JPH0321736U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0321736U JPH0321736U JP5500989U JP5500989U JPH0321736U JP H0321736 U JPH0321736 U JP H0321736U JP 5500989 U JP5500989 U JP 5500989U JP 5500989 U JP5500989 U JP 5500989U JP H0321736 U JPH0321736 U JP H0321736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- passage
- main
- main passage
- diversion
- effective area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 18
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 6
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
第１図は実施例の質量流量制御装置の概略断面
説明図、第２図はその質量流量制御装置に使用さ
れる板ばねの平面図、第３図は従来の質量流量制
御装置の基本構成説明図、第４図Ａ，Ｂは従来の
質量流量制御装置に使用される２つのタイプの絞
り部材の構成説明図、を示している。 １０……質量流量制御装置、１２……主通路、
１４……分流通路、１６……絞り部材、１８……
流量検出部材、１８ａ……細管、１８ｂ……感熱
抵抗体、２０……電流制御回路、２２……円筒状
コイル、２４……駆動制御回路、２６……板ばね
、２８……プランジヤ。
説明図、第２図はその質量流量制御装置に使用さ
れる板ばねの平面図、第３図は従来の質量流量制
御装置の基本構成説明図、第４図Ａ，Ｂは従来の
質量流量制御装置に使用される２つのタイプの絞
り部材の構成説明図、を示している。 １０……質量流量制御装置、１２……主通路、
１４……分流通路、１６……絞り部材、１８……
流量検出部材、１８ａ……細管、１８ｂ……感熱
抵抗体、２０……電流制御回路、２２……円筒状
コイル、２４……駆動制御回路、２６……板ばね
、２８……プランジヤ。
補正 平２．６．２１
実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
。
【実用新案登録請求の範囲】
１ 流体の主たる通路となる主通路と、
該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体が分流
する分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記主通路が直線状に形成され、当該主通路中
に前記絞り部材、分流通路、計測器及び補正機構
部が収容されたことを特徴とする質量流量制御装
置。 ２ 流体の主たる通路となる主通路と、 該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体が分流
する分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記絞り部材が、前記主通路の内壁と所定間隙
を介して遊嵌される柱状の柱部材であることを特
徴とする質量流量制御装置。３ 流体の主たる通路となる主通路と、 該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体を分流
させる分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記補正機構部が、 前記主通路の壁面に板ばねを介して移動自在に
支持され、その移動量に応じて当該主通路の有効
面積を変更する磁性体からなる可動弁体と、 前記主通路の壁に設けられる励磁コイルと、 前記計測器の計測結果と前記目標値との比較結
果に応じて前記励磁コイルに通じる励磁電流値を
制御する励磁制御回路と、 を備えることを特徴とする質量流量制御装置。４ 流体の主たる通路となる主通路と、 該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体を分流
させる分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記分流通路の壁面の一部が切り欠いて形成さ
れ、 前記計測器が前記分流通路の切り欠き部分に嵌
合し、かつ、該計測器を貫通して形成された貫通
路によつて前記分流通路が形成されることを特徴
とする質量流量制御装置。
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体が分流
する分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記主通路が直線状に形成され、当該主通路中
に前記絞り部材、分流通路、計測器及び補正機構
部が収容されたことを特徴とする質量流量制御装
置。 ２ 流体の主たる通路となる主通路と、 該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体が分流
する分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記絞り部材が、前記主通路の内壁と所定間隙
を介して遊嵌される柱状の柱部材であることを特
徴とする質量流量制御装置。３ 流体の主たる通路となる主通路と、 該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体を分流
させる分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記補正機構部が、 前記主通路の壁面に板ばねを介して移動自在に
支持され、その移動量に応じて当該主通路の有効
面積を変更する磁性体からなる可動弁体と、 前記主通路の壁に設けられる励磁コイルと、 前記計測器の計測結果と前記目標値との比較結
果に応じて前記励磁コイルに通じる励磁電流値を
制御する励磁制御回路と、 を備えることを特徴とする質量流量制御装置。４ 流体の主たる通路となる主通路と、 該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体を分流
させる分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記分流通路の壁面の一部が切り欠いて形成さ
れ、 前記計測器が前記分流通路の切り欠き部分に嵌
合し、かつ、該計測器を貫通して形成された貫通
路によつて前記分流通路が形成されることを特徴
とする質量流量制御装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 流体の主たる通路となる主通路と、 該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体が分流
