JPH03210408A - 精密干渉測定装置における平面鏡の姿勢制御機構 - Google Patents
精密干渉測定装置における平面鏡の姿勢制御機構Info
- Publication number
- JPH03210408A JPH03210408A JP2005350A JP535090A JPH03210408A JP H03210408 A JPH03210408 A JP H03210408A JP 2005350 A JP2005350 A JP 2005350A JP 535090 A JP535090 A JP 535090A JP H03210408 A JPH03210408 A JP H03210408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interference
- mirror
- detector
- movable mirror
- attitude control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、精密干渉測定装置における平面鏡の姿勢制御
機構に関するものである。
機構に関するものである。
［従来の技術］
従来、移動鏡を持つ干渉計としては、第３図に示すよう
な基本構成を有するものが多用されている。この干渉計
は、干渉光源ｌからの光ビームをビームスプリッタ２に
おいて反射光と透過光に２分し、それらの光ビームをそ
れぞれ固定鏡３及び移動鏡４において反射させ、再びビ
ームスブリッタ２に入射させることにより、両光を互い
に重なった干渉光とし、検出器５において干渉縞を計数
するようにしたもので、上記固定鏡３や移動鏡４として
は、通常、コーナーキューブが用いられる。
な基本構成を有するものが多用されている。この干渉計
は、干渉光源ｌからの光ビームをビームスプリッタ２に
おいて反射光と透過光に２分し、それらの光ビームをそ
れぞれ固定鏡３及び移動鏡４において反射させ、再びビ
ームスブリッタ２に入射させることにより、両光を互い
に重なった干渉光とし、検出器５において干渉縞を計数
するようにしたもので、上記固定鏡３や移動鏡４として
は、通常、コーナーキューブが用いられる。
このようなコーナーキューブを移動鏡４として用いた場
合、そのコーナーキューブでの反射光は常に入射光と同
じ方向へ反射されるため、コーナーキューブの移動時に
おけるピッチング、ヨーインクが自動補正されるという
点で有利である。
合、そのコーナーキューブでの反射光は常に入射光と同
じ方向へ反射されるため、コーナーキューブの移動時に
おけるピッチング、ヨーインクが自動補正されるという
点で有利である。
しかしながら、より高精度な干渉測定を行なう場合、コ
ーナーキューブの精度、材質の均一性の問題、あるいは
ビーム径が制限されることなどがネックになるゆ これに対し、移動鏡として平面鏡を用いた場合には、こ
れらの問題点は解決されるが、移動時のピッチング、ヨ
ーインクに不感でなくなるという新たな問題が生じる。
ーナーキューブの精度、材質の均一性の問題、あるいは
ビーム径が制限されることなどがネックになるゆ これに対し、移動鏡として平面鏡を用いた場合には、こ
れらの問題点は解決されるが、移動時のピッチング、ヨ
ーインクに不感でなくなるという新たな問題が生じる。
［発明が解決しようとする課題］
本発明の技術的課題は、上記精密干渉測定装置における
移動鏡として平面鏡を用い、その移動に際して、ピッチ
ング及びヨーイングを行なうことがあっても、常にその
姿勢を補正しながら正確に平行移動させ得るようにした
平面鏡の姿勢制御機構を得ることにある。
移動鏡として平面鏡を用い、その移動に際して、ピッチ
ング及びヨーイングを行なうことがあっても、常にその
姿勢を補正しながら正確に平行移動させ得るようにした
平面鏡の姿勢制御機構を得ることにある。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するための本発明の平面鏡の姿勢制御機
構は、干渉光源からの光ビームを２分し、それらの光ビ
ームをそれぞれ固定鏡及び移動鏡において反射させたう
えで、両光を干渉縞検出器における干渉視野において互
いに干渉させるようにした精密干渉測定装置において、
上記干渉縞検出器の干渉視野内に、互いに交差する２軸
の周りにおける該鏡面の傾きを検出する所要数の姿勢制
御用光電検出器を配設し、上記姿勢制御即用光電検出器
に、各軸周りの傾きを検出する一対の光電検出器のうち
の一方の出力の位相を基準位相とし、他方の検出器出力
の位相をその基準位相に対して９０°遅らせて、それら
の両信号をアナログ乗算器において掛け合わせる信号処
理回路を接続し、上記信号処理回路の出力を駆動信号と
して変位することにより移動鏡の姿勢を平行に保持する
電歪素子を、上記干渉視野内の光電検出器の設置位置に
対応させて上記移動鏡に設けたことを特徴とするもので
ある。
構は、干渉光源からの光ビームを２分し、それらの光ビ
ームをそれぞれ固定鏡及び移動鏡において反射させたう
えで、両光を干渉縞検出器における干渉視野において互
いに干渉させるようにした精密干渉測定装置において、
上記干渉縞検出器の干渉視野内に、互いに交差する２軸
の周りにおける該鏡面の傾きを検出する所要数の姿勢制
御用光電検出器を配設し、上記姿勢制御即用光電検出器
に、各軸周りの傾きを検出する一対の光電検出器のうち
の一方の出力の位相を基準位相とし、他方の検出器出力
の位相をその基準位相に対して９０°遅らせて、それら
の両信号をアナログ乗算器において掛け合わせる信号処
理回路を接続し、上記信号処理回路の出力を駆動信号と
して変位することにより移動鏡の姿勢を平行に保持する
電歪素子を、上記干渉視野内の光電検出器の設置位置に
対応させて上記移動鏡に設けたことを特徴とするもので
ある。
Ｌ作 用］
干渉測定に際して移動鏡を移動させるとき、移動鏡にピ
ッチングやヨーイングによる傾きが生じたとしても、互
いに交差する２軸の周りにおける該鏡面の傾きを検出す
る一対の姿勢制御用光電検出器のうちの一方の出力の位
相を基準位相とし、他方の位相をその基準位相に対して
９０°遅らせたうえで、それらの両信号をアナログ乗算
器において掛け合わせ、これを移動鏡の制御のための信
号とすると、移動鏡の姿勢制御に有効な８力信号を得る
ことができる。
ッチングやヨーイングによる傾きが生じたとしても、互
いに交差する２軸の周りにおける該鏡面の傾きを検出す
る一対の姿勢制御用光電検出器のうちの一方の出力の位
相を基準位相とし、他方の位相をその基準位相に対して
９０°遅らせたうえで、それらの両信号をアナログ乗算
器において掛け合わせ、これを移動鏡の制御のための信
号とすると、移動鏡の姿勢制御に有効な８力信号を得る
ことができる。
即ち、姿勢制御の対象となる２軸周りについての上記両
アナログ乗算器出力は、それらの視野の明滅が基準位相
を与える光電検出器の設置位置における明滅と一致した
ときに、乗算すべき信号の位相に９０°のずれがあるた
めに０となり、明滅が一致しないときに大きな値をとる
ので、これを制御信号として電歪素子により移動鏡の姿
勢制御を行なうことにより、移動鏡がピッチングやヨー
イングによって平行を損なうことがあっても、常に姿勢
制御されてその平行性が維持される。
アナログ乗算器出力は、それらの視野の明滅が基準位相
を与える光電検出器の設置位置における明滅と一致した
ときに、乗算すべき信号の位相に９０°のずれがあるた
めに０となり、明滅が一致しないときに大きな値をとる
ので、これを制御信号として電歪素子により移動鏡の姿
勢制御を行なうことにより、移動鏡がピッチングやヨー
イングによって平行を損なうことがあっても、常に姿勢
制御されてその平行性が維持される。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面を参照しながら詳述する。
本発明に係る平面鏡の姿勢制御機構を備えるべき精密干
渉測定装置としては、先に説明した第３図の干渉計と実
質的に同じ基本構成を有するものが用いられる。即ち、
干渉光源１からの光ビームをビームスプリッタ２におい
て反射光と透過光に２分し、それらの光ビームをそれぞ
れ平面鏡からなる固定鏡３及び移動鏡４において反射さ
せ、再びビームスプリッタ２に入射させることにより、
両光を互いに重なった干渉光とし、干渉縞検出器５にお
いて干渉縞が計数される。
渉測定装置としては、先に説明した第３図の干渉計と実
質的に同じ基本構成を有するものが用いられる。即ち、
干渉光源１からの光ビームをビームスプリッタ２におい
て反射光と透過光に２分し、それらの光ビームをそれぞ
れ平面鏡からなる固定鏡３及び移動鏡４において反射さ
せ、再びビームスプリッタ２に入射させることにより、
両光を互いに重なった干渉光とし、干渉縞検出器５にお
いて干渉縞が計数される。
上記移動鏡４が、その移動に際しピッチング及びヨーイ
