独立に巻回された少
なくとも２個の励磁コイルと、これらの励磁コイルの接
続を加速電圧に対応させて切り換えるための切換え装置
と、該切換え装置を介して前記励磁コイルに励磁電流を
供給するための励磁電源とを備えたことを特徴としてい
る。
る磁極片と、該磁極片内にそれぞれ独立に巻回された少
なくとも２個の励磁コイルと、これらの励磁コイルの接
続を加速電圧に対応させて切り換えるための切換え装置
と、該切換え装置を介して前記励磁コイルに励磁電流を
供給するための励磁電源とを備えたことを特徴としてい
る。
［実施例］
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図で、第２図は概
略ブロックである。第１図及び第２図において、１は磁
極片、２は低加速電圧用励磁コイル、３は中加速電圧用
励磁コイル、４は高加速電圧用励磁コイルで、これらの
励磁コイルは、磁極片１内にそれぞれ独立に巻回されて
いる。５はそれぞれの励磁コイルの接続を加速電圧に対
応させて切り換えるための切換え装置である。６は加速
電圧範囲を、例えば低加速電圧Ｖｌ（０．２ＫＶ〜１０
ＫＶ），中加速電圧Ｖ２（１ １ ＫＶ 〜２ ０ Ｋ
Ｖ〉，高加速電圧Ｖ３（２１Ｋｖ〜３０ＫＶ）のいずれ
かを選択するための選択回路で、該加速電圧選択回路６
よりの信号は前記切換え装置５に入力されている。７は
前記切換え装置５を介して励磁コイルに励磁電流を供給
するための励磁電源である。
略ブロックである。第１図及び第２図において、１は磁
極片、２は低加速電圧用励磁コイル、３は中加速電圧用
励磁コイル、４は高加速電圧用励磁コイルで、これらの
励磁コイルは、磁極片１内にそれぞれ独立に巻回されて
いる。５はそれぞれの励磁コイルの接続を加速電圧に対
応させて切り換えるための切換え装置である。６は加速
電圧範囲を、例えば低加速電圧Ｖｌ（０．２ＫＶ〜１０
ＫＶ），中加速電圧Ｖ２（１ １ ＫＶ 〜２ ０ Ｋ
Ｖ〉，高加速電圧Ｖ３（２１Ｋｖ〜３０ＫＶ）のいずれ
かを選択するための選択回路で、該加速電圧選択回路６
よりの信号は前記切換え装置５に入力されている。７は
前記切換え装置５を介して励磁コイルに励磁電流を供給
するための励磁電源である。
８は図示外の電子銃から放射された電子ビームである。
このように構成された装置では、電子銃より放射された
電子ビーム８は、前述した磁極片１，低加速電圧用励磁
コイル２．中加速電圧用励磁コイル３，高加速電圧用励
磁コイル４などで構成された電子レンズにより集束され
る。
電子ビーム８は、前述した磁極片１，低加速電圧用励磁
コイル２．中加速電圧用励磁コイル３，高加速電圧用励
磁コイル４などで構成された電子レンズにより集束され
る。
ところで、加速電圧選択回路６で、例えば低加速電圧ｖ
１が選択されると、加速電圧選択回路６より選択信号Ｓ
ｌが出力される。切換え装置５にこの選択信号Ｓ１が人
力されると、切換え装置５では、励磁電源７よりの励磁
電流Ａｌが低加速電圧用励磁コイル２の端子ａ１とａ２
に供給されるように切換え装置５内のスイッチが切り換
えられる。従って、このときの低加速電圧用励磁コイル
２の巻数をＴｌとすると、電子レンズで発生する磁束φ
は、Ａｌ ｘＴｌ （Ａ／Ｔ）一φｌで、磁束φ−φ
ｌとなる。
１が選択されると、加速電圧選択回路６より選択信号Ｓ
ｌが出力される。切換え装置５にこの選択信号Ｓ１が人
力されると、切換え装置５では、励磁電源７よりの励磁
電流Ａｌが低加速電圧用励磁コイル２の端子ａ１とａ２
に供給されるように切換え装置５内のスイッチが切り換
えられる。従って、このときの低加速電圧用励磁コイル
２の巻数をＴｌとすると、電子レンズで発生する磁束φ
は、Ａｌ ｘＴｌ （Ａ／Ｔ）一φｌで、磁束φ−φ
ｌとなる。
ここで、励磁電流Ａ１は、例えば、０． １ （Ａ）
〜１． ０ （Ａ）まで可変する数値である。従って
、このように低加速電圧範囲Ｖｌが選択された場合は、
低加速電圧用励磁コイル２のみが励磁電流ＡＩで励磁さ
れるため、電子レンズは弱励磁で励磁される。
〜１． ０ （Ａ）まで可変する数値である。従って
、このように低加速電圧範囲Ｖｌが選択された場合は、
低加速電圧用励磁コイル２のみが励磁電流ＡＩで励磁さ
れるため、電子レンズは弱励磁で励磁される。
次に、加速電圧選択回路６で、例えば中加速電圧ｖ２が
選択されると、加速電圧選択回路６より選択信号Ｓ２が
出力され、この選択信号Ｓ２によって、切換え装置５内
のスイッチが切り換えられ端子ａ２と端子ｂｌが接続さ
れ、端子ａ１と端子ｂ２に励磁電源７よりの励磁電流Ａ