する分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記絞り部材が、前記主通路の内壁と所定間隙
を介して遊嵌される柱状の柱部材であることを特
徴とする質量流量制御装置。 ２ 流体の主たる通路となる主通路と、 該主通路中に配置され、当該主通路の有効面積
を減少させる絞り部材と、 該絞り部材の配置される前記主通路の上流側と
下流側とを連通し、該主通路を流れる流体を分流
させる分流通路と、 該分流通路に設けられ、当該分流通路を通過す
る流体の流量を計測する計測器と、 該計測器の計測結果と目標値とを比較して、前
記主通路の有効面積を増減補正する補正機構部と
、を有する質量流量制御装置において、 前記補正機構部が、 前記主通路の壁面に板ばねを介して移動自在に
支持され、その移動量に応じて当該主通路の有効
面積を変更する磁性体からなる可動弁体と、 前記主通路の壁に設けられる励磁コイルと、 前記計測器の計測結果と前記目標値との比較結
果に応じて前記励磁コイルに通じる励磁電流値を
制御する励磁制御回路と、 を備えることを特徴とする質量流量制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5500989U JPH0623945Y2 (ja) | 1989-05-13 | 1989-05-13 | 質量流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5500989U JPH0623945Y2 (ja) | 1989-05-13 | 1989-05-13 | 質量流量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321736U true JPH0321736U (ja) | 1991-03-05 |
| JPH0623945Y2 JPH0623945Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=31577580
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5500989U Expired - Lifetime JPH0623945Y2 (ja) | 1989-05-13 | 1989-05-13 | 質量流量制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0623945Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101485753B1 (ko) * | 2014-08-26 | 2015-01-22 | 김태영 | 자전거용 안전 브레이크 장치 |
-
1989
- 1989-05-13 JP JP5500989U patent/JPH0623945Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101485753B1 (ko) * | 2014-08-26 | 2015-01-22 | 김태영 | 자전거용 안전 브레이크 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0623945Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62228653A (ja) | 排気ガス再循環制御システム | |
| JP4851056B2 (ja) | ソレノイド弁 | |
| EP1048313A2 (en) | Directional valve | |
| KR890700776A (ko) | 솔레노이드장치 | |
| CA2152408A1 (en) | Remotely controlling modulated flow to a fuel gas burner and valve therefor | |
| US4297899A (en) | Fluid flow sensor | |
| US20010018928A1 (en) | Method of operation of mass flow controller | |
| JPH0321736U (ja) | ||
| US4627596A (en) | Electromagnetically-controlled valve, suitable for controlling an additional air flow in a feed equipment for an internal combustion engine | |
| ATE22175T1 (de) | Stroemungsmesseinrichtung. | |
| GB1116100A (en) | Transducer for measuring the instantaneous rate of flow of a fluid | |
| US3315694A (en) | Pilot operated metering device | |
| US4487077A (en) | Electric remote readout for fluid flow meter | |
| US6002337A (en) | Method and apparatus for improved flow control | |
| JPS63168505U (ja) | ||
| US3267958A (en) | Stabilizing system for fluid parameters | |
| JPH03148713A (ja) | 超精密調圧装置 | |
| US3373767A (en) | Flow control valve for regulating fluid flow rates | |
| SU589493A1 (ru) | Дроссель дл регулировани расхода | |
| ATE39998T1 (de) | Einrichtung zur steuerung und/oder messung des durchsatzes eines stroemenden mediums. | |
| JP2504847Y2 (ja) | ガス用絞り弁装置 | |
| JPH0716949Y2 (ja) | 遮断弁における弁体のフローティング機構 | |
| JPH05180681A (ja) | 往復式流量計 | |
| JPH0361828A (ja) | 圧力検出器及び流体供給装置 | |
| JPS6357975A (ja) | 電磁弁 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |