JPH03217062A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JPH03217062A JPH03217062A JP1186790A JP1186790A JPH03217062A JP H03217062 A JPH03217062 A JP H03217062A JP 1186790 A JP1186790 A JP 1186790A JP 1186790 A JP1186790 A JP 1186790A JP H03217062 A JPH03217062 A JP H03217062A
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- gas laser
- laser medium
- anode
- cathode
- discharge
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Electromagnetism (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は陰極と陽極との間で発生する主放電によって
ガスレーザ媒質を励起してレーザ光を出力させるガスレ
ーザ発振装置に関する。
ガスレーザ媒質を励起してレーザ光を出力させるガスレ
ーザ発振装置に関する。
（従来の技術）
一般に、ＴＥＡ ＣＯ２レーザ、ＴＥＭＡ−ＣＯ■レ
ーザあるいはエキシマレーザなどのように大気圧もしく
はそれ以上の圧力で動作するガスレーザ発振装置は、大
電力のパルス放電によりガスレーザ媒質を励起してレー
ザ光を得ている。
ーザあるいはエキシマレーザなどのように大気圧もしく
はそれ以上の圧力で動作するガスレーザ発振装置は、大
電力のパルス放電によりガスレーザ媒質を励起してレー
ザ光を得ている。
従来、このようなガスレーザ発振装置は第４図と第５図
とに示すように構成されていた。すなわち、同図中１は
内部にガスレーザ媒質が収容された圧力容器である。こ
の圧力容器１内にはガスレザ媒質が流れる循環路２が形
成されている。この循環路２にはガスレーザ媒質を矢印
方向に循環させるための軸流ファンからなる送風機３が
設けられている。この送風機３は羽根部３ａと、この羽
根部３ａを回転駆動する駆動部３ｂとからなり、駆動部
３ｂは圧力容器１の外部に配置されている。
とに示すように構成されていた。すなわち、同図中１は
内部にガスレーザ媒質が収容された圧力容器である。こ
の圧力容器１内にはガスレザ媒質が流れる循環路２が形
成されている。この循環路２にはガスレーザ媒質を矢印
方向に循環させるための軸流ファンからなる送風機３が
設けられている。この送風機３は羽根部３ａと、この羽
根部３ａを回転駆動する駆動部３ｂとからなり、駆動部
３ｂは圧力容器１の外部に配置されている。
上記循環路２にはガスレーザ媒質を冷却するための上流
側熱交換器４と、下流側熱交換器５とがガスレーザ媒質
の流れ方向に沿って所定間隔で配置されている。これら
一対の熱交換器４、５の間の部分には主電極を構成する
陰極６と陽極７とがガスレーザ媒質の流れ方向に対して
直交する方向に離間して配置されている。上記陰極６と
陽極７とは、それぞれ高圧電源８に接続され、この高圧
電源８から電気エネルギが供給されることによってこれ
らの先端面間の空間、つまり放電空間部に放電が発生す
るようになっている。放電空間部に放電が発生すると、
この放電空間部を流れるガスレーザ媒質が励起されるか
ら、それによってレザ光が出力されることになる。なお
、上記放電空間部は、陰極６と陽極７との間に放電が発
生する前に図示しない予備電離手段によって予備電離さ
れるようになっている。
側熱交換器４と、下流側熱交換器５とがガスレーザ媒質
の流れ方向に沿って所定間隔で配置されている。これら
一対の熱交換器４、５の間の部分には主電極を構成する
陰極６と陽極７とがガスレーザ媒質の流れ方向に対して
直交する方向に離間して配置されている。上記陰極６と
陽極７とは、それぞれ高圧電源８に接続され、この高圧
電源８から電気エネルギが供給されることによってこれ
らの先端面間の空間、つまり放電空間部に放電が発生す
るようになっている。放電空間部に放電が発生すると、
この放電空間部を流れるガスレーザ媒質が励起されるか
ら、それによってレザ光が出力されることになる。なお
、上記放電空間部は、陰極６と陽極７との間に放電が発
生する前に図示しない予備電離手段によって予備電離さ
れるようになっている。
上記循環路２の上記陰極６と陽極７とが設けられた箇所
には、第５図に示すようにガスレーザ媒質が陰極６と陽
極７との間の放電空間部に円滑に流れるようガイドする
ためのガイド体１１が設けられている。このガイド体１
１は陰極６側に設けられた上部ガイド部材１２ａと、陽
極７側に設けられた下部ガイド部材１２ｂとからなる。
には、第５図に示すようにガスレーザ媒質が陰極６と陽
極７との間の放電空間部に円滑に流れるようガイドする
ためのガイド体１１が設けられている。このガイド体１
１は陰極６側に設けられた上部ガイド部材１２ａと、陽
極７側に設けられた下部ガイド部材１２ｂとからなる。
上部ガイド部材１２ａと下部ガイド部材１２ｂとの対向
間隔は、ガスレーザ媒質の流れ方向上流側が最も狭いチ
ョーク部１３に形成され、このチョーク部１３よりも下
流側は対向間隔が次第に大きくなるテーパ部１４に形成
されている。このテーパ部１４の角度θは渦の発生を極
力少なくするために１１度に設定されている。また、上
記上部ガイド部材１２ａと下部ガイド部材１２ｂとの対
向間隔が最も狭くなるチョーク部１３の箇所にはそれぞ
れ挿入孔１５ａ，１５ｂが穿設され、これら挿入孔１５
ａ，１５ｂに上記陰極６と陽極７とがそれぞれ挿入配置
されている。
間隔は、ガスレーザ媒質の流れ方向上流側が最も狭いチ
ョーク部１３に形成され、このチョーク部１３よりも下
流側は対向間隔が次第に大きくなるテーパ部１４に形成
されている。このテーパ部１４の角度θは渦の発生を極
力少なくするために１１度に設定されている。また、上
記上部ガイド部材１２ａと下部ガイド部材１２ｂとの対
向間隔が最も狭くなるチョーク部１３の箇所にはそれぞ
れ挿入孔１５ａ，１５ｂが穿設され、これら挿入孔１５
ａ，１５ｂに上記陰極６と陽極７とがそれぞれ挿入配置
されている。
ところで、このような構成のガスレーザ発振装置におい
て、レーザ光を出力するために、陰極６と陽極７とに電
気エネルギを供給してこれらの間に放電を発生させると
、電気エネルギは熱となりて陰極６と陽極７との間のガ
スレーザ媒質を熱膨脹させる。それによって、膨脹した
ガスレーザ媒質はチョーク部１３を境にして上流側と下
流側に流れる。上流側に流れたガスレーザ媒質は送風機
３によって放電空間部に送り込まれるガスレーザ媒質を
押し戻し、下流側に流れたガスレーザ媒質は下流側にお
けるガスレーザ媒質の流れを加速することになる。上記
陰極６と陽極７とはガイド体１１の上流側の一端部に形
成されたチョーク部１３に設けられているから、陰極６
と陽極７との間で熱膨張したガスレーザ媒質は循環路２
のガイド体１１よりも上流側の部分２ａに流れ易い。
て、レーザ光を出力するために、陰極６と陽極７とに電
気エネルギを供給してこれらの間に放電を発生させると
、電気エネルギは熱となりて陰極６と陽極７との間のガ
スレーザ媒質を熱膨脹させる。それによって、膨脹した
ガスレーザ媒質はチョーク部１３を境にして上流側と下
流側に流れる。上流側に流れたガスレーザ媒質は送風機
３によって放電空間部に送り込まれるガスレーザ媒質を
押し戻し、下流側に流れたガスレーザ媒質は下流側にお
けるガスレーザ媒質の流れを加速することになる。上記
陰極６と陽極７とはガイド体１１の上流側の一端部に形
成されたチョーク部１３に設けられているから、陰極６
と陽極７との間で熱膨張したガスレーザ媒質は循環路２
のガイド体１１よりも上流側の部分２ａに流れ易い。
そのため、循環路２の上記上流側の部分２ａの圧力上昇
が非常に高くなり、その圧力が送風機３によって送り込
まれるガスレーザ媒質の圧力とほぼ同じになるまでにか
なりの時間が掛かるから、陰極６と陽極７との間の放電
空間部から放電によって生じた不純ガスやスバツタなど
の生成物が除５ 去されずらい。それによって、放電の繰返し数を高くす
ると、その放電が不安定となって高出力のレーザ光を出
力させることができないという問題が生じる。
が非常に高くなり、その圧力が送風機３によって送り込