ｔが供給される。そのため、低加速電圧用励磁コイル２
と中加速電圧用励磁コイル３が励磁される。従って、こ
のときの中加速電圧用励磁コイル３の巻数をＴ２とする
と、電子レンズで発生する磁束φは、Ａｌｘ （ＴＩ
＋７２）（Ａ／Ｔ）＝φ２で、φ一φｌ＋φ２である。
選択されると、加速電圧選択回路６より選択信号Ｓ２が
出力され、この選択信号Ｓ２によって、切換え装置５内
のスイッチが切り換えられ端子ａ２と端子ｂｌが接続さ
れ、端子ａ１と端子ｂ２に励磁電源７よりの励磁電流Ａ
ｔが供給される。そのため、低加速電圧用励磁コイル２
と中加速電圧用励磁コイル３が励磁される。従って、こ
のときの中加速電圧用励磁コイル３の巻数をＴ２とする
と、電子レンズで発生する磁束φは、Ａｌｘ （ＴＩ
＋７２）（Ａ／Ｔ）＝φ２で、φ一φｌ＋φ２である。
この場合、電子レンズは中励磁に励磁される。
又、加速電圧選択回路６で、例えば高加速電圧Ｖ３が選
択されると、加速電圧選択回路６より選択信号Ｓ３が出
力され、この選択信号Ｓ３によって、切換え装置５内の
スイッチが切り換えられ端子ａ２と端子ｂ１及び端子ｂ
２と端子ｃＬが接続され、端子ａ１と端子Ｃ２に励磁電
源７よりの励磁電流Ａｌが供給される。そのため、低加
速電圧用励磁コイル２，中加速電圧用励磁コイル３，高
加速電圧用励磁コイル４に励磁電源７よりの励磁電流Ａ
ｌが供給される。従って、このときの高加速電圧用励磁
コイル４の巻数をＴ３とすると、電子レンズで発生する
磁束φは、 ＡＩ Ｘ （Ｔｌ ＋Ｔ２ ＋Ｔ３）（Ａ／Ｔ）一φ３
で、φ一φｔ十φ２＋φ３となり、電子レンズは強励磁
に励磁される。
択されると、加速電圧選択回路６より選択信号Ｓ３が出
力され、この選択信号Ｓ３によって、切換え装置５内の
スイッチが切り換えられ端子ａ２と端子ｂ１及び端子ｂ
２と端子ｃＬが接続され、端子ａ１と端子Ｃ２に励磁電
源７よりの励磁電流Ａｌが供給される。そのため、低加
速電圧用励磁コイル２，中加速電圧用励磁コイル３，高
加速電圧用励磁コイル４に励磁電源７よりの励磁電流Ａ
ｌが供給される。従って、このときの高加速電圧用励磁
コイル４の巻数をＴ３とすると、電子レンズで発生する
磁束φは、 ＡＩ Ｘ （Ｔｌ ＋Ｔ２ ＋Ｔ３）（Ａ／Ｔ）一φ３
で、φ一φｔ十φ２＋φ３となり、電子レンズは強励磁
に励磁される。
従って、励磁電源７より供給される励磁電流Ａｌはいず
れの励磁の場合でも、例えば、０．１（Ａ）〜１．
０ （Ａ）まで可変するだけでよいため、励磁電源が小
型にできる。
れの励磁の場合でも、例えば、０．１（Ａ）〜１．
０ （Ａ）まで可変するだけでよいため、励磁電源が小
型にできる。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、電子
レンズを構成する磁極片内にそれぞれ独立に巻回された
少なくとも２個の励磁コイルの接続を加速電圧に対応さ
せて切り換えるようにしたので、励磁電源の電流可変巾
を従来のように大きくとる必要はなく、従って、励磁電
源を小型にすることができると共に廉価な装置を提供す
ることができる。
レンズを構成する磁極片内にそれぞれ独立に巻回された
少なくとも２個の励磁コイルの接続を加速電圧に対応さ
せて切り換えるようにしたので、励磁電源の電流可変巾
を従来のように大きくとる必要はなく、従って、励磁電
源を小型にすることができると共に廉価な装置を提供す
ることができる。
第１図は本発明の一実施例の概略構成図、第２図は概略
ブロックである。 １：磁極片、２：低加速電圧用励磁コイル、３：中加速
電圧用励磁コイル、４：高加速電圧用励磁コイル、５：
切換え装置、６：加速電圧遇択回路、７：励磁電源＝８
：電子ビーム。
ブロックである。 １：磁極片、２：低加速電圧用励磁コイル、３：中加速
電圧用励磁コイル、４：高加速電圧用励磁コイル、５：
切換え装置、６：加速電圧遇択回路、７：励磁電源＝８
：電子ビーム。
Claims (1)
- 電子レンズを構成する磁極片と、該磁極片内にそれぞれ
独立に巻回された少なくとも２個の励磁コイルと、これ
らの励磁コイルの接続を加速電圧に対応させて切り換え
るための切換え装置と、該切換え装置を介して前記励磁
コイルに励磁電流を供給するための励磁電源とを備えた
走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1154133A JPH0320950A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1154133A JPH0320950A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320950A true JPH0320950A (ja) | 1991-01-29 |
