JPH03213811A - 顕微鏡及びその操作方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、複数の対物レンズを保持するレボルバを備え
た顕微鏡及びその操作方法に係り、特にそのレボルバの
回転駆動手段及びその操作方法の改良に関し、工業用顕
微鏡等に利用できる。

〔背景技術〕

高集積化される半導体、微細加工が施されているビデオ
ヘッド等の部品は、μｍオーダーの単位で製作されてい
るので、その製作工程毎に精密な検査を行う必要がある
。しかし、肉眼ではその細部か視認不能なため、これら
の部品、すなわち、被測定物を正確に検査する装置とし
て種々の顕微鏡か提案されている。

ところで、前記被測定物を製作工程毎に検査する場合に
は、当然これらの顕微鏡を生産工場内に設置しなければ
ならず、また、この工場内では作業者によってその検査
が行われることになる。作業者はこの検査を行う前工程
として、例えば、工作機械等により製品等を切削加工す
ることが考えられ、この場合、その切削屑、塵埃等が作
業者の指等に付着し、次工程である顕微鏡を使用しての
部品検査を行うことになる。

これら生産工場内に設置される顕微鏡は、例えば、被測
定物を載置する載物台と、前記被測定物の倍率を変換す
るための複数の対物レンズと、これらの対物レンズを回
動自在に保持するレボルバとを含んで構成されている。

従って、作業者は前記顕微鏡の倍率を変更するためには
、対物レンズを指等で把持してレボルバを回転させる必
要があり、その回転中に指等に付着した切削屑、塵埃等
が被測定物上に落下する虞れがある。

そこで、この種の顕微鏡の中には、複数の対物レンズが
配設されるレボルバを手動で操作しても、前記被測定物
上に指等に付着した塵埃等がなるべく落下しないように
構成される顕微鏡が発表されており、例えば第１３図に
示すようなものがある。

すなわち、第１３図において、顕微鏡１は、略コ字状の
本体４を含み、この本体４の略中夫に設けられた支持台
５上には、上下２枚の相対移動可能な板材からなる載物
台６が、水平面内における直交２方向、すなわち、矢印
Ｘ方向及びＹ方向に摺動可能に設けられている。この載
物台６には、被測定物Ｗが載置されるとともに、−側角
部には粗動ピン７Ａ、７Ｂが突出して取着されている。

この粗動ピン７Ａ、７Ｂを把持して矢印Ｘ、Ｙ方向に変
位させると、この変位に伴って載物台６も大きく移動す
る。

また、前記支持台５の下面一端側には、ハンドル８Ａ、
８Ｂが設けられており、このハンドル８Ａ、８Ｂを矢印
Ａ方向に回動させると、図示しないラック、ピニオン等
を介して前記載物台６が小さく矢印Ｘ、Ｙ方向に移動す
るよう構成される。

前記本体４の上部には、反射照明手段９と、前記被測定
物Ｗの表面を視認するための接眼レンズ１０とが配設さ
れ、前記接眼レンズｌＯの直下には矢印Ｂ方向に回転自
在なレボルバ１２が設けられる。このレボルバ１２には
、複数の回転棒１３と、夫々倍率の異なった５つの対物
レンズ１４とが取着される。

このように構成された顕微鏡ｌの接眼レンズｌＯ内を目
視することにより、被測定物Ｗの表面を検査している時
に、所望の倍率の対物レンズ１４に変更したい場合には
、前記回転棒１３を矢印Ｂ方向に回転させることにより
、所望倍率の対物レンズ１４を所定の位置に位置決めす
ることができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記従来例において、前記回転棒１３を
長尺に形成すると、指等に付着している塵埃は被測定物
Ｗ上にほとんど落下しないが、長尺なため、他の操作、
例えば、粗動ピン７Ａ、７Ｂによる載物台６の移動等の
邪魔になる場合がある。この場合には、被測定物Ｗの検
査中に、不用意にこの回転棒１３を回転させてしまうと
いう不都合が生じる。

また、他の操作の邪魔にならないように回転棒１３を短
尺に形成すると、指等に付着している塵埃等が被測定物
Ｗ上に落下する虞れがあり、若し、この塵埃等が被測定
物Ｗに付着すると、この被測定物Ｗの表面は、高集積化
された半導体のように凹凸形状を呈しているので、塵埃
等の除去作業が非常に煩雑となる欠点が露呈する。

そこで、指等をレボルバ１２に近づけることなく、レボ
ルバ１２を自動的に回転させることにより、塵埃等の付
着を阻止する装置として、特開昭６２−２１８９１５号
にその技術的思想が開示されている。

この思想は、第１４図に示すように、顕微鏡１５の本体
１６側に、磁気センサ１７Ａ乃至１７Ｃと、弾性的に支
持される係止法１８と、マイクロスイッチ２０とを設け
ている。一方、複数の対物レンズ（図示せず）が装着さ
れるレボルバ１９側に、■溝２２Ａ乃至２２Ｅと、２進
法符号を形成する磁石２４Ａ乃至２４Ｇとがそれぞれ、
所定位置に取着される。この状態で、例えば、レボルバ
１９が矢印方向に回転した際に、磁気センサ１７Ａ乃至
１７ｃは、磁石２４Ａ乃至２４Ｇの存在する位置を「０
」と読み取り、磁石２４Ａ乃至２４Ｇの存在しない位置
を「１」と読み取るように構成さ４Ｉるので、図の位置
においてはｒｌＯＮすなわち、１０進法で「５」と読み
取るようにされている。

このように構成されたレボルバ１９等を図示しない回転
手段で矢印方向へ回転させて所望の位置、例えばＮ　０
１Ｊで停止させたい時には、磁気センサ１７Ａ乃至１７
Ｃにｒｌｏｌ」の信号が入力されるまで比較器（図示せ
ず）で判断し、その信号が入力された時に、前記レボル
バ１９の回転を停止させ、■溝２２Ｅに係止法１８を係
合させることにより、位置決めを行っている。

しかしながら、この場合、前記レボルバ１９は、対物レ
ンズ（図示せず）を装着しているので、かなりの重量物
となり、このレボルバ１９を回転させる際、その回転に
よる慣性力は比較的大きなものとなる。このため、磁気
センサ１７Ａ乃至１７Ｃが所望の信号を検知してからそ
の回転を停止させたのでは、慣性力によりＶ溝２２Ｅに
係止法１８が係合した位置で停止せず、■溝２２Ｅを通
過した位置でレボルバ１９が停止する虞れがある。

このような時は、結局、指等でレボルバ１９を所望の位
置に変位させる必要があり、この時、特に指等に付着し
た切削屑、塵埃等が被測定物Ｗ上に落下する虞れがある
。

従って、この思想の場合には、自動的にレボルバ１９を
しっかりと所望の位置に位置決めすることが難しくなり
、この結果、被測定物Ｗの精密な検査が困難となる欠点
が露呈する。

また、前記特開昭６２−２１８９１５号の思想は、レボ
ルバ１９が本体１６に対し、着脱可能でないため、レボ
ルバ１９に既に取付けられている対物レンズと異なる倍
率の対物レンズを必要とするときは、いちいちねじ込み
操作しなければならず、操作が煩雑であるという問題点
もある。更に、レボルバ１９は、着脱可能でないことか
ら、駆動源等のメンテナンスが容易でないという問題点
もある。

一方、これらの顕微鏡を用いて温度、湿度とも略一定に
保持された測定室で測定する場合、この測定室内の作業
者の指には塵埃等が付着していない場合が多いので、対
物レンズを指で把持して変位させることが考えられる。

そこで、手動操作しても、レボルバの位置が検出可能な
顕微鏡が要請される。

本発明の第１の目的は、レボルバの正確な位置決めが自
動的に可能で、メンテナンスも容易な顕微鏡及びその操
作方法を提供するにある。

本発明の第２の目的は、レボルバを自動、手動のどちら
で操作しても、前記レボルバの回転を正確に検出するこ
とが可能となる顕微鏡を提供するにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の第１の目的を達成する顕微鏡は、レボルバを回
転可能に支持するレボルバユニットを設けるとともに、
このレボルバユニットを本体に着脱可能に設け、かつ、
レボルバユニットには、レボルバを回転伝達手段を介し
て回転駆動する回転駆動源と、レボルバに取付けられた
対物レンズのそれぞれの位置を検知する回転位置検知手
段を設けたことを特徴とする。

また、本発明の第１の目的を達成する操作方法は、レボ
ルバを回転させる回転駆動源を制御して、前記レボルバ
が所定位置まで回転した時に位置回転駆動源の回転速度
を減速させ、レボルバが所定停止位置に位置する直前で
モータを前記と逆方向に微少時間回転させてレボルバの
慣性力を小さくし、更に回転駆動源に一時的にブレーキ
をかけた後に回転駆動源を完全に停止させるようにされ
る方法である。

更に、本発明の第２の目的を達成する顕微鏡は、レボル
バを回転可能に支持するレボルバユニットと設けるとと
もに、このレボルバユニットを本体に着脱可能に設け、
かつ、レボルバユニットには、レボルバを回転伝達手段
を介して回転駆動する回転駆動源と、通電時に対物レン
ズの位置を検出する初期位置検出手段と、レボルバの手
動あるいは自動回転を検知して対物レンズの位置を検出
する手動回転位置検出手段及び自動回転位置検出手段と
、対物レンズの数に対応してレボルバユニットの支持板
に所定間隔で設けられる磁気センサと、レボルバ内に設
けられた対物レンズの数より１つ少ない永久磁石とが設
けられたことを特徴とする。

（作用〕 前述の構成において、対物レンズの自動的な選択は、モ
ータ等の回転駆動源を駆動し、回転位置検知手段からの
信号でこの回転駆動源の回転を停止させることで行う。

従って、従来のようにレボルバを指等で回転させること
がなくなるので、指等に付着している切削屑、塵埃等が
被測定物上に落下することがなくなり、この結果、被測
定物の精密な検査が可能となる。

また、レボルバユニットを取り外せば、回転駆動源や回
転伝達手段のメンテナンスを容易に行え、かつ、予め用
意した異なる倍率の対物レンズを有するレボルバユニッ
トに交換することで、異なる倍率での被測定物の検査が
容易に行なえる。

更に、本発明に係る顕微鏡が恒温、恒湿の測定室内等に
設置されており、レボルバを手動回転する場合には、電
源投入時のレボルバの初期位置が、永久磁石及び磁気セ
ンサと初期位置検出手段とにより検出される。

次いで、手動でレボルバを回すと、同じく永久磁石及び
磁気センサと手動回転位置検出手段とによって、対物レ
ンズの位置が検出される。これにより、手動時の対物レ
ンズの位置を正確に設定できる。

また、前記測定室内等においても、自動設定は前述と同
様にして行える。

〔実施例〕 次に、本発明に係る顕微鏡及びその操作方法について好
適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に説
明する。

第１図において、参照符号３０は本発明の第１実施例に
係る顕微鏡を示し、前記顕微鏡３ｏの近傍には、画像表
示部１６０と、コントロールボックス１７０と、操作ボ
ックス１８０とが配置され、それぞれケーブル１６１及
び１７１で接続されている。

先ず、顕微鏡３０について説明する。

前記顕微鏡３０は、略コ字状の本体３１を含み、この本
体３１の下端には略台形状の底部３２が形成されている
。この底部３２の上部は、３つの斜面部３２Ａと上面部
３２Ｂとで形成され、１つの斜面部３２Ａには、後述す
る反射用照明手段と透過用照明手段とを切り換える切換
スイッチ３３と、その照度を示す照度表示部３４Ａ、３
４Ｂとが設けられる。

また、上面部３２Ｂには、透過用照明手段３５が設けら
れている。この透過用照明手段３５は、底部３２内に装
着されて照明光（図示せず）を上方に指向して出力する
透過用光源３６を備えている。また、上面部３２Ｂには
、透過用光源３６からの照明光（図示せず）を上方へ導
く円筒体３７と、この円筒体３７を保護する保護部材３
８とが設けられる。

前記本体３１の下部側面にはモータ３９が取着され、こ
のモータ３９の一端にはコントロールボックス１７０に
接続されるケーブル４１が設けられている。また、本体
３１の前面略中夫には、本体３１に固定された支持台４
２を介して載物台４３が装着されており、この載物台４
３は、前記モータ３９の回転軸（図示せず）を矢印Ｃ方
向に回動させることにより、図示しないラックとピニオ
ンとを介して矢印Ｚ方向に変位するよう構成される。

前記載物台４３は、下台４３Ａと土台４３Ｂとを含み、
前記下台４３Ａの下面にはハンドル４４Ａ、４４Ｂがそ
れぞれ設けられている。これらの一方のハンドル４４Ａ
を矢印Ａ方向に回動させると、載物台４３の下台４３Ａ
が、支持台４２に設けられた図示しないラックとハンド
ル４４Ａに同軸に設けられた同上く図示しないピニオン
との作用により、矢印Ｙ方向へ移動される。また、他方
のハンドル４４Ｂを矢印Ａ方向へ回動させると、載物台
４３の上台４３Ｂが、上台４３Ｂに設けられたラック（
図示せず）とハンドル４４Ｂと同軸に設けられたピニオ
ン（図示せず）との作用により、矢印Ｘ方向へそれぞれ
変位するようになっている。　　　　　　　　　　　　
　　　　　　−前記下台４３Ａと土台４３Ｂとの一側面
には、粗動ピン４５Ａ、４５Ｂがそれぞれ取着されてお
り、これらの粗動ピン４５Ａ、４５Ｂを指で持って操作
することにより、載物台４３を矢印Ｘ、　Ｙ方向へ大き
く変位させることができる。この際、載物台４３の変位
に伴い、ハンドル４４Ａ、４４Ｂは回転して追従するこ
ととなる。

更に、前記上台４３Ｂにはガラス板４６が固着され、こ
のガ、ラス板４６上に被測定物Ｗが載置される。

前記本体３１の上部一端（後端）には、反射用照明手段
４７が装着され、この反射用照明手段４７内には反射用
光源４８が設けられる。一方、本体３１の上部他端（前
端）には、本体３１に固設される取付部材４９を介して
２つの接眼レンズ５１が配設され、更に、前記取付部材
４９の上部にはＣＣＤカメラ５２が設けられている。こ
のＣＣＤカメラ５２はケーブル５３Ａ、５３Ｂを介して
画像表示部１６０に接続される。

また、本体３１の上部側面にはオートフォーカス装置５
４が設けられ、このオートフォーカス装置５４は、ケー
ブル５５を介してコントロールボックス１７０に接続さ
れる。

前記本体３１の上部前端下面には、第２，３図に示す取
着手段６０によってレボルバユニット７０が本体３１に
対して着脱自在に装着される。

第２，３図において、取着手段６０は円柱体６１を含み
、この円柱体６１には、前記レボルバユニット７０の一
部が摺動する蟻溝形の摺動面６２が形成され、更に、レ
ボルバユニット７０が当接した時点て位置決めするスト
ッパ６３が突設される。前記摺動面６２の一部には、摺
動面６２の斜面の形状に対応した係合ピース６４が操作
ねじ６５を介して進退自在に取付けられている。また、
円柱体６Ｉの中央部には、被測定物Ｗの画像を入射させ
る貫通孔６６が形成されている。

前記レボルバユニット７０は、第４，５図に示すように
、孔部７１か穿設されたカバー７２と、このカバー７２
の形状に対応し、かつ、小ねじ７３を介して前記カバー
７２に保持される支持板７４とを含み、この支持板７４
には、レボルバ１００と、このレボルバ１００の一部を
回転させるための回転駆動源としての、例えば、直流コ
アレスモータ１２０と、この直流コアレスモータ１２０
の回転力をレボルバ１００の一部に伝達させる回転伝達
手段１３０と、前記レボルバ１００の回転を磁力によっ
て検知する回転位置検知手段１５０とが゛支持されてお
り、このレボルバユニット７０は、第１図に示すように
、ケーブル１２５を介してコントロールボックス１７０
に接続される。

以下、各々の詳細を説明する。

前記支持板７４は、第５図に示すように、前面７４Ａと
後面７４Ｂとを有し、前記支持板７４の下部の右及び左
には矩形状の孔部７５．７６が穿設されており、一方の
孔部７５の後面７４Ｂ側の一端には、取付板７７か設け
られ、この取付板７７には、前記直流コアレスモータ１
２０がその出力軸１２１を突出された状態で取付けられ
ている。

直流コアレスモータ１２０の一部は、前面７４Ａ側に突
出するように取付けられ、かつ、このモータ１２０の出
力軸１２１は矢印り方向に回動自在にされている。

また、他方の孔部７６の両端には取付板７８Ａ。

７８Ｂが突設されており、これらの取付板７８Ａ。

７８Ｂには前記回転伝達手段１３０の一部を構成するウ
オーム１３１か矢印り方向に回転自在に支持されている
。このウオーム１３１に一体の回転軸１３２は、カップ
リング１３３を介して前記コアレスモータ１２０の出力
軸１２１に連結されている。

更に、前記左方の孔部７６の上方には、円形の孔部７９
か穿設されている。この孔部７９には、前記ウオーム１
３１に噛合されるウオームホイール１３４に一体の円筒
体１３５が挿入されている。

このウオームホイール１３４は、図示しないベアリング
を介して保持板１３６に矢印Ｂ方向へ回動自在に支持さ
れており、この保持板１３６は、各２本の取付けねじ１
３７及びスペーサ１３８（各１個のみ図示）を介して支
持板７４の後面７４Ｂに取着される。

前記ウオームホイール１３４の円筒体１３５内には、歯
車１３９に突設される円柱部１４１が圧入固定されてい
る。前記歯車１３９は、ベアリング１４２を介して保持
板１４３に矢印Ｂ方向へ回動自在に支持されている。こ
の保持板１４３は、各２本の取付けねじ１４４及びスペ
ーサ１４５（各１個のみ図示）、並びに支持板７４の前
記孔部７９の両側に形成されたねし孔８１Ａ、８１Ｂに
より、支持板７４の前面７４Ａ側に取着される。

前記歯車１３９にはベル）１４６が外装され、このベル
ト１４６には前記歯車１３９の形状に対応する複数の歯
１４６Ａか一方の面（内面）に形成されており、このベ
ルト１４６には、前記レボルバ１００の外周に形成され
る歯１０９（第４図参照）にも噛合されることになる。

ここにおいて、ウオーム１３１１カツプリング１３３、
ウオームホイール１３４、歯車１３９、ベルト１４６に
より回転伝達手段１３０が構成されている。

前記支持板７４の円形の孔部７９の上方には逆凸形状の
孔部８２が穿設され、その上下左右方向には４つの固定
孔８３が設けられる。また、孔部８２の外周には、プリ
ント基板８４が固着されている。このプリント基板８４
には、同心円上であって、かつ、等角度（好適には９０
度）の間隔だけ離間する位置に、磁気センサ１５１Ａ乃
至１５ＩＤが取着されている。これらの磁気センサ１５
ＩＡ乃至１５１Ｄは、レボルバ１００の回転を磁力によ
り検知する回転位置検知手段１５０の一部を構成し、か
つ、ホールＩＣ、マグネチックダイオード、リードスイ
ッチ等よりなる。

前記レボルバ１００は、主として固定部材１０１と、ノ
ーズピース１０２とで構成され、この固定部材１０１が
、支持板７４の固定孔８３を介して挿入される取付けね
じ１０３により、前面７４Ａ側に固定されている。固定
部材１０１の裏側には、後面７４側に突出形成される略
円筒状の取付部材１０４（第１．４図参照）が固定され
ている。

この取付部材１０４は、裏面２箇所に切欠部１０５を有
し、この切欠部１０５が、第２，３図に示される取着手
段６０の蟻溝形の摺動面６２に摺動、係合し、係合ピー
ス６４によって固定されるように構成される。また、取
付部材１０４の中央には、被測定物Ｗからの画像を透過
させる貫孔１０６が形成されている。

前記固定部材１０１の取付部材１０４が設けられる側と
は反対側には、前記ノーズピース１０２がその外周部及
び中央部をそれぞれベアリング１０７．１０８を介して
矢印Ｂ方向へ回動自在に装着されることになり、ノーズ
ピース１０２の外周には、ベル）１４６の歯１４６Ａと
噛合する前記歯１０９が形成される。従って、モータ１
’２０の回転軸１２１を矢印り方向に回動させると、前
記ノーズピース１０２はウオーム１３１１ウオームホイ
ール１３４、歯車１３９、ベルト１４６を介して矢印Ｂ
方向に回動することになる。

また、ノーズピース１０２の外周には、磁気センサ１５
１Ａ乃至１５１Ｄの数に対応した切欠部１１１Ａ乃至１
１１Ｄが所定角度（好適には９０度）離間した位置に設
けられ、これらのうち切欠部１１１ＡとＩＩＩＢとの間
の略中間位置には、前記ノーズピース１０２を貫通する
ように永久磁石、例えば、円柱状のフェライトマグネッ
ト１５２が取着される。

ここで、このフェライトマグネット１５２が磁気センサ
１５１Ａから１５１Ｂまで移動する時間は、本実施例の
場合では、略１秒に設定されている。従って、ノーズピ
ース１０２が一回転する時間は、略４秒となるようにさ
れている。

更に、前記ノーズピース１０２の各切欠部１１１Ａ乃至
１１１Ｄと対応した位置には、それぞれねし孔１１２Ａ
乃至１１２Ｄが設けられ、これらのねし孔１１２　Ａ乃
至１１２Ｄにそれぞれ倍率の異なる対物レンズ１１５Ａ
乃至１１５Ｄが螺合される。また、これらのねじ孔１１
２Ａ乃至１１２Ｄのいずれか１つ、図面ではねじ孔１１
２Ａに対向され、かつ、前記取付部材１０４の貫孔１０
６に対向する位置において、前記固定部材１０１には、
貫孔１１３が穿設されている。

なお、支持板７４の前面７４Ａ側路中央には、位置決め
手段９０が設けられ、この位置決め手段９０は、前面７
４Ａ側に設けられる略し字状の取付板９１を含み、この
取付板９１の近傍には複雑な形状、すなわち、Ｌ字形に
立上がり、その先端側面に略コ字形のばね受は部９２Ａ
を有する受は板９２が設けられている。取付板９１には
板ばね９３の一端が固定されており、この板ばね９３の
他端は、受は板９２のばね受は部９２Ａに係止されてい
る。

また、板ばね９３の途中に穿設された孔部９３Ａにはベ
アリング９４が図示しない軸受を介して支持され、更に
、このベアリング９４は前記ノーズピース１０２の切欠
部１１１Ａ乃至１１１Ｄと係合するようになっている。

従って、前記板ばね９３及びベアリング９４と各切欠部
１１１Ａ乃至１１１Ｄとの作用により、所謂クリック（
節度）動作をすることとなる。

第１図において、前記操作ボックス１８０上には、対物
レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの位置を設定する選択スイ
ッチ１８１Ａ乃至１８１Ｄが並設され、これらの右横に
はシフトスイッチ１８２が設けられる。また、これらの
選択スイッチ１８１Ａ乃至１８１Ｄの下方には、ノーズ
ピース１０２を矢印Ｂ方向のいずれの向きに回動させる
かを指定する回動方向指定スイッチ１８３Ａ、１８３Ｂ
が取着されており、更に、これらの下方には載物台４３
を下降させて測定を開始可能な状態にするスタンバイス
イッチ１８４及び被測定物Ｗの焦点を自動的に合致させ
るオートフォーカススイッチ１８５、並びに、前記シフ
トスイッチ１８２とともに押すことにより、載物台４３
の最上限及び最下限位置を設定する上限スイッチ１８６
Ａ及び下限スイッチ１８６Ｂがそれぞれ設けられる。

前記上、下限スイッチ１８６Ａ、１８６Ｂの右横には、
回転子１８７が矢印Ａ方向へ回動自在に取着されており
、この回転子１８７を回動させることで、被測定物Ｗの
細部の画像を鮮明に描写できるようになっている。

更に、操作ボックス１８０上の左側には、操作上のエラ
ーを表示するエラー表示部１８８、前記選択スイッチ１
８１Ａ乃至１８１Ｄの選択位置を示す位置表示部１８９
Ａ乃至１８９Ｄが設けられている。

本実施例に係る顕微鏡３０等は、以上のように構成され
るものであり、次にその作用について説明する。

先ず、操作ボックス１８０のスタンバイスイッチ１８４
を押圧すると、本体３１の側壁に設けられたモータ３９
が矢印Ｃ１方向に回転駆動され、図示しないラックとピ
ニオンを介して載物台４３が矢印Ｚ＋力方向下降し、所
定位置で停止される。

次に、被測定物Ｗをガラス板４６上に載置した後、オー
トフォーカススイッチ１８５を押すと、モータ３９が矢
印Ｃ２方向に回転され、ラックとピニオン（図示せず）
を介して載物台４３が矢印Ｚ２方向に変位して所定の位
置でその変位が停止される。

この時、被測定物Ｗの画像は、接眼レンズ５１を目視し
ても確認できるが、画像表示部１６０においても、その
画像を表示することができる。

この画像の詳細部もしくは全体を描写したい時には、選
択スイッチ１８１Ａ乃至１８１Ｄあるいは回動スイッチ
１８６Ａ、１８６Ｂを押して所望の倍率の対物レンズ１
１５Ａ乃至１１５Ｄのいづれか１つに変更する。

例えば、第１図においては、レボルバ１００の固定部材
１０１に穿設された貫孔１１３に対向する位置に、被測
定物Ｗの細部拡大画像視認用の対物レンズ１１５Ａが設
定されているが、被測定物Ｗの全体画像を視認するため
に、対物レンズ１１５Ｃに変更したい時には、選択スイ
ッチ１ＢＩＣを押す。これにより、直流コアレスモータ
１２０か駆動されて回転伝達手段１３０を介してノーズ
ピース１０２か矢印Ｂ１方向に回転され、次いで、対物
レンズ１１５ｃか被測定物Ｗの真上に位置した時にその
回転か停止される。

ここで、この回転動作の詳細を第６図のフローチャート
に基づいて説明する。

すなわち、ステップ（以下、ＳＴＰと略すことがある。

）ｌにおいて、対物レンズ１１５Ａが被測定物Ｗの上方
に位置している場合には、フェライトマグネット１５２
は磁気センサ１５１Ａの真上に存在することになる。従
って、この位置検出は、前記フェライトマグネット１５
２から出力される磁力が、前記磁気センサ１５１Ａに入
力され、この信号がコントロールボックス１７０内の検
出回路（図示せず）に到達することで行われる。

そこで、選択スイッチ１８１Ｃを押すと、前記検出回路
から［フェライトマグネット１５２が現在地から２番目
の磁気センサ（すなわち、磁気センサ１５１ｃ）の真上
に位置した時に停止せよ」（ＳＴＰ２）という場所指令
信号が出力されるので、直流コアレスモータ１２０が矢
印Ｄ＋力方向高速で回転される（ＳＴＰ３）。この時、
高速運転を行うため、具体的には前記直流コアレスモー
タ１２０に略９Ｖの電圧が印加される。

前記直流コアレスモータ１２０の回転力は、カップリン
グ１３３を介してウオーム１３１に伝達され、更に、ウ
オーム１３１に噛合するウオームホイール１３４に伝達
されてこのウオームホイール１３４を矢印Ｂ１方向に回
転させる。従って、前記ウオームホイール１３４に固定
される歯車１３９も同方向に回転され、最終的にこの回
転力は、ベルト１４６を介してノーズピース１０２を矢
印Ｂ１方向に回転させることになる。

ノーズピース１０２の回転により、切欠部１ＩＩＡがベ
アリング９４から離脱し、更にノーズピース１０２の回
転が進行すると、前記検出回路（図示せず）で所定時間
経過したか否かが判断されて（ＳＴＰ４）、所定時間が
経過した場合にはステップ５において直流コアレスモー
タ１２０が低速回転に切替えられる。この時、前記モー
タ１２０に印加される電圧は、低速回転を得るために略
６Ｖに降下される。一方、所定時間が経過しない場合は
、経過するまでこの判断が繰り返される。

なお、ノーズピース１０２の回転によりフエライトマグ
ネッｌ−１５２が１つの磁気センサから他の１つの磁気
センサまで移動する時間は、前述のように略１秒になる
ため、本実施例では前記所定時間は、その半分の時間、
すなわち、１７２秒に設定されている。

このようにして、フェライトマグネット１５２が１つ目
の磁気センサ１５１Ｂの真上に位置されると、この場所
が指定された場所か否かがステ、ツブ６で判断されるが
、ステップ２において［２つ目の磁気センサ１５１ｃで
停止せよ」という場所指令信号が出力されているので、
この１つ目の磁気センサ１５１Ｂは通過する（ＳＴＰ７
）。この時、位置決め手段９０のベアリング９４が切欠
部１１ＩＢに係合するので、再び前記モータ１２０が高
速回転すなわち高電圧（９ｖ）印加に切替えられて運転
される（ＳＴＰ３）。

この後、切欠部１ｌｌＢがベアリング９４から離脱して
所定時間（略１／２秒）経過してから（ＳＴＰ４）、前
記モータ１２０が低速回転にされる（ＳＴＰ５）。

更に、ノーズピース１０２が矢印Ｂ＋方向に回動される
と、磁力を出力しながら回転させられるフェライトマグ
ネット１５２は磁気センサ１５１Ｃに接近するので、こ
の磁力が前記磁気センサ１５１Ｃで感知される。この磁
力検知がなされると、ノーズピース１０２の回転による
慣性力（イナーシャ）に打ち克って回転数を小さくする
ために、モータ１２０を逆回転させるための時間を設定
したタイマを作動させる（ＳＴＰ８）。

その後、ステップ９において、前記タイマに作動指令を
出力してもタイマが実際に作動するまでには時間遅れが
あるため、この時間遅れ内での所定時間、具体的には、
前記逆回転用のタイマが作動してからフェライトマグネ
ット１５２が磁気センサ１５１Ｃの略真上に移動するま
での微少時間が経過したか否かが判断され、所定時間経
過した場合には、ステップ１０において、０．１〜５０
０ｍ５程度まで設定可能なタイマに設定された微少時間
、例えば１０〜２０ｍ　Ｓだけ、モータ１２０に逆回転
、すなわち、モータ１２０を矢印り、方向へ回転させる
。この際、このモータ１２０の逆回転を停止させるため
に、ステップ１１において、直流コアレスモータ１２０
の瞬時停止タイマを作動させる。

次いで、ステップ１２でモータ１２０の逆回転（矢印Ｄ
２方向）動作が所定時間経過したか否かがチエツクされ
、経過した場合には、モータ１２０の図示しないプラス
電極とマイナス電極間とを瞬時的に短絡させることで、
モータ１２０の回転を一時的にブレーキをかけ（ＳＴＰ
　１３）　、この後モータ１２０に印加されている電圧
を解除して完全にモータ１２０を停止させる（ＳＴＰ　
１４）。

この時、切欠部１ｌｌＣがベアリング９４に係合して対
物レンズ１１５Ｃの位置決めが行われることになる。一
方、ステップ１２で、前記所定時間が経過しない場合は
、時間が経過するまでチエツクが繰り返される。

以上の説明では、対物レンズ１１５Ａを反対側の対物レ
ンズ１１５ｃに交換する例について述べたので、直流コ
アレスモータ１２０の回転方向はＤｌに限らず、その逆
でも交換に要する時間は同一であるが、現在のポジショ
ンから交換するポジションまでに経路の長短があるとき
は、最短の方向を選んでモータ１２０が回転される。

また、前記説明では、自動的に対物レンズ１１５Ｃが選
択される例であったが、交換動作は、作業者が回転方向
指定スイッチ１８３Ａ、１８３Ｂによりその回転方向を
指定し、ステップ送りによって適当な倍率の位置で停止
させてもよい。この際、回転方向指定スイッチ１８３Ａ
、１８３Ｂは、１回の押圧動作で１ポジシヨンづつレボ
ルバ１００が回動されるようにされている。

前述のような本実施例によれば、次のような効果がある
。

すなわち、ノーズピース１０２を回転させることによっ
て発生する慣性力（イナーシャ）は、前記ノーズピース
１０２を回転させるモータ１２０に所定時間逆回転させ
た後に、−時的にその回転にブレーキをかけることによ
って除去することができる。従って、切欠部１１１Ａ乃
至１１１Ｄ、ベアリング９４等の位置決め手段９０を小
さく設定しても、その位置決めは正確に行われることに
なる。また、切欠部１１１Ａ乃至１１１Ｄがベアリング
９４から容易に離脱できるので、この結果、直流コアレ
スモータ１２０は比較的小さく、かつ、安価なモータを
使用することが可能となり、ひいては、レボルバユニッ
ト７０を小型化できるとともに、顕微鏡３０をも廉価に
提供することが可能となる効果が得られる。

更に、ノーズピース１０２の駆動にあたり、高速駆動、
低速駆動、逆回転駆動、ブレーキ付与等の多段階制御を
行うから、ノーズピース１０２に取付けられる対物レン
ズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの間に倍率の差に基づく大幅な
重量差があっても、常に円滑な駆動を行え、この点から
も位置決め動作を確実にすることができる。また、回転
駆動源として直流コアレスモータ１２０を用いているか
ら、前記多段階制御を、印加する電圧等で容易に制御で
き、更には、直流コアレスモータ１２０の回転イナーシ
ャも小さいから、この点からも制御を容易にできる。

また、前記モータ１２０の回転力は、回転伝達手段１３
０を介してノーズピース１０２へ確実に伝達されるので
、ノーズピース１０２はすベリ等を惹起することなく、
正確にその回転動作が行われるので、従来のように設定
した位置以外で停止するといった不具合が解消される。

従って、確実に所定の位置で位置決めができ、これによ
り、対物レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの回転移動を正確
、かつ、自動的に行うことができる。このため、指等に
付着している切削屑、塵埃等を被測定物Ｗ上に落下させ
ることがなくなり、この結果、被測定物Ｗの精密な部品
検査を行うことが可能となる効果を奏する。

また、回転伝達手段１３０にウオーム１３１とウオーム
ホイール１３４を用いて、直流コアレスモータ１２０を
、その軸線が支持板７４の面に平行となるように配置し
たから、レボルバユニット７０を偏平小型に製作でき、
ひいては顕微鏡３０そのものも小型化できる。

更に、レボルバユニット７０は、本体３１に着脱可能と
されているから、直流コアレスモータ１２０、回転伝達
手段１３０等のメンテナンスを容易に行うことができ、
かつ、現在使用しているレボルバユニット７０とはレン
ズ構成の異なる他のレボルバユニットを用意しておくこ
とで、広いレンジの倍率での測定をレボルバユニット７
０の交換で容易に行なえるという効果もある。

次に、本発明に係る顕微鏡及びその操作方法の第２実施
例を第７図乃至第１２図に基づいて説明する。

なお、前記第１実施例と同一の構成要素には同一の参照
符号を付してその詳細な説明を省略する。

この第２実施例のレボルバ１００Ａには、第７図に示す
ように、３つのフェライトマグネット１５２Ａ乃至１５
２ｃが設けられており、具体的には、対物レンズ１１５
Ｃと対物レンズ１１５Ｄとの間の丁度中央位置にフェラ
イトマグネット１５２Ａが設けられ、また、対物レンズ
１１５Ｄと対物レンズ１１５Ａとの間にフェライトマグ
ネット１５２Ｂが固設され、更に、対物レンズ１１５Ｂ
と対物レンズ１１５Ｃとの間にフェライトマグネット１
５２Ｃが取着される。

また、前記フェライトマグネット１５２Ａとフェライト
マグネット１５．２Ｂ、及び、フェライトマグネ・ット
１５２Ａとフェライトマグネット１５２Ｃとは、それぞ
れ同一の所定角度θ（好適にはθ−１００°）だけ離間
した位置に設けられている。従って、フェライトマグネ
ット１５２Ｂ及び１５２Ｃは、必ずしも対物レンズ１１
５Ｄと１１５Ａあるいは対物レンズ１１５Ｂと１１５ｃ
との中央位置に位置するものではない。

このため、しっかりと位置決めされた状態、すなわち、
ベアリング９４が９０度間隔で形成された切欠部１１１
Ａ乃至１１１Ｄのいずれかに係合した状態では、フェラ
イトマグネット１５２Ａが、同じく９０度間隔で形成さ
れた磁気センサ１５１Ａ乃至１５１Ｄの何れかの真上に
位置することになる。一方、このしっかり位置決めされ
た状態では、他のフェライトマグネット１５２Ｂ及び１
５２Ｃは、何れの磁気センサ１５１Ａ乃至１５１Ｄの真
上にも位置しない。

ここで、これらの磁気センサ１５１Ａ乃至１５ＩＤは、
実質的には、レボルバ１００Ａの下方に位置することに
なるが、ここでは図面の錯綜を避けるために、前記磁気
センサ１５１Ａ乃至１５１Ｄは、レボルバ１００Ａに対
し半径方向に離間した位置に記載されている。

なお、この実施例の場合、対物レンズ１１５Ａが測定位
置にある状態から対物レンズ１１５Ｂを測定位置に移動
させる時間は、前記第１実施例と同様に略１　ｓｅｃと
設定されているので、レボルバ１００Ａが１回転する時
間は、略４　ｓｅｃとなるように構成される。

また、この第２実施例では、第８図のフローチャートに
示すように、顕微鏡３０の電気回路に通電した際に、対
物レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの何れかが、現在どこに
位置しているかを検出する初期位置検出手段２００と、
レボルバ１００Ａを手動回転させる際、対物レンズ１１
５Ａ乃至１１５Ｄの何れかが、どこに位置しているかを
検出する手動回転位置検出手段３００と、操作ボックス
１８０の所定のキーを入力した際、その位置を検出する
自動回転位置検出手段４００とを備えている。

そこで、これらの概略を説明する。

すなわち、第８図において、先ず、顕微鏡３０の電源を
ＯＮ　（ＳＴＰ　ｌ　５）すると、初期位置検出手段２
００が作動して現在、レボルバ１００Ａが位置決めされ
ているか否かを操作ボックス１８０を視認することで検
知できる（ＳＴＰ　１６）。

そして、作業者の指等によってレボルバ１００Ａを所望
の方向に回動させると、手動位置検出手段３００によっ
てその位置が検出され、操作ボックス１８０によって検
知することができる（ＳＴＰ１７）。

更に、今度はレボルバ１００Ａを自動回転させるために
、操作ボックス１８０の所定のキーを抑圧（ＳＴＰ　ｌ
　８）すると、自動回転位置検出手段４００によって、
同じくその位置を操作ボックス１’８０から検知するこ
とが可能となる（ＳＴＰＩ９）。

そこで、初期位置検出手段２００及び手動回転位置検出
手段３００並びに自動回転位置検出手段４００の詳細を
、第９図乃至第１２図を参照しながら説明する。

先ず、初期位置検出手段２００について、第９図及び第
１０図を参照して説明する。

第１０図においても、第７図と同様に、磁気センサ１５
１Ａ乃至１．５１　Ｄは、レボルバ１００Ａから半径方
向に離間した位置に記載されている。

前記初期位置検出手段２００では、顕微鏡３０の電気回
路に通電したとき、レボルバ１００Ａがしっかりと位置
決めされている状態〔例えば第１Ｏ図（ａ）〕はもちろ
ん検出できるが、位置決めされていない状態〔例えば第
１θ図（ｂ）〕でも検出できるので、以下両方の場合に
ついて説明する。

第１θ図（ａｌの状態のときに、顕微鏡３０の電源をＯ
Ｎにすると、フェライトマグネット１５２Ａが斜線で示
す磁気センサ１５１Ｃの真上にあるため、この磁気セン
サ１５１ｃがＯＮ　（ＳＴＰ　２０）する。このＯＮ信
号により、モータ１２０に略３Ｖの電圧を印加して所定
時間（好適には０．１　ｓｅｃ　）前記モータ１２０を
低速回転させた後（ＳＴＰ２１）、モータ１２０を停止
させる（ＳＴＰ２２）。

このとき、切欠部１１１Ａにベアリング９４が係合して
いるので、モータ１２０を低速回転させても、レボルバ
１００Ａは回転しないため、フェライトマグネット１５
２Ａも変位せず、磁気センサ１５１ｃはＯＦＦせず、Ｏ
Ｎ状態を維持する（ＳＴＰ２３）。

従って、前記フェライトマグネット１５２Ａが磁気セン
サ１５１ｃの真上にある状態、すなわち、対物レンズ１
１５Ａが測定位置、すなわち、第４図の貫孔１０６に対
向された状態なので、操作ボックス１８０の位置表示部
１８９Ａが点灯され（ＳＴＰ　３５）　、かつ、モータ
１２０を完全に停止（ＳＴＰ３６）させて、初期位置検
出が終了する。

次に、レボルバ１００Ａが位置決めされていない状態、
例えば、第１θ図（ｂ）の状態にあるときもその位置を
検出することができるので、その場合について説明する
。

先ず、ステップ２０において、磁気センサ１５ＩＡ乃至
１５１Ｄの何れかのセンサがＯＮしているか否かを判断
している。この場合、ベアリング９４が何れの切欠部１
１１Ａ乃至１１１Ｄにも係合されておらず、レボルバ１
００Ａが位置決めされていないため、フェライトマグネ
ット１５２Ａは、いずれの磁気センサ１５１Ａ乃至１５
１Ｄとも対向されておらず、他のフェライトマグネット
、第１０図ｆｂ）では、フェライトマグネット１５２Ｂ
が斜線で示す磁気センサ１５１Ｄの真上にある。

従って、このセンサ１５１ＤがＯＮ状態となるため、ス
テップ２１でモータ１２０を所定時間（０，１ｓｅｃ　
）低速回転させた後、停止（ＳＴＰ２２）させる。する
と、この間にレボルバ１００Ａが矢印Ｂ１方向に少し変
位した状態で停止するため、フェライトマグネット１５
２Ｂが磁気センサ１５１Ｄから離間する。これにより、
この磁気センサ１５１ＤｆＪ＜ＯＦＦ　（ＳＴＰ２３）
Ｌ、操作ボックス１８０のエラー表示部１８８が点灯す
る（ＳＴＰ２４）。

そして、この状態から操作ボックス１８０の所定のキー
、例えば、回動方向指定スイッチ１８３Ａを押圧（ＳＴ
Ｐ２５）すると、モータ１２（Ｎ、：略９Ｖの電圧が印
加されて、このモータ１２０が矢印Ｄ１方向（第５図）
へ微少時間高速回転する（ＳＴＰ２６）。これにより、
レボルバ１００Ａが矢印Ｂ、力方向変位する。この高速
回転後、ステップ２７において、磁気センサ１５１Ａが
ＯＮするまでの間〔実質的には第１θ図（ｂ）から（Ｃ
）までの間〕は、モータ１２０に略６Ｖの電圧を印加し
て中速回転（ＳＴＰ２８）させた後、その時間をカウン
ト（ＳＴＰ２９）させる。

その後、レボルバ１００Ａの回転（Ｂ　ｒ方向）が進行
してフェライトマグネット１５２Ｃが斜線で示すセンサ
１５１Ａの真上〔第１０図（Ｃ）〕に位置すると、ステ
ップ２７で磁気センサｌ　５１ＡがＯＮとなり、ステッ
プ３０で前記ステップ２９でカウントした時間が所定時
間（好適には０．４　ｓｅｃ　）経過したか否かを判断
する。この場合、タイムカウントした時間は、第１０図
（ｂｌから（ｅ）までの時間となり、この時間は略０，
８　ｓｅｃとなるため、ステップ３１へと進行して、モ
ータ１２０を低速回転にする。その後、低速で、更にレ
ボルバ１００Ａを回転させると、フェライトマグネット
１５２Ｃが磁気センサ１５１Ａから離間するので、この
磁気センサ１５１ＡがＯＦＦ　（ＳＴＰ３２）となった
後、今度はフェライトマグネット１５２Ａが斜線で示す
磁気センサ１５１Ｂの真上に位置するので、この磁気セ
ンサ１５１Ｂ７５＜ＯＮ状態（ＳＴＰ３３）となる〔第
１Ｏ図（ｄ）〕。

そして、ステップ３４で、モータ１２０の電極を一時的
に短絡させてブレーキをかけると、回転方向（Ｂ１方向
）に作用するレボルバ１００Ａの慣性力（イナーシャ）
が最小限となり、ベアリング９４が切欠部１１１Ｂに係
合、すなわち、位置決めされた状態となる。従って、操
作ボックス１８０の位置表示部１８９Ｂが点灯して表示
（ＳＴＰ３５）され、かつ、モータ１２０に印加されて
いる電圧を解除して完全にモータ１２０を停止（ＳＴＰ
３６）させる。これにより、レボルバ１００Ａの初期位
置の設定及び検出が終了する。

なお、４つの磁気センサ１１５Ａ乃至１１５Ｄのいずれ
にもフェライトマグネット１５２Ａ乃至１５２Ｃが対向
されておらず、全ての磁気センサ１１５Ａ乃至１１５Ｄ
がＯＦＦのときは、ステップ２０からステップ２４に進
行してエラー表示がなされ、以下ステップ２５のキー人
力以後、前述と同様な手順で進行して初期位置設定及び
初期位置検出がなされる。

次に、手動回転位置検出手段３００について、第１Ｏ図
及び第１１図を参照して説明する。

手動回転位置検出手段３００は、レボルバ１００Ａを手
動で、第１Ｏ図（ａ）乃至（ｄ）まで変位させて対物レ
ンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの１つ分の変位をさせる場合
はもちろん検出できるが、検出が困難と考えられる操作
状態、すなわち、レボルバ１００Ａを（ａ）から（Ｃ）
〔実質的には、フェライトマグネット１５２Ｃが磁気セ
ンサ１１５Ａの位置を通過した（Ｃ）と（ｄ）の間〕ま
で変位させてから、更に今度はレボルバ１００Ａを前記
と逆方向に回転させて再度（ａ）の位置に戻す場合、換
言すると、対物レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの１つ分ま
では移動せずに、途中から戻す場合においても、その位
置を検出することができるので、以下、前記２通りの検
出方法について説明する。

先ず、第１θ図（ａ）の状態、すなわち、位置決め停止
され、電源がＯＮされた状態では、初期位置の状態なの
で、図示しない演算手段に入力するための位置情報Ｐが
０と設定されるとともに、磁気センサ１５１Ｃが、新位
置（初期位置）、すなわち、新たに何れかのフェライト
マグネット１５２Ａ乃至１５２Ｄに向い合った磁気セン
サであると、図示しない記憶手段に記憶される。

そして、この状態から、前記レボルバ１００Ａを手動で
矢印Ｂ１方向に回転させると、第１θ図（ｂ）の状態と
なり、フェライトマグネット１５２Ｂが磁気センサ１５
１Ｄの真上にくるので、このセンサ１５１ＤがＯＮ　（
ＳＴＰ３７）Ｌ、ステップ３８でこのセンサ１５１Ｄの
信号が新しい位置として入力される。従って、センサ１
５１Ｃの位置は旧位置とされる。

次いで、ステップ３９に進行し、新位置、すなわちセン
サ１５１Ｄの位置と、旧位置、すなわちセンサ１５１Ａ
の位置とを比較するが、この場合、新位置と旧位置とは
別の位置なので、ステップ４０へと進行する。このステ
ップ４０では、連続して入力される前記旧位置（センサ
１５１Ｃ）と新位置（センサ１５１Ｄ）とから、この時
のレボルバ１００Ａの回転方向を判断し、矢印Ｂ１方向
を検出する。

次に、ステップ４１ではこの方向（Ｂ１方向）が順方向
か否かを判断する。

このとき、順方向とは、位置決めされた状態から、最初
に回転させた方向を順方向と設定されるので、この場合
Ｂ＋方向は、順方向と判断されてステップ４７へと進行
する。ここでは、前記新位置（センサ１５１Ｄ）を旧位
置として設定してから、位置情報Ｐを１つプラス（ＳＴ
Ｐ４８）してＰ＝１とする。ここで、位置情報Ｐは、０
，１゜２．３の４つの数字で表されるが、位置情報Ｐが
３になると基本的に３つのセンサがＯＮした状態を経過
し、再びフェライトマグネット１５２Ａが何れかのセン
サに向い合った状態、すなわち、位置決めされた状態と
なるので、自動的に位置情報Ｐが０にリセットされるよ
う構成される（ＳＴＰ５０参照）。そして、今度はステ
ップ４９へと進行して位置情報Ｐが３であるか否かを判
断するが、この場合、Ｐ＝１なので操作ボックス１８０
のエラー表示部１８８を点灯させる（ＳＴＰ４６）。

更に、手動でレボルバ１００Ａを矢印Ｂ＋方向に回転さ
せると、今度はフェライトマグネット１５２Ｃがセンサ
１５１Ａの真上に位置〔第１θ図（Ｃ）〕するので、こ
のセンサ１５１ＡがＯＮ状態となる。このセンサ１５１
ＡのＯＮ状態が再びステップ３７で判断され、このセン
サ１５１Ａが今度の新位置として入力（ＳＴＰ　３８）
され、ステップ３９でこの新位置（センサ１５１Ａ）と
旧位置（センサｔｓｌＤ）とが比較される。この場合、
当然、新位置と旧位置とが異なるので、この時の回転方
向（Ｂ１方向）が検出（ＳＴＰ４０）された後、ステッ
プ４１で順方向か否かが判断される。

この場合、矢印Ｂ＋方向は、前記と同様に順方向なので
、ステップ４７へと進み、新位置、すなわち、センサ１
５１Ａの位置が旧位置に設定されて、位置情報Ｐを１つ
プラス（ＳＴＰ４８）してＰ＝２とする。そして、この
情報を基にステップ４９へと進行するが、今、Ｐ＝２な
ので、エラー表示部１８８は点灯（ＳＴＰ４６）された
ままとなる。

そして、更にレボルバ１００Ａを手動でＢ＋方向に回転
させると、今度は、フェライトマグネット１５２Ａがセ
ンサ１５１Ｂの真上に位置〔第１Ｏ図（ｄ）〕するので
、このセンサ１５１ＢがＯＮ状態（ＳＴＰ　３７）とな
り、このセンサ１５１Ｂの位置を新位置として入力（Ｓ
ＴＰ３８）する。その後、ステップ３９へと進み、新位
置（センサ１５１Ｂ）と旧位置（センサ１５１Ａ）とを
比較するが、当然同一ではないので、この時の回転方向
をＢ１方向と検出（ＳＴＰ４０）してから、ステップ４
１へと進行して、この方向は順方向（Ｂ＋方向）なので
、更に位置情報Ｐを１つプラス（ＳＴＰ４８）してＰ＝
３としてからステップ４９へと進む。

ここでは、前記ステップ４８でＰ＝３とされたので、ス
テップ４９ではＹＥＳと判断されるため、ステップ５０
へと進み、位置情報Ｐを０にリセットするとともに、Ｂ
、方向を順方向としたことも解除する。そして、ステッ
プ５１へと進み、正しい位置、すなわち、対物レンズ１
１５Ｂが測定位置にあるので、操作ボックス１８０の位
置表示部１８９Ｂを点灯させて手動回転位置の検出が終
了する。

次に、手動でレボルバ１００Ａを第１０図（ａｌの状態
から（ｂ）、　（ｅ）と回転させて、（Ｃ）と（ｄ）の
間、すなわち、フェライトマグネット１５２Ｃがセンサ
１５１Ａを通過した位置まで変位させた後、今度はレボ
ルバ１００Ａを前記と逆方向に変位させて最終的に（ａ
ｌの位置に戻す場合も位置検出できるので、以下、その
検出方法を説明する。

先ず、レボルバ１００Ａを（ａ）の状態から（ｂ）の状
態まで矢印Ｂ１方向に回転させると、フェライトマグネ
ット１５２Ｂの作用によりセンサ１５１ＤがＯＮ　（Ｓ
ＴＰ３７）するので、このセンサ１５ＩＤの位置を新位
置として入力（ＳＴＰａ８）する。次いで、この新位置
（センサ１５１Ｄ）と旧位置（センサ１５１ｃ）とは当
然異なるので（ＳＴＰ３９）、その時の回転方向、すな
わち、矢印Ｂ１方向をステップ４０で検出する。

次に、この方向（Ｂ　＋方向）は、最初に回転させた方
向なので、ステップ４１では順方向と判断される。ステ
ップ４７では、新位置（センサ１５ＩＤ）を旧位置の代
りに設定した後、位置情報Ｐを１つプラス（ＳＴＰ４８
）してＰ＝１としてから、ステップ４９でＰ＝３か否か
を判断する。今、Ｐ＝１なのでステップ４６へと進み、
エラー表示部１８８を点灯させる。

そして、レボルバ１００Ａを更に矢印Ｂ１方向に回転さ
せて、第１０図（Ｃ）の状態にすると、フェライトマグ
ネット１５２Ｃの磁力作用によりセンサ１５１ＡがＯＮ
　（ＳＴＰ３７）Ｌ、この信号を新位置として入力（Ｓ
ＴＰ３８）した後、新位置（センサ１５１Ａ）と旧位置
（センサ１５１Ｄ）とを比較（ＳＴＰ３９）するが、値
は、当然異なるので、この時の回転方向（Ｂ１方向）を
検出（ＳＴＰ４０）する。

その後、この方向（Ｂ、方向）は順方向（ＳＴＰ４１）
なので、新位置（センサ１５１Ａ）を旧位置の代りに設
定（ＳＴＰ４７）してから、位置情報Ｐを１つプラス（
ＳＴＰ４８）Ｌ、Ｐ：＝２としてからステップ４９でＰ
＝３か否かを判断する。

今、Ｐ＝２なのでステップ４６へと進み、エラー表示部
１８８を点灯させておく。

そして、今度はフェライトマグネット１５２ｃがセンサ
１５１Ａを通過するまでレボルバ１００Ａを手動で８１
方向に回転させ、フェライトマグネット１５２Ｃがセン
サ１５１Ａを通過したら、−旦しポルバ１００Ａの回転
を停止させた後、今度はレボルバ１００Ａを矢印Ｂ２方
向へ回転させる。

すると、フェライトマグネット１５２ｃが再度センサ１
５１Ａの真上に位置するので、このセンサ１５１ＡがＯ
Ｎ　（ＳＴＰ３７）状態となり、センサ１５１Ａを新位
置として入力（ＳＴＰ３８）してから、ステップ３９へ
と進行する。ここで、新位置（センサ１５１Ａ）と旧位
置（センサ１５ＩＡ）とは同一のため、回転方向を検出
する必要がないのでステップ４１へと進行し、ここで順
方向か否かを判断されるが、矢印Ｂ１方向ではないので
、ステップ４２へと進む。ここで、順方向（Ｂ、方向）
に対して逆方向か否がを判断するが、金入力されている
情報は、新位置、旧位置ともにセンサ１５１Ａのため、
逆方向とは判断されず、この場合、位置変更なしく５Ｔ
Ｐ５２）とされてステップ４５へと進行する。

ここで、前記位置情報Ｐ＝２なので、Ｐは０ではないと
判断されて、エラー表示部１８８を点灯（ＳＴＰ４６）
させておく。

そして、更にレボルバ１００Ａを矢印Ｂ２方向に回転さ
せて、第１Ｏ図ｆｂ）の状態にすると、フェライトマグ
ネット１５２Ｂの作用にょリセンサ１５１ＤがＯＮ　（
ＳＴＰ３７）するので、この位置を新位置として入力（
ＳＴＰ３８）した後、ステップ３９で新位置（センサ１
５１Ｄ）と旧位置（センサ１５１Ａ）とを比較するが、
当然具なるので、ステップ４０へと進行する。ここでは
、この時の回転方向、すなわち、矢印Ｂ２方向が検出さ
れてステップ４１へと進行する。

すると、ここでは、矢印Ｂ２方向は、順方向ではないと
判断されるので、ステップ４２へと進む。

ここで、Ｂ２方向は逆方向と判断されて、新位置（セン
サ１５１Ｄ）を旧位置に設定（ＳＴＰ　４３）してから
、位置情報Ｐを１つマイナス（ＳＴＰ４４）してＰ＝１
とする。そして、ステップ４５ではＰ＝Ｏか否かを判断
するが、今Ｐ＝１なので、エラー表示部１８８を点灯（
ＳＴＰ４６）させたまま、更に、レボルバ１００Ａを手
動で矢印Ｂ。

方向に回転させると、今度はフエライトマグネッ）１５
２Ａがセンサ１５１Ｃの真上に位置〔第１Ｏ［Ｈａ）’
ｌ　ｔル１７）テ、このセンサ１５１ｃが０Ｎ（ＳＴＰ
３７）状態となり、センサ１５１ｃ（７）位置を新位置
として入力（ＳＴＰ３８）する。

その後、新位置（センサ１５１Ｃ）と旧位置（センサ１
５１Ｄ）とは異なる（ＳＴＰ３９）　ので、この時の回
転方向を矢印Ｂ２方向と検出（ＳＴＰ４０）してから、
ステップ４１で順方向（Ｂ。

方向）か否かを判断するが、この方向はＢ２方向なので
ステップ４２に進み、ここで逆方向（Ｂ。

方向）と判断されて、新位置（センサ１５１Ｃ）を旧位
置に設定（ＳＴＰ４３）する。

そして、ステップ４４では位置情報Ｐから１つマイナス
してＰ＝Ｏとして、ステップ４５へと進行し、ここでＰ
が０か否かが判断されるが、今Ｐ二〇、すなわち、対物
レンズ１１５Ａが正しい位置（測定位置）にあると判断
されるので、操作ボックス１８０の位置表示部１８９Ａ
を点灯させて、手動回転位置の検出が終了する。

このようにして、自動でなく手動回転によっても、各磁
気センサ１５１Ａ乃至１５１Ｄ及びフェライトマグネッ
ト１５２Ａ乃至１５２Ｃの作用を受けて、所定の対物レ
ンズが測定位置に正しく設定されたか否かが、検出され
、操作ボックス１８０で視認できることとなる。

次に、自動回転位置検出手段４００について説明する。

この自動回転位置検出手段４００は、位置決めされた状
態〔例えば第１０図（ａ）〕からは勿論検出できるが、
位置決めされていない場合〔例えば第１Ｏ図（ｂ）〕で
もその位置を検出して所望の位置に位置決めできるので
、以下、両方の場合について第１２図のフローチャート
を中心とし、この他に、第１１図及び第１０図並びに第
９図等をも参照しながら詳細に説明する。

先ず、しっかりと位置決めされた状態、例えば、対物レ
ンズ１１５Ａが測定位置にある状態〔第１θ図（ａ）〕
から、操作ボックス１８０の所定のキー例えば、回動方
向指定スイッチ１８３Ａを押圧して、隣接して配置され
た対物レンズ１１５Ｂを測定位置〔第１Ｏ図（ｄ）〕ま
で回転する場合について説明する。

この時、第１０図（ａｌの状態からＢ＋方向に９０度移
動した（ｄ）の状態まで回転する時間を、略１　ｓｅｃ
となるよう設定しであるので、レボルバ１００Ａが１回
転（３６０度回転）する時間は、略４　ｓｅｃとなる。

先ず、第８図のステップ１８で所望のキー、例えば、操
作ボックス１８０の回動方向指定スイッチ１８３Ａを押
圧すると、キー人力したと判断されるので、ステップ１
９の自動回転位置検出手段４００に進行する。

そして、この自動回転位置検出手段４００では、第１２
図に示すように、先ず、ステップ５３でセンサ１５１Ａ
乃至１５１Ｄの何れかが、ＯＮＬでいるか否かが判断さ
れる。この場合、フェライトマグネット１５２Ａが磁気
センサ１５１ｃの真上にあるので、このセンサ１５１Ｃ
がＯＮしているため、モータ１２０を高速回転（ＳＴＰ
５４）させる。これにより、レボルバ１００Ａが矢印Ｂ
＋方向に回転して、切欠部１１１Ａがベアリング９４か
ら離脱する。

次に、ステップ６０に進行するが、ここでは、モータ１
２０が誤作動して回転し続けることを阻止するために、
通常のモータ１２０の駆動設定時間（本実施例では１　
ｓｅｃ　）より長い所定時間（２〜３ｓｅｃ）を設定し
てあり、一方、その時間以上、モータ１２０が回転する
ようであれば、このモータ１２０を強制的に停止（ＳＴ
Ｐ６１）させてエラー表示部１８８を点灯（ＳＴＰ８４
）させた後、第８図のステップ１８へと進行するよう構
成されている。前記所定時間（２〜３ｓｅｃ）は設定自
在であり、本実施例の場合は２　ｓｅｃとしている。

この場合、経過時間は１　ｓｅｃ以下なので、ステップ
６２へと進み、レボルバ１００Ａの回転が更に進行する
と、フェライトマグネット１５２Ｂの磁力作用により、
センサ１５１ＤがＯＮＣ第１０図（ｂ）　）するので、
ステップ６３へと進行して、このセンサ１５１Ｄの位置
を新位置として入力する。

そして、ステップ６４へと進み、このステップ６４では
最初に回転させた方向（Ｂ１方向）を順方向とするため
、当然順方向と判断されてステップ７３へと進行する。

ここで、新位置（センサ１５ＩＤ）を旧位置の代りに設
定するとともに、位置情報Ｐに１つプラスしてＰ＝１と
する。

その後、ステップ７４に進行して、Ｐが１か否かを判断
するが、前記ステップ７３でＰ＝１とされているので、
モータ１２０を中速回転（ＳＴＰ７５）させる。すると
、再度ステップ６０に進行して所定時間（好適には２ｓ
ｅｃ）経過しているか否かを判断するが、この時、実際
の経過時間はやはり１　ｓｅｃ以下のため、ステップ６
２へと進む。

そして、更にレボルバ１００Ａの回転（Ｂ１方向）が進
行すると、フェライトマグネット１５２Ｃの磁力作用に
より、センサ１５１ＡがＯＮ（第１θ図（Ｃ）〕するの
で、ここではセンサＯＮと判断されて、このセンサ１５
１Ａの位置を新位置として入力（ＳＴＰ６３）する。

その後、ステップ６４でこの回転方向（矢印ＢＩ）は順
方向と判断されてステップ７３に進み、ここで新位置（
センサ１５１Ａ）を旧位置に設定するとともに、位置情
報Ｐを１つプラスしてＰ＝２とする。このため、ステッ
プ７４ではＰ＝１ではないと判断されるので、ステップ
７６へと進行し、ここでＰ＝２と判断されてモータ１２
０を低速回転（ＳＴＰ７７）させる。

そして、再度ステップ６０に進行するが、この場合でも
経過時間はやはり１　ｓｅｃ以下のため、ステップ６２
へと進む。レボルバ１００Ａの回転が更に進行して第１
θ図（ｄｌの状態になると、フェライトマグネット１５
２Ａの磁力作用によりセンサ１５１ＢがＯＮするので、
このステップ６２でセンサＯＮと判断される。その後、
このセンサ１５ＩＢの位置を新位置として入力（ＳＴＰ
６３）した後、この回転方向が順方向と判断（ＳＴＰ６
４）されてから、ステップ７３に進行する。このステッ
プ７３では、位置情報Ｐを１つプラスしてＰ＝３とし、
ステップ７４．７６と進行するが、これらのステップ７
４．７６では、何れもＰ＝３のためＮｏと判断されて、
ステップ７８へと進み、ここで現在３となっている位置
情報Ｐを０にリセットするとともに、Ｂ１方向を順方向
と設定したことを解除する。

そして、操作ボックス１８０の位置表示部１８９Ｂを点
灯（ＳＴＰ８０）させて、モータ１２０の電極を一時的
に短絡させ、このモータ１２０にブレーキ（ＳＴＰ８１
）をかけることで、レポルバ１００Ａの矢印Ｂ１方向に
作用する慣性力（イナーシャ）を最小限にさせる。その
後、ステップ８３へ進み、モータ１２０に印加されてい
る電圧を解除して、このモータ１２０を完全に停止させ
る。このようにして、レボルバ１００Ａをしっかりと位
置決めさせる〔第１０図（ｄ）〕　ことで、自自回転の
位置検出が終了する。

次に、本実施例に係る顕微鏡３０の他の使用状態につい
て説明する。

すなわち、顕微鏡３０を、対物レンズ交換等の理由で、
第１０図（ａｌの状態からレボルバ１００Ａを矢印Ｂ１
方向に手動回転させ、フェライトマグネット１５２Ｃが
センサ１５１Ａを通過した後〔第１Ｏ図（Ｃ１と（ｄｌ
の間〕、−旦その回転を停止させて現在螺合されている
対物レンズを任意の対物レンズと交換してから、操作ボ
ックス１８０の所定のキー、例えば、回動方向指定スイ
ッチ１８３Ｂを押圧して、レボルバ１００Ａを前記と逆
方向（Ｂ２方向）に回転させて、再び所定の位置〔第１
Ｏ図（ａ）〕に位置決めされるような使用法もあり、以
下、この場合について説明する。

先ず、第１０図（ａ）の状態から手動でレボルバ１００
Ａを矢印Ｂ１方向に回転させると、第１Ｏ図（ｂ）に示
すように、フェライトマグネット１５２Ｂの磁力作用に
よりセンサ１５１ＤがＯＮする（第１１図５ＴＰ３７）
ので、このセンサ１５１Ｄの位置を新位置として入力（
ＳＴＰ３８）した後、この新位置（センサ１５１Ｄ）と
旧位置（センサ１５１Ｃ）とが、同一か否かを比較（Ｓ
ＴＰ３９）する。この場合、同一ではないので、この時
の回転方向を矢印Ｂ、と検出（ＳＴＰ４０）してから、
ステップ４１へと進む。

ステップ４１では、前記ステップ４０で検出された方向
が順方向か否かを判断するが、この場合、最初に回転さ
せた方向は矢印Ｂ１方向なので、当然順方向と判断し、
新位置（センサ１５１Ｄ）を旧位置に設定（ＳＴＰ４７
）してから、位置情報Ｐを１つプラス（ＳＴＰ４８）し
てＰ＝１とする。

その後、ステップ４９では位置情報Ｐが３か否かを判断
するが、ここではＰ＝１のため、操作ボックス１８０の
エラー表示部１８８を点灯（ＳＴＰ４６）させる。

そして、更にレボルバ１００Ａを回転（Ｂ１方向）させ
ると、第１θ図（Ｃ）の状態、すなわち、フェライトマ
グネット１５２ｃの磁力作用によりセンサ１５１Ａが０
Ｎ（ＳＴＰ３７）する。このため、このセンサ１５１Ａ
の位置を新位置として入力（ＳＴＰ３８）してから、新
位置（センサ１５ＩＡ）と旧位置（センサ１５１Ｄ）と
が同一か否かを比較（ＳＴＰ３９）する。この場合、こ
れら２つは異なるので、この時の回転方向を矢印Ｂ１方
向と検出（ＳＴＰ４０）する。すると、ステップ４１で
は、この方向は矢印Ｂ１方向、すなわち、順方向と判断
されるので、新位置（センサ１５１Ａ）を旧位置の代り
に設定（ＳＴＰ４７）した後、位置情報Ｐを１つプラス
（ＳＴＰ４８）してＰ＝２とする。

その後、ステップ４９で位置情報Ｐが３か否かを判断さ
れるが、前記ステップ４８でＰ＝２とされたので、エラ
ー表示部１８８を点灯（ＳＴＰ４６）させたままにして
おく。

そして、更にレボルバ１００ＡをＢ、方向に少し回転さ
せて、フェライトマグネット１５２Ｃがセンサ１５１Ａ
を通過した後に、その回転を停止させる〔実際は第１Ｏ
図（ｅ）とＣｄ）の間で停止させる〕。

次いで、操作ボックス１８０の所定のキー、例えば、回
動方向指定スイッチ１８３Ｂを押圧（第８図ＳＴＰ　ｌ
　８）すると、ステップ１９へと進行し、自動位置検出
手段４００が作動する。

前記回動方向指定スイッチ１８３Ｂを押圧すると、第１
２図のステップ５３に進み、センサがＯＮしているか否
かを判断するが、今、エラー表示部１８８が点灯してい
るため、当然ＮＯと判断されて、ステップ５５へと進む
。ここでは、第１１図のステップ４０で最後に検出した
方向、すなわち、いずれかのフェライトマグネット１５
２Ａ乃至１５２Ｃ（第１０図ではマグネット１５２Ｂと
１５２Ｃ）によるセンサ１５１ＤのＯＮ状態がらセンサ
１５１ＡのＯＮ状態に回転する方向（矢印Ｂ＋）に対し
て、逆回転か否かを判断している。

今、レボルバ１００Ａをフェライトマグネット１５２Ｃ
がセンサ１５１Ｄからセンサ１５１Ａへと向かう方向（
矢印Ｂ２）に回転させようとしているので、この方向（
矢印Ｂ２）は逆回転と判断されて、ステップ５８に進行
し、Ｐ＝０か否かを判断するが、この場合、第１３図の
ステップ４８でＰ＝２と設定されているので、モータ１
２０を中速回転（ＳｒＦ５７）させて、レボルバ１００
Ａを矢印Ｂ２方向に回転させる。

この後、所定時間（好適には２ｓｅｃ）が経過したか否
かを、ステップ６０で判断する。この場合、所定のキー
を入力（第８図５ＴＰ１８）してから現在までの経過時
間、すなわち、ｌ　ｓｅｃ以下なので、ＮＯと判断され
る。

そして、レボルバ１００Ａが更に矢印Ｂ２方向に回転す
ると、第１Ｏ図（Ｃ）に示すようにフェライト、　ネッ
ト１５２Ｃの磁力作用によりセンサ１５１ＡがＯＮ　（
ＳｒＦ２２）するので、このセンサ１５１Ａの位置を折
位置として入力（ＳｒＦ６３）して、ステップ６４に進
む。

ここでは、旧位置がセンサ１５１Ａで、折位置もセンサ
１５１Ａとなるので、順方向ではないと判断されて、ス
テップ６５へと進むが、ここでも折位置と旧位置とが同
一のため、逆方向ではないと判断されて、ステップ６０
へと進行する。

そして、レボルバ１００Ａが更に矢印Ｂ２方向に回転す
ると、第１０図ｆｂ）に示すように、今度はフェライト
マグネット１５２Ｂの作用下にセンサ１５１ＤがＯＮ　
（ＳｒＦ２２）するので、このセンサ１５１Ｄの位置を
折位置として入力（ＳｒＦ６３）すると、旧位置が１５
１Ａで、折位置１５１Ｄとなるので、回転方向が矢印Ｂ
２方向と設定される。ステップ６４では、この方向（Ｂ
、）が順方向（Ｂ１）であるか否かを判断するが、ここ
では順方向ではないので、ステップ６５へと進行する。

そして、ここで、この方向（Ｂ２）は逆方向と判断され
、折位置（センサ１５１Ｄ）を旧位置に設定（ＳｒＦ６
８）した後、位置情報Ｐから１つマイナス（ＳｒＦ６９
）してＰ＝１とされる。

すると、ステップ７０でＰ＝１か否かが判断されるが、
前記ステップ６９でＰ＝１とされたのでステップ７２へ
と進み、ここでモータ１２０を低速回転にする。その後
、再度ステップ６０で所定時間（２ｓｅｃ）経過したか
否かを判断するが、ここでもやはり、経過時間は１　ｓ
ｅｃ以下なのでＮｏと判断される。

そして、レボルバ１００ＡのＢｚ力方向回転が更に進行
すると、第１Ｏ図（ａ）に示すように、フェライトマグ
ネット１５２Ａの作用下により、センサ１５１ｃが０Ｎ
（ＳｒＦ６２）するので、このセンサ１５１ｃの位置を
折位置として入力（ＳｒＦ６３）した後、この方向（Ｂ
２）は逆方向なのでステップ６４ではＮＯとなり、ステ
・ツブ６５ではＹＥＳとなって、この折位置（センサ１
５１Ｃ）を旧位置に設定（ＳｒＦ６８）してから、位置
情報Ｐから１つマイナス（ＳｒＦ６９）してＰ＝０とす
る。

すると、ステップ７０ではＮｏと判断されるのでステッ
プ７１へと進み、ここでＹＥＳと判断されて、ステップ
８０へと進み、Ｐ＝０とされたので操作ボックス１８０
の位置表示部１８９Ａを点灯させる。次いで、ステップ
８１に進み、モータ１２０にブレーキをかけてレボルバ
１００Ａに作用する慣性力（イナーシャ）を最小限にし
てから、ステップ８３でモータ１２０を完全に停止させ
る。

このようにして、レボルバ１００Ａがしっかりと位置決
めされ、自動回転位置の検出が終了する。

この場合、本実施例によれば、フェライトマグネットを
３つ設けることにより、特に、手動回転の位置を容易に
検出することができ、これにより、自動回転と手動回転
とを併用してレボルバ１００Ａを回動させることができ
るので、この結果、その操作性を飛躍的に向上させるこ
とが可能となる効果が得られる。

また、初期位置検出手段２００を設けているので、当該
顕微鏡３０の電源をＯＮさせれば、その時点の４つの対
物レンズ１１５Ａ乃至１１５Ｄの位置は、操作ボックス
１８０を視認するだけで正確に検出することができる。

従って、位置決めされていないのに、位置表示部１８９
Ａ乃至１８９Ｄが点灯するという誤表示を阻止すること
ができる。

更に、本実施例では、手動回転位置検出手段３００及び
自動回転位置検出手段４００を設けているので、対物レ
ンズの交換作業等のためにレボルバ１００Ａを所望の位
置に手で回動させても、その位置を正確に検出すること
ができるので、その後、キー人力して自動回転させても
前記レボルバ１００Ａを所定の位置で位置決めすること
ができる。この結果、常に正確な位置にレボルバ１００
Ａを位置決めすることが可能となる効果が得られる。

また、自動回転位置検出手段４００には、モータ１２０
が所定時間（２〜３ｓｅｃ）以上回転すると、このモー
タ１２０の回転を自動的に停止させる手段があるので、
モータ１２０が誤作動した場合でも、所定時間経過すれ
ば、速やかにその回転を停止させることができる。この
結果、モータ１２０の無駄な回転を防止でき、ひいては
、焼き付き、破損等を未然に阻止することが可能となる
。

また、本実施例において、第１実施例と同一の構成要素
に対しては、同一の効果を奏することは勿論である。

以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設
計の変更が可能なことは勿論である。

例えば、フェライトマグネット１５２Ａとフェライトマ
グネット１５２Ｂ、フェライトマグネット１５２Ａとフ
ェライトマグネット１５２Ｃとの角度θをそれぞれ１０
０度に設定したが、この角度は１００度に限らず、９０
度を越え１８０度未満なら何度でもよい。但し、９０度
と１３５度付近では検出が困難となるので、この２つは
除外する。その理由として、θ＝９０°とすると、全て
のフェライトマグネットが３つのセンサの上に位置する
ことになるので、検出困難となり、また、θ−１３５°
にすると２つのフェライトマグネットが同時に２つのセ
ンサの真上に位置することが考えられるので、この場合
も検出困難となるからである。

また、第２実施例では、モータ１２０に略９Ｖ。

６Ｖ、３Ｖの電圧を印加してそれぞれ高速、中速、低速
としたが、これはレボルバ１００Ａの重量等によって勿
論変更することは、可能である。この場合、モータ１２
０の速度を変更するのに、電圧を変化させるものに限ら
ず、減速機の減速比を変える等、他の手段によってもよ
い。しかし、電圧を変化させるのが簡易である。

更に、第１実施例の変形例としてフェライトマクネット
１５２の両側にそれぞれ１個づつ予備のフェライトマグ
ネットを設けることもでき、この場合、これらの予備フ
ェライトマグネットの一方が磁気センサ上に位置した時
に、モータ１２０を低１中回転にして、前記フェライト
マグネット１５２が則記磁気センサ上に位置した時にモ
ータ１２０を逆回転させた後、停止させることもできる
。

また、モータ１２０の回転制御をティーチングによって
行うこともできる。このようにティーチング機能付きと
すれば、経時変化による位置決め精度の狂いが生じない
という効果を付加できる。

更に、ウオーム１３１とウオームホイール１３４とに代
替して一対のまがり歯かさ歯車を使用することもでき、
更には、ベルト１４６に代わって、断面が円形状の丸ベ
ルトやＶベルト等を使用することもできる。要するに、
直流コアレスモータ１２０の回転力を、すべり等を惹起
させずに確実にノーズピース１０２に伝達できるもので
あればよい。

また、前記実施例では対物レンズが４つ螺合されたノー
ズピース１０２を用いたが、この他に、２．３若しくは
５以上の対物レンズを螺合可能なノーズピースを使用で
きることは勿論である。この場合、対物レンズの数をＮ
個（Ｎ＝２．３，４゜・・・・・・）とすると磁気セン
サの数はＮ個、フェライトマグネットの数は（Ｎ−１）
ｆＷとする。

更に、反射用照明手段４７は、本体３１と別個に設けて
もよい。

また、回転位置検知手段１５０は、磁気により検知する
ものに限らず、光等を用いて検知するものでもよい。こ
の際、磁気により検知する場合、磁石はフェライトマグ
ネット１５２に限らず、アルニコマグネット、希土類マ
グネット等、他のタイプのマグネットでもよいが、フェ
ライトマグネット１５２とすれば安価で、磁性劣化が少
ないという利点がある。

更に、コントロールボックス１７０や操作ボックス１８
０は、前記実施例のように各々独立に設けるものに限ら
ず、結合して設けてもよく、更には顕微鏡３０の本体３
１に一体に組み込んでもよい。

また、回転駆動源としては、直流コアレスモータ１２０
に限らず、他の形式のモータ等でもよいが、直流コアレ
スモータ１２０とすれば前述のような参り点がある。

更に、前記実施例では、モータ逆転用タイマあるいはモ
ータの一時ブレーキ用タイマの動作指令信号と実際動作
との遅れを、磁気センサ１５１でチエツクしてモータ逆
回転動作あるいはモータの一時ブレーキ動作を行わせた
が、前記遅れを無視し、あるいは、予めコントロールボ
ックス１７０内でコンピュータ処理して、各タイマへの
動作指令信号で直ちに逆回転動作あるいは一時ブレーキ
動作が行われるものとして取り扱ってもよい。

〔発明の効果〕

前述のような本発明によれば、レボルバの正確な位置決
めを自動的に行うことができ、かつ、メンテナンスも容
易であるという効果がある。

また、自動操作のみならず、手動操作時にも、レボルバ
の正確な位置決めが可能になるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第６図は本発明の第１実施例を示すもので、
第１図は全体構成を示す斜視図、第２図はその本体に設
けられた取着手段を示す正面図、第３図は第２図の底面
図、第４図はレボルバユニットの断面図、第５図はレボ
ルバユニットの分解斜視図、第６図は動作を示すフロー
チャート、第７図乃至第１２図は本発明の第２実施例を
示すもので、第７図はレボルバと磁気センサとの位置関
係の説明図、第８図は第２実施例の全体の動作を示すフ
ローチャート、第９図は第２実施例における初期位置検
出手段を示すフローチャート、第１０図はレボルバと磁
気センサとの動作説明図、第１１図及び第１２図は第２
実施例における手動回転位置検出手段及び自動回転位置
検出手段を示すフローチャート、第１３図は従来の一例
を示す全体図、第１４図は従来の他の例を示す要部の断
面図である。 Ｗ・・・被測定物、３０・・・顕微鏡、３１・・・本体
、３５・・・透過用照明手段、４３・・・載物台、４７
・・・反射用照明手段、５１・・・接眼レンズ、６０・
・・取着手段、７０・・・レボルバユニット、７４・・
・支持板、８４・・・プリント基板、９０・・・位置決
め手段、９３・・・板ばね、９４・・・ベアリング、１
００．１００Ａ・・・レボルバ、１０１・・・固定部材
、１０２・・・ノーズピース、１１１Ａ、ＩＩＩＢ、ｌ
ｌＩｃ、ｌｌＩＤ・・・切欠部、１１５Ａ、１１５Ｂ、
１１５ｃ、１１５Ｄ・・・対物レンズ、１２０・・・回
転駆動源としての直流コアレスモータ、１３０・・・回
転伝達手段、１３１・・・ウオーム、１３４・・・ウオ
ームホイール、１３９・・・歯車、１４６・・・ベルト
、１５０・・・回転位置検知手段、１５１Ａ、１５１Ｂ
、１５１ｃ、１５１Ｄ・・・磁気センサ、１５２，１５
２Ａ、１５２Ｂ、１５２Ｃ・・・磁石としてのフェライ
トマグネット、２００・・・初期位置検出手段、３００
・・・手動回転位置検出手段、４００・・・自動回転位
置検出手段。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定物を載置する載物台と、この載物台を所望
   の方向へ変位自在に支持する本体と、前記被測定物に照
   明光を照射する照明手段と、前記照明光が照射された被
   測定物の画像を入射させる複数の対物レンズを保持する
   とともに前記本体に対して回転可能にされたレボルバと
   を有する顕微鏡において、前記レボルバを回転可能に支
   持するレボルバユニットを設けるとともに、このレボル
   バユニットを前記本体に着脱可能にし、かつ、レボルバ
   ユニットは、前記レボルバを回動させるための回転駆動
   源と、この回転駆動源の回転力を前記レボルバに伝達す
   る回転伝達手段と、前記レボルバの回転を検知してそれ
   ぞれの対物レンズの位置を検知する回転位置検知手段と
   を備えて構成されることを特徴とする顕微鏡。
2. （２）請求項第１項に記載の顕微鏡において、回転駆動
   源は、直流コアレスモータを用いることを特徴とする顕
   微鏡。
3. （３）請求項第１項または第２項に記載の顕微鏡におい
   て、回転伝達手段は、回転駆動源と一体的に取着される
   ウォームと、このウォームに噛合されるとともにウォー
   ムの回転をその軸線方向と略直交する方向に変換するウ
   ォームホィールと、このウォームホィールの回転をレボ
   ルバに伝達するとともに前記ウォームホィールとその軸
   線が一致して固定される歯車と、この歯車の形状に対応
   する歯がその一方の面に形成されるベルトとを備えて構
   成されることを特徴とする顕微鏡。
4. （４）請求項第１項乃至第３項のいづれかに記載の顕微
   鏡において、回転位置検知手段は、対物レンズの数に対
   応し、かつ、レボルバユニットに設けられた支持板上の
   所定間隔離間する位置に取着される磁気センサと、前記
   レボルバ内に取着される少なくとも１つの永久磁石とを
   備えて構成されることを特徴とする顕微鏡。
5. （５）被測定物を載置する載物台と、この載物台を所望
   の方向へ変位自在に支持する本体と、前記被測定物に照
   明光を照射する照明手段と、前記照明光が照射された被
   測定物の画像を入射させる複数の対物レンズを保持する
   とともに前記本体に対して回転可能にされたレボルバと
   を有する顕微鏡において、前記レボルバを回転可能に支
   持するレボルバユニットを設けるとともに、このレボル
   バユニットを前記本体に着脱可能にし、かつ、レボルバ
   ユニットは、前記レボルバを回動させるための回転駆動
   源と、この回転駆動源の回転力を前記レボルバに伝達す
   る回転伝達手段と、通電時に前記対物レンズの位置を検
   出する初期位置検出手段と、前記レボルバの手動回転を
   検知して対物レンズの位置を検出する手動回転位置検出
   手段と、前記レボルバの自動回転を検知して対物レンズ
   の位置を検出する自動回転位置検出手段と、前記対物レ
   ンズの数に対応し、かつ、レボルバユニットに設けられ
   た支持板上の所定間隔離間する位置に取着される磁気セ
   ンサと、前記レボルバ内に設けられるとともに対物レン
   ズの数より１つ少ない数の永久磁石とを備えて構成され
   ることを特徴とする顕微鏡。
6. （６）レボルバを回転させることにより所望の対物レン
   ズを所定位置に変位させて被測定物の精密検査を行う顕
   微鏡の操作方法において、先ず、回転駆動源を高速回転
   させてこの回転を回転伝達手段を介してレボルバに伝達
   し、次いで所定時間経過および／または所定場所に位置
   してから前記回転駆動源を低速回転させた後、この回転
   駆動源の回転方向を頭初の回転方向と逆方向に所定時間
   回転させ、更に、前記回転駆動源の回転に一時的にブレ
   ーキをかけてから、前記回転駆動源を完全に停止させ、
   これにより、対物レンズを所定位置に位置決めすること
   を特徴とする顕微鏡の操作方法。