ングを行なうことがあっても、常にその姿勢を補正しな
がら正確に平行移動させるようにするため、その移動鏡
４には、以下に第１図及び第２図Ａ、Ｈの各実施例によ
って説明するような姿勢制御機構が付設される。これら
の姿勢制御機構は、平面鏡からなる移動鏡４の移動時に
おける傾きをリアルタイムに検出し、その姿勢を補正す
る機能を有するものである。
ングを行なうことがあっても、常にその姿勢を補正しな
がら正確に平行移動させるようにするため、その移動鏡
４には、以下に第１図及び第２図Ａ、Ｈの各実施例によ
って説明するような姿勢制御機構が付設される。これら
の姿勢制御機構は、平面鏡からなる移動鏡４の移動時に
おける傾きをリアルタイムに検出し、その姿勢を補正す
る機能を有するものである。
上記姿勢制御機構において、移動鏡４の姿勢を制御する
ためには、その移動鏡４の姿勢を検出する必要があるが
、この姿勢の検出には、次のような原理を利用する。
ためには、その移動鏡４の姿勢を検出する必要があるが
、この姿勢の検出には、次のような原理を利用する。
即ち、移動ｊｌｉ４が正しい姿勢を保ったまま移動した
場合には、干渉縞の計数を行なう干渉縞検出器５の視野
が一様に明滅するが、移動１１４が傾いて（ると、視野
内での明滅が一様でなくなる。
場合には、干渉縞の計数を行なう干渉縞検出器５の視野
が一様に明滅するが、移動１１４が傾いて（ると、視野
内での明滅が一様でなくなる。
従って、視野内での明滅の一様性を検出し２これが一様
になるように移動鏡の姿勢制御を行なえば、平行性を維
持することができる。
になるように移動鏡の姿勢制御を行なえば、平行性を維
持することができる。
このような原理に基づいて移動鏡４の姿勢制御を行なう
ため、上記第１図の実施例の姿勢側ｇＡ磯横においては
、移動鏡４の鏡面内の互いに交差する２軸の周りにおけ
る該鏡面の傾きを検出するための姿勢制御用光電検出Ｅ
ｌｌｌ。１２．１２を、干渉縞検出器５の干渉視野内に
配設し、それらの出力に基づいて移動鏡の姿勢を制御す
るようにしている。
ため、上記第１図の実施例の姿勢側ｇＡ磯横においては
、移動鏡４の鏡面内の互いに交差する２軸の周りにおけ
る該鏡面の傾きを検出するための姿勢制御用光電検出Ｅ
ｌｌｌ。１２．１２を、干渉縞検出器５の干渉視野内に
配設し、それらの出力に基づいて移動鏡の姿勢を制御す
るようにしている。
これを具体的に説明すると、干渉縞検出器５においては
、上記光電検出器１１，１２．１２を干渉視野内の同一
線上にない３点に配設し、そのうちの１点の光電検出器
１１における出力の位相を共通の基準位相として、その
基準位相に対し他の２点の位相をそろえるため、それら
の光電検出器に積分器１３．１３及びアナログ乗算器１
４．１４からなる信号処理回路を接続している。即ち、
上記２点の光電検出器１２．１２にそれぞれ積分器１３
．１３を接続して、それらの検出器１２．１２の出力で
ある平行度検出信号の位相を９０°遅らせ、それらの各
積分器１３．１３の出力と、上記基準位相を与える光電
検出器出力の参照信号とを、それぞれアナログ乗算器１
４．１４において掛け合わせ、移動鏡４の制御のための
信号を得るようにしている。また、これらのアナログ乗
算器１４．１４は、それぞれ電歪素子（ＰＺＴ）駆動ア
ンプｉｓ、１５を介し、移動ｆｆ１４の背面に配設した
Ｐ Ｚ Ｔ １６．１６に接続している。これらのＰＺ
Ｔ１６．１６は、干渉縞検出器５における干渉視野内の
光電検出器１２．１２の設置位置に対応して移動鏡４上
に配設したものであり、また移動ｊ！４上における上記
干渉視野内の光電検出器１１に対応する位置は、連結部
材１７によって移動鏡４を移動させるための図示しない
移動台に連結される。上記ＰＺＴ１６，１６及び連結部
材１７を介して移動！１４を移動台に取付ける場合に、
Ｐ Ｚ Ｔ １Ｇ、１６の変位に伴う移動鏡の傾きを許
容するため、それらの連結し分を若干可動にしておく必
要があるのは勿論である。
、上記光電検出器１１，１２．１２を干渉視野内の同一
線上にない３点に配設し、そのうちの１点の光電検出器
１１における出力の位相を共通の基準位相として、その
基準位相に対し他の２点の位相をそろえるため、それら
の光電検出器に積分器１３．１３及びアナログ乗算器１
４．１４からなる信号処理回路を接続している。即ち、
上記２点の光電検出器１２．１２にそれぞれ積分器１３
．１３を接続して、それらの検出器１２．１２の出力で
ある平行度検出信号の位相を９０°遅らせ、それらの各
積分器１３．１３の出力と、上記基準位相を与える光電
検出器出力の参照信号とを、それぞれアナログ乗算器１
４．１４において掛け合わせ、移動鏡４の制御のための
信号を得るようにしている。また、これらのアナログ乗
算器１４．１４は、それぞれ電歪素子（ＰＺＴ）駆動ア
ンプｉｓ、１５を介し、移動ｆｆ１４の背面に配設した
Ｐ Ｚ Ｔ １６．１６に接続している。これらのＰＺ
Ｔ１６．１６は、干渉縞検出器５における干渉視野内の
光電検出器１２．１２の設置位置に対応して移動鏡４上
に配設したものであり、また移動ｊ！４上における上記
干渉視野内の光電検出器１１に対応する位置は、連結部
材１７によって移動鏡４を移動させるための図示しない
移動台に連結される。上記ＰＺＴ１６，１６及び連結部
材１７を介して移動！１４を移動台に取付ける場合に、
Ｐ Ｚ Ｔ １Ｇ、１６の変位に伴う移動鏡の傾きを許
容するため、それらの連結し分を若干可動にしておく必
要があるのは勿論である。
上記Ｐ Ｚ Ｔ １６．１６に駆動アンプ１５．１５か
ら駆動信号が送られたときには、その信号の大きさに応
じてＰ Ｚ Ｔ １６．１６の設置位置における移動鏡
４に変位を与え、移動鏡４の平行性を維持するように、
その移動＃！４の姿勢制御が行なわれる。
ら駆動信号が送られたときには、その信号の大きさに応
じてＰ Ｚ Ｔ １６．１６の設置位置における移動鏡
４に変位を与え、移動鏡４の平行性を維持するように、
その移動＃！４の姿勢制御が行なわれる。
このような構成を有する平面鏡の姿勢制御機構によれば
、干渉測定に際して移動［４を移動させるとき、移動鏡
４がピッチングやヨーイングによって平行を損なうこと
があっても、干渉縞検出器５における干渉視野内の２点
に設けた光電検出器１２．１２から平行度検出信号を出
力させ、その位相を積分器１３．１３において９０°遅
らせたうえで２上記基準位相を与える検出器１１の参照
信号と掛け合わせることにより、移動鏡４の制御のため
の信号を得るようにしているので、移動鏡の姿勢制御に
有効な出力信号を得ることができる。
、干渉測定に際して移動［４を移動させるとき、移動鏡
４がピッチングやヨーイングによって平行を損なうこと
があっても、干渉縞検出器５における干渉視野内の２点
に設けた光電検出器１２．１２から平行度検出信号を出
力させ、その位相を積分器１３．１３において９０°遅
らせたうえで２上記基準位相を与える検出器１１の参照
信号と掛け合わせることにより、移動鏡４の制御のため
の信号を得るようにしているので、移動鏡の姿勢制御に
有効な出力信号を得ることができる。
即ち、姿勢制御の対象となる２点での平行度検出信号の
位相を９０°遅らせ、それをアナログ乗算５１４．１４
において参照信号と掛け合わせると、この乗算器出力は
、干渉縞検出器５の光電検出器１２．１２を設けた位置
における視野の明滅が、検出器１１の設置位置における
明滅と一致したときに０となり、一致しないときには相
応の出力があるので、これを制御信号としてＰ Ｚ Ｔ
１６．１６により移動ｆａ４の姿勢制御を行なうこと
により、移動鏡の平行性を維持することができる。
位相を９０°遅らせ、それをアナログ乗算５１４．１４
において参照信号と掛け合わせると、この乗算器出力は
、干渉縞検出器５の光電検出器１２．１２を設けた位置
における視野の明滅が、検出器１１の設置位置における
明滅と一致したときに０となり、一致しないときには相
応の出力があるので、これを制御信号としてＰ Ｚ Ｔ
１６．１６により移動ｆａ４の姿勢制御を行なうこと
により、移動鏡の平行性を維持することができる。
このように、上記姿勢制御機構によれば、平面鏡からな
る移動鏡４の移動時における傾きをリアルタイムで検出
し、その姿勢を平行状態に補正することができる。
る移動鏡４の移動時における傾きをリアルタイムで検出
し、その姿勢を平行状態に補正することができる。
また、第２図Ａ、Ｂに示す実施例は、上述した場合と同
様に、第３図に示すような精密干渉測定装置において、
移動鏡４の姿勢制御を行なうものである。
様に、第３図に示すような精密干渉測定装置において、
移動鏡４の姿勢制御を行なうものである。
この実施例においては、干渉縞検出器５の干渉視野５ａ
内に、互いに交差するｘ、ｙの２軸の周りにおける該鏡
面の傾きを検出する２対の姿勢制御用光電検出器２１ａ
、２２ａ及び２１ｂ、２２ｂを配設している。これらの
２対の姿勢制御用光電検出器には、それぞれ積分器２３
及びアナログ乗算器２４等からなる信号処理回路が接続
