JPH03210520A - レーザ光学系装置 - Google Patents
レーザ光学系装置Info
- Publication number
- JPH03210520A JPH03210520A JP595590A JP595590A JPH03210520A JP H03210520 A JPH03210520 A JP H03210520A JP 595590 A JP595590 A JP 595590A JP 595590 A JP595590 A JP 595590A JP H03210520 A JPH03210520 A JP H03210520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- lens
- plate
- cross
- section
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、表面検査等に用いるレーザ光学系装置に関す
るものである。
るものである。
［従来の技１１ｒ］
第８図は従来の構成図を示し、レーザ光源１からのレー
ザビームをロッドレンズ２に直接照射し、スクリーン３
上でのビーム断面を線状とすると、その断面は第９図の
斜線部分に示すように中央が太く、端部が細る形状とな
る。
ザビームをロッドレンズ２に直接照射し、スクリーン３
上でのビーム断面を線状とすると、その断面は第９図の
斜線部分に示すように中央が太く、端部が細る形状とな
る。
［課題を解決するための手段］
上記装置の用途として、計測に使用する場合、第１０図
に示すように、スクリーン３つまり被計測物体が傾斜し
ている場合には、第１１図に示すように、ビームの断面
の中央がより太くなって、全く用を成さなくなる。その
ため、ビームの断面の厚みを均一はする必要がある。
に示すように、スクリーン３つまり被計測物体が傾斜し
ている場合には、第１１図に示すように、ビームの断面
の中央がより太くなって、全く用を成さなくなる。その
ため、ビームの断面の厚みを均一はする必要がある。
本発明は、上述の点に鑑みて提供したものであって、ロ
ッドレンズから照射されるレーザビームの断面を均一に
することを目的としたレーザ光学系装置を提供するもの
である。
ッドレンズから照射されるレーザビームの断面を均一に
することを目的としたレーザ光学系装置を提供するもの
である。
［課題を解決するための手段］
本発明は、レーザ光源とロッドレンズとの間に、レーザ
ビームを挿通させてロッドレンズから照射されるレーザ
ビームの断面の厚みを均一にするための角孔を穿設した
プレートを配置したものである。
ビームを挿通させてロッドレンズから照射されるレーザ
ビームの断面の厚みを均一にするための角孔を穿設した
プレートを配置したものである。
［作 用］
上記構成により、プレートの角孔にレーザ光源からのレ
ーザビームを挿通させ、この挿通したレーザビームをロ
ッドレンズを介して照射することで、ロッドレンズから
照射されるレーザビームの断面を均一にしている。
ーザビームを挿通させ、この挿通したレーザビームをロ
ッドレンズを介して照射することで、ロッドレンズから
照射されるレーザビームの断面を均一にしている。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。第１
図及び第２図に示すように、レーザ光源１とロッドレン
ズ２との間に長方形の角孔５を穿設したプレート４を配
置するようにしたものである。第４図に示す斜線部分は
、ロッドレンズ２の側面に投影したプレート４の角孔５
の投影図である。そして、プレート４の角孔５とロッド
レンズ２との関係は第４図に示すように、ロッドレンズ
２の中心軸（イ）に対して、辺ａｌ、ａ３は平行、辺す
、、ｂ２は直交するように配置している。ロッドレンズ
２の直径２ｒに対して、２ｒ＝ｂ、＝ｂ。
図及び第２図に示すように、レーザ光源１とロッドレン
ズ２との間に長方形の角孔５を穿設したプレート４を配
置するようにしたものである。第４図に示す斜線部分は
、ロッドレンズ２の側面に投影したプレート４の角孔５
の投影図である。そして、プレート４の角孔５とロッド
レンズ２との関係は第４図に示すように、ロッドレンズ
２の中心軸（イ）に対して、辺ａｌ、ａ３は平行、辺す
、、ｂ２は直交するように配置している。ロッドレンズ
２の直径２ｒに対して、２ｒ＝ｂ、＝ｂ。
の時、レーザビームの広がり角θが最も大きくなる。こ
のように、レーザ光源１からのレーザビームをプレート
４の角孔５を挿通させることで、ロッドレンズ２の側面
に照射されるビーム影は角形となり、よって、ロッドレ
ンズ２から照射されてスクリーン３上に投影されるレー
ザビームの断面も第３図に示すように均一となる。
のように、レーザ光源１からのレーザビームをプレート
４の角孔５を挿通させることで、ロッドレンズ２の側面
に照射されるビーム影は角形となり、よって、ロッドレ
ンズ２から照射されてスクリーン３上に投影されるレー
ザビームの断面も第３図に示すように均一となる。
また、レーザビームの断面内の光強度差を小さくする場
合には、第５ｒｙ！Ｊに示すように、コリメータレンズ
６を用い、このコリメータレンズ６によりレーザ光源１
からのレーザビーム径を大きくすると、第６図に示すよ
うに、ビームの中央の平坦部分を利用できる。つまり、
この平坦部分がプレート４の角孔５を挿通し、レーザビ
ームの光強度差を小さくすることができる。第７図（ａ
）はスクリーン３のビームの断面を、同図（ｂ）は第７
ｅ（ａ）のＢ＋Ｂｚ間の光強度を、同図（ｃ）は第７図
（ａ）のＡＩ Ａｍ間の光強度を夫々示している。第
７図から分かるように、スクリーン３上のビーム断面内
の光強度差が小さくなっている。従って、線状ビーム断
面内の光量差を小さくすることができるものである。
合には、第５ｒｙ！Ｊに示すように、コリメータレンズ
６を用い、このコリメータレンズ６によりレーザ光源１
からのレーザビーム径を大きくすると、第６図に示すよ
うに、ビームの中央の平坦部分を利用できる。つまり、
この平坦部分がプレート４の角孔５を挿通し、レーザビ
ームの光強度差を小さくすることができる。第７図（ａ
）はスクリーン３のビームの断面を、同図（ｂ）は第７
ｅ（ａ）のＢ＋Ｂｚ間の光強度を、同図（ｃ）は第７図
（ａ）のＡＩ Ａｍ間の光強度を夫々示している。第
７図から分かるように、スクリーン３上のビーム断面内
の光強度差が小さくなっている。従って、線状ビーム断
面内の光量差を小さくすることができるものである。
［発明の効果］
本発明は上述のように、レーザ光源とロッドレンズとの
間に、レーザビームを挿通させてロッドレンズから照射
されるレーザビームの断面の厚みを均一にするための角
孔を穿設したプレートを配置したものであるから、プレ
ートの角孔にレーザ光源からのレーザビームを挿通させ
、この挿通したレーザビームをロッドレンズを介して照
射することで、ロッドレンズから照射される線状のレー
ザビームの断面を均一にすることができる効果を奏する
ものである。
間に、レーザビームを挿通させてロッドレンズから照射
されるレーザビームの断面の厚みを均一にするための角
孔を穿設したプレートを配置したものであるから、プレ
ートの角孔にレーザ光源からのレーザビームを挿通させ
、この挿通したレーザビームをロッドレンズを介して照
射することで、ロッドレンズから照射される線状のレー
ザビームの断面を均一にすることができる効果を奏する
ものである。
第１図は本発明の実施例の構成図、第２ｆ！ｌは同上の
プレートの正面図、第３図は同上のスクリーン上のビー
ム断面を示す図、第４因は同上の説明図、第５図は同上
の他の実施例の構成図、第６図（ａ）（ｂ）は同上の夫
々説明図、第７図（ａ）は同上のスクリーン上のビーム
断面を示す図、第７図（ｂ）は第７図（ａ）のＢ、−８
２間の光強度を示す図、第７図（ｃ）は第７図（ａ）の
Ａ、−Ａ２間の光強度を示す図、第８図は従来例の構成
図、第９図は同上のスクリーン上でのビームの断面を示
す図、第１０図は同上のスクリーンを斜めにした場合の
構成図、第１１図は同上のスクリーン上でのビームの断
面を示す図である。 １はレーザ光源、２はロッドレンズ、４はプレート、５
は角孔である。
プレートの正面図、第３図は同上のスクリーン上のビー
ム断面を示す図、第４因は同上の説明図、第５図は同上
の他の実施例の構成図、第６図（ａ）（ｂ）は同上の夫
々説明図、第７図（ａ）は同上のスクリーン上のビーム
断面を示す図、第７図（ｂ）は第７図（ａ）のＢ、−８
２間の光強度を示す図、第７図（ｃ）は第７図（ａ）の
Ａ、−Ａ２間の光強度を示す図、第８図は従来例の構成
図、第９図は同上のスクリーン上でのビームの断面を示
す図、第１０図は同上のスクリーンを斜めにした場合の
構成図、第１１図は同上のスクリーン上でのビームの断
面を示す図である。 １はレーザ光源、２はロッドレンズ、４はプレート、５
は角孔である。
Claims (1)
- （１）レーザ光源と、レーザ光源からのレーザビームの
断面を線状とするロッドレンズとを備えたレーザ光学系
装置において、上記レーザ光源とロッドレンズとの間に
、レーザビームを挿通させてロッドレンズから照射され
るレーザビームの断面の厚みを均一にするための角孔を
穿設したプレートを配置したことを特徴とするレーザ光
学系装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP595590A JPH03210520A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP595590A JPH03210520A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03210520A true JPH03210520A (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=11625318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP595590A Pending JPH03210520A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | レーザ光学系装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03210520A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011039078A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-24 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの修正方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS571806A (en) * | 1980-05-31 | 1982-01-07 | Nippon Air Brake Co Ltd | Composite valve |
| JPS61198210A (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-02 | Nec Corp | レ−ザ加工用光学装置 |
-
1990
- 1990-01-13 JP JP595590A patent/JPH03210520A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS571806A (en) * | 1980-05-31 | 1982-01-07 | Nippon Air Brake Co Ltd | Composite valve |
| JPS61198210A (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-02 | Nec Corp | レ−ザ加工用光学装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011039078A (ja) * | 2009-08-06 | 2011-02-24 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの修正方法 |
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