まれるガスレーザ媒質の圧力とほぼ同じになるまでにか
なりの時間が掛かるから、陰極６と陽極７との間の放電
空間部から放電によって生じた不純ガスやスバツタなど
の生成物が除５ 去されずらい。それによって、放電の繰返し数を高くす
ると、その放電が不安定となって高出力のレーザ光を出
力させることができないという問題が生じる。
また、熱膨張したガスレーザ媒質と同様、放電によって
発生する衝撃波や音響波などの圧力波も、循環路２のガ
イド体１１よりも上流側の部分２ａに伝播し易い。その
ため、上記上流側の部分２ａにレーザガス媒質密度の粗
密あるいは揺らぎをつくり、それが収斂するまでに時間
が掛かるから、そのことによっても放電の繰返し数を高
くすることができない。
発生する衝撃波や音響波などの圧力波も、循環路２のガ
イド体１１よりも上流側の部分２ａに伝播し易い。その
ため、上記上流側の部分２ａにレーザガス媒質密度の粗
密あるいは揺らぎをつくり、それが収斂するまでに時間
が掛かるから、そのことによっても放電の繰返し数を高
くすることができない。
（発明が解決しようとする課題）
このように、従来は陰極と陽極とがガスレーザ媒質の流
れをガイドするガイド体の上流側の一端部に形成された
チョーク部の箇所に設けられていたので、放電の熱で膨
脹したガスレーザ媒質がガイド体より上流側に流れ晶い
ぼかりか、放電によって発生する圧力波もガイド体より
上流側に伝播し易いので、これらのことによって放電の
繰返６ し数を高くすることができないということがあった。
れをガイドするガイド体の上流側の一端部に形成された
チョーク部の箇所に設けられていたので、放電の熱で膨
脹したガスレーザ媒質がガイド体より上流側に流れ晶い
ぼかりか、放電によって発生する圧力波もガイド体より
上流側に伝播し易いので、これらのことによって放電の
繰返６ し数を高くすることができないということがあった。
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、放電によって熱膨脹したガスレーザ
媒質がガイド体の下流側へ流れずらいようにし、それに
よって放電の繰返し数を高くすることができるようにし
たガスレーザ発振装置を提供することにある。
的とするところは、放電によって熱膨脹したガスレーザ
媒質がガイド体の下流側へ流れずらいようにし、それに
よって放電の繰返し数を高くすることができるようにし
たガスレーザ発振装置を提供することにある。
［発明の構成〕
（課題を解決するための手段及び作用）上記課題を解決
するためにこの発明は、圧力容器と、この圧力容器内に
収容されたガスレーザ媒質を循環させる送風機と、上記
圧力容器内に対向して配置された陰極と陽極とからなる
主電極と、上記送風機によって循環させられるガスレー
ザ媒質が上記陰極と陽極との間を流れるようガイドする
ガイド体とを具備し、このガイド体はガスレザ媒質の流
れ方向上流側に最も対向間隔が狭くなるチョーク部が形
成され、このチョーク部から下流側は対向間隔が次第に
広くなるテーパ部に形成されているとともに、上記陰極
と陽極とは上記チョーク部よりも下流側のテーパ部に配
置される。
するためにこの発明は、圧力容器と、この圧力容器内に
収容されたガスレーザ媒質を循環させる送風機と、上記
圧力容器内に対向して配置された陰極と陽極とからなる
主電極と、上記送風機によって循環させられるガスレー
ザ媒質が上記陰極と陽極との間を流れるようガイドする
ガイド体とを具備し、このガイド体はガスレザ媒質の流
れ方向上流側に最も対向間隔が狭くなるチョーク部が形
成され、このチョーク部から下流側は対向間隔が次第に
広くなるテーパ部に形成されているとともに、上記陰極
と陽極とは上記チョーク部よりも下流側のテーパ部に配
置される。
このような構成によれば、放電によって熱膨張したガス
レーザ媒質はガイド体の下流側の方向に流れ易く、また
放電によって生じる圧力波も下流側に伝播し易い。その
ため、送風機によって送られてくるガスレーザ媒質はガ
イド体の上流側から下流側へ流れ易くなるから、放電に
よって生成される不純ガスや生成物が陰極と陽極との間
の部分から短時間で除去され、放電の繰返し数を高くす
ることができる。
レーザ媒質はガイド体の下流側の方向に流れ易く、また
放電によって生じる圧力波も下流側に伝播し易い。その
ため、送風機によって送られてくるガスレーザ媒質はガ
イド体の上流側から下流側へ流れ易くなるから、放電に
よって生成される不純ガスや生成物が陰極と陽極との間
の部分から短時間で除去され、放電の繰返し数を高くす
ることができる。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て説明する。なお、第４図と第５図に示す従来構造と同
一部分には同一記号を付して説明を省略する。
て説明する。なお、第４図と第５図に示す従来構造と同
一部分には同一記号を付して説明を省略する。
すなわち、この発明においては、ガイド体１１の上部ガ
イド部材１２ａと、下部ガイド部材１２ｂとのチョーク
部１３よりも下流側であるテパ部１４の中途部に挿入孔
１５ｃ、１５ｄが形成され、これら挿入孔１５ｃ，１５
ｄに陰極６と陽極７とが挿入されている。
イド部材１２ａと、下部ガイド部材１２ｂとのチョーク
部１３よりも下流側であるテパ部１４の中途部に挿入孔
１５ｃ、１５ｄが形成され、これら挿入孔１５ｃ，１５
ｄに陰極６と陽極７とが挿入されている。
このような構成によれば、陰極６と陽極７とに電気エネ
ルギを供給して放電を発生させると、上記電気エネルギ
が熱になり、陰極６と陽極７との間のガスレーザ媒質が
熱膨張する。テーパ部１４の中途部で熱膨脹したガスレ
ーザ媒質は、上流のチョーク部１３側より下流のテーパ
部１４の開放端側へ流れ易い。そのため、送風機３によ
ってガイド体１１の上流側に送り込まれるガスレーザ媒
質は熱膨脹したガスレーザ媒質によって大きく押し戻さ
れることなく下流側へ流れる。その結果、陰極６と陽極
７との間の放電空間部に放電によって発生した不純ガス
や生成物は、送風機３によるガスレーザ媒質の流れによ
って迅速に除去される。
ルギを供給して放電を発生させると、上記電気エネルギ
が熱になり、陰極６と陽極７との間のガスレーザ媒質が
熱膨張する。テーパ部１４の中途部で熱膨脹したガスレ
ーザ媒質は、上流のチョーク部１３側より下流のテーパ
部１４の開放端側へ流れ易い。そのため、送風機３によ
ってガイド体１１の上流側に送り込まれるガスレーザ媒
質は熱膨脹したガスレーザ媒質によって大きく押し戻さ
れることなく下流側へ流れる。その結果、陰極６と陽極
７との間の放電空間部に放電によって発生した不純ガス
や生成物は、送風機３によるガスレーザ媒質の流れによ
って迅速に除去される。
また、放電によって発生した圧力波も熱膨脹したガスレ
ーザ媒質と同様ガイド体１１の下流側に伝播し易いから
、ガイド体１１のテーパ部１４におけるガスレーザ媒質
の密度が粗密になったり、揺ぐこともほとんどない。
ーザ媒質と同様ガイド体１１の下流側に伝播し易いから
、ガイド体１１のテーパ部１４におけるガスレーザ媒質
の密度が粗密になったり、揺ぐこともほとんどない。
９
したがって、これらのことにより、陰極６と陽極７との
間の放電の繰返し数を高くしても安定させることができ
るから、レーザ光の出力を高めることができる。
間の放電の繰返し数を高くしても安定させることができ
るから、レーザ光の出力を高めることができる。
第２図の曲線Ｐは、送風機３によって循環路２を循環さ
せられるガスレーザ媒質の圧力状態を示す。つまり、第
１図に示すようにガイド体１１よりも上流側の箇所をａ
点、チョーク部１３の箇所をｂ点、陰極６と陽極７とが
設けられた箇所をＣ点、テーパ部１４の開放端の箇所を
ｄ点とすると、これらａ−ｄ点における圧力分布は上記
曲線Ｐに示すようにａ点からｂ点の間が最も高く、ｂ点
からｄ点にゆくにしたがって低くなる。また、同図に示
す曲線Ｖはａ点〜ｄ点における速度分布である。
せられるガスレーザ媒質の圧力状態を示す。つまり、第
１図に示すようにガイド体１１よりも上流側の箇所をａ
点、チョーク部１３の箇所をｂ点、陰極６と陽極７とが
設けられた箇所をＣ点、テーパ部１４の開放端の箇所を
ｄ点とすると、これらａ−ｄ点における圧力分布は上記
曲線Ｐに示すようにａ点からｂ点の間が最も高く、ｂ点
からｄ点にゆくにしたがって低くなる。また、同図に示
す曲線Ｖはａ点〜ｄ点における速度分布である。
このような圧力分布において、陰極６と陽極７との間で
放電が点弧されると、陰極６と陽極７との間のガスレー
ザ媒質は瞬時に断熱膨脹して第３図にＰ１で示すように
圧力が高くなる。Ｐ１の圧力に断熱膨脹したガスレーザ
媒質は上流側と下流１０ 側に体積を増大させながら急速に拡散する。下流側に拡
散したガスレーザ媒質はガイド体１１のテパ部１４から
流出し、上流側に拡散したガスレザ媒質は曲線Ｐと接す
る圧力Ｐ２になるまで膨脹する。断熱膨脹したガスレー
ザ媒質が曲線Ｐに接する圧力Ｐ２まで低下すれば、その
ガスレーザ媒質は送風機３から送られてくるガスレーザ
媒質によって下流側に押し流されることになる。つまり
、陰極６と陽極７とがテーパ部１４の中途部に設けられ
ていることにより、放電によって断熱膨脹したガスレー
ザ媒質が上記テーバ部１４の上流側に拡散しずらい。そ
のため、送風機３から送られてくるガスレーザ媒質が流
れずらくなる時間が非常に短くなる。
放電が点弧されると、陰極６と陽極７との間のガスレー
ザ媒質は瞬時に断熱膨脹して第３図にＰ１で示すように
圧力が高くなる。Ｐ１の圧力に断熱膨脹したガスレーザ
媒質は上流側と下流１０ 側に体積を増大させながら急速に拡散する。下流側に拡
散したガスレーザ媒質はガイド体１１のテパ部１４から
流出し、上流側に拡散したガスレザ媒質は曲線Ｐと接す
る圧力Ｐ２になるまで膨脹する。断熱膨脹したガスレー
ザ媒質が曲線Ｐに接する圧力Ｐ２まで低下すれば、その
ガスレーザ媒質は送風機３から送られてくるガスレーザ
媒質によって下流側に押し流されることになる。つまり
、陰極６と陽極７とがテーパ部１４の中途部に設けられ
ていることにより、放電によって断熱膨脹したガスレー
ザ媒質が上記テーバ部１４の上流側に拡散しずらい。そ
のため、送風機３から送られてくるガスレーザ媒質が流
れずらくなる時間が非常に短くなる。
つぎに、実験結果について説明する。陰極６と陽極７と
の間隔を２０＋ｎＩＩ１，各電極の長さを３００＋＋＋
＋ｎ，幅を３ ０ ａｍ ｓ先端部の形状をチャン型と
した。また、ガイド体１１の全長を約５００關、テーパ
部１４の開き角度は１１度に設定するとともに、ｂ点（
チョーク部１３）の上下方向の間隔（間口）を１６ｍｍ
ｓ１１ ｄ点の間隔を１１２ ｍｍＳｂ点から陰極６と陽極７と
の中心であるＣ点までの距離を約２０ｍｍに設定した。
の間隔を２０＋ｎＩＩ１，各電極の長さを３００＋＋＋
＋ｎ，幅を３ ０ ａｍ ｓ先端部の形状をチャン型と
した。また、ガイド体１１の全長を約５００關、テーパ
部１４の開き角度は１１度に設定するとともに、ｂ点（
チョーク部１３）の上下方向の間隔（間口）を１６ｍｍ
ｓ１１ ｄ点の間隔を１１２ ｍｍＳｂ点から陰極６と陽極７と
の中心であるＣ点までの距離を約２０ｍｍに設定した。
そして、Ｃ点でのガスレーザ媒質の流速を１． ０ ０
ｍ ／ ｓにしたところ、放電の最大繰返し数は５
ｋＨｚを記録することができた。
ｍ ／ ｓにしたところ、放電の最大繰返し数は５
ｋＨｚを記録することができた。
また、陰極６と陽極７への注入エネルギを１０Ｊ１ガス
レーザ媒質の成分をキセノン（Ｘｅ） １．５％、塩化
水素（ＩＣ＋）０．１％、およびネオン（Ｎｅ） ９８
．４％とし、２，７５気圧で圧力容器１に封入した場合
、放電体積は、１０ｍｍ（幅）Ｘ２０ｍｍ（高さ）Ｘ２
８０ｍｍ（長さ）になる。この放電体積はＩＯＪのエネ
ルギが注入されると瞬時に断熱膨脹して約６気圧（第３
図にＰ１て示す圧力）に上昇し、膨脹した後、上流側と
下流側に向かって体積を増しながら急速に拡散する。そ
して、第２図にＰ２て示す圧力になるまで膨脹すると、
送風機３からのガスレー４ザ媒質の流れによって下流側
へ押し戻される。このときの体積は、３０＋ｎ＋ｎ （
幅）ｘ２０ｍ（高さ）ｘ２８０ｍｍ （長さ）となり、
放電体積の約３倍であった。
レーザ媒質の成分をキセノン（Ｘｅ） １．５％、塩化
水素（ＩＣ＋）０．１％、およびネオン（Ｎｅ） ９８
．４％とし、２，７５気圧で圧力容器１に封入した場合
、放電体積は、１０ｍｍ（幅）Ｘ２０ｍｍ（高さ）Ｘ２
８０ｍｍ（長さ）になる。この放電体積はＩＯＪのエネ
ルギが注入されると瞬時に断熱膨脹して約６気圧（第３
図にＰ１て示す圧力）に上昇し、膨脹した後、上流側と
下流側に向かって体積を増しながら急速に拡散する。そ
して、第２図にＰ２て示す圧力になるまで膨脹すると、
送風機３からのガスレー４ザ媒質の流れによって下流側
へ押し戻される。このときの体積は、３０＋ｎ＋ｎ （
幅）ｘ２０ｍ（高さ）ｘ２８０ｍｍ （長さ）となり、
放電体積の約３倍であった。
つまり、陰極６と陽極７とをチョーク部１３より１２
も２０ｍｍ（ｂ−ｃ間の距離）下流側に設置したので、
断熱膨脹したガスレーザ媒質がチョーク部１３よりも上
流側へ流れるのを阻止することができた。
断熱膨脹したガスレーザ媒質がチョーク部１３よりも上
流側へ流れるのを阻止することができた。
なお、陰極６と陽極７とを設ける位置、つまりチョーク
部１４からの距離はガスレーザ媒質の成分と注入エネル
ギとによって異なる。つまり、これらの条件が変化すれ
ば、断熱膨脹時におけるガスレーザ媒質の圧力変化も異
なってくるからである。したがって、陰極６と陽極７と
の設置位置はガスレーザ媒質の成分と注入エネルギとに
よって変えなければならない。
部１４からの距離はガスレーザ媒質の成分と注入エネル
ギとによって異なる。つまり、これらの条件が変化すれ
ば、断熱膨脹時におけるガスレーザ媒質の圧力変化も異
なってくるからである。したがって、陰極６と陽極７と
の設置位置はガスレーザ媒質の成分と注入エネルギとに
よって変えなければならない。
また、ガイド体１１のテーパ部１４の角度を１１度とし
たが、それに限定されるものでなく、ｌ１度よりも大き
くすれば、断熱膨脹したガスレーザ媒質が上流側に流れ
ずらくなること勿論である。
たが、それに限定されるものでなく、ｌ１度よりも大き
くすれば、断熱膨脹したガスレーザ媒質が上流側に流れ
ずらくなること勿論である。
［発明の効果コ
以上述べたようにこの発明は、ガスレーザ媒質をガイド
するガイド体に、チョーク部とテーパ部とを設けるとと
もに、陰極と陽極とを上記チョク部よりも下流側のテー
バ部に設けるようにし１３ た。したがって、上記陰極と陽極との間の放電によって
断熱膨脹したガスレーザ媒質は、上記テーパ部によって
上流側へ流れるのが規制されるから、新鮮なガスレーザ
媒質がガイド体に流れ易い。つまり、放電によって生じ
る不純ガスや生成物などを短時間で陰極と陽極との間か
ら除去することができる。しかも、放電によって発生す
る衝撃波や音響波も陰極と陽極とがチョーク部よりも下
流側に設けられていることにより、上流側には伝播しず
らい。そのため、これらのことにより、放電の繰返し数
を高くしてレーザ出力を上げることができる。
するガイド体に、チョーク部とテーパ部とを設けるとと
もに、陰極と陽極とを上記チョク部よりも下流側のテー
バ部に設けるようにし１３ た。したがって、上記陰極と陽極との間の放電によって
断熱膨脹したガスレーザ媒質は、上記テーパ部によって
上流側へ流れるのが規制されるから、新鮮なガスレーザ
媒質がガイド体に流れ易い。つまり、放電によって生じ
る不純ガスや生成物などを短時間で陰極と陽極との間か
ら除去することができる。しかも、放電によって発生す
る衝撃波や音響波も陰極と陽極とがチョーク部よりも下
流側に設けられていることにより、上流側には伝播しず
らい。そのため、これらのことにより、放電の繰返し数
を高くしてレーザ出力を上げることができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すガイド体の部分の拡
大断面図、第２図は同じくガイド体を流れるガスレーザ
媒質の圧力と速度の状態の説明図、第３図は同じく全体
構成の概略図、第４図は従来のガスレーザ発振装置の概
略図、第５図は同じくガイド体の部分の拡大断面図であ
る。 １・・・圧力容器、３・・・送風機、６・・・陰極、１
４ ７・・・陽極、 １ １・・・ガイ ド体、 １３・・・チョーク部、 １ ４・・・テ バ部。
大断面図、第２図は同じくガイド体を流れるガスレーザ
媒質の圧力と速度の状態の説明図、第３図は同じく全体
構成の概略図、第４図は従来のガスレーザ発振装置の概
略図、第５図は同じくガイド体の部分の拡大断面図であ
る。 １・・・圧力容器、３・・・送風機、６・・・陰極、１
４ ７・・・陽極、 １ １・・・ガイ ド体、 １３・・・チョーク部、 １ ４・・・テ バ部。
Claims (1)
- 圧力容器と、この圧力容器内に収容されたガスレーザ
媒質を循環させる送風機と、上記圧力容器内に対向して
配置された陰極と陽極とからなる主電極と、上記送風機
によって循環させられるガスレーザ媒質が上記陰極と陽
極との間を流れるようガイドするガイド体とを具備し、
このガイド体はガスレーザ媒質の流れ方向上流側に対向
間隔が最も狭くなるチョーク部が形成され、このチョー
ク部から下流側は対向間隔が次第に広くなるテーパ部に
形成されているとともに、上記陰極と陽極とは上記チョ
ーク部よりも下流側のテーパ部に配置されてなることを
特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011867A JP2735339B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011867A JP2735339B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03217062A true JPH03217062A (ja) | 1991-09-24 |
| JP2735339B2 JP2735339B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=11789674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011867A Expired - Fee Related JP2735339B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2735339B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7321607B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-01-22 | Cymer, Inc. | External optics and chamber support system |
| US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
| US8379687B2 (en) | 2005-06-30 | 2013-02-19 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser line narrowing module |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63229769A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP2011867A patent/JP2735339B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63229769A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8379687B2 (en) | 2005-06-30 | 2013-02-19 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser line narrowing module |
| US7706424B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
| US7321607B2 (en) | 2005-11-01 | 2008-01-22 | Cymer, Inc. | External optics and chamber support system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2735339B2 (ja) | 1998-04-02 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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