JPH0321498B2 - - Google Patents
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- JPH0321498B2 JPH0321498B2 JP16597784A JP16597784A JPH0321498B2 JP H0321498 B2 JPH0321498 B2 JP H0321498B2 JP 16597784 A JP16597784 A JP 16597784A JP 16597784 A JP16597784 A JP 16597784A JP H0321498 B2 JPH0321498 B2 JP H0321498B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hours
- ferrite
- density
- vacuum
- atmosphere
- Prior art date
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- Magnetic Ceramics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は高密度フエライトの製造方法、特には
磁気ヘツド用などに好適とされる高密度化された
気孔の少ない、加工性のすぐれた緻密な組織をも
つフエライトの製造方法に関するものである。
磁気ヘツド用などに好適とされる高密度化された
気孔の少ない、加工性のすぐれた緻密な組織をも
つフエライトの製造方法に関するものである。
（従来の技術）
高密度フエライトはオーデイオ用、磁気デイス
ク用などの磁気ヘツド、また薄膜ヘツド用の基板
などに広く使用されているが、この製造について
はいくつかの方法が提案されている。
ク用などの磁気ヘツド、また薄膜ヘツド用の基板
などに広く使用されているが、この製造について
はいくつかの方法が提案されている。
すなわち高密度フエライトの製法については例
えば一軸方向から加圧しつつ加熱して焼成するホ
ツトプレス法が知られているが、これには金型の
強度の面から加圧力の限界が300Kg／cm2とされる
し、加圧力を増しても金型とフエライト素材との
摩擦でフエライト内部まで均一な力が加わらない
ので、粒子径が小さく気泡も少ない高密度フエラ
イトを得ることが難しいという不利がある。ま
た、高圧処理による高密度フエライトの製法につ
いてはフエライト素材を熱間静水圧プレスする方
法も知られており、これによれば数千Kg／cm2以上
の高圧加圧も可能とされるけれども、これにはフ
エライト素材を一度常圧下で仮焼結する必要があ
り、煩雑な手数が必要とされるほか、条件によつ
ては素材の一部がスピネル化されないという不利
があり、さらにフエライト素材を平衡酸素雰囲気
中での熱処理をする必要があるなど、複数の熱処
理工程が必要とされるために工程が複雑になる
し、大がかりな高価な装置が必要とされるという
不利がある。
えば一軸方向から加圧しつつ加熱して焼成するホ
ツトプレス法が知られているが、これには金型の
強度の面から加圧力の限界が300Kg／cm2とされる
し、加圧力を増しても金型とフエライト素材との
摩擦でフエライト内部まで均一な力が加わらない
ので、粒子径が小さく気泡も少ない高密度フエラ
イトを得ることが難しいという不利がある。ま
た、高圧処理による高密度フエライトの製法につ
いてはフエライト素材を熱間静水圧プレスする方
法も知られており、これによれば数千Kg／cm2以上
の高圧加圧も可能とされるけれども、これにはフ
エライト素材を一度常圧下で仮焼結する必要があ
り、煩雑な手数が必要とされるほか、条件によつ
ては素材の一部がスピネル化されないという不利
があり、さらにフエライト素材を平衡酸素雰囲気
中での熱処理をする必要があるなど、複数の熱処
理工程が必要とされるために工程が複雑になる
し、大がかりな高価な装置が必要とされるという
不利がある。
（発明の構成）
本発明にはこのような不利を解決した高密度フ
エライトの製造方法に関するものであり、これは
化学量論組成よりも酸素が不足している還元状の
フエライト素材粉を、密度が3.0ｇ／cm2以上の成
形体としたのち脱ガス処理し、ついで真空焼結し
雰囲気焼結することを特徴とするものである。
エライトの製造方法に関するものであり、これは
化学量論組成よりも酸素が不足している還元状の
フエライト素材粉を、密度が3.0ｇ／cm2以上の成
形体としたのち脱ガス処理し、ついで真空焼結し
雰囲気焼結することを特徴とするものである。
これを説明すると、本発明者らは特に気孔の少
