JPH03214645A - 半導体ウエハの収納・搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体ウェハの収納・搬送装置に関するもの
である。

〔従来の技術〕

第４図は従来の牛導体装置搬送装置を示すもので、図に
おいて、■は牛導体装置の処理チャンバー、２は牛導体
装置のロードロツクチャンパー３はロードロツクチャン
パー２にウェハまたはウェハケースを出し入れするため
の扉、４はウェハ、５はウェハケース、６は真空ポンプ
である。

次に従来装置の動作について説明する。ウエ八４または
ウェハ４を収納したウェハケース５は、大気中よりロー
ドロツクチャンバ２の扉３を開閉することによりロード
ロンクチャンバ２内にセットされる。この後真空処理装
置の場合、真空ボンプ６によってロードロンクチャンバ
２内の真空リきを行う。ロードロンクチャンバ２内が所
定の真空度に達しｋ後、ウェハ４は処理チャンバ１に搬
送される。ウェハ処理が完了した後、ウェハ４はロード
ロンクチャンバ２６こもどされ、ロードロンクチャンバ
２内を大気圧にもどし、ウェハ４またはウェハケース５
を取り出す。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の半導体ウェハの収納・搬送装置は以上のように構
成されているので、ウェハまたはウェハケースを出し入
れする際、毎回真空引き及び真空の破壊を行なわなけれ
ばならない。この時、真空装置内Ｏこ蓄積したダストが
舞い上がり、ウェハ表面を汚染する間頌がある。また装
置間のウェハ搬送時に必然的に大気にさらされることに
より、大気中に混入している不純物原子の吸着が生じ、
ウェハ表面を汚染する問題がある。

この発明は、上記のような問題点を解消する茫めになさ
れたもので、ウェハを大気にさらすことなく、容易に半
導体装置間を搬送保管出来るとともに、真空装置内での
発塵によるウェハ表面の汚染を無くすことが出来る半導
体ウェハ収納・搬送装置を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る半導体ウェハ収稍・搬送装置は、半導体ウ
ェハ収納・搬送容器をロードロツクチャンバーに脱着司
能な構造とするとともに、半導体ウェハ収納・搬送容器
の半導体ウェハ出し入れ口の蓋をロードロツクチャンバ
ー内において開閉できるような治具を設けたものである
。

〔作用〕

この発明（こおけるウェハ収納・搬送装置を使用するこ
とにより、処理装置間のウェハ搬送を真空または不活性
ガス雰囲気中で行なえる。このためウェハ表面汚染のな
い搬送保管が可能となる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は本発明の半導体ウェハ収納・搬送容器を示すもので
、図において、１０はウェハ収納・搬送容器、４はウェ
ハ、１１はウェハ収納・搬送容器１０の蓋、Ｌはウェハ
４の出し入れ口、１４はウェハ収納−搬送容器１０をロ
ードロツクチャンパー２に取り付けｔ際、気密性を保持
させるための０リング、化は蓋１１とウエ八収納・搬送
容器本体１０との気密性を保持させるための０リングで
ある。

第２図イ、口はウェハ収納・搬送容器１０の正面図及び
平面図であり、７はウエ八を保持するためのガイドであ
る。

第８図は半導体ウェハ収納・搬送容器１０をロードロン
クチャンパー２に装着した状態を表わしたものである。

図において、１は午導坏装誼の処理チャンバ、２は半導
体装置のロードロンクチャンパー　８はウェハ収納・搬
送容器１０の蓋１１を開閉させるｔめの泊具、６は真空
ポンプ、９はＮ嘗等の不活性〃ス供給バルプである。

次に本発明の動作について説明する。あらかじめウエ八
４が真空状態で収納されているウェハ収納・搬送容器１
０を半導体装置四一ドロンクチャンバ２の所定の場所に
セントする。ウェハ収納・搬送容ｅｒ１０を気密性よく
セットするために容器の一部ヲ四一ドロンクチャンバ２
にはめ込み、例えば容器側のマグネットで固定する。ウ
ェハ収納・搬送容器ｌＯをセットした後、真空ボンブ６
でロードロンクチャンパー２内を所定の真空度まで真空
げきする。この後、治具８を用い、ウェハ収納・搬送容
器１０の蓋１１をはずす。この状態でウェハ収納・搬送
容器ｌＯからウェハ４を取り出し、処理チャンバ１に搬
送する。処理チャンバ１内での処理が完了した後、ウェ
ハ４は再びウエ八収納・搬送容器ｌＯにもどされ、治具
８によって蓋１１が閉められる。

この状態でロードロンクチャンパー２の真空を破壊する
。蓋１１は圧力差によって吸着され、ウェハ収納・搬送
容器ｌＯ内の真空度を保持するが、マグネットなどによ
って固定するようにしてもよい。

本発明によるウェハ収納・搬送容器１０は、ウェハ１枚
を収納するものに限らず、同様の構造で複数枚数のウェ
ハを収納するものでもよい。また真空装置以外の場合に
は、チャンバー２でバルブ９の開閉により不活性ガスを
供給し、チャンバー２を不活性ガス算囲気にした後、本
ウエノ＼収納・搬送容器１０からウェハ４を出し入れす
ればよい。

〔発明の効果〕

以上のように本発明は、半導体装置に容易に脱着司能な
ウェハ収納・搬送容器を用い、その内部を真空状態″Ｅ
だは不活性ガス雰囲気に保持出来るように構成したため
、真空処理装置内での発塵によるウェハ表面の汚染また
は大気中をウェハ搬送又は保管することにより汚染の問
題が解決出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の半導体ウエ／１の収納・
搬送容器を示す斜視図・第２図久、ｂはその正面図及び
平面図、第８図はこの発明の一実額例を示す路線斜視図
、第４図は従来の半導体ウェハ収納・搬送装置を示す路
線斜視図である。 図中・ｌは牛導体処理チャンバー　２はロードロツクチ
ャンパー　４は半導体ウェハ、６は真空ボンブ、７はガ
イド、８は蓋開閉用の治具、９はバルプ、ｌＯは半導体
ウェハの収納・搬送容器、ｌ１は蓋・ルは半導体ウェハ
の出し入れ口、１３、ｌ５はＯリングである。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体処理チャンバーと隣接し、内部が真空または不活
   性ガス雰囲気になされるロードロックチャンバーに半導
   体ウェハの出し入れ口が連通するように気密に着脱する
   半導体ウェハの収納・搬送容器において、上記半導体ウ
   ェハ出し入れ口を気密に塞ぐ蓋を備え、この蓋を上記ロ
   ードロツクチャンバー内において開閉する治具を上記ロ
   ードロックチャンバーに設けたことを特徴とする半導体
   ウェハの収納・搬送装置。