JPH03210607A - アナログサーボ制御装置 - Google Patents
アナログサーボ制御装置Info
- Publication number
- JPH03210607A JPH03210607A JP2005115A JP511590A JPH03210607A JP H03210607 A JPH03210607 A JP H03210607A JP 2005115 A JP2005115 A JP 2005115A JP 511590 A JP511590 A JP 511590A JP H03210607 A JPH03210607 A JP H03210607A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- circuit
- gain
- input signal
- control device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ加工装置におけるレーザビーム反射ミ
ラーの駆動機構に用いてレーザビームの被加工物におけ
る照射位置を加工指令信号が指→した位置に制御するよ
うな、制御量を目標値としての入力信号に追従させるア
ナログサーボ制御装置、待に該制御装置が正常に動作す
る入力信号の許容変化範囲の広い装置に関する。
ラーの駆動機構に用いてレーザビームの被加工物におけ
る照射位置を加工指令信号が指→した位置に制御するよ
うな、制御量を目標値としての入力信号に追従させるア
ナログサーボ制御装置、待に該制御装置が正常に動作す
る入力信号の許容変化範囲の広い装置に関する。
第３図はレーザ加工装置に用いられている従来のアナロ
グサーボ制御装置の構成説明図である。
グサーボ制御装置の構成説明図である。
図において、１は入力される駆動信号ｔＯａの値に応じ
た角度０だけレーザビーム反射用のミラー装置 ２を回転させる駆動４４としてのガルバノスキャナ、３
はミラー２０回転角６を検出してこのθに比例した値を
有する角度信号３ａを出力するようにした角度検出器、
４は反転入力端子４ａＫ抵抗Ｒ４を介して角度＃に対す
る指令信号としての入力信号５が入力されかつ非反転入
力端子４ｂが接地すれたオペアンプで、この場合上記の
角度信号３ｍも抵抗Ｂ、を介して端子４１に入力されて
いる。
た角度０だけレーザビーム反射用のミラー装置 ２を回転させる駆動４４としてのガルバノスキャナ、３
はミラー２０回転角６を検出してこのθに比例した値を
有する角度信号３ａを出力するようにした角度検出器、
４は反転入力端子４ａＫ抵抗Ｒ４を介して角度＃に対す
る指令信号としての入力信号５が入力されかつ非反転入
力端子４ｂが接地すれたオペアンプで、この場合上記の
角度信号３ｍも抵抗Ｂ、を介して端子４１に入力されて
いる。
ここに、角度信号３ｍは入力信号５とは逆の極性を有す
る信号である。Ｒ１はアンプ４の帰還抵抗で、６はアン
プ４と抵抗Ｒ，、Ｒ，、Ｒ，とからなる比例回路、７は
、角度信号３Ｍを時間微分してその結果に比例した微分
信号８鳳を出方する微分回路８と、微分信号８ａとアン
プ４の出力信号４ｃとの代数和を算出してこの結果に比
例した出力信号９ｍを出力すち加算回路９と、該出力信
号９鳳に対して電力増幅を行ってその結果としての前述
した駆動信号１０ａを出力するようにした電力増幅回路
１０とからなる演算回路である。１１は前述したミラー
２とガルバノスキャナ１とを除く図示の各部からなるア
ナログサーボ制（財）装置で、この制御装置１１では、
スキャナ１に信号１０ａが入力されることによってミラ
ー２の回転角θが入力信号５に追従するように、上述の
各部が構成されている。そうして、この場合、微分回路
８を工。
る信号である。Ｒ１はアンプ４の帰還抵抗で、６はアン
プ４と抵抗Ｒ，、Ｒ，、Ｒ，とからなる比例回路、７は
、角度信号３Ｍを時間微分してその結果に比例した微分
信号８鳳を出方する微分回路８と、微分信号８ａとアン
プ４の出力信号４ｃとの代数和を算出してこの結果に比
例した出力信号９ｍを出力すち加算回路９と、該出力信
号９鳳に対して電力増幅を行ってその結果としての前述
した駆動信号１０ａを出力するようにした電力増幅回路
１０とからなる演算回路である。１１は前述したミラー
２とガルバノスキャナ１とを除く図示の各部からなるア
ナログサーボ制（財）装置で、この制御装置１１では、
スキャナ１に信号１０ａが入力されることによってミラ
ー２の回転角θが入力信号５に追従するように、上述の
各部が構成されている。そうして、この場合、微分回路
８を工。
制御装置１１の制御対象としてのガルバノスキャナ１と
ミラー２とからなるレーザビーム反射機構１２の動作遅
れを補償して該機構１２の連応性の向上を図るために設
けられ℃いる。
ミラー２とからなるレーザビーム反射機構１２の動作遅
れを補償して該機構１２の連応性の向上を図るために設
けられ℃いる。
制−装置１１では比例回路６がと述のように構成されて
いるので、この回路６の入力信号５に対する増幅ゲイン
ＧがＲ，／Ｒ，で表されることは明らかであるが１本発
明者等の従来の経験によれば。
いるので、この回路６の入力信号５に対する増幅ゲイン
ＧがＲ，／Ｒ，で表されることは明らかであるが１本発
明者等の従来の経験によれば。
この制御装置１１Ｖｃは、入力信号５の大きい値に対し
てミラー回転角θが正しく信号５に追従するように上記
ゲインＧを設定した場合、信号５の小さい値に対しては
ミラー２が信号５に対応した角−までふれない該ミラー
２の不充分な回転状態が発生し、また、信号５の小さい
値に対して−が正しく信号５ｖｃ追従するようにゲイン
Ｇを前記の場合よりも大きく設定した場合、値の大きい
信号５が階段状に比例回路６に入力された時階段状に経
時変化する角θにオーバシヱートやハンチング等が現れ
て結局−が信号５ｖＣ正しく追従しないという状態が発
生して、いずれの場合にも、ミラー２で反射された図示
しＣいないレーザビームによる熱加工が適正に行えない
という現象がある。つまり、上述した制御装置１１には
、比例回路６のゲインＧが固定されていて、入力信号５
の大きさが大幅に変化しても常にオペアンプ出力信号４
Ｃの大きさを信号５ｖＣ正しく対応したミラー回転角か
を得ることができる大きさにするということができない
ので、信号５に対応した角−を得ることのできる該信号
５の値の範囲Ｄ（以後、この範囲りを信号５の許容変化
範囲ということがある。）が狭いという問題点がある。
てミラー回転角θが正しく信号５に追従するように上記
ゲインＧを設定した場合、信号５の小さい値に対しては
ミラー２が信号５に対応した角−までふれない該ミラー
２の不充分な回転状態が発生し、また、信号５の小さい
値に対して−が正しく信号５ｖｃ追従するようにゲイン
Ｇを前記の場合よりも大きく設定した場合、値の大きい
信号５が階段状に比例回路６に入力された時階段状に経
時変化する角θにオーバシヱートやハンチング等が現れ
て結局−が信号５ｖＣ正しく追従しないという状態が発
生して、いずれの場合にも、ミラー２で反射された図示
しＣいないレーザビームによる熱加工が適正に行えない
という現象がある。つまり、上述した制御装置１１には
、比例回路６のゲインＧが固定されていて、入力信号５
の大きさが大幅に変化しても常にオペアンプ出力信号４
Ｃの大きさを信号５ｖＣ正しく対応したミラー回転角か
を得ることができる大きさにするということができない
ので、信号５に対応した角−を得ることのできる該信号
５の値の範囲Ｄ（以後、この範囲りを信号５の許容変化
範囲ということがある。）が狭いという問題点がある。
本発明の目的は、入力信号５の値が大幅に変化しても、
常にオペアンプ出力信号４Ｃが、信号５の値に正しく対
応したミラー回転角θが得られる大きさになるようにし
て、信号５の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御
装置を得ることにある。
常にオペアンプ出力信号４Ｃが、信号５の値に正しく対
応したミラー回転角θが得られる大きさになるようにし
て、信号５の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御
装置を得ることにある。
上記目的を達成するため１本発ＢＡによれば、入力信号
とフィードバック信号との代数和を増幅してその結果に
応じた誤差信号を出力する比例回路と、前記フィードバ
ック信号を時間的虻微分して得た微分信号と前記誤差信
号との代数和に比例した駆動信号を出力する演算回路と
、前記駆動信号によって駆動される制御対象の位置を検
出してこの検出結果に応じた前記フィードバック信号を
出力する位置検出部とを備え、前記制御対象の前記位置
を前記入力信号に追従させるアナログサーボ制御装置で
あって、前記比例回路の増幅ゲインを前記入力信号の大
きさに応じて段階的に変更するゲイン変更手段を設けて
アナログサーボ制（資）装置を構成する。
とフィードバック信号との代数和を増幅してその結果に
応じた誤差信号を出力する比例回路と、前記フィードバ
ック信号を時間的虻微分して得た微分信号と前記誤差信
号との代数和に比例した駆動信号を出力する演算回路と
、前記駆動信号によって駆動される制御対象の位置を検
出してこの検出結果に応じた前記フィードバック信号を
出力する位置検出部とを備え、前記制御対象の前記位置
を前記入力信号に追従させるアナログサーボ制御装置で
あって、前記比例回路の増幅ゲインを前記入力信号の大
きさに応じて段階的に変更するゲイン変更手段を設けて
アナログサーボ制（資）装置を構成する。
上記のように構成すると、入力信号の大きさが大幅に変
化しても、ゲイン変更手段によって比例回路の増幅ゲイ
ンを変更して、誤差信号の大きさが、常に、入力信号の
値に正しく対応した制御対象の位置が得られる大きさに
なるようにすることができるので、入力信号の許容変化
範囲りの広いアナログサーボ制御装置が得られることに
なる。
化しても、ゲイン変更手段によって比例回路の増幅ゲイ
ンを変更して、誤差信号の大きさが、常に、入力信号の
値に正しく対応した制御対象の位置が得られる大きさに
なるようにすることができるので、入力信号の許容変化
範囲りの広いアナログサーボ制御装置が得られることに
なる。
第１図は本発明の第１実施例１３の構成を説明する説明
図で１本図の第３図と異なる所は、帰還抵抗−に並列に
、抵抗孔１と逆並列Ｋｍ続された都合二個のダイオード
１４ｍ、１４ｂとからなる直列回路１５が接続されてい
ることで、ここ［、＃ｒ４ダイオード１４１．１４ｂＫ
は、入力信号５の値としての電圧Ｖｉに応じて抵抗Ｒ１
の両端電圧の絶対値Ｅが大きくなってもこの大きい絶対
値Ｅを有する電圧に対して充分耐えることができる逆耐
電圧が与えられている。そうして、第１図における１６
は上記の直列回路１５と抵抗Ｒ１〜Ｒ，とアンプ４とか
らなる。岐述の比例回路６に対応した比例回路である。
図で１本図の第３図と異なる所は、帰還抵抗−に並列に
、抵抗孔１と逆並列Ｋｍ続された都合二個のダイオード
１４ｍ、１４ｂとからなる直列回路１５が接続されてい
ることで、ここ［、＃ｒ４ダイオード１４１．１４ｂＫ
は、入力信号５の値としての電圧Ｖｉに応じて抵抗Ｒ１
の両端電圧の絶対値Ｅが大きくなってもこの大きい絶対
値Ｅを有する電圧に対して充分耐えることができる逆耐
電圧が与えられている。そうして、第１図における１６
は上記の直列回路１５と抵抗Ｒ１〜Ｒ，とアンプ４とか
らなる。岐述の比例回路６に対応した比例回路である。
第１図では上述のような直列回路１５が設けられている
ので、今、ミラー２を正方向に回転させようとしてＶｉ
）ｏの信号５を比例回路１６に入力した場合、電圧Ｖｉ
の絶対値ＩＶｉｌが小さくてオペアンプの出力信号４Ｃ
が呈する電圧Ｖ。の絶対値がダイオ−）？１４１のえん
層電ＩＩＥｖｌより小さい間は直列回路１５が非導通状
態にあって比例回路１６の信号５に対するゲインＧ、が
Ｒｔ ／Ｒａに等しいＧ■になっているが、絶対値ＩＶ
ｉｌが大きくなって出力電圧ｖｏの絶対値が電圧Ｖ３以
上になるとダイオード１４ａが導通状１ｏｌＫなるので
上記のゲインＧ１が（１）式で表されるＧ、、ｃ等しく
なって。
ので、今、ミラー２を正方向に回転させようとしてＶｉ
）ｏの信号５を比例回路１６に入力した場合、電圧Ｖｉ
の絶対値ＩＶｉｌが小さくてオペアンプの出力信号４Ｃ
が呈する電圧Ｖ。の絶対値がダイオ−）？１４１のえん