され、Ｘ及びｙ軸の周りの傾きを検出する一対の光電検
出器２１ａ、２２ａ及び２１ｂ、２２ｂのうちの各一方
の検出器２１ａ、２１ｂの出力の位相を基準位相とし、
積分器２３において他方の検出器２２ａ、 ２２ｂの出
力の位相をその基準位相に対して９０″遅らせて、それ
らの両信号をアナログ乗算器２４において掛け合わせる
ようにしている。
内に、互いに交差するｘ、ｙの２軸の周りにおける該鏡
面の傾きを検出する２対の姿勢制御用光電検出器２１ａ
、２２ａ及び２１ｂ、２２ｂを配設している。これらの
２対の姿勢制御用光電検出器には、それぞれ積分器２３
及びアナログ乗算器２４等からなる信号処理回路が接続
され、Ｘ及びｙ軸の周りの傾きを検出する一対の光電検
出器２１ａ、２２ａ及び２１ｂ、２２ｂのうちの各一方
の検出器２１ａ、２１ｂの出力の位相を基準位相とし、
積分器２３において他方の検出器２２ａ、 ２２ｂの出
力の位相をその基準位相に対して９０″遅らせて、それ
らの両信号をアナログ乗算器２４において掛け合わせる
ようにしている。
従って、前述した実施例と同様に、上記信号処理回路の
出力を駆動信号とし、ＰＺＴ駆動アンプ２５を介して移
動鏡４に設けた上記Ｘ及びｙ軸の周りの傾きを制御する
Ｐ Ｚ Ｔ ２６ａ、２６ｂを変位させることにより、
移動鏡の２軸周りの姿勢を制御することが可能になる。
出力を駆動信号とし、ＰＺＴ駆動アンプ２５を介して移
動鏡４に設けた上記Ｘ及びｙ軸の周りの傾きを制御する
Ｐ Ｚ Ｔ ２６ａ、２６ｂを変位させることにより、
移動鏡の２軸周りの姿勢を制御することが可能になる。
なお、第２図Ａにおいては、Ｘ軸周りの姿勢を制御する
（８号処理回路のみを示しているが、ｙ軸周りについて
も同様な信号処理回路を設けることは勿論である。
（８号処理回路のみを示しているが、ｙ軸周りについて
も同様な信号処理回路を設けることは勿論である。
上記Ｐ Ｚ Ｔ ２６ａ、２６ｂは、第２図Ｂに例示す
るように、干渉視野内の光電検出器の設置位置に対応さ
せて上記移動Ｍ４に設けることができる。同図に示す移
動鏡４は、移動台２８上にｙ軸方向の姿勢を制御するＰ
Ｚ Ｔ ２６ｂにより傾動するｙ軸傾斜台２９を取付
け、またこのｙ軸傾斜台２９上にＸ軸方向の姿勢を制御
するＰ Ｚ Ｔ ２６ａにより傾動するＸ軸傾斜台３Ｃ
を取付け、このＸ軸傾斜台３０上に移動鏡本体３１を取
付けている。なお、 Ｐ Ｚ Ｔ ２６ａ、２６ｂの変
位に伴う傾斜台２９．３０の傾きを可能にするため、移
動台２８及び傾斜台２９．３０の連結部分は可動にして
おく必要がある。
るように、干渉視野内の光電検出器の設置位置に対応さ
せて上記移動Ｍ４に設けることができる。同図に示す移
動鏡４は、移動台２８上にｙ軸方向の姿勢を制御するＰ
Ｚ Ｔ ２６ｂにより傾動するｙ軸傾斜台２９を取付
け、またこのｙ軸傾斜台２９上にＸ軸方向の姿勢を制御
するＰ Ｚ Ｔ ２６ａにより傾動するＸ軸傾斜台３Ｃ
を取付け、このＸ軸傾斜台３０上に移動鏡本体３１を取
付けている。なお、 Ｐ Ｚ Ｔ ２６ａ、２６ｂの変
位に伴う傾斜台２９．３０の傾きを可能にするため、移
動台２８及び傾斜台２９．３０の連結部分は可動にして
おく必要がある。
この実施例における作用は、先の実施例と実質的に変わ
るところがないので、ここに詳述しない。
るところがないので、ここに詳述しない。
［発明の効果］
以上に詳述した本発明の平面鏡の姿勢制御機構によれば
、精密干渉測定装置における移動鏡として平面鏡を用い
ているので、コーナーキューブを用いる場合のように、
その精度、材質の均一性、あるいはビーム径が制限され
るというような問題を生じることがな（、また、その移
動鏡の移動に際して、ピッチング及びヨーイングを行な
うことがあっても、常にその姿勢を補正しながら正確に
平行移動させることができる。
、精密干渉測定装置における移動鏡として平面鏡を用い
ているので、コーナーキューブを用いる場合のように、
その精度、材質の均一性、あるいはビーム径が制限され
るというような問題を生じることがな（、また、その移
動鏡の移動に際して、ピッチング及びヨーイングを行な
うことがあっても、常にその姿勢を補正しながら正確に
平行移動させることができる。
第１図は本発明に係る平面鏡の姿勢制御機構の実施例を
示す構成図、第２図Ａ、Ｂは本発明の他の実施例におけ
る移動鏡の姿勢側ｍｅｉｌ構の構成図及びその移動鏡の
支持構造を示す斜視図、第３図は上記姿勢制（１１１１
横を備えるべき精密干渉測定装置の基本的構成を示す構