ない緻密な組織をもつ加工性のすぐれた高密度フ
エライトの製造方法について種々検討した結果、
この始発材となるフエライト素材を、化学量論組
成よりも酸素分の少ない還元状のものとして、密
度が3.0ｇ／cm2以上となるように成形したのちに
真空中で加熱して脱ガス処理し、ついでこれも真
空焼結し、つぎに雰囲気焼結すれば目的とする高
密度フエライトを量産性よく、安価に製造するこ
とができることを見出し、このフエライト素材の
組成、成形体の密度焼結方法などについての研究
を進めて本発明を完成させた。
ない緻密な組織をもつ加工性のすぐれた高密度フ
エライトの製造方法について種々検討した結果、
この始発材となるフエライト素材を、化学量論組
成よりも酸素分の少ない還元状のものとして、密
度が3.0ｇ／cm2以上となるように成形したのちに
真空中で加熱して脱ガス処理し、ついでこれも真
空焼結し、つぎに雰囲気焼結すれば目的とする高
密度フエライトを量産性よく、安価に製造するこ
とができることを見出し、このフエライト素材の
組成、成形体の密度焼結方法などについての研究
を進めて本発明を完成させた。
本発明の方法において使用される始発材として
のフエライト素材は公知の酸化鉄、酸化マンガ
ン、酸化ニツケル、酸化亜鉛などの酸化物混合焼
成体であればよいが、このものは真空中で焼結す
る時に還元作用によつて酸素を放出するため焼結
体中に気泡、クレバスなどが発生するということ
から化学量論組成よりも酸素分の少ない、還元気
味のものとする必要がある。これは例えば化学量
論組成よりも酸素が５〜20％少ないものとすれば
よい。なお、その還元状のフエライト素材は例え
ば素材としての金属酸化物の混合物を窒素ガス雰
囲気中で1300℃〜1400℃で５〜10時間仮焼するこ
とによつて得ることができる。この仮焼体はつい
でボールミルなどで粉砕して粒径が１〜3μｍぐ
らいの粉体とし、焼結のために成形体とされる
が、目的とする高密度フエライトを得るためには
この成形体を3.0ｇ／cm2以上の密度を有するもの
とする必要があり、これには粉体原料を衝撃形機
などを使用して５トン／cm2以上の圧力で成形する
ことがよい。
のフエライト素材は公知の酸化鉄、酸化マンガ
ン、酸化ニツケル、酸化亜鉛などの酸化物混合焼
成体であればよいが、このものは真空中で焼結す
る時に還元作用によつて酸素を放出するため焼結
体中に気泡、クレバスなどが発生するということ
から化学量論組成よりも酸素分の少ない、還元気
味のものとする必要がある。これは例えば化学量
論組成よりも酸素が５〜20％少ないものとすれば
よい。なお、その還元状のフエライト素材は例え
ば素材としての金属酸化物の混合物を窒素ガス雰
囲気中で1300℃〜1400℃で５〜10時間仮焼するこ
とによつて得ることができる。この仮焼体はつい
でボールミルなどで粉砕して粒径が１〜3μｍぐ
らいの粉体とし、焼結のために成形体とされる
が、目的とする高密度フエライトを得るためには
この成形体を3.0ｇ／cm2以上の密度を有するもの
とする必要があり、これには粉体原料を衝撃形機
などを使用して５トン／cm2以上の圧力で成形する
ことがよい。
上記のようにして得られたフエライト素材成形
体はついで焼結して、焼結フエライトとされるの
であるが、気孔の少ないフエライトを得るために
成形体の粒子間隙にある空気を脱気する必要があ
る。これは成形体の密度が大きくなつているた
め、粒子同志の焼結性がよくなり粒子間隙のガス
が焼結体内に閉じ込められ気孔が増すからであ
る。効果的に脱気処理を行なうためには、10-4〜
10-5トールの真空中で、焼結の始まる直前の温度
800〜950℃で10時間、好ましくは20時間以上保持
するのがよい。このように十分に脱気処理を行な
つた後に真空を保つたまま温度を上げ真空焼結を
行なうのであるが、このときの昇温スピードは
0.5〜２℃／分が適当である真空中で焼結を行な
つた場合、フエライトは化学量論組成よりも酸素
が不足している状態になつており、高磁気特性を
得るために化学量論組成にする必要があることか
ら、真空焼結と雰囲気焼結とを組合わせたものと
する必要がある。この真空焼結は10-4〜10-5トー
ルの真空下に1100℃〜1350℃で0.5〜５時間焼結
すれば良く、続いて平衡酸素雰囲気中で常圧焼結
を行なう。この雰囲気焼結において平衡酸素雰囲
気は０〜５％の酸素を含む酸素−窒素の混合ガス
とすればよい。この雰囲気中で1100〜1350℃で５
〜20時間焼結を行なえばよくこの雰囲気ガスの組
成は、IEEE Transactions on Magnetics、vol.
Mag−11、no.5（1975）P1312〜1314 などを参考にして任意に定めればよい。
体はついで焼結して、焼結フエライトとされるの
であるが、気孔の少ないフエライトを得るために
成形体の粒子間隙にある空気を脱気する必要があ
る。これは成形体の密度が大きくなつているた
め、粒子同志の焼結性がよくなり粒子間隙のガス
が焼結体内に閉じ込められ気孔が増すからであ
る。効果的に脱気処理を行なうためには、10-4〜
10-5トールの真空中で、焼結の始まる直前の温度
800〜950℃で10時間、好ましくは20時間以上保持
するのがよい。このように十分に脱気処理を行な
つた後に真空を保つたまま温度を上げ真空焼結を
行なうのであるが、このときの昇温スピードは
0.5〜２℃／分が適当である真空中で焼結を行な
つた場合、フエライトは化学量論組成よりも酸素
が不足している状態になつており、高磁気特性を
得るために化学量論組成にする必要があることか
ら、真空焼結と雰囲気焼結とを組合わせたものと
する必要がある。この真空焼結は10-4〜10-5トー
ルの真空下に1100℃〜1350℃で0.5〜５時間焼結
すれば良く、続いて平衡酸素雰囲気中で常圧焼結
を行なう。この雰囲気焼結において平衡酸素雰囲
気は０〜５％の酸素を含む酸素−窒素の混合ガス
とすればよい。この雰囲気中で1100〜1350℃で５
〜20時間焼結を行なえばよくこの雰囲気ガスの組
成は、IEEE Transactions on Magnetics、vol.
Mag−11、no.5（1975）P1312〜1314 などを参考にして任意に定めればよい。
本発明の方法によれば始発材とされた酸素不足
の還元気味のフエライト素材が酸素の存在下での
雰囲気焼結によつて完全な酸化物とされること、
また30ｇ／cm3以上の密度をもつ成形体とされてい
ることから、ホツトプレスや熱間静水圧法などの
設備なしに、一度だけの加熱工程だけで容易に高
密度のフエライトが得られ、事実この方法によれ
ば密度が5.1ｇ／c.c.以上で気孔が少なく、磁束密
度B10が4000〜6000ガウス、保磁力Hcが0.02〜
0.10エルステツド、5MHzの周波数での透磁率が
500〜1000であるという特性をもつ高密度のフエ
ライト多結晶体を工業的に量産性よく安価に得る
ことができるという有利性が与えられる。
の還元気味のフエライト素材が酸素の存在下での
雰囲気焼結によつて完全な酸化物とされること、
また30ｇ／cm3以上の密度をもつ成形体とされてい
ることから、ホツトプレスや熱間静水圧法などの
設備なしに、一度だけの加熱工程だけで容易に高
密度のフエライトが得られ、事実この方法によれ
ば密度が5.1ｇ／c.c.以上で気孔が少なく、磁束密
度B10が4000〜6000ガウス、保磁力Hcが0.02〜
0.10エルステツド、5MHzの周波数での透磁率が
500〜1000であるという特性をもつ高密度のフエ
ライト多結晶体を工業的に量産性よく安価に得る
ことができるという有利性が与えられる。
つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例
純度が99.6％以上の高純度酸化鉄と酸化亜鉛、
純度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が
53モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOと
なる量で、純水を入れた鋼製のボールミルポツト
中で配合し、15時間撹拌混合して得たスラリーを
加圧過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥し
た。
純度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が
53モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOと
なる量で、純水を入れた鋼製のボールミルポツト
中で配合し、15時間撹拌混合して得たスラリーを
加圧過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥し
た。
つぎにこれを窒素ガス雰囲気中1350℃で10時間
仮焼し、純水を分散媒として鋼製ボールミルで70
時間粉砕し100℃で24時間乾燥させD50＝2μｍの
粒径のフエライト粉を得た。
仮焼し、純水を分散媒として鋼製ボールミルで70
時間粉砕し100℃で24時間乾燥させD50＝2μｍの
粒径のフエライト粉を得た。
つぎにこの粉体にバインダーとして１％PVA
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて５ト
ン／cm3の圧力で成形し15mmφ×10mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し密度が
3.2ｇ／cm3の成形体を得た。これを真空に入れ、
１×10-4トールの真空下で５℃／分の昇温スピー
ドで900℃まで昇温させ、900℃で24時間加熱して
から１℃／分の昇温スピードで1250℃まで昇温さ
せたのち30分間保持し、内に雰囲気ガスとして
１％O2−N2ガスを導入し1250℃で２時間保持し
た。その後雰囲気ガスを切換えて0.5％O2−N2で
１時間、0.3％O2−N2で１時間、0.1％O2−N2雰
囲気下で１時間加熱し、ついで10℃／分の降下ス
ピードで昇温させ、1250℃から1000℃までは、
0.06％O2−N2雰囲気、1000℃以下は100％N2雰囲
気とし、フエライト多結晶体を得た。
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて５ト
ン／cm3の圧力で成形し15mmφ×10mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し密度が
3.2ｇ／cm3の成形体を得た。これを真空に入れ、
１×10-4トールの真空下で５℃／分の昇温スピー
ドで900℃まで昇温させ、900℃で24時間加熱して
から１℃／分の昇温スピードで1250℃まで昇温さ
せたのち30分間保持し、内に雰囲気ガスとして
１％O2−N2ガスを導入し1250℃で２時間保持し
た。その後雰囲気ガスを切換えて0.5％O2−N2で
１時間、0.3％O2−N2で１時間、0.1％O2−N2雰
囲気下で１時間加熱し、ついで10℃／分の降下ス
ピードで昇温させ、1250℃から1000℃までは、
0.06％O2−N2雰囲気、1000℃以下は100％N2雰囲
気とし、フエライト多結晶体を得た。
このフエライト多結晶体は密度が5.11ｇ／cm3で
気孔の非常に少ないものである。
気孔の非常に少ないものである。
実験例 １
（原料粉の還元処理をしない場合）
純度が99.6％以上の高純度酸化鉄と酸化亜鉛純
度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が53
モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOとな
る量で、純水を入れた鋼製のボールミルポツト中
で配合し15時間撹拌混合して得たスラリーを加圧
過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥した。
度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が53
モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOとな
る量で、純水を入れた鋼製のボールミルポツト中
で配合し15時間撹拌混合して得たスラリーを加圧
過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥した。
つぎにこれを空気中1250℃で５時間仮焼し、純
水を分散媒として鋼製ボールミル中で100時間粉
砕し100℃で24時間乾燥させD50＝1.8μｍのフエラ
イト粉を得た。
水を分散媒として鋼製ボールミル中で100時間粉
砕し100℃で24時間乾燥させD50＝1.8μｍのフエラ
イト粉を得た。
つぎにこの粉体にバインダーとして１％PVA
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて５ト
ン／cm2の圧力で成形し15mmφ×10mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し密度が
3.2ｇ／cm3の成形体としたのち、真空炉に入れ１
×10-4トールの真空下で５℃／分の昇温スピード
で900℃まで昇温させ、900℃で24時間加熱してか
ら１℃／分の昇温スピードで1250℃まで昇温させ
たのち30分間保持した。この後の雰囲気焼結は実
施例１と同じ条件で行なつたところ、得られたフ
エライト多結晶体は密度が5.05ｇ／cm3であつた。
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて５ト
ン／cm2の圧力で成形し15mmφ×10mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し密度が
3.2ｇ／cm3の成形体としたのち、真空炉に入れ１
×10-4トールの真空下で５℃／分の昇温スピード
で900℃まで昇温させ、900℃で24時間加熱してか
ら１℃／分の昇温スピードで1250℃まで昇温させ
たのち30分間保持した。この後の雰囲気焼結は実
施例１と同じ条件で行なつたところ、得られたフ
エライト多結晶体は密度が5.05ｇ／cm3であつた。
実験例 ２
（脱気工程を含まない場合）
純度が99.6％以上の高純度酸化鉄と酸化亜鉛、
純度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が
53モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOと
なる量で、純水を入れた鋼製のボールミルポツト
中で配合し15時間撹拌混合して得たスラリーを加
圧過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥した。
純度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が
53モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOと
なる量で、純水を入れた鋼製のボールミルポツト
中で配合し15時間撹拌混合して得たスラリーを加
圧過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥した。
つぎにこれを窒素ガス雰囲気中1350℃で10時間
仮焼し、純水を分散媒として鋼製ボールミル中で
70時間粉砕し100℃で24時間乾燥させD50＝2μｍ
のフエライト粉を得た。
仮焼し、純水を分散媒として鋼製ボールミル中で
70時間粉砕し100℃で24時間乾燥させD50＝2μｍ
のフエライト粉を得た。
つぎにこの粉体にバインダーとして１％PVA
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて５ト
ン／cm2の圧力で成形し15mmφ×10mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し、密度が
3.2ｇ／cm2の成形体としたのち、真空炉に入れ、
１×10-4トールの真空下で５℃／分の昇温スピー
ドで1250℃まで昇温させたのち30分間保持し、こ
の後の雰囲気焼結は実施例１と同じ条件で行なつ
たところ、得られたフエライト多結晶体は密度が
5.07ｇ／cm3であつた。
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて５ト
ン／cm2の圧力で成形し15mmφ×10mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し、密度が
3.2ｇ／cm2の成形体としたのち、真空炉に入れ、
１×10-4トールの真空下で５℃／分の昇温スピー
ドで1250℃まで昇温させたのち30分間保持し、こ
の後の雰囲気焼結は実施例１と同じ条件で行なつ
たところ、得られたフエライト多結晶体は密度が
5.07ｇ／cm3であつた。
実験例 ３
（油圧成形機で低密度に成形した場合）
純度が99.6％以上の高純度酸化鉄と酸化亜鉛、
純度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が
53モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOと
なる量で純水を入れた鋼製のボールミルポツト中
で配合し15時間撹拌混合して得たスラリーを加圧
過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥した。
純度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が
53モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOと
なる量で純水を入れた鋼製のボールミルポツト中
で配合し15時間撹拌混合して得たスラリーを加圧
過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥した。
つぎにこれを窒素ガス雰囲気中1350℃で10時間
仮焼し、純水を分散媒として鋼製ボールミル中で
70時間粉砕し100℃で24時間乾燥させD50＝2μｍ
のフエライト粉を得た。
仮焼し、純水を分散媒として鋼製ボールミル中で
70時間粉砕し100℃で24時間乾燥させD50＝2μｍ
のフエライト粉を得た。
つぎにこの粉体にバインダーとして１％PVA
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて１ト
ン／cm2の圧力で成形し15mmφ×13mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し、密度が
2.5ｇ／cm3の成形体としたのち、実施例１と同じ
条件で脱気工程、真空焼結、雰囲気焼結を行な
い、フエライト多結晶体を得た。
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて１ト
ン／cm2の圧力で成形し15mmφ×13mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し、密度が
2.5ｇ／cm3の成形体としたのち、実施例１と同じ
条件で脱気工程、真空焼結、雰囲気焼結を行な
い、フエライト多結晶体を得た。
このようにして得られたフエライト多結晶体は
密度が5.0ｇ／cm3であつた。
密度が5.0ｇ／cm3であつた。
実験例 ４
（還元処理と脱気工程を省いた場合）
純度が99.6％以上の高純度酸化鉄と酸化亜鉛、
純度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が
53モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOと
なる量で純水を入れた鋼製のボールミルポツト中
で配合し、15時間撹拌混合して得たスラリーを加
圧過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥した。
純度が93％以上の炭酸マンガンとを最終組成比が
53モル％Fe2O3、29モル％MnO、18モル％ZnOと
なる量で純水を入れた鋼製のボールミルポツト中
で配合し、15時間撹拌混合して得たスラリーを加
圧過してケーキ状とし150℃で48時間乾燥した。
つぎにこれを空気中1250℃で５時間仮焼し、純
水を分散媒として鋼製ボールミル中で100時間粉
砕し100℃で24時間乾燥させD50＝1.8μｍのフエラ
イト粉を得た。
水を分散媒として鋼製ボールミル中で100時間粉
砕し100℃で24時間乾燥させD50＝1.8μｍのフエラ
イト粉を得た。
つぎにこの粉体にバインダーとして１％PVA
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて５ト
ン／cm2の圧力で成形し15mmφ×10mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し密度が
3.2ｇ／cm2の成形体を得た。これを真空炉に入れ
１×10-4トールの真空下で５℃／分の昇温スピー
ドで1250℃まで昇温させ30分間保持したのち、実
施例１と同じ条件で雰囲気焼結を行なつたとこ
ろ、得られたフエライト多結晶体は密度が4.9
ｇ／cm3であつた。
水溶液を５重量％加え衝撃成形機を用いて５ト
ン／cm2の圧力で成形し15mmφ×10mmの成形体とし
た。これを空気中100℃で168時間乾燥し密度が
3.2ｇ／cm2の成形体を得た。これを真空炉に入れ
１×10-4トールの真空下で５℃／分の昇温スピー
ドで1250℃まで昇温させ30分間保持したのち、実
施例１と同じ条件で雰囲気焼結を行なつたとこ
ろ、得られたフエライト多結晶体は密度が4.9
ｇ／cm3であつた。
Claims (1)
- １ 化学量論組成よりも酸素が不足している還元
状のフエライト素材粉を密度が3.0ｇ／cm3以上の
成形体としたのち、脱ガス処理し、ついで真空焼
結、雰囲気焼結することを特徴とする高密度フエ
ライトの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16597784A JPS6144761A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | 高密度フエライトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16597784A JPS6144761A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | 高密度フエライトの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6144761A JPS6144761A (ja) | 1986-03-04 |
| JPH0321498B2 true JPH0321498B2 (ja) | 1991-03-22 |
Family
ID=15822590
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16597784A Granted JPS6144761A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | 高密度フエライトの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6144761A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63180610A (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-25 | Daifuku Co Ltd | 荷保管装置 |
| JPH0439203Y2 (ja) * | 1987-12-28 | 1992-09-14 |
-
1984
- 1984-08-08 JP JP16597784A patent/JPS6144761A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6144761A (ja) | 1986-03-04 |
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