層電ＩＩＥｖｌより小さい間は直列回路１５が非導通状
態にあって比例回路１６の信号５に対するゲインＧ、が
Ｒｔ ／Ｒａに等しいＧ■になっているが、絶対値ＩＶ
ｉｌが大きくなって出力電圧ｖｏの絶対値が電圧Ｖ３以
上になるとダイオード１４ａが導通状１ｏｌＫなるので
上記のゲインＧ１が（１）式で表されるＧ、、ｃ等しく
なって。
この場合、Ｇｉｌ〉ＧＩＩであることは明らかである。
Ｇｔｔ＝（ＲＩ Ｒ１／′（Ｒｓ”ＲＩ）ｌ／Ｒ％
−＊−・（１）すなわち、第１図においては、Ｖｉ
＞Ｏの信号５を回路１６に入力した時、ＩＶＮＩが小さ
いと信号５が大きいゲインＧ■で増幅され、 １Ｖｉ
ｌが大きいと信号５が小さいゲインＧ１冨で増幅されて
、このことは、ミラー２を逆方向に回転させようとして
Ｖｉ ＜０の信号５を回路１６に入力した時、 １Ｖ
ｌｌが小さくて出力電圧ｖｏの絶対値ＩＶｏ＋がダイオ
ード１４ｂのえん層電圧Ｖ、より小さい間は直列回路１
５が非導通であり、 ＩＶｉｌが大きくなって１ｖ０
１がＶ。
−＊−・（１）すなわち、第１図においては、Ｖｉ
＞Ｏの信号５を回路１６に入力した時、ＩＶＮＩが小さ
いと信号５が大きいゲインＧ■で増幅され、 １Ｖｉ
ｌが大きいと信号５が小さいゲインＧ１冨で増幅されて
、このことは、ミラー２を逆方向に回転させようとして
Ｖｉ ＜０の信号５を回路１６に入力した時、 １Ｖ
ｌｌが小さくて出力電圧ｖｏの絶対値ＩＶｏ＋がダイオ
ード１４ｂのえん層電圧Ｖ、より小さい間は直列回路１
５が非導通であり、 ＩＶｉｌが大きくなって１ｖ０
１がＶ。
以上になるとダイオード１４ｂが導通状態になるので、
Ｖｉ＜Ｏの信号５を回路１６に人力した場合も同様であ
る。
Ｖｉ＜Ｏの信号５を回路１６に人力した場合も同様であ
る。
゛したがって、アナログサーボ制御装置１３においてｅ
！、ＩＶｉｌが小さくて直列回路１５が非導通状ａにあ
る時に、信号４Ｃの値ｖ０が、信号５の値ｖ１に正しく
対応したミラー回転角θが得られる値になるように、比
例回路１６のゲインＧ１．を設定すると、 ＩＶｉｌ
が大きくなった時直列回路Ｉｓが導通状Ｍ４ＶＣなって
比例回路１６のゲインＧ、が前記のＧ■よりも小さいＧ
ＩＫなるため、上述した従来の制御装置１１におけるよ
うな大きいＩＶｉｌが大きいゲイン０１ｍで増幅される
ことにもとづくミラー回転角００オーバシエードやハン
チング等が発生することがなくて、 ＩＶｉｌが大き
くなっても回転角０がＶ４ｅｃ正しく追従する信号４Ｃ
の値ｖｏが得られることになり、結局、制御装置１３に
おいては、信号５の値Ｖｉが大幅に変化しても。
！、ＩＶｉｌが小さくて直列回路１５が非導通状ａにあ
る時に、信号４Ｃの値ｖ０が、信号５の値ｖ１に正しく
対応したミラー回転角θが得られる値になるように、比
例回路１６のゲインＧ１．を設定すると、 ＩＶｉｌ
が大きくなった時直列回路Ｉｓが導通状Ｍ４ＶＣなって
比例回路１６のゲインＧ、が前記のＧ■よりも小さいＧ
ＩＫなるため、上述した従来の制御装置１１におけるよ
うな大きいＩＶｉｌが大きいゲイン０１ｍで増幅される
ことにもとづくミラー回転角００オーバシエードやハン
チング等が発生することがなくて、 ＩＶｉｌが大き
くなっても回転角０がＶ４ｅｃ正しく追従する信号４Ｃ
の値ｖｏが得られることになり、結局、制御装置１３に
おいては、信号５の値Ｖｉが大幅に変化しても。
常に信号４Ｃの値Ｖ。が、ＶｉＶｃ正しく対応したθが
得られる値にされるので、したがって、制御装置１３は
信号５の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御装置
であるということになる。
得られる値にされるので、したがって、制御装置１３は
信号５の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御装置
であるということになる。
制御装置１３においては上述のようイして比例回路１６
の増幅ゲインＧｉが変更されるの受、この場合、直列回
路１５がゲインＧ１を信号５の大きさＶｉに応じて段階
的に変更するゲイン変更手段を構成しているということ