成図である。 ｌ ・・干渉光源、 ３・・固定鏡。 ４・・移動鏡、 ５・・干渉縞検出器、１１．１２
，２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ ・・光電検出器、
１３．２３ ・・積分器、 １４．２４ ・・アナログ乗算器。 １６．２６ａ、２６ｂ・・電歪素子。 第 図 ３ 第３ 図
示す構成図、第２図Ａ、Ｂは本発明の他の実施例におけ
る移動鏡の姿勢側ｍｅｉｌ構の構成図及びその移動鏡の
支持構造を示す斜視図、第３図は上記姿勢制（１１１１
横を備えるべき精密干渉測定装置の基本的構成を示す構
成図である。 ｌ ・・干渉光源、 ３・・固定鏡。 ４・・移動鏡、 ５・・干渉縞検出器、１１．１２
，２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ ・・光電検出器、
１３．２３ ・・積分器、 １４．２４ ・・アナログ乗算器。 １６．２６ａ、２６ｂ・・電歪素子。 第 図 ３ 第３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、干渉光源からの光ビームを２分し、それらの光ビー
ムをそれぞれ固定鏡及び移動鏡において反射させたうえ
で、両光を干渉縞検出器における干渉視野において互い
に干渉させるようにした精密干渉測定装置において、 上記干渉縞検出器の干渉視野内に、互いに交差する２軸
の周りにおける該鏡面の傾きを検出する所要数の姿勢制
御用光電検出器を配設し、 上記姿勢制御用光電検出器に、各軸周りの傾きを検出す
る一対の光電検出器のうちの一方の出力の位相を基準位
相とし、他方の検出器出力の位相をその基準位相に対し
て９０°遅らせて、それらの両信号をアナログ乗算器に
おいて掛け合わせる信号処理回路を接続し、 上記信号処理回路の出力を駆動信号として変位すること
により移動鏡の姿勢を平行に保持する電歪素子を、上記
干渉視野内の光電検出器の設置位置に対応させて上記移
動鏡に設けた、 ことを特徴とする精密干渉測定装置における平面鏡の姿
勢制御機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005350A JPH0641846B2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 精密干渉測定装置における平面鏡の姿勢制御機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005350A JPH0641846B2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 精密干渉測定装置における平面鏡の姿勢制御機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03210408A true JPH03210408A (ja) | 1991-09-13 |
| JPH0641846B2 JPH0641846B2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=11608748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005350A Expired - Lifetime JPH0641846B2 (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 精密干渉測定装置における平面鏡の姿勢制御機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641846B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5763409A (en) * | 1980-08-06 | 1982-04-16 | Krautkraemer Gmbh | Automatic light beam adjustment method of interference meter and apparatus for executing thereof |
| JPS6385402A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-15 | Yokogawa Electric Corp | 測長器 |
-
1990
- 1990-01-12 JP JP2005350A patent/JPH0641846B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5763409A (en) * | 1980-08-06 | 1982-04-16 | Krautkraemer Gmbh | Automatic light beam adjustment method of interference meter and apparatus for executing thereof |
| JPS6385402A (ja) * | 1986-09-30 | 1988-04-15 | Yokogawa Electric Corp | 測長器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641846B2 (ja) | 1994-06-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20060215179A1 (en) | Laser calibration apparatus | |
| ATE207401T1 (de) | Messsystem hoher bandbreite und dynamischer rigidität zum messen und kontrollieren von intelligenten industriellen verfahren | |
| KR950019954A (ko) | 경사 장치 | |
| GB1326553A (en) | Apparatus for and method of sensing the angular orientation of an object | |
| EP0983481B1 (en) | Two piece mirror arrangement for interferometrically controlled stage | |
| WO2004010081A1 (ja) | 移動体の高精度姿勢検出方法及びその装置 | |
| JPS5933994B2 (ja) | リング・レ−ザ−及び振動式リング・レ−ザ−の後方散乱を減少させる方法 | |
| KR100401353B1 (ko) | 스테이지구동제어장치및스테이지구동제어방법 | |
| JP3477698B2 (ja) | 走査型露光装置および走査露光方法 | |
| JPH03210408A (ja) | 精密干渉測定装置における平面鏡の姿勢制御機構 | |
| JPS59225315A (ja) | 座標位置検出装置 | |
| JP2671338B2 (ja) | 露光方法及び基板の姿勢制御方法 | |
| JP3744107B2 (ja) | ステージ移動装置 | |
| JP2909091B2 (ja) | 光ビーム捕捉追尾制御装置 | |
| JP2656624B2 (ja) | 干渉計の倒れ制御方式 | |
| JPH01238604A (ja) | 鏡面能動支持装置 | |
| SU1296836A1 (ru) | Способ измерени смещений светового п тна | |
| CN114562991A (zh) | 基于星敏感器辅助的相对论天文效应导航仪及其导航方法 | |
| SU1610257A1 (ru) | Система дл определени погрешности направлени визировани телескопа | |
| JPH02100111A (ja) | 三軸姿勢制御装置 | |
| Kang et al. | SIM PlanetQuest interferometer real-time control system architecture | |
| JPH03290915A (ja) | 露光装置 | |
| MERCER | Phase-stepping fiber-optic projected fringe system for surface topography measurements(Patent) | |
| JPH0552511A (ja) | 干渉計 | |
| Lawson et al. | The fringe tracking servo in SUSI |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |