JPH03213142A - 粉粒体の精製方法 - Google Patents

粉粒体の精製方法

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JPH03213142A
JPH03213142A JP2007919A JP791990A JPH03213142A JP H03213142 A JPH03213142 A JP H03213142A JP 2007919 A JP2007919 A JP 2007919A JP 791990 A JP791990 A JP 791990A JP H03213142 A JPH03213142 A JP H03213142A
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acid treatment
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Hiromichi Kobayashi
廣道 小林
Keiji Matsuhiro
啓治 松廣
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は粉粒体の精製方法に関し、−層詳細には不要な
混在物を除去し、しかも形態、寸法の整った無機物、セ
ラミックまたは非酸化物からなる粉粒体を容易且つ確実
に得ることが可能な粉粒体の精製方法に関する。
「従来の技術] 一般に、例えば、セラミックを製造するための原料は、
原鉱石を粉砕することによって得られる。その際、高純
度化並びに品質の安定化を図るべく、粒度、化学成分等
の調整を必要とする。このために粉砕された状態の原料
は精製工程に付され、所定の規格に適合した粉粒体とし
て市販に供される。
然しながら、前記のように精製が行われた市販品として
の粉粒体は、その用途にてらして鑑みるとき、未だ不要
な混在物が包含され、あるいは、粒度が所望の要件に適
合しない場合が多い。そして、この要件に適合しないま
まで当該粉粒体を母材又は強化材として用い、セラミッ
ク、焼結体を得ようとする場合、不純物量、大きさの不
揃い等により所望の特性、例えば、高温高強度を有する
セラミック焼結体を得ることが困難となる。
[発明が解決しようとする課題] 本発明は前記の不都合を克服するためになされたもので
あって、特にセラミックを得るための粉状体または粉粒
体の原料から不要な混在物を除去し、併せて形態、ある
いは寸法が整い、従って、これらの粉粒体を用いること
により、高温で強度が大なるセラミック焼結体を得るた
めの粉粒体の精製方法を提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 前記の目的を達成するために、本発明は、原材料として
のセラミックの粉粒体を分級処理する第1の工程と、 前記分級処理された粉粒体を加熱処理する第2の工程と
、 前記加熱処理され、乾燥された粉粒体を酸処理を行うこ
とにより不要な混在物を除去する第3の工程と、 前記不要な混在物を除去した後の粉粒体に対し水洗処理
を行う第4の工程と、 前記水洗処理された粉粒体を乾燥させるための第5の工
程と、 からなることを特徴とする。
[発明の具体的構成1 セラミックの原料である粉状体または粒状体(球状、板
状、針状等の形状を含む)を溶媒中に分散させて懸濁液
を得、これを分級処理する。
このようにして分級された後の原料を所定のメツシュを
有する篩にかけて所望の寸法または形態の粉粒体を得る
次に、形態または寸法が整った原料は酸処理工程に付さ
れる。例えば、遊離炭素、二酸化炭素あるいは一酸化炭
素として揮散させ除去するためであり、また、金属不純
物を酸化させて酸化物とするものである。次に、必要に
応じて原料となる粉粒体には酸処理が施される。想起さ
れる不純物に応じて、例えば、硫酸処理、塩酸処理、あ
るいはこれらの混酸による処理も可能である。これによ
って金属不純物や金属不純物を酸処理することにより生
成した酸化物が除去される。例えば、A l z O3
を除去するためには硫酸処理が好適であり、また、場合
によって塩酸処理とすることも可能である。さらに硫酸
処理、塩酸処理を同時若しくは経時的に行うことも可能
である。最終製品として一定の寸法、形態を保有し、且
つ焼成後に所望の特性が得られればよいからである。
次に、水洗上・程を必要に応じて複数回繰り返して行っ
た後、乾燥させて所望の形態および/または寸法を有す
る精製物としてのセラミック原料を得ることが出来る。
[実施例1コ 入手した市販品の炭化珪素板状粒子は、−船釣に遊離炭
素、二酸化珪素、Al2O3等の不要な混在物を含み、
且つ形態、寸法が不揃いであるという確認を行った。
第1図aに分級前の原料の電子顕微鏡写真を示す。なお
、図において、左側の写真は1cmが100μmとする
拡大写真であり、右側の写真は1cmが50μmとする
原料の拡大写真である。以後、分級後、酸化後、硫酸処
理後、弗化水素処理後の電子顕微鏡写真を示すが、その
拡大写真の寸法は前記と同様である。
そこで、以゛上のように、得られた炭化珪素板状粒子を
、溶媒であるエチルアルコール中に分散させ、懸濁液を
得、この懸濁液を粒子の大きさ30μmで水ひにより分
級した。実際、粒子の大きさ30μmの原料が沈降する
時間はストークスの式によって得た。水ひした懸濁液は
目開き15μmの篩を通過させて、篩上の残渣を乾燥さ
せ、所望の炭化珪素板状粒子とした。
表1に分級前と分級後の化学分析結果を重量%で示す。
例えば、珪素については、分級前が62.12重量%で
あったものが、分級後では66、32重量%に増加して
いる。不要な混在物が除去されて、相対的にその重量が
増えたためであると考えられる。さらにまた、アルミニ
ウムについては、分級前が1.56重量%であったもの
が、0.061重量%となっている。また、鉄について
も同様に、0.17重量%であったものが、0.10重
量%となっている。さらにまた、遊離二酸化珪素が、0
.87重量%から0,49重量%へ、また、遊離炭素は
3.19重量%から1.12重量%へと減少している。
分級後の電子顕微鏡写真を第1図すに示す。
第1図aの分級前の原料の組成拡大写真と比べると、形
態が極めて整い、且つ寸法、すなわち、粒度も均一とな
っていることが容易に読解されよう。
以上のようにして、分級された後の炭化珪素の板状粒子
は、次いで、遊離炭素、金属の不要な混在物を除去する
ために、酸処理工程に付した。この酸処理工程は、実質
的に650℃で20時間加熱処理を行うことにより達成
している。この場合、遊離炭素は、分級後、1.12重
量%含有していたが、650℃で20時間酸処理を行っ
たところ、0.42重量%に減少していることが確認さ
れた。遊離炭素は酸素と結合してC02あるいはCOと
して揮散した。また、珪素は酸素と結合させて5in2
とし、さらに、アルミニウムは酸素と結合させてAl2
O3とするためのものである。実際、遊離二酸化珪素は
、分級後、0.49重量%含有していたが、650℃で
20時間酸処理を行ったところ2.10重量%に増大し
た。これは遊離珪素が酸素と結合して二酸化珪素を生成
したのと、炭化珪素板状粒子表面が酸化され二酸化珪素
を生成したものと解される。
さらに、AI、03を除去するために硫酸処理工程に付
した。すなわち、粉状体または粒状体中に硫酸を流入さ
せ、このAl2O3を除去するとともに、この溶媒とし
ての硫酸を無くなるまで蒸発させ、粉状体または粒状体
を乾固させる。
蒸発乾固処理はガラスビーカー中でアルコールランプに
より加熱を行ってAl2O3を除去した。
この場合、硫酸が残っていることが懸念されるために、
pH7になるまで水洗工程に付した。
さらに、二酸化珪素を除去するために、弗化水素酸を用
いて白金皿中で蒸発乾固処理を行った。これによって、
二酸化珪素等の酸化物からなる不要な混在物が除去され
た。二酸化珪素は650℃で20時間酸処理後2.10
重量%含有していたが、硫酸処理で1.76重量%に減
少、さらに弗化水素酸処理で0.05重量%に減少して
いることが確言忍された。
このようにして弗化水素酸処理゛を行った後、水洗工程
に付した。水洗工程は継続して長い時間にわたって1回
であってもよく、また、乾燥、水洗を繰り返して複数回
にわたって行ってもよい。
第1図Cに酸化後の炭化珪素の粒状体の電子顕微鏡写真
を示し、また、第1図dに硫酸処理後の炭化珪素の拡大
写真を示し、また、第1図eに弗化水素による処理後の
電子顕微鏡拡大写真を示している。
なお、原材料としての炭化珪素板状粒子について、予め
鉄分が極めて多く含まれていると確認された場合におい
ては、硫酸処理後の工程にさらに塩酸処理工程を加え、
酸化鉄としてこの不要な混在物を除去することも可能で
ある。
[実施例2] 実施例1で精製して得られた炭化珪素板状粒子と未精製
の炭化珪素板状粒子を強化材として窒化珪素母材に添加
してセラミック焼結体を作製し、次いで、四点曲げ強度
測定を行った。四点曲げ強度は、JIS  R1601
rファインセラミックスの曲げ強さ試験法」に従って測
定した。
この場合の具体的実施例について説明する。
先ず、母材および強化材をボットミルに入れ、水または
エチルアルコール中で24時間混合し混合物を形成した
。次に、得られた混合物を120℃で24時間乾燥させ
、目開きが149μmの大きさの篩にかけ、成形用粉末
を得た。
次いで、圧力200kg/cm”でプレス成形し、焼成
した。この場合、場合、加圧焼結を施したが、ホットプ
レスはlatmのN2雰囲気、圧力300kg/cm2
で行った。なお、焼結温度が1700℃以上になると、
窒化珪素の分解が激しくなるのでN2圧は9.5atm
とした。
表2は、このようにして得られたセラミック焼結体の曲
げ強度測定結果を示したものである。
この表において、実施例No、1〜6は精製して得られ
た炭化珪素板状粒子を用いたセラミック焼結体を示し、
また、比較例N097〜12は未精製の炭化珪素板状粒
子を用いたセラミック焼結体に関する実験結果を示す。
表2より明らかなように、1200℃、1400℃の曲
げ強度では、精製して高純度が得られた炭化珪素板状粒
子を用いたセラミック焼結体は未精製の炭化珪素板状粒
子を用いたセラミック焼結体に比べ高強度であった。特
に、高融点粒界相を有するY203 、Y b 20s
を添加した系において効果が太きく1400℃での曲げ
強度で154〜249MPaの差が認められた。これに
よって、高温強度には不純物が影響を及ぼしていること
が判った。すなわち、高温強度が大きいセラミック焼結
体を得るには精製により不純物を除去した高純度の炭化
珪素板状粒子を用いることの有効性が確認された。
[発明の効果コ 表1から容易に諒解される通り、水ひによって微細な遊
離炭素、二酸化珪素、Al2O3等の不要な混在物は約
半分近くは除去された。特に、Al2O3は1.56重
量%から0.061重量%へとその除去率は極めて著し
かった。さらにまた、650℃で20時間にわたる酸処
理では、遊離炭素は0.061重量%から0.048重
量%にとその除去が行われた。一方、硫酸処理工程にお
いては、A1.03は0.041重量%となり、その除
去率が極めて顕著であることが、表1から諒解されよう
また、弗化水素酸処理は二酸化珪素等の酸化物の除去に
顕著な効果が得られることが判った。
分級前が0.87重量%であったものが、0.05重量
%になり、著しく減少している。
以上のようにして得られた精製された後の炭化珪素板状
粒子は、不要な混在物が極めて少ないために、高温強度
が大であり、構造用セラミックとして使用するとき一層
の品質の向上が期待出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は炭化珪素板状粒子の分級前、分級後、酸化後、
硫酸処理後、弗化水素酸処理後の電子顕微鏡拡大写真で
ある。 (Q)付線【 (b) 分線≦峯 CXlpm FIG、1 141m デ石m 手 続 補 正 書 (方式) %式% 発明の名称 粉粒体の精製方法 3゜ 補正をする者 事件との関係

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)原材料としてのセラミックの粉粒体を分級処理す
    る第1の工程と、 前記分級処理された粉粒体を加熱処理する第2の工程と
    、 前記加熱処理され、乾燥された粉粒体を酸処理を行うこ
    とにより不要な混在物を除去する第3の工程と、 前記不要な混在物を除去した後の粉粒体に対し水洗処理
    を行う第4の工程と、 前記水洗処理された粉粒体を乾燥させるための第5の工
    程と、 からなることを特徴とする粉粒体の精製方法。
  2. (2)請求項1記載の方法において、第2の工程は大気
    中または酸素雰囲気中で行うことを特徴とする粉粒体の
    精製方法。
  3. (3)請求項1または2記載の方法において、酸処理を
    行う第3の工程は粉粒体に含まれる不要な混在物を除去
    するために当該不要な混在物に対応して選択される酸処
    理工程であることを特徴とする粉粒体の精製方法。
  4. (4)請求項1乃至3のいずれかに記載の方法において
    、粉粒体に含まれる不要な混在物としての二酸化珪素を
    除去するために、酸処理工程の後に弗化水素酸による蒸
    発乾固工程を行うことを特徴とする粉粒体の精製方法。
  5. (5)請求項1乃至4のいずれかに記載の方法において
    、不要な混在物として非酸化物を含む粉粒体に対して第
    2工程の後、酸処理を施すことを特徴とする粉粒体の精
    製方法。
  6. (6)請求項1乃至5のいずれかに記載の方法において
    、酸処理は硫酸、塩酸、硝酸、またはこれらの複数の混
    酸で行うことを特徴とする粉粒体の精製方法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000281328A (ja) * 1999-03-30 2000-10-10 Toshiba Ceramics Co Ltd 半導体装置部材用の精製炭化珪素粉末とその精製方法、及び該粉末から得られる半導体装置部材用焼結体とその製造方法
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