JPH03210607A - Analog servo controller - Google Patents

Analog servo controller

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JPH03210607A
JPH03210607A JP2005115A JP511590A JPH03210607A JP H03210607 A JPH03210607 A JP H03210607A JP 2005115 A JP2005115 A JP 2005115A JP 511590 A JP511590 A JP 511590A JP H03210607 A JPH03210607 A JP H03210607A
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JP
Japan
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signal
circuit
gain
input signal
control device
Prior art date
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Pending
Application number
JP2005115A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Fukase
深瀬 浩司
Masayuki Niitsuma
新妻 正行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
Priority to JP2005115A priority Critical patent/JPH03210607A/en
Publication of JPH03210607A publication Critical patent/JPH03210607A/en
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  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To increase the allowable changing range of an input signal by providing a gain changing means to change in steps the amplification gain of a proportion circuit in accordance with the level of the input signal. CONSTITUTION:A series circuit 15 consisting of a resistance R1 and two diodes 14a and 14b connected in adversely parallel to the R1 is connected in parallel to a feedback resistance R2. The adverse withstand voltage is applied to both diodes 14a and 14b, and this adverse withstand voltage can well withstand the voltage having the large absolute value even though the absolute value E of the both-end voltage of the R2 increases in response to the voltage Vi, i.e. the value of an input signal 5. In this case, the amplification gain of a proportion circuit 16 is changed by a gain changing means 15 despite a big change of the level of the signal 5. Thus it is possible to obtain the position of a control subject where the correct correspondence is always secured between the level of an error signal 4c and the level of the signal 5. As a result, an allowable changing range is increased for the signal 5.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザ加工装置におけるレーザビーム反射ミ
ラーの駆動機構に用いてレーザビームの被加工物におけ
る照射位置を加工指令信号が指→した位置に制御するよ
うな、制御量を目標値としての入力信号に追従させるア
ナログサーボ制御装置、待に該制御装置が正常に動作す
る入力信号の許容変化範囲の広い装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is used in a drive mechanism for a laser beam reflecting mirror in a laser processing device to determine the irradiation position of a laser beam on a workpiece by a processing command signal. The present invention relates to an analog servo control device that causes a controlled variable to follow an input signal as a target value, and a device that has a wide allowable variation range of the input signal so that the control device can operate normally.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第3図はレーザ加工装置に用いられている従来のアナロ
グサーボ制御装置の構成説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of the configuration of a conventional analog servo control device used in a laser processing device.

図において、1は入力される駆動信号tOaの値に応じ
た角度0だけレーザビーム反射用のミラー装置 2を回転させる駆動44としてのガルバノスキャナ、3
はミラー20回転角6を検出してこのθに比例した値を
有する角度信号3aを出力するようにした角度検出器、
4は反転入力端子4aK抵抗R4を介して角度#に対す
る指令信号としての入力信号5が入力されかつ非反転入
力端子4bが接地すれたオペアンプで、この場合上記の
角度信号3mも抵抗B、を介して端子41に入力されて
いる。
In the figure, 1 is a galvano scanner as a drive 44 that rotates the mirror device 2 for reflecting the laser beam by an angle 0 according to the value of the input drive signal tOa, 3
is an angle detector configured to detect the rotation angle 6 of the mirror 20 and output an angle signal 3a having a value proportional to this θ;
4 is an operational amplifier to which an input signal 5 as a command signal for angle # is inputted via an inverting input terminal 4aK resistor R4, and a non-inverting input terminal 4b is grounded; in this case, the above angle signal 3m is also input via a resistor B. is input to terminal 41.

ここに、角度信号3mは入力信号5とは逆の極性を有す
る信号である。R1はアンプ4の帰還抵抗で、6はアン
プ4と抵抗R,、R,、R,とからなる比例回路、7は
、角度信号3Mを時間微分してその結果に比例した微分
信号8鳳を出方する微分回路8と、微分信号8aとアン
プ4の出力信号4cとの代数和を算出してこの結果に比
例した出力信号9mを出力すち加算回路9と、該出力信
号9鳳に対して電力増幅を行ってその結果としての前述
した駆動信号10aを出力するようにした電力増幅回路
10とからなる演算回路である。11は前述したミラー
2とガルバノスキャナ1とを除く図示の各部からなるア
ナログサーボ制(財)装置で、この制御装置11では、
スキャナ1に信号10aが入力されることによってミラ
ー2の回転角θが入力信号5に追従するように、上述の
各部が構成されている。そうして、この場合、微分回路
8を工。
Here, the angle signal 3m is a signal having a polarity opposite to that of the input signal 5. R1 is a feedback resistor of the amplifier 4, 6 is a proportional circuit consisting of the amplifier 4 and resistors R, , R, , R, and 7 is a differential signal 8 which differentiates the angle signal 3M with respect to time and is proportional to the result. The output differential circuit 8 calculates the algebraic sum of the differential signal 8a and the output signal 4c of the amplifier 4, and outputs an output signal 9m proportional to this result. This is an arithmetic circuit consisting of a power amplification circuit 10 which performs power amplification using a power amplification circuit and outputs the aforementioned drive signal 10a as a result of the power amplification. Reference numeral 11 denotes an analog servo control device consisting of the parts shown in the figure except for the mirror 2 and the galvano scanner 1 described above.
The above-mentioned parts are configured so that the rotation angle θ of the mirror 2 follows the input signal 5 when the signal 10a is input to the scanner 1. Then, in this case, construct the differentiator circuit 8.

制御装置11の制御対象としてのガルバノスキャナ1と
ミラー2とからなるレーザビーム反射機構12の動作遅
れを補償して該機構12の連応性の向上を図るために設
けられ℃いる。
This is provided in order to compensate for the delay in the operation of the laser beam reflection mechanism 12, which is controlled by the control device 11 and is composed of the galvano scanner 1 and the mirror 2, and to improve the coordination of the mechanism 12.

〔発明が解決しようとする味題〕[Problem that the invention attempts to solve]

制−装置11では比例回路6がと述のように構成されて
いるので、この回路6の入力信号5に対する増幅ゲイン
GがR,/R,で表されることは明らかであるが1本発
明者等の従来の経験によれば。
Since the proportional circuit 6 in the control device 11 is constructed as described above, it is clear that the amplification gain G for the input signal 5 of this circuit 6 is expressed by R, /R. According to the previous experience of those who

この制御装置11Vcは、入力信号5の大きい値に対し
てミラー回転角θが正しく信号5に追従するように上記
ゲインGを設定した場合、信号5の小さい値に対しては
ミラー2が信号5に対応した角−までふれない該ミラー
2の不充分な回転状態が発生し、また、信号5の小さい
値に対して−が正しく信号5vc追従するようにゲイン
Gを前記の場合よりも大きく設定した場合、値の大きい
信号5が階段状に比例回路6に入力された時階段状に経
時変化する角θにオーバシヱートやハンチング等が現れ
て結局−が信号5vC正しく追従しないという状態が発
生して、いずれの場合にも、ミラー2で反射された図示
しCいないレーザビームによる熱加工が適正に行えない
という現象がある。つまり、上述した制御装置11には
、比例回路6のゲインGが固定されていて、入力信号5
の大きさが大幅に変化しても常にオペアンプ出力信号4
Cの大きさを信号5vC正しく対応したミラー回転角か
を得ることができる大きさにするということができない
ので、信号5に対応した角−を得ることのできる該信号
5の値の範囲D(以後、この範囲りを信号5の許容変化
範囲ということがある。)が狭いという問題点がある。
This control device 11Vc is configured such that when the gain G is set so that the mirror rotation angle θ correctly follows the signal 5 for a large value of the input signal 5, the mirror 2 is set to the signal 5 for a small value of the input signal 5. The gain G is set larger than in the above case so that the mirror 2 does not touch the angle - corresponding to - and the mirror 2 is insufficiently rotated, and the - correctly follows the signal 5vc for a small value of the signal 5. In this case, when the signal 5, which has a large value, is input to the proportional circuit 6 in a stepwise manner, overshifting, hunting, etc. appear in the angle θ, which changes stepwise over time, resulting in a situation in which - does not follow the signal 5vC correctly. In either case, there is a phenomenon that thermal processing cannot be performed properly using a laser beam (not shown) reflected by the mirror 2. That is, in the control device 11 described above, the gain G of the proportional circuit 6 is fixed, and the input signal 5
The operational amplifier output signal 4 remains constant even if the magnitude of
Since it is not possible to set the magnitude of C to such a value that the mirror rotation angle corresponding to the signal 5vC can be obtained correctly, the value range D( Hereinafter, this range may be referred to as the permissible change range of the signal 5.) There is a problem that this range is narrow.