Family
ID=15577618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1154133A Pending JPH0320950A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320950A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3657527A1 (en) * | 2018-11-26 | 2020-05-27 | Jeol Ltd. | Charged particle beam apparatus and control method of charged particle beam apparatus |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP1154133A patent/JPH0320950A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3657527A1 (en) * | 2018-11-26 | 2020-05-27 | Jeol Ltd. | Charged particle beam apparatus and control method of charged particle beam apparatus |
| JP2020087701A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の制御方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4806766A (en) | Magnetic lens system | |
| US3851172A (en) | Compound electron lens for electron microscope and the like | |
| EP0596529B1 (en) | Electron lens | |
| US4366383A (en) | Electron beam type pattern transfer apparatus | |
| JPH0320950A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| GB2084818A (en) | Apparatus for controlling magnetic field | |
| US4468563A (en) | Electron lens | |
| JPS5914242A (ja) | 電磁レンズ | |
| US4538127A (en) | Magnetic quadripole | |
| JP3234373B2 (ja) | 磁界形電子レンズおよびこれを用いた電子線装置 | |
| JPH05128986A (ja) | 磁場型レンズ | |
| JPS6338825B2 (ja) | ||
| JP3117745B2 (ja) | 透過電子顕微鏡における対物レンズ | |
| JP2612333B2 (ja) | コンバーゼンス装置およびその調整方法 | |
| JPH1140428A (ja) | うず電流を利用した可変コイル | |
| US20010026459A1 (en) | Transformer | |
| JPS60127645A (ja) | 電界放射形電子銃 | |
| SU1027806A1 (ru) | Коммутирующее устройство | |
| RU1833924C (ru) | Магнитный элемент | |
| JPH11250849A (ja) | 結像型エネルギフィルタ歪補正装置 | |
| JPS6241376B2 (ja) | ||
| JPS5865756U (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPS61104549A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH03142980A (ja) | 放電型パルスレーザ装置 | |
| JPS6033750U (ja) | 電子顕微鏡用軸合せ装置 |