JPH03214423A - 磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法 - Google Patents
磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法Info
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- JPH03214423A JPH03214423A JP819390A JP819390A JPH03214423A JP H03214423 A JPH03214423 A JP H03214423A JP 819390 A JP819390 A JP 819390A JP 819390 A JP819390 A JP 819390A JP H03214423 A JPH03214423 A JP H03214423A
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- recording medium
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、高分子フィルム上に７−Ｆｅｚ０１を主成分
とする磁性粉を結合剤とともに塗布してなる塗布型の磁
気記録媒体の製造工程における磁気記録媒体の塗布むら
欠陥を検査する方法に関する．（発明の概要） 本発明は、高分子フィルム上に７−Ｆｅｚ０３を主成分
とする磁性粉を結合剤とともに塗布してなる塗布型の磁
気記録媒体の製造工程における磁気記録媒体の塗布むら
欠陥を、磁気記録媒体に波長が６０ｏｎ−ないし７００
ｎ―のレーザ光をスキャナを用いて走査して照射し、そ
の透過光を検出することによって、磁気記録媒体の広範
囲の領域を感度よく迅速に、信顛性よく検査できる方法
を提供しようとするものである。
とする磁性粉を結合剤とともに塗布してなる塗布型の磁
気記録媒体の製造工程における磁気記録媒体の塗布むら
欠陥を検査する方法に関する．（発明の概要） 本発明は、高分子フィルム上に７−Ｆｅｚ０３を主成分
とする磁性粉を結合剤とともに塗布してなる塗布型の磁
気記録媒体の製造工程における磁気記録媒体の塗布むら
欠陥を、磁気記録媒体に波長が６０ｏｎ−ないし７００
ｎ―のレーザ光をスキャナを用いて走査して照射し、そ
の透過光を検出することによって、磁気記録媒体の広範
囲の領域を感度よく迅速に、信顛性よく検査できる方法
を提供しようとするものである。
磁気記録媒体として、高分子フィルム上にｒ −Ｐｅｚ
０３を主成分とする磁性粉を塗布・乾燥し、磁性層を形
成して作製される塗布型の磁気記録媒体は広く使用され
ている。この場合、塗布むらにより特に磁性層の薄いと
ころがあると、その部分は磁気記録媒体としての特性を
満足に示さなくなり重大な欠陥となる。
０３を主成分とする磁性粉を塗布・乾燥し、磁性層を形
成して作製される塗布型の磁気記録媒体は広く使用され
ている。この場合、塗布むらにより特に磁性層の薄いと
ころがあると、その部分は磁気記録媒体としての特性を
満足に示さなくなり重大な欠陥となる。
従って、塗布型の磁気記録媒体の製造工程においては、
そのような塗布むら欠陥を早く検知して、製品に含まれ
ないようにしなければならない。この検査のための従来
の方法の一例として第４図に目視による検査法を模式的
に示す。ここで、■は被検査体である磁気記録媒体、４
２は照明のための蛍光体、４３は検査者の肉眼である。
そのような塗布むら欠陥を早く検知して、製品に含まれ
ないようにしなければならない。この検査のための従来
の方法の一例として第４図に目視による検査法を模式的
に示す。ここで、■は被検査体である磁気記録媒体、４
２は照明のための蛍光体、４３は検査者の肉眼である。
走行する（図中の矢印方向に）磁気記録媒体ｌを透過す
る透過光の目視による検査は、欠陥の検出感度はよいが
、検査者の疲労を伴い、見落としも生し易くまた検査の
高速化には対応し難いという問題がある。第５図は自動
化された類偵の欠陥検査の従来例を模式的に示したもの
であって、磁気記録媒体の磁性層に生じたピンホールや
キズ欠陥を検査する方法である。ここで、１は被検査体
である磁気記録媒体、５２はハロゲンランプ、５３はＣ
ＣＤリニアイメージセンサである。
る透過光の目視による検査は、欠陥の検出感度はよいが
、検査者の疲労を伴い、見落としも生し易くまた検査の
高速化には対応し難いという問題がある。第５図は自動
化された類偵の欠陥検査の従来例を模式的に示したもの
であって、磁気記録媒体の磁性層に生じたピンホールや
キズ欠陥を検査する方法である。ここで、１は被検査体
である磁気記録媒体、５２はハロゲンランプ、５３はＣ
ＣＤリニアイメージセンサである。
この方法では、走行する（図中の矢印方向に）磁気記録
媒体Ｉの一方の面側からハロゲンランプ５２のような強
力な光源で照明を行い、他の面倒に設けたＣＣＤリニア
イメージセンサ５３で透過光及びその位置を検出するも
のである。この方法は、白色光源を用いているためにピ
ンホールのように磁性層がほぼ完全に脱落した欠陥の検
出には感度が高く有効であるが、磁性層がわずか薄くな
った塗布むらを検出する怒度は極めて低い。この方法に
おいて、後述の作用の項で述べる理由で、光源側ないし
センサ側に、波長６００ｎｍないし７００ｎｍの光フィ
ルタを付加することによって、塗布むらに対する検出感
度を多少改善できるが、この方法では、光の利用率が低
く強力な光源を必要とするので、光源からの発熱の磁気
記録媒体への影響も大きな問題である． 〔発明が解決しようとする課題〕 本発明は、前述の現状に鑑み提案されるものであり、７
−Ｆｅ２Ｏ３を磁性層の主成分とする塗布型の磁気記録
媒体の磁性層の、特に所定厚よりも薄くなった塗布むら
欠陥を、発熱の問題もなく、感度よく、迅速に、信鎖性
よく検査できる磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法
を提供することを課題とする。
媒体Ｉの一方の面側からハロゲンランプ５２のような強
力な光源で照明を行い、他の面倒に設けたＣＣＤリニア
イメージセンサ５３で透過光及びその位置を検出するも
のである。この方法は、白色光源を用いているためにピ
ンホールのように磁性層がほぼ完全に脱落した欠陥の検
出には感度が高く有効であるが、磁性層がわずか薄くな
った塗布むらを検出する怒度は極めて低い。この方法に
おいて、後述の作用の項で述べる理由で、光源側ないし
センサ側に、波長６００ｎｍないし７００ｎｍの光フィ
ルタを付加することによって、塗布むらに対する検出感
度を多少改善できるが、この方法では、光の利用率が低
く強力な光源を必要とするので、光源からの発熱の磁気
記録媒体への影響も大きな問題である． 〔発明が解決しようとする課題〕 本発明は、前述の現状に鑑み提案されるものであり、７
−Ｆｅ２Ｏ３を磁性層の主成分とする塗布型の磁気記録
媒体の磁性層の、特に所定厚よりも薄くなった塗布むら
欠陥を、発熱の問題もなく、感度よく、迅速に、信鎖性
よく検査できる磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法
を提供することを課題とする。
〔課題を解決するための手段］
本発明は、高分子フィルム上にγ−ＦｅｚＯ．，を主成
分とする磁性粉を結合剤とともに塗布してなる塗布型の
磁気記録媒体の塗布むら欠陥を検査する方法であって、
塗布むらの中でも特に所定の塗布厚よりも薄くなった塗
布むらを磁気記録媒体の広範囲の領域について、感度よ
く、迅速に、信軌性よく、しかも発熱などの問題もなく
検査するために、磁気記録媒体に波長が６００ｎｍない
し７００ｎｍのレーザ光をスキャナを用いて走査して照
射し、磁気記録媒体を透過する透過光を検出することに
よって検査する磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法
である．ここで、レーザ光の光源として特に限定するも
のではないが、波長６３３ｎｎ＋のＨｅ−Ｎｅレーザは
良質のレーザビームが得られ、しかも低価格であるので
特に好ましい．また、レーザ光を走査するスキャナとし
ては、ガルバノミラ一式、ポリゴンミラー式、ホログラ
ム式、音響光学式などいずれのものも使用できる， 〔作用〕 高分子フィルム上に７−Ｆｅｚ０３を主成分とする磁性
粉を結合剤とともに塗布してなる塗布型の磁気記録媒体
は磁性粉の光透過特性によって、波長が略６００ｎｍよ
り短い光を殆ど透過せず、それより波長が長くなるに従
って光を透過し易くなる傾向をもっている．従って、そ
のような磁気記録媒体の塗布むらを検出する光の波長と
しては、少なくとも６００ｎｓ以上である必要がある。
分とする磁性粉を結合剤とともに塗布してなる塗布型の
磁気記録媒体の塗布むら欠陥を検査する方法であって、
塗布むらの中でも特に所定の塗布厚よりも薄くなった塗
布むらを磁気記録媒体の広範囲の領域について、感度よ
く、迅速に、信軌性よく、しかも発熱などの問題もなく
検査するために、磁気記録媒体に波長が６００ｎｍない
し７００ｎｍのレーザ光をスキャナを用いて走査して照
射し、磁気記録媒体を透過する透過光を検出することに
よって検査する磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法
である．ここで、レーザ光の光源として特に限定するも
のではないが、波長６３３ｎｎ＋のＨｅ−Ｎｅレーザは
良質のレーザビームが得られ、しかも低価格であるので
特に好ましい．また、レーザ光を走査するスキャナとし
ては、ガルバノミラ一式、ポリゴンミラー式、ホログラ
ム式、音響光学式などいずれのものも使用できる， 〔作用〕 高分子フィルム上に７−Ｆｅｚ０３を主成分とする磁性
粉を結合剤とともに塗布してなる塗布型の磁気記録媒体
は磁性粉の光透過特性によって、波長が略６００ｎｍよ
り短い光を殆ど透過せず、それより波長が長くなるに従
って光を透過し易くなる傾向をもっている．従って、そ
のような磁気記録媒体の塗布むらを検出する光の波長と
しては、少なくとも６００ｎｓ以上である必要がある。
一方、余り波長が長いと、所定の塗布厚に対する透過光
量が大きくなり過ぎて、薄くなった塗布むらの検出感度
は低くなってしまう。以上の観点から行った実験の結果
として、本発明の目的である塗布むらの検出には、波長
６００ｎ−ないし７００ｒ＋＋＋＋の光源を用いるのが
よい。また、レーザ光源から得られる光ビームをスキャ
ナを用いて走査することによって、被検査体である磁気
記録媒体の広い領域について塗布むら欠陥を惑度よく迅
速に検査できる。またこの場合、光源による発熱は殆ど
問題にならない。
量が大きくなり過ぎて、薄くなった塗布むらの検出感度
は低くなってしまう。以上の観点から行った実験の結果
として、本発明の目的である塗布むらの検出には、波長
６００ｎ−ないし７００ｒ＋＋＋＋の光源を用いるのが
よい。また、レーザ光源から得られる光ビームをスキャ
ナを用いて走査することによって、被検査体である磁気
記録媒体の広い領域について塗布むら欠陥を惑度よく迅
速に検査できる。またこの場合、光源による発熱は殆ど
問題にならない。
本発明の実施例を図面を参照して以下に説明する。
第１図は本発明の磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方
法の実施例を示す概要図である。ここで、ｌは磁気記録
媒体、２は波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザ、３はガ
ルハノミラー式スキャナ、４は光ファイバ集光系、５は
光センサである。被検査体である磁気記録媒体１は、幅
広のポリエステルフィルム上にＣｏ被着したｙ−Ｆｅ．
０３からなる磁性粉と結合剤として塩ビー酢ビ共重合体
及びポリウレタン樹脂を含む磁性層を形成した塗布型の
磁気記録媒体である。ｔｌｅ−Ｎｅレーザ２から得られ
る波長が６３３ｎｍの光ビームをスキャナ３を用いて、
磁気記録媒体ｌに一方の面側から磁気記録体１の走行方
向（図中の矢印方向）と略直角方向に走査して照射する
。一方、磁気記録媒体１の他面側に光ファイバ集光系４
が設けてあり、磁気記録媒体を透過した光はファイバ集
光系４で集光され、その他端に配設した光センサ５で検
出される． 第２図は、この実施例の方法による磁気記録媒体の塗布
むら欠陥の検出結果の一例を示す。第２図で透過光強度
が鋭くピークを示しているところが、薄くなった塗布む
ら欠陥の存在を示している。
法の実施例を示す概要図である。ここで、ｌは磁気記録
媒体、２は波長６３３ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザ、３はガ
ルハノミラー式スキャナ、４は光ファイバ集光系、５は
光センサである。被検査体である磁気記録媒体１は、幅
広のポリエステルフィルム上にＣｏ被着したｙ−Ｆｅ．
０３からなる磁性粉と結合剤として塩ビー酢ビ共重合体
及びポリウレタン樹脂を含む磁性層を形成した塗布型の
磁気記録媒体である。ｔｌｅ−Ｎｅレーザ２から得られ
る波長が６３３ｎｍの光ビームをスキャナ３を用いて、
磁気記録媒体ｌに一方の面側から磁気記録体１の走行方
向（図中の矢印方向）と略直角方向に走査して照射する
。一方、磁気記録媒体１の他面側に光ファイバ集光系４
が設けてあり、磁気記録媒体を透過した光はファイバ集
光系４で集光され、その他端に配設した光センサ５で検
出される． 第２図は、この実施例の方法による磁気記録媒体の塗布
むら欠陥の検出結果の一例を示す。第２図で透過光強度
が鋭くピークを示しているところが、薄くなった塗布む
ら欠陥の存在を示している。
第３図では比較のために、光源として波長７８０ｎ一の
半導体レーザを用いた場合の検出結果の一例を曲線Ａで
、また波長５４４ｎ一のＨｅ−Ｎｅ レーザを用いた場
合の検出結果の一例を曲線Ｂで示す。
半導体レーザを用いた場合の検出結果の一例を曲線Ａで
、また波長５４４ｎ一のＨｅ−Ｎｅ レーザを用いた場
合の検出結果の一例を曲線Ｂで示す。
波長７８０ｎ一の半導体レーザを用いた場合には、曲線
Ａで示されるように、欠陥以外の部分でもかなりの透過
光強度があり、そのために塗布むら欠陥の識別が難し《
なる。一方、波長５４４ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザを用い
た場合には、曲線Ｂで示されるように塗布むらの有無に
かかわらず殆ど光が透過していない．なお、本実施例で
は透過光の集光のために光ファイバ集光系４を使用した
が、このような集光系を用いずに、直接光走査域を受光
できる光センサを設けても同様の検出が可能である。
Ａで示されるように、欠陥以外の部分でもかなりの透過
光強度があり、そのために塗布むら欠陥の識別が難し《
なる。一方、波長５４４ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザを用い
た場合には、曲線Ｂで示されるように塗布むらの有無に
かかわらず殆ど光が透過していない．なお、本実施例で
は透過光の集光のために光ファイバ集光系４を使用した
が、このような集光系を用いずに、直接光走査域を受光
できる光センサを設けても同様の検出が可能である。
以上で説明したように、ｙ−Ｆｅ．０．を主成分とする
磁性粉を用いた塗布型の磁気記録媒体の製造工程におい
て、磁気記録媒体の塗布むら欠陥を波長６００ｎｍない
し７００ｎｓ＋のレーザ光を走査して、その透過光を検
出することによって、磁気記録媒体の塗布むら欠陥を広
い領域について、発熱の問題もなく、感度よく、迅速に
、信鎖性よく、自動的に検出できるので、検査における
省大化、高信頼性化、高速化ができ、その効果は著しく
大きい。
磁性粉を用いた塗布型の磁気記録媒体の製造工程におい
て、磁気記録媒体の塗布むら欠陥を波長６００ｎｍない
し７００ｎｓ＋のレーザ光を走査して、その透過光を検
出することによって、磁気記録媒体の塗布むら欠陥を広
い領域について、発熱の問題もなく、感度よく、迅速に
、信鎖性よく、自動的に検出できるので、検査における
省大化、高信頼性化、高速化ができ、その効果は著しく
大きい。
第１図は本発明の磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方
法の実施例を示す概要図、第２図は実施例で得られた塗
布むら欠陥の検出結果の一例、第３図は比較のための検
出結果例で、曲線Ａは波長７８０ｎｓの半導体レーザを
用いた場合、曲線Ｂは波長５４４ｎ一のＨｅ−Ｎｅ レ
ーザを用いた場合を示す。 第４図は従来の目視による磁気記録媒体の塗布むら欠陥
の検査方法を模式的に示した図、第５図は自動化された
従来のビンホール欠陥の検査の方法の一例を模式的に示
した図である。なお、各図面中の共通なものには同じ番
号を付した。 １−・−−−−−一・−・・磁気記録媒体２ −一一一
−−−−−−−− Ｈ ｅ − Ｎ ｅ （波長６３３
ｎｍ）レーザ３−−−−−−−−−−・一・−ガルバノ
ミラ一式スキャナ４−・・・・−−−−−−−−一光フ
ァイバ集光系５・・・・一・・・−・・一・・一光セン
サ挟査方渚の実施イ々１］と示す梃き図 検出紹果の−｛ηｌコ 第３図 比較のｒ：ｆ）の挟出革吉果イ々１」
法の実施例を示す概要図、第２図は実施例で得られた塗
布むら欠陥の検出結果の一例、第３図は比較のための検
出結果例で、曲線Ａは波長７８０ｎｓの半導体レーザを
用いた場合、曲線Ｂは波長５４４ｎ一のＨｅ−Ｎｅ レ
ーザを用いた場合を示す。 第４図は従来の目視による磁気記録媒体の塗布むら欠陥
の検査方法を模式的に示した図、第５図は自動化された
従来のビンホール欠陥の検査の方法の一例を模式的に示
した図である。なお、各図面中の共通なものには同じ番
号を付した。 １−・−−−−−一・−・・磁気記録媒体２ −一一一
−−−−−−−− Ｈ ｅ − Ｎ ｅ （波長６３３
ｎｍ）レーザ３−−−−−−−−−−・一・−ガルバノ
ミラ一式スキャナ４−・・・・−−−−−−−−一光フ
ァイバ集光系５・・・・一・・・−・・一・・一光セン
サ挟査方渚の実施イ々１］と示す梃き図 検出紹果の−｛ηｌコ 第３図 比較のｒ：ｆ）の挟出革吉果イ々１」
Claims (1)
- 高分子フィルム上にγ−Ｆｅ＿２Ｏ＿３を主成分とする
磁性粉を結合剤とともに塗布してなる磁気記録媒体の塗
布むら欠陥を検査する方法において、前記磁気記録媒体
に波長が６００ｎｍないし７００ｎｍのレーザ光をスキ
ャナを用いて走査して照射し、前記磁気記録媒体を透過
する透過光を検出することによって検査することを特徴
とする磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP819390A JPH03214423A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP819390A JPH03214423A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03214423A true JPH03214423A (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=11686445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP819390A Pending JPH03214423A (ja) | 1990-01-19 | 1990-01-19 | 磁気記録媒体の塗布むら欠陥の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03214423A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6548821B1 (en) | 1999-06-21 | 2003-04-15 | Komag, Inc. | Method and apparatus for inspecting substrates |
| US6566674B1 (en) | 1999-06-21 | 2003-05-20 | Komag, Inc. | Method and apparatus for inspecting substrates |
-
1990
- 1990-01-19 JP JP819390A patent/JPH03214423A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6548821B1 (en) | 1999-06-21 | 2003-04-15 | Komag, Inc. | Method and apparatus for inspecting substrates |
| US6566674B1 (en) | 1999-06-21 | 2003-05-20 | Komag, Inc. | Method and apparatus for inspecting substrates |
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