JPH03210716A - 電気的開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は、電気的開閉装置に関する。

（従来の技術） 従来から、各種機器の電気的なオン・オフを行う電気的
開閉装置としては、例えば電磁的に接点を駆動して電源
のオン・オフを行う機械式リレ、あるいはＳＳＲ等半導
体素子により電源のオン・オフを行う無接点リレーが広
く用いられている。

ところで、一般に半導体デバイスの製造工程においては
、半導体ウェハ上に多数形成された半導体デバイスの電
気的な特性を測定し、良品が否かを検査する工程がある
。このような検査工程では、従゛来からプローバーおよ
びテスタが用いられている。すなわち、プローバーは、
Ｘ−Ｙ−Ｚ方向ｉ、：移動可能に構成されたウェハ載置
台上に半導体ウェハを保持し、このウェハ載置台を駆動
して半導体ウェハに形成された半導体チップの電極パッ
ドにプローブカードのプローブ針を次々と接触させる。

そして、テスタにより、プローブ針を介して半導体チッ
プに所定の測定信号を供給し、半導体チップからの出力
を測定することにより、半導体ウェハ上に多数形成され
た各半導体デバイスの電気的な特性を測定し、検査を行
う。

このような検査装置の各電気機器の電気的なオン・オフ
にも従来から機械式リレー　あるいは無接点リレー等が
用いられている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、例えば上述したような半導体デバイスの
検査工程では、近年微少電流例えば、ピコアンペア−フ
ェムトアンペアのオーダの微少電流を測定することが要
求される場合があり、次のような問題が発生している。

すなわち、例えばプローバーの各電気機器、例えばプロ
ーバーの照明装置の電気的なオン・オフに、機械式リレ
ーを用いた場合、機械的な接点のオン・オフに伴ってノ
イズか発生し、微少電流測定の妨げになったり、他の制
御系の誤動作の原因になったりする。

一方、例えばＳＳＲ等の無接点リレーを用いた場合、ゼ
ロクロス機能等により電源オン・オフ時のノイズの発生
は防止することかできるか、半導体素子を用いているた
め、電源オフ時に微少な漏れ電流が生じ、微少電流測定
時にはこの漏れ電流かノイズとなり、精度良い測定を行
えないという問題がある。このような無接点リレーを用
いた場合の漏れ電流の問題は、特に、プローバーの照明
装置（半導体ウェハの測定位置の真上に設けられている
）の電気的なオン・オフを行う場合に大きな問題となる
。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、従来に較べてノイズの発生を低減することができ、半
導体検査工程等における微少電流の測定に対応すること
のできる電気的開閉装置を提供しようとするものである
。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） すなわち本発明の電気的開閉装置は、半導体素子により
電源のオン・オフを行う無接点リレーと、この無接点リ
レーに直列に接続され、電磁的に接点を駆動して電源の
オン・オフを行う機械式リレーと、電源オン時には、ま
ず前記機械式リレーをオンとした後前記無接点リレーを
オンとし、電源オフ時には、まず前記無接点リレーをオ
フにした後前記機械式リレーをオフとする制御手段とを
具備したことを特徴とする。

（作　用） 本発明の電気的開閉装置では、半導体素子により電源の
オン・オフを行う無接点リレー、例えばＳＳＲと、この
無接点リレーに直列に接続され、電磁的に接点を駆動し
て電源のオン・オフを行う機械式リレーとを備えている
。そして、制御手段により、電源オン時には、まず機械
式リレーをオンとした後無接点リレーをオンとし、電源
オフ時には、まず無接点リレーをオフとした後機械式リ
レーをオフとする。

したかって、機械式リレーは、常に無接点リレーがオフ
とされた状態でオン・オフされるので、機械式接点のオ
ン・オフに伴なうノイズの発生を防止することができる
。また、電源オフ時は、無接点リレーとともに、機械式
リレーの機械式接点によって物理的に電気回路を遮断す
るので、微少な漏れ電流が発生することを防止すること
ができ、漏れ電流に起因するノイズの発生を防止するこ
とができる。

（実施例） 以下、本発明の電気的開閉装置をプローバーの照明装置
の電気的制御に利用した実施例を図面を参照して説明す
る。

第１図に示すように、電気的開閉装置１には、半導体素
子により電源のオン・オフを行う無接点リレー、例えば
５ＳＲ２と、電磁的に接点を駆動して電源のオン・オフ
を行う機械式リレー３と、これらのＳ　ＳＲ２および機
械式リレー３を制御するための制御部４とが設けられて
いる。

上記電気的開閉装置１は、プローバーの照明装置５と交
流電源との間に介挿されている。この照明装置５は、半
導体ウェハ６を保持してｘ−ｙ−２方向に駆動し、半導
体ウエノ＼６に形成された半導体チップの電極パッドに
プローブカード７のプローブ針８を接触させるウエノ１
載置台９の上方に設けられており、半導体ウエノ＼６と
プローブ針８とを目視して位置合せ等を行う際に用いる
ものである。

第２図に示すように、上記電気的開閉装置１の機械式リ
レー３は、照明装置５に供給される単相の交流電源を、
２つの接点により、両側（ホット側とコールド側双方）
で開閉し、電源のオン・オフを行うよう構成されている
。また、５ＳＲ２は、上記機械式リレー３のホット側で
電源のオン・オフを行うよう構成されている。また、上
記制御部４は、図示しないＣＰＵからの点灯・消灯の指
令信号により、第３図に示す如く機械式リレー３および
Ｓ　ＳＲ２のオン・オフを制御し、照明装置５の点灯お
よび消灯制御を行う。

すなわち、時刻ｔ１において、ｃＰＵがら制御部４に照
明装置５を点灯させる旨の指令信号が入力されると、制
御部４は、まず、機械式リレー３をオンとする。そして
、この後所定の時間遅れΔｔをもって、Ｓ　ＳＲ２をオ
ンとし、照明装置５を点灯させる。

一方、時刻ｔ２において、ｃＰＵから制御部４に照明装
置５を消灯させる旨の指令信号が入力されると、制御部
４は、まず、５ＳＲ２をオフとする。

そして、この後所定の時間遅れΔｔをもって、機械式リ
レー３をオフとし、照明装置５を消灯させる。

したがって、機械式リレー３は、常にＳ　ＳＲ２がオフ
とされた状態でオン・オフされ、非通電状態で機械式接
点の開閉を行うので、機械式接点のオン・オフに伴なう
ノイズの発生を防止することができる。

また、電源オフ時（照明装置５の消灯時）は、５ＳＲ２
とともに、機械式リレー３の機械式接点によって物理的
に電気回路を遮断するので、微少な漏れ電流が発生する
ことを防止することができ、漏れ電流に起因するノイズ
の発生を防止することができる。したがって、半導体ウ
ェハ６に形成された半導体チップの電極パッドにプロー
ブカード７のプローブ針８を接触させ、このプローブ針
８を介して図示しないテスタにより半導体チップに流れ
る微少電流を測定して電気的特性の検査を行うような場
合でも、精度良く検査を行うことができる。

なお、上記実施例では、本発明をプローバーの照明装置
５の電気的制御に利用した例について説明したが、本発
明はかかる実施例に限定されるものではなく、プローバ
ーの他の部位の電気的制御に利用しても良い。また、プ
ローバーに限らず、機械式接点のオン・オフに伴なうノ
イズ、半導体素子を用いた無接点リレーの漏れ電流に伴
なうノイズ等が問題となる装置であれば、あらゆる装置
に適用することができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の電気的開閉装置によれば
、従来に較べてノイズの発生を低減することかでき、半
導体検査工程等における微少電流の測定に対応すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の電気的開閉装置の構成を示
す図、第２図は第１図に示す電気的開閉装置の回路構成
の例を示す図、第３図は第１図に示す電気的開閉装置の
動作を説明するための図である。 １・・・・・・電気的開閉装置、２・・・・・・無接点
リレー（ＳＳＲ）　、３・・・・・・機械式リレー　４
・・・・・・制御部、５・・・・・・プローバーの照明
装置、６・・・・・・半導体ウェハ、７・・・・・・プ
ローブカード、８・・・・・・プローブ針、９・・・・
・・ウェハ載置台。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体素子により電源のオン・オフを行う無接点
   リレーと、 この無接点リレーに直列に接続され、電磁的に接点を駆
   動して電源のオン・オフを行う機械式リレーと、 電源オン時には、まず前記機械式リレーをオンとした後
   前記無接点リレーをオンとし、電源オフ時には、まず前
   記無接点リレーをオフとした後前記機械式リレーをオフ
   にする制御手段とを具備したことを特徴とする電気的開
   閉装置。