ができて、したがりて、制御装置１３のように構成する
と、信号５の大きさＶｉが大幅に変化しても、ゲイン変
更手段１５によって比例回路１６のゲインＧ１を変更し
て。
の増幅ゲインＧｉが変更されるの受、この場合、直列回
路１５がゲインＧ１を信号５の大きさＶｉに応じて段階
的に変更するゲイン変更手段を構成しているということ
ができて、したがりて、制御装置１３のように構成する
と、信号５の大きさＶｉが大幅に変化しても、ゲイン変
更手段１５によって比例回路１６のゲインＧ１を変更し
て。
信号４Ｃの大きさｖｏが、常に、Ｖｌに正しく対応した
回転角θが得られる大きさになるようにすることができ
るので、信号５の許容変化範囲りの広い制ｍ装置が得ら
れることになる。
回転角θが得られる大きさになるようにすることができ
るので、信号５の許容変化範囲りの広い制ｍ装置が得ら
れることになる。
第２図は本発明の第２実施例１７における比例回路１８
の構成図で１本図の上述した比例回路１６と異なる所は
、ダイオード１９１と１９ｂとを逆並列に接続したダイ
オード逆並列回路１９と、ダイオード２０ａと２０ｂと
を逆並列Ｋｇ続したダイオード逆並列回路２０と、抵抗
Ｒ，とからなる直列回路２１が帰還抵抗Ｒ，ｃ並列に＠
続されていることである。そうして、この第２実施例と
してのアナログサーボ制御装置１７の比例回路１８を除
く部分は、前述したサーボ制闘装ｆＩｔ１３におけると
同様に構成されている。制御装置１７においては、比例
回路１８が上述のように構成されているので、この場合
、直列回路２１と直列回＄１！１５とで第１図の場合の
直列回路１５［対応したゲイン変更手段２２が形成され
ていて、この手段２またよって比例回路１８のゲインが
入力信号５の大きさＶｌに応じて大略三段階に変更され
ることが明らかである。したがって、制ｓａ装置１７の
場合も。
の構成図で１本図の上述した比例回路１６と異なる所は
、ダイオード１９１と１９ｂとを逆並列に接続したダイ
オード逆並列回路１９と、ダイオード２０ａと２０ｂと
を逆並列Ｋｇ続したダイオード逆並列回路２０と、抵抗
Ｒ，とからなる直列回路２１が帰還抵抗Ｒ，ｃ並列に＠
続されていることである。そうして、この第２実施例と
してのアナログサーボ制御装置１７の比例回路１８を除
く部分は、前述したサーボ制闘装ｆＩｔ１３におけると
同様に構成されている。制御装置１７においては、比例
回路１８が上述のように構成されているので、この場合
、直列回路２１と直列回＄１！１５とで第１図の場合の
直列回路１５［対応したゲイン変更手段２２が形成され
ていて、この手段２またよって比例回路１８のゲインが
入力信号５の大きさＶｌに応じて大略三段階に変更され
ることが明らかである。したがって、制ｓａ装置１７の
場合も。
上記のゲイン変更手段２２によって、ｖｉが大幅に変化
しても信号４Ｃの大きさＶ。を常にＶｉに正しく対応し
たミラー回転角θが得られる大きさ九することができる
ので、この装置１７も信号５の許容変化範囲りの広いア
ナログサーボ制御装置であるということになる。
しても信号４Ｃの大きさＶ。を常にＶｉに正しく対応し
たミラー回転角θが得られる大きさ九することができる
ので、この装置１７も信号５の許容変化範囲りの広いア
ナログサーボ制御装置であるということになる。
上述の各実施例におい℃はダイオードを用いたゲイン変
更手段によって比例回路１６．１８の各ゲインが入力信
号５の大きさＶｌに応じて段階的に変化するようにした
が１本発明においては、上述のダイオード（かわる回路
開閉器とＶｉを検出してこの検出結果に応じて前記の回
路開閉器を駆動する電圧検出器とを用いてゲイン変更手
段を形成しても差し支えない。
更手段によって比例回路１６．１８の各ゲインが入力信
号５の大きさＶｌに応じて段階的に変化するようにした
が１本発明においては、上述のダイオード（かわる回路
開閉器とＶｉを検出してこの検出結果に応じて前記の回
路開閉器を駆動する電圧検出器とを用いてゲイン変更手
段を形成しても差し支えない。
上述したよう［、本発明においては、入力信号とフィー
ドバック信号との代数和を増幅してその結果に応じた誤
差信号を出力する比例回路と、フィードバック信号を時
間的に微分して得た微分信号と誤差信号との代数和に比
例した駆動信号を出力する演算回路と、この駆動信号に
よって駆動される制（２）対象の位置を検出してこの検
出結果に応じた前記のフィードバック信号を出力する位
置検出部とを備え、制御対象の位置を入力信号に追従さ
せるアナログサーボ制御装置であって、比例回路の増幅
ゲインを入力信号の大きさに応じて段階的に変更するゲ
イン変更手段を設けてアナログサーボ制御装置を構成し
た。
ドバック信号との代数和を増幅してその結果に応じた誤
差信号を出力する比例回路と、フィードバック信号を時
間的に微分して得た微分信号と誤差信号との代数和に比
例した駆動信号を出力する演算回路と、この駆動信号に
よって駆動される制（２）対象の位置を検出してこの検
出結果に応じた前記のフィードバック信号を出力する位
置検出部とを備え、制御対象の位置を入力信号に追従さ
せるアナログサーボ制御装置であって、比例回路の増幅
ゲインを入力信号の大きさに応じて段階的に変更するゲ
イン変更手段を設けてアナログサーボ制御装置を構成し
た。
このため、上記のように構成すると、入力信号の大きさ
が大幅に変化しても、ゲイン変更手段によって比例回路
の増幅ゲインを変更して、誤差信号の大きさが、常に、
入力信号の値に正しく対応した制御対象の位置が得られ
る大きさになるようにすることができるので２本発明に
は入力信号の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御
装置が得られる効果がある。
が大幅に変化しても、ゲイン変更手段によって比例回路
の増幅ゲインを変更して、誤差信号の大きさが、常に、
入力信号の値に正しく対応した制御対象の位置が得られ
る大きさになるようにすることができるので２本発明に
は入力信号の許容変化範囲りの広いアナログサーボ制御
装置が得られる効果がある。
第１図は本発明の第１実権例の構成を説明する説明図。
第２図は本発明のｌＩ２１！施例における比例回路の構
成図。 第３図は従来のアナログサーボ制御装置の構成を説明す
る説明図である。 ３・・・・・・角度検出器（位置検出部）、３ト・・・
・・角度信号（フィードバック信号）、４Ｃ・・・・・
・オペアンプ出力信号（誤差信号）、５・・・・・・入
力信号、６．１６゜１８・・・・・・比例回路、７・・
・・・・演算回路、８１・・・・・・微分信号、１０ｍ
・・・・・・駆動信号、１１．１３．１７・・・・・・
アナログサーボ制御装置、 １２・・・・・・レーザ
ビーム反射機構（制御対象）、１５・・・・−・直列回
路（ゲイン変更手段）。 ２２・・・・・・ゲイン変更手段、０・・・・・・回転
角（位置）。 箋 ２
成図。 第３図は従来のアナログサーボ制御装置の構成を説明す
る説明図である。 ３・・・・・・角度検出器（位置検出部）、３ト・・・
・・角度信号（フィードバック信号）、４Ｃ・・・・・
・オペアンプ出力信号（誤差信号）、５・・・・・・入
力信号、６．１６゜１８・・・・・・比例回路、７・・
・・・・演算回路、８１・・・・・・微分信号、１０ｍ
・・・・・・駆動信号、１１．１３．１７・・・・・・
アナログサーボ制御装置、 １２・・・・・・レーザ
ビーム反射機構（制御対象）、１５・・・・−・直列回
路（ゲイン変更手段）。 ２２・・・・・・ゲイン変更手段、０・・・・・・回転
角（位置）。 箋 ２
Claims (1)
- １）入力信号とフィードバック信号との代数和を増幅し
てその結果に応じた誤差信号を出力する比例回路と、前
記フィードバック信号を時間的に微分して得た微分信号
と前記誤差信号との代数和に比例した駆動信号を出力す
る演算回路と、前記駆動信号によつて駆動される制御対
象の位置を検出してこの検出結果に応じた前記フィード
バック信号を出力する位置検出部とを備え、前記制御対
象の前記位置を前記入力信号に追従させるアナログサー
ボ制御装置であつて、前記比例回路の増幅ゲインを前記
入力信号の大きさに応じて段階的に変更するゲイン変更
手段を設けたことを特徴とするアナログサーボ制御装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005115A JPH03210607A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | アナログサーボ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005115A JPH03210607A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | アナログサーボ制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03210607A true JPH03210607A (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=11602338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005115A Pending JPH03210607A (ja) | 1990-01-13 | 1990-01-13 | アナログサーボ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03210607A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993010489A1 (fr) * | 1991-11-12 | 1993-05-27 | Fanuc Ltd | Procede pour commander des servomoteurs |
| JP2003094192A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-02 | Sunx Ltd | レーザ加工装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60256816A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-18 | Komatsu Ltd | サ−ボ制御方法 |
| JPH01137302A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-05-30 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受の制御装置 |
-
1990
- 1990-01-13 JP JP2005115A patent/JPH03210607A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60256816A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-18 | Komatsu Ltd | サ−ボ制御方法 |
| JPH01137302A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-05-30 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受の制御装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1993010489A1 (fr) * | 1991-11-12 | 1993-05-27 | Fanuc Ltd | Procede pour commander des servomoteurs |
| US5374882A (en) * | 1991-11-12 | 1994-12-20 | Fanuc Ltd. | Method of controlling servomotor |
| JP2003094192A (ja) * | 2001-09-25 | 2003-04-02 | Sunx Ltd | レーザ加工装置 |
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