JPH0321325A - フロン蒸気の処理方法 - Google Patents
フロン蒸気の処理方法Info
- Publication number
- JPH0321325A JPH0321325A JP1152145A JP15214589A JPH0321325A JP H0321325 A JPH0321325 A JP H0321325A JP 1152145 A JP1152145 A JP 1152145A JP 15214589 A JP15214589 A JP 15214589A JP H0321325 A JPH0321325 A JP H0321325A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorocarbon
- storage tank
- vapor
- container
- chlorofluorocarbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract 5
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 88
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 150000001804 chlorine Chemical class 0.000 claims description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 15
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 abstract description 9
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 21
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 3
- 235000011116 calcium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 2
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FNTYWPYJKUIWHF-UHFFFAOYSA-N O.F[C]Cl Chemical compound O.F[C]Cl FNTYWPYJKUIWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- PXBRQCKWGAHEHS-UHFFFAOYSA-N dichlorodifluoromethane Chemical compound FC(F)(Cl)Cl PXBRQCKWGAHEHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- -1 fluorocarbon hydrates Chemical class 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は,フロン水和物利用蓄冷装置,フロン液の貯槽
・関連配管系等の貯蔵系に存在するフロン蒸気を無害化
する方法に関する。
・関連配管系等の貯蔵系に存在するフロン蒸気を無害化
する方法に関する。
フロン液を貯蔵容器から他の容器へ移送する際には、容
器内でフロン蒸気が発生する。
器内でフロン蒸気が発生する。
大規模たフロン液取扱い工場等においては,第3図に示
すように,フロン容器03かもポンプO2により貯槽O
lに移す場合,貯槽01内の液位上昇により貯槽01内
の空間部のフロン蒸気08は管06を通して別容器04
に移すか,連絡配管05によって元の容器03に戻され
る。このようにして,フロン蒸気の回収が行なわれてい
る。
すように,フロン容器03かもポンプO2により貯槽O
lに移す場合,貯槽01内の液位上昇により貯槽01内
の空間部のフロン蒸気08は管06を通して別容器04
に移すか,連絡配管05によって元の容器03に戻され
る。このようにして,フロン蒸気の回収が行なわれてい
る。
また,小量の蒸気の場合は貯槽01内のフロン蒸気を管
07を通して直接大気中に放散させてしまう場合も有り
得る。
07を通して直接大気中に放散させてしまう場合も有り
得る。
一方,フロン液を需要地にあるフロン貯槽011に移し
代える場合は,@4図に示すように,フロン輸送車01
3内のフロン液をポンプ016によって貯槽011へ送
り,配管012により貯槽011内のフロン蒸気014
ヲフロン輸送車013へ戻す。フロン輸送車013内の
フロン蒸気015は液化装置に導入され圧縮液化され,
残りは大気放出される。
代える場合は,@4図に示すように,フロン輸送車01
3内のフロン液をポンプ016によって貯槽011へ送
り,配管012により貯槽011内のフロン蒸気014
ヲフロン輸送車013へ戻す。フロン輸送車013内の
フロン蒸気015は液化装置に導入され圧縮液化され,
残りは大気放出される。
上記第3図に示す方法にあっては、フロン液容器03と
フロン液貯槽01を連絡配管05で結ぶことにより,フ
ロン蒸気08を外部に出すことなく移すことができ,容
器03内のフロン蒸気は,圧縮・冷却液化することによ
り,圧縮機で吸入可能な圧力(負圧)相当分は回収する
ことができる。
フロン液貯槽01を連絡配管05で結ぶことにより,フ
ロン蒸気08を外部に出すことなく移すことができ,容
器03内のフロン蒸気は,圧縮・冷却液化することによ
り,圧縮機で吸入可能な圧力(負圧)相当分は回収する
ことができる。
しかし、このフロン回収後容器03内に残存する蒸気は
空気等を送り結果的に大気中に希釈拡散させることにな
る。また,圧縮・冷却液化による回収を行なわない場合
は,空気を容器03内へ送り、フロン蒸気と置換するこ
とにたる。
空気等を送り結果的に大気中に希釈拡散させることにな
る。また,圧縮・冷却液化による回収を行なわない場合
は,空気を容器03内へ送り、フロン蒸気と置換するこ
とにたる。
更に、上記第4図に示される方法にあっては、フロン輸
送車013内へ貯槽011から移されたフロン蒸気は、
液化されるが,残りは大気放出される.以上説明したよ
うに,従来のフロン蒸気の処置方法では,フロン貯槽内
での発生蒸気をフロン液容器,フロン輸送車又は別容器
に戻すか.あるいは大気放出とするかいずれかであり,
また容器等に戻された蒸気も完全には回収されず,その
一部が大気に放出されるという欠点がある。
送車013内へ貯槽011から移されたフロン蒸気は、
液化されるが,残りは大気放出される.以上説明したよ
うに,従来のフロン蒸気の処置方法では,フロン貯槽内
での発生蒸気をフロン液容器,フロン輸送車又は別容器
に戻すか.あるいは大気放出とするかいずれかであり,
また容器等に戻された蒸気も完全には回収されず,その
一部が大気に放出されるという欠点がある。
本発明は,フロン蒸気を大気放出する従来のフロン蒸気
の処理方法の欠点を解消し,フロン蒸気を無害化する方
法を提供しようとするものである。
の処理方法の欠点を解消し,フロン蒸気を無害化する方
法を提供しようとするものである。
本発明のフロン蒸気の処理方法は,フロン液又はフロン
水和物液の貯槽、配管等の貯蔵系内に存在するフロン蒸
気を回収し、回収後貯蔵系内に残存するフロン蒸気に紫
外線を照射してフロン蒸気を分解して塩素を遊離させ,
この塩素を塩素化物として安定化させる。
水和物液の貯槽、配管等の貯蔵系内に存在するフロン蒸
気を回収し、回収後貯蔵系内に残存するフロン蒸気に紫
外線を照射してフロン蒸気を分解して塩素を遊離させ,
この塩素を塩素化物として安定化させる。
本発明では、フロン液又はフロン水和物液の貯蔵系内に
ある大部分のフロン蒸気が回収される。
ある大部分のフロン蒸気が回収される。
この回収後に同貯蔵系内に残存するフロン蒸気に紫外線
が照射される.これによってフロン分子は光分解されて
Cl原子を遊離する。
が照射される.これによってフロン分子は光分解されて
Cl原子を遊離する。
例えば、次のようにフロン分子が分解されてCl原子が
遊離される。
遊離される。
CF2Cl2→OF4+2CI
OF Cl−+OF4 + cl
2
このCl原子は,オゾン、水素,木炭と水蒸気,ベンゼ
ン,石灰乳等に反応させ塩素化物として安定化される。
ン,石灰乳等に反応させ塩素化物として安定化される。
例えば,オゾン03 と反応すると,
Cl+0 →CIO+O2
3
となる。
また水素又は木炭と水蒸気と反応すると,HOIとなり
,ベンゼン(C,H6)と反応するとモノクロベンゾー
ル(C6H5Cl)とHClとなり,石灰乳と反応する
とサラン粉(Ga((lO)2)を作る。
,ベンゼン(C,H6)と反応するとモノクロベンゾー
ル(C6H5Cl)とHClとなり,石灰乳と反応する
とサラン粉(Ga((lO)2)を作る。
このように.本発明では、フロン蒸気を回収した後に貯
檀,配管等の貯蔵系内に残存するフロン蒸気に紫外線を
照射して遊離塩素を発生させ,これな塩素化物として安
定化させることによって、従来空気に放散されていたフ
ロン蒸気を無害化し、環境問題(オゾン層破壊)の発生
が避けられる。
檀,配管等の貯蔵系内に残存するフロン蒸気に紫外線を
照射して遊離塩素を発生させ,これな塩素化物として安
定化させることによって、従来空気に放散されていたフ
ロン蒸気を無害化し、環境問題(オゾン層破壊)の発生
が避けられる。
本発明の第一の実施例を第1図によって説明する。
1はフロン水和物の蓄冷貯檜であって,同槽1内の冷フ
ロン水和物は,フロン水和物ボンプl4によって冷熱媒
体として図示したい空調ファンユニット等に送られ,フ
ロン水和物は水利熱をとられて水とフロンに分解して蓄
冷貯槽1へ戻るようになっている。
ロン水和物は,フロン水和物ボンプl4によって冷熱媒
体として図示したい空調ファンユニット等に送られ,フ
ロン水和物は水利熱をとられて水とフロンに分解して蓄
冷貯槽1へ戻るようになっている。
また,蓄冷貯槽1内のフロン蒸気は、管路18を経て,
又はフロン蒸気圧が低いときにはブロヮl5をもつ管路
19を経て,フロン圧縮機3で圧縮され凝縮器で冷却液
化された上,減圧弁13を経て蓄冷貯槽1内に噴射され
て潜熱によりフロン水和物を作り,又は熱交換器17へ
導入されて蓄冷貯11内を冷却してフロン水和物を作る
ようになっている。
又はフロン蒸気圧が低いときにはブロヮl5をもつ管路
19を経て,フロン圧縮機3で圧縮され凝縮器で冷却液
化された上,減圧弁13を経て蓄冷貯槽1内に噴射され
て潜熱によりフロン水和物を作り,又は熱交換器17へ
導入されて蓄冷貯11内を冷却してフロン水和物を作る
ようになっている。
本実施例において,フロン水和物の回収に当っては,フ
ロン水和物の蓄冷貯槽1からフロン水和物液をポンプ2
により輸送車の容器4へ移送する。
ロン水和物の蓄冷貯槽1からフロン水和物液をポンプ2
により輸送車の容器4へ移送する。
輸送車の容器4のベントノズル11と貯槽1のベントノ
ズル12間をホース等により接続し輸送車4内のフロン
蒸気な貯檜1に戻すことにより閉回路が形威される。
ズル12間をホース等により接続し輸送車4内のフロン
蒸気な貯檜1に戻すことにより閉回路が形威される。
フロン水化物の液の移送が終了すると,圧縮機3により
貯槽1内のフロン蒸気5を吸引圧縮し,凝縮器6により
冷却液化せしめてフロン液として回収容器7K回収する
。貯槽内が圧縮機3の吸弓可能な圧力まで下ると、貯槽
1の廻りの各弁を閉じる。その上で.貯槽1内にフッ素
ガス容器10かものフッ素ガスを注入し,貯槽1内に設
けられた紫外線照射器8によって紫外線を照射し.同貯
蔵1内に残存したフロン蒸気より塩素(CI)を遊離さ
せる。ついで,オゾンガス容器9から貯槽1内へオゾン
を供給して,オゾンガスと上記遊離塩素を含むガスを接
触させ,遊離した塩素をCIOとして安定化させる。
貯槽1内のフロン蒸気5を吸引圧縮し,凝縮器6により
冷却液化せしめてフロン液として回収容器7K回収する
。貯槽内が圧縮機3の吸弓可能な圧力まで下ると、貯槽
1の廻りの各弁を閉じる。その上で.貯槽1内にフッ素
ガス容器10かものフッ素ガスを注入し,貯槽1内に設
けられた紫外線照射器8によって紫外線を照射し.同貯
蔵1内に残存したフロン蒸気より塩素(CI)を遊離さ
せる。ついで,オゾンガス容器9から貯槽1内へオゾン
を供給して,オゾンガスと上記遊離塩素を含むガスを接
触させ,遊離した塩素をCIOとして安定化させる。
このようにして,閉回路において紫外線の照射にようて
フロン蒸気から塩素を発生させ,これをオゾンに接触さ
せてClOとすることにより、安定化させることができ
,これによって,フロン蒸気を、系外に排出してもオゾ
ン層破壊を発生しない無害のガスに変換することができ
る. 本発明の第二の実施例を第2図によって説明する。
フロン蒸気から塩素を発生させ,これをオゾンに接触さ
せてClOとすることにより、安定化させることができ
,これによって,フロン蒸気を、系外に排出してもオゾ
ン層破壊を発生しない無害のガスに変換することができ
る. 本発明の第二の実施例を第2図によって説明する。
フロン貯槽1′内のフロン液を.ポンプ2によってフロ
ン輸送車の容器4に移送する。容器4から発生するフロ
ン蒸気は,管路加を経て貯槽l′内ヘ戻される。フロン
液の移送終了後貯槽1′内の残留フロン蒸気5を圧縮機
3にて吸引圧縮し,冷却器6によって圧縮蒸気を冷却液
化し,回収容器7K回収する。フロン貯4%Il内のフ
ロン蒸気圧が圧縮機3の吸引可能な圧力まで下ると,貯
槽1′内へフッ素ガス容器10からフッ素を供給し,フ
ッ素ガスとフロン蒸気の混合ガスをプロワ21で吸引し
て貯槽1′外に設けられた紫外線照射器8′へ導き,同
紫外線照射器8′により紫外線を照射せしめ,フッ素ガ
ス雰囲気下でフロンガスから遊離塩素を発生させる。こ
のガスを紫外線照射器8′から,オゾンガス容器9から
のオゾンガス(03)が供給される反応器加へ供給し.
上配の遊離塩素を反応器加内でオゾンと反応させて安定
化する。
ン輸送車の容器4に移送する。容器4から発生するフロ
ン蒸気は,管路加を経て貯槽l′内ヘ戻される。フロン
液の移送終了後貯槽1′内の残留フロン蒸気5を圧縮機
3にて吸引圧縮し,冷却器6によって圧縮蒸気を冷却液
化し,回収容器7K回収する。フロン貯4%Il内のフ
ロン蒸気圧が圧縮機3の吸引可能な圧力まで下ると,貯
槽1′内へフッ素ガス容器10からフッ素を供給し,フ
ッ素ガスとフロン蒸気の混合ガスをプロワ21で吸引し
て貯槽1′外に設けられた紫外線照射器8′へ導き,同
紫外線照射器8′により紫外線を照射せしめ,フッ素ガ
ス雰囲気下でフロンガスから遊離塩素を発生させる。こ
のガスを紫外線照射器8′から,オゾンガス容器9から
のオゾンガス(03)が供給される反応器加へ供給し.
上配の遊離塩素を反応器加内でオゾンと反応させて安定
化する。
本実施例は,フロン貯槽1′を大気開放する時、フロン
ガス蒸気5を大気に放出することなく閉回路系にてフロ
ンガスの回収及び無害化が可能である. 〔発明の効果〕 本発明は,以上説明したように,フロン液貯槽容器又は
フロン水利物貯槽容器およびこれらの関連配管等のフロ
ン又はフロン水和物の貯蔵系内からフロン蒸気を回収し
,回収後貯蔵系内に残存するフロン蒸気に紫外線を照射
して分解して塩素を発生させ,これを塩素化物として安
定化させることによって,大部分のフロン蒸気を回収す
ると共に,従来大気に放出されていたフロン蒸気を無害
化することができ,環境汚染を防止することができる。
ガス蒸気5を大気に放出することなく閉回路系にてフロ
ンガスの回収及び無害化が可能である. 〔発明の効果〕 本発明は,以上説明したように,フロン液貯槽容器又は
フロン水利物貯槽容器およびこれらの関連配管等のフロ
ン又はフロン水和物の貯蔵系内からフロン蒸気を回収し
,回収後貯蔵系内に残存するフロン蒸気に紫外線を照射
して分解して塩素を発生させ,これを塩素化物として安
定化させることによって,大部分のフロン蒸気を回収す
ると共に,従来大気に放出されていたフロン蒸気を無害
化することができ,環境汚染を防止することができる。
第1図は本発明の第一の実施例の系統図,第2図は本発
明の第二の実施例の系統図,@3図は従来のフロンガス
回収の系統図、第4図は従来のフロン輸送車を使用する
場合のフロンガス回収の系統図。 1・・・フロン水和物蓄冷貯槽, 叶梶′ 1′・・・フロン斧器. 2・・・ポンフ,3・
・・フロン圧縮機, 4・・・フロン輸送車の容器,
5・・・フロン蒸気, 6・・・凝縮器,7..,
フロン回収容器,8.8’・・・紫外線照射器,9・・
・オゾンガス容器, 加・・・反応器 10・・・フッ素ガス容器,
明の第二の実施例の系統図,@3図は従来のフロンガス
回収の系統図、第4図は従来のフロン輸送車を使用する
場合のフロンガス回収の系統図。 1・・・フロン水和物蓄冷貯槽, 叶梶′ 1′・・・フロン斧器. 2・・・ポンフ,3・
・・フロン圧縮機, 4・・・フロン輸送車の容器,
5・・・フロン蒸気, 6・・・凝縮器,7..,
フロン回収容器,8.8’・・・紫外線照射器,9・・
・オゾンガス容器, 加・・・反応器 10・・・フッ素ガス容器,
Claims (1)
- フロン液又はフロン水和物液の貯蔵系内に存在するフロ
ン蒸気を回収し、フロン蒸気の回収後貯蔵系内に残存す
るフロン蒸気に紫外線を照射してフロン蒸気を分解して
塩素を遊離させ、この塩素を塩素化物として安定化させ
ることを特徴とするフロン蒸気の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1152145A JPH0321325A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | フロン蒸気の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1152145A JPH0321325A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | フロン蒸気の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321325A true JPH0321325A (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=15534021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1152145A Pending JPH0321325A (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 | フロン蒸気の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0321325A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05277205A (ja) * | 1991-11-21 | 1993-10-26 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | フロン物質の連続分解分離方法および装置 |
| US6277347B1 (en) * | 1997-02-24 | 2001-08-21 | Applied Materials, Inc. | Use of ozone in process effluent abatement |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP1152145A patent/JPH0321325A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05277205A (ja) * | 1991-11-21 | 1993-10-26 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | フロン物質の連続分解分離方法および装置 |
| US6277347B1 (en) * | 1997-02-24 | 2001-08-21 | Applied Materials, Inc. | Use of ozone in process effluent abatement |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW517261B (en) | Gas recovery system and gas recovery method | |
| JPH06269605A (ja) | 多成分蒸気混合物の回収方法および回収装置 | |
| JP2006026555A (ja) | アンモニアガスの除害システム | |
| JPH0321325A (ja) | フロン蒸気の処理方法 | |
| JPH08323133A (ja) | 高周波誘導熱プラズマを用いた有機ハロゲン化合物の高温加水分解により発生した排ガスの無害化処理方法 | |
| CA3248568A1 (en) | SYSTEMS AND PROCESSES FOR RESIDUAL GAS TREATMENT | |
| JP2006312121A (ja) | 過フッ化物処理方法および過フッ化物処理装置 | |
| JP2001232134A (ja) | ネオン回収方法及び装置 | |
| JP3778674B2 (ja) | 高温,高圧流体に含まれる二酸化炭素の液化分離法及び装置 | |
| JP3500573B2 (ja) | アンモニアガスの除害システム | |
| JP3571800B2 (ja) | 有機ハロゲン化合物の処理設備における排ガスの冷却装置 | |
| JP2732472B2 (ja) | 高周波誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解方法及びその装置 | |
| JPH10337439A (ja) | 含フッ素有機ハロゲン化合物の排ガス処理装置およびその処理方法 | |
| JP3216868B2 (ja) | ハロゲン化物ガスの分解方法 | |
| CN207429731U (zh) | 制取高纯四氟甲烷的精馏装置 | |
| TW409079B (en) | Waste treatment process and device thereof | |
| JP2004255228A (ja) | ハロゲン化合物水溶液、酸性水溶液または酸性ガスの処理方法及びその装置 | |
| JP3409905B2 (ja) | ハロゲン系有機化合物の分解装置 | |
| CN115092357B (zh) | 深海潜水服生命保障系统及其使用方法 | |
| JPH04260485A (ja) | 廃電気製品の最終処理方法 | |
| JP4477708B2 (ja) | ハロゲン化物の処理方法及び処理装置 | |
| JP4814052B2 (ja) | ウラン廃棄物の除染方法及び設備 | |
| JPH05309147A (ja) | ハロゲン化物消火薬剤の分離回収方法 | |
| JPH08318122A (ja) | フロン分解排ガスの処理方法 | |
| JP2718884B2 (ja) | 紫外光によるフロン等の分解・資源化処理装置と処理方法 |