本発明の目的は、入力信号5の値が大幅に変化しても、
常にオペアンプ出力信号4Cが、信号5の値に正しく対
応したミラー回転角θが得られる大きさになるようにし
て、信号5の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御
装置を得ることにある。
The purpose of the present invention is to
To obtain an analog servo control device having a wide permissible variation range of the signal 5 by always making the operational amplifier output signal 4C have a size that allows a mirror rotation angle θ that correctly corresponds to the value of the signal 5 to be obtained.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的を達成するため1本発BAによれば、入力信号
とフィードバック信号との代数和を増幅してその結果に
応じた誤差信号を出力する比例回路と、前記フィードバ
ック信号を時間的虻微分して得た微分信号と前記誤差信
号との代数和に比例した駆動信号を出力する演算回路と
、前記駆動信号によって駆動される制御対象の位置を検
出してこの検出結果に応じた前記フィードバック信号を
出力する位置検出部とを備え、前記制御対象の前記位置
を前記入力信号に追従させるアナログサーボ制御装置で
あって、前記比例回路の増幅ゲインを前記入力信号の大
きさに応じて段階的に変更するゲイン変更手段を設けて
アナログサーボ制(資)装置を構成する。
In order to achieve the above object, the one-shot BA includes a proportional circuit that amplifies the algebraic sum of an input signal and a feedback signal and outputs an error signal according to the result, and a proportional circuit that temporally differentiates the feedback signal. an arithmetic circuit that outputs a drive signal proportional to the algebraic sum of the differential signal obtained by the differential signal and the error signal; and an arithmetic circuit that detects the position of the controlled object driven by the drive signal and outputs the feedback signal according to the detection result. an analog servo control device that outputs a position detecting section and causes the position of the controlled object to follow the input signal, the amplification gain of the proportional circuit being changed in stages according to the magnitude of the input signal. An analog servo control (capital) device is constructed by providing a gain changing means for changing the gain.

〔作用〕[Effect]

上記のように構成すると、入力信号の大きさが大幅に変
化しても、ゲイン変更手段によって比例回路の増幅ゲイ
ンを変更して、誤差信号の大きさが、常に、入力信号の
値に正しく対応した制御対象の位置が得られる大きさに
なるようにすることができるので、入力信号の許容変化
範囲りの広いアナログサーボ制御装置が得られることに
なる。
With the above configuration, even if the magnitude of the input signal changes significantly, the amplification gain of the proportional circuit is changed by the gain changing means, so that the magnitude of the error signal always corresponds correctly to the value of the input signal. Since the position of the controlled object can be adjusted to a size that allows the position of the controlled object to be obtained, it is possible to obtain an analog servo control device having a wide allowable change range of the input signal.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の第1実施例13の構成を説明する説明
図で1本図の第3図と異なる所は、帰還抵抗−に並列に
、抵抗孔1と逆並列Km続された都合二個のダイオード
14m、14bとからなる直列回路15が接続されてい
ることで、ここ[、#r4ダイオード141.14bK
は、入力信号5の値としての電圧Viに応じて抵抗R1
の両端電圧の絶対値Eが大きくなってもこの大きい絶対
値Eを有する電圧に対して充分耐えることができる逆耐
電圧が与えられている。そうして、第1図における16
は上記の直列回路15と抵抗R1〜R,とアンプ4とか
らなる。岐述の比例回路6に対応した比例回路である。
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating the configuration of the first embodiment 13 of the present invention, and the difference from FIG. By connecting the series circuit 15 consisting of two diodes 14m and 14b, here [, #r4 diode 141.14bK
is the resistance R1 depending on the voltage Vi as the value of the input signal 5.
Even if the absolute value E of the voltage across the terminal becomes large, a reverse withstand voltage is provided that can sufficiently withstand the voltage having the large absolute value E. Then, 16 in Figure 1
consists of the above-mentioned series circuit 15, resistors R1 to R, and amplifier 4. This is a proportional circuit corresponding to the proportional circuit 6 described above.

第1図では上述のような直列回路15が設けられている
ので、今、ミラー2を正方向に回転させようとしてVi
)oの信号5を比例回路16に入力した場合、電圧Vi
の絶対値IVilが小さくてオペアンプの出力信号4C
が呈する電圧V。の絶対値がダイオ−)?141のえん
層電IIEvlより小さい間は直列回路15が非導通状
態にあって比例回路16の信号5に対するゲインG、が
Rt /Raに等しいG■になっているが、絶対値IV
ilが大きくなって出力電圧voの絶対値が電圧V3以
上になるとダイオード14aが導通状1olKなるので
上記のゲインG1が(1)式で表されるG、、c等しく
なって。
In FIG. 1, since the series circuit 15 as described above is provided, now when trying to rotate the mirror 2 in the forward direction, Vi
)o signal 5 is input to the proportional circuit 16, the voltage Vi
Since the absolute value IVil of is small, the output signal of the operational amplifier is 4C.
The voltage V exhibited by Is the absolute value of ? 141, the series circuit 15 is in a non-conducting state and the gain G for the signal 5 of the proportional circuit 16 is G■ equal to Rt /Ra, but the absolute value IV
When il becomes large and the absolute value of the output voltage vo exceeds the voltage V3, the diode 14a becomes conductive 1olK, so the gain G1 becomes equal to G, , c expressed by equation (1).

この場合、Gil〉GIIであることは明らかである。In this case, it is clear that Gil>GII.

Gtt=(RI R1/′(Rs”RI)l/R%  
  −*−・(1)すなわち、第1図においては、Vi
>Oの信号5を回路16に入力した時、IVNIが小さ
いと信号5が大きいゲインG■で増幅され、  1Vi
lが大きいと信号5が小さいゲインG1冨で増幅されて
、このことは、ミラー2を逆方向に回転させようとして
Vi <0の信号5を回路16に入力した時、  1V
llが小さくて出力電圧voの絶対値IVo+がダイオ
ード14bのえん層電圧V、より小さい間は直列回路1
5が非導通であり、  IVilが大きくなって1v0
1がV。
Gtt=(RI R1/'(Rs"RI)l/R%
-*-・(1) That is, in FIG. 1, Vi
>O input to the circuit 16, if IVNI is small, signal 5 will be amplified with a large gain G
When l is large, signal 5 is amplified by a small gain G1, which means that when signal 5 with Vi < 0 is input to circuit 16 in order to rotate mirror 2 in the opposite direction, 1V
When ll is small and the absolute value IVo+ of the output voltage vo is smaller than the upper layer voltage V of the diode 14b, the series circuit 1
5 is non-conductive, IVil increases and becomes 1v0
1 is V.

以上になるとダイオード14bが導通状態になるので、
Vi<Oの信号5を回路16に人力した場合も同様であ
る。
When the temperature exceeds that level, the diode 14b becomes conductive, so
The same holds true when the signal 5 with Vi<O is input manually to the circuit 16.

゛したがって、アナログサーボ制御装置13においてe
!、IVilが小さくて直列回路15が非導通状aにあ
る時に、信号4Cの値v0が、信号5の値v1に正しく
対応したミラー回転角θが得られる値になるように、比
例回路16のゲインG1.を設定すると、  IVil
が大きくなった時直列回路Isが導通状M4VCなって
比例回路16のゲインG、が前記のG■よりも小さいG
IKなるため、上述した従来の制御装置11におけるよ
うな大きいIVilが大きいゲイン01mで増幅される
ことにもとづくミラー回転角00オーバシエードやハン
チング等が発生することがなくて、  IVilが大き
くなっても回転角0がV4ec正しく追従する信号4C
の値voが得られることになり、結局、制御装置13に
おいては、信号5の値Viが大幅に変化しても。
゛Therefore, in the analog servo control device 13, e
! , IVil is small and the series circuit 15 is in the non-conducting state a, the proportional circuit 16 is adjusted so that the value v0 of the signal 4C becomes a value that allows the mirror rotation angle θ to correctly correspond to the value v1 of the signal 5. Gain G1. If you set IVil
When becomes large, the series circuit Is becomes conductive M4VC, and the gain G of the proportional circuit 16 becomes smaller than the above G
Because of the IK, mirror rotation angle 00 overshading or hunting, which is caused by the large IVil being amplified by the large gain 01m as in the conventional control device 11 described above, does not occur, and even if the IVil becomes large, the rotation can be maintained. Signal 4C that angle 0 follows V4ec correctly
As a result, in the control device 13, even if the value Vi of the signal 5 changes significantly.

常に信号4Cの値V。が、ViVc正しく対応したθが
得られる値にされるので、したがって、制御装置13は
信号5の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御装置
であるということになる。
Always the value V of signal 4C. However, since θ is set to a value that correctly corresponds to ViVc, the control device 13 is an analog servo control device with a wide allowable variation range of the signal 5.

制御装置13においては上述のようイして比例回路16
の増幅ゲインGiが変更されるの受、この場合、直列回
路15がゲインG1を信号5の大きさViに応じて段階
的に変更するゲイン変更手段を構成しているということ
ができて、したがりて、制御装置13のように構成する
と、信号5の大きさViが大幅に変化しても、ゲイン変
更手段15によって比例回路16のゲインG1を変更し
て。
In the control device 13, as described above, the proportional circuit 16
In this case, it can be said that the series circuit 15 constitutes a gain changing means for changing the gain G1 in stages according to the magnitude Vi of the signal 5. Therefore, if the control device 13 is configured, even if the magnitude Vi of the signal 5 changes significantly, the gain G1 of the proportional circuit 16 can be changed by the gain changing means 15.

信号4Cの大きさvoが、常に、Vlに正しく対応した
回転角θが得られる大きさになるようにすることができ
るので、信号5の許容変化範囲りの広い制m装置が得ら
れることになる。
Since the magnitude vo of the signal 4C can always be made large enough to obtain the rotation angle θ that correctly corresponds to Vl, it is possible to obtain a control device with a wide permissible variation range of the signal 5. Become.

第2図は本発明の第2実施例17における比例回路18
の構成図で1本図の上述した比例回路16と異なる所は
、ダイオード191と19bとを逆並列に接続したダイ
オード逆並列回路19と、ダイオード20aと20bと
を逆並列Kg続したダイオード逆並列回路20と、抵抗
R,とからなる直列回路21が帰還抵抗R,c並列に@
続されていることである。そうして、この第2実施例と
してのアナログサーボ制御装置17の比例回路18を除
く部分は、前述したサーボ制闘装fIt13におけると
同様に構成されている。制御装置17においては、比例
回路18が上述のように構成されているので、この場合
、直列回路21と直列回$1!15とで第1図の場合の
直列回路15[対応したゲイン変更手段22が形成され
ていて、この手段2またよって比例回路18のゲインが
入力信号5の大きさVlに応じて大略三段階に変更され
ることが明らかである。したがって、制sa装置17の
場合も。
FIG. 2 shows a proportional circuit 18 in a second embodiment 17 of the present invention.
The difference from the above-mentioned proportional circuit 16 in this diagram is a diode anti-parallel circuit 19 in which diodes 191 and 19b are connected in anti-parallel, and a diode anti-parallel circuit in which diodes 20a and 20b are connected in anti-parallel. A series circuit 21 consisting of a circuit 20 and a resistor R is connected in parallel with feedback resistors R and c.
It has been continued. The parts of the analog servo control device 17 according to the second embodiment except for the proportional circuit 18 are constructed in the same manner as in the servo control device fIt13 described above. In the control device 17, since the proportional circuit 18 is configured as described above, in this case, the series circuit 21 and the series circuit $1!15 are connected to the series circuit 15 in the case of FIG. 22 is formed, and it is clear that by this means 2, the gain of the proportional circuit 18 is changed in approximately three steps depending on the magnitude Vl of the input signal 5. Therefore, also in the case of the sa control device 17.

上記のゲイン変更手段22によって、viが大幅に変化
しても信号4Cの大きさV。を常にViに正しく対応し
たミラー回転角θが得られる大きさ九することができる
ので、この装置17も信号5の許容変化範囲りの広いア
ナログサーボ制御装置であるということになる。
Due to the above gain changing means 22, the magnitude V of the signal 4C remains unchanged even if vi changes significantly. Since it is possible to always obtain a mirror rotation angle θ that correctly corresponds to Vi, this device 17 is also an analog servo control device with a wide allowable variation range of the signal 5.

上述の各実施例におい℃はダイオードを用いたゲイン変
更手段によって比例回路16.18の各ゲインが入力信
号5の大きさVlに応じて段階的に変化するようにした
が1本発明においては、上述のダイオード(かわる回路
開閉器とViを検出してこの検出結果に応じて前記の回
路開閉器を駆動する電圧検出器とを用いてゲイン変更手
段を形成しても差し支えない。
In each of the embodiments described above, the gains of the proportional circuits 16 and 18 are changed in stages according to the magnitude Vl of the input signal 5 by gain changing means using diodes, but in the present invention, The gain changing means may be formed using the above-mentioned diode (an alternative circuit breaker and a voltage detector that detects Vi and drives the circuit breaker according to the detection result).

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

上述したよう[、本発明においては、入力信号とフィー
ドバック信号との代数和を増幅してその結果に応じた誤
差信号を出力する比例回路と、フィードバック信号を時
間的に微分して得た微分信号と誤差信号との代数和に比
例した駆動信号を出力する演算回路と、この駆動信号に
よって駆動される制(2)対象の位置を検出してこの検
出結果に応じた前記のフィードバック信号を出力する位
置検出部とを備え、制御対象の位置を入力信号に追従さ
せるアナログサーボ制御装置であって、比例回路の増幅
ゲインを入力信号の大きさに応じて段階的に変更するゲ
イン変更手段を設けてアナログサーボ制御装置を構成し
た。
As described above, the present invention includes a proportional circuit that amplifies the algebraic sum of an input signal and a feedback signal and outputs an error signal according to the result, and a differential signal obtained by temporally differentiating the feedback signal. and an arithmetic circuit that outputs a drive signal proportional to the algebraic sum of and an error signal, and (2) detects the position of a control object driven by this drive signal and outputs the feedback signal according to the detection result. An analog servo control device comprising a position detection section and making the position of a controlled object follow an input signal, the device comprising a gain changing means for changing the amplification gain of the proportional circuit in stages according to the magnitude of the input signal. An analog servo control device was constructed.

このため、上記のように構成すると、入力信号の大きさ
が大幅に変化しても、ゲイン変更手段によって比例回路
の増幅ゲインを変更して、誤差信号の大きさが、常に、
入力信号の値に正しく対応した制御対象の位置が得られ
る大きさになるようにすることができるので2本発明に
は入力信号の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御
装置が得られる効果がある。
Therefore, with the above configuration, even if the magnitude of the input signal changes significantly, the amplification gain of the proportional circuit is changed by the gain changing means, so that the magnitude of the error signal is always
The present invention has the effect of providing an analog servo control device with a wide permissible change range of input signals because the size of the control object can be adjusted to a position that correctly corresponds to the value of the input signal. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の第1実権例の構成を説明する説明図。 第2図は本発明のlI21!施例における比例回路の構
成図。 第3図は従来のアナログサーボ制御装置の構成を説明す
る説明図である。 3・・・・・・角度検出器(位置検出部)、3ト・・・
・・角度信号(フィードバック信号)、4C・・・・・
・オペアンプ出力信号(誤差信号)、5・・・・・・入
力信号、6.16゜18・・・・・・比例回路、7・・
・・・・演算回路、81・・・・・・微分信号、10m
・・・・・・駆動信号、11.13.17・・・・・・
アナログサーボ制御装置、  12・・・・・・レーザ
ビーム反射機構(制御対象)、15・・・・−・直列回
路(ゲイン変更手段)。 22・・・・・・ゲイン変更手段、0・・・・・・回転
角(位置)。 箋 2
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating the configuration of a first practical example of the present invention. FIG. 2 shows lI21! of the present invention! The block diagram of the proportional circuit in an example. FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating the configuration of a conventional analog servo control device. 3... Angle detector (position detection section), 3...
・・Angle signal (feedback signal), 4C・・・・
- Operational amplifier output signal (error signal), 5... Input signal, 6.16°18... Proportional circuit, 7...
... Arithmetic circuit, 81 ... Differential signal, 10m
...... Drive signal, 11.13.17...
Analog servo control device, 12... Laser beam reflection mechanism (controlled object), 15... Series circuit (gain changing means). 22... Gain changing means, 0... Rotation angle (position). Note 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1)入力信号とフィードバック信号との代数和を増幅し
てその結果に応じた誤差信号を出力する比例回路と、前
記フィードバック信号を時間的に微分して得た微分信号
と前記誤差信号との代数和に比例した駆動信号を出力す
る演算回路と、前記駆動信号によつて駆動される制御対
象の位置を検出してこの検出結果に応じた前記フィード
バック信号を出力する位置検出部とを備え、前記制御対
象の前記位置を前記入力信号に追従させるアナログサー
ボ制御装置であつて、前記比例回路の増幅ゲインを前記
入力信号の大きさに応じて段階的に変更するゲイン変更
手段を設けたことを特徴とするアナログサーボ制御装置
1) A proportional circuit that amplifies the algebraic sum of an input signal and a feedback signal and outputs an error signal according to the result, and an algebra between a differential signal obtained by temporally differentiating the feedback signal and the error signal. an arithmetic circuit that outputs a drive signal proportional to the sum; and a position detection section that detects the position of a controlled object driven by the drive signal and outputs the feedback signal according to the detection result, An analog servo control device for causing the position of a controlled object to follow the input signal, characterized in that it includes gain changing means for changing the amplification gain of the proportional circuit in stages according to the magnitude of the input signal. Analog servo control device.
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