JPH0321845B2 - - Google Patents
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- JPH0321845B2 JPH0321845B2 JP16352184A JP16352184A JPH0321845B2 JP H0321845 B2 JPH0321845 B2 JP H0321845B2 JP 16352184 A JP16352184 A JP 16352184A JP 16352184 A JP16352184 A JP 16352184A JP H0321845 B2 JPH0321845 B2 JP H0321845B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/16—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring distance of clearance between spaced objects
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Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は被検体の形状を検査し、被検体の形
状に規定の比率以上の変形が検知されると不良の
判定をする形状検査装置に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] This invention relates to a shape inspection device that inspects the shape of an object to be inspected and determines that the object is defective if deformation of the object is detected to be more than a predetermined ratio. It is something.
「従来の技術」
被検体の形状を連続的に検査し、被検体の形状
の基準許容範囲からのずれを検知すると不良の判
定を行う形状検査装置が従来から製造現場で使用
されている。``Prior Art'' Shape inspection devices have been used in manufacturing sites that continuously inspect the shape of an object to be inspected and determine a defect when a deviation of the shape of the object from a reference tolerance is detected.
従来この種の形状検査装置としては被検体を一
定速度で移送させ、移送方向の両端における被検
体の緑辺位置を検出して時系列信号を得て、この
時系列信号の変化によつて被検体の形状を検査す
るものである。 Conventionally, this type of shape inspection device transports the specimen at a constant speed, detects the green side positions of the specimen at both ends in the transport direction to obtain a time-series signal, and detects the specimen based on changes in this time-series signal. This is to inspect the shape of the specimen.
第8図はこの種の形状検査装置の構成を示すも
ので、被検体11が例えばシリンダを使用した送
り装置12によつて図で矢印Xで示す方向に定速
度で移送される。例えばプレス加工で連鎖状部品
として作成されるコンタクトがこの種の形状検査
装置での検査の対象として用いられる。この場合
のコンタクトは第9図に示すように帯状のキヤリ
ア13に対してその同一方向に一体に複数のコン
タクト14−1,14−2…が突出して配設され
た形状とされ、このような形状のコンタクトが被
検体とされる。 FIG. 8 shows the configuration of this type of shape inspection apparatus, in which a subject 11 is transported at a constant speed in the direction indicated by arrow X in the figure by a feeding device 12 using, for example, a cylinder. For example, contacts made as chain-like parts by press working are used as objects of inspection with this type of shape inspection apparatus. The contacts in this case have a shape in which a plurality of contacts 14-1, 14-2, etc. are integrally arranged in the same direction with respect to the band-shaped carrier 13, as shown in FIG. The object is a shaped contact.
キヤリア13にはプレス加工の際に形成される
等間隔のパイロツト孔16−1,16−2…が設
けられており、これらのパイロツト孔によつて位
置決めされてキヤリア13に対して同一方向に直
角にコンタクト14−1,14−2…が互に平行
に等間隔で配列形成されている。 The carrier 13 is provided with equally spaced pilot holes 16-1, 16-2, etc., which are formed during press working, and are positioned at right angles in the same direction to the carrier 13 by these pilot holes. Contacts 14-1, 14-2, . . . are arranged parallel to each other at equal intervals.
コンタクトとキヤリアはコネクタを製造する際
の中間工程で切り離して使用するために、そのつ
なぎ部分Eは強度的には弱くなつている。従つて
各種の二次加工工程でこの部分において変形して
曲ることがあり、変形した状態では固定絶縁体内
に挿入できないことがある。このような変形状態
を検出するためにこの種の形状検査装置が使用さ
れる。 Since the contacts and carriers are separated and used in an intermediate process in manufacturing the connector, the connecting portion E is weak in strength. Therefore, during various secondary processing steps, this portion may be deformed and bent, and in the deformed state it may not be possible to insert it into the fixed insulator. This type of shape inspection device is used to detect such a deformed state.
各コンタクトのキヤリア13の所定位置におい
て、変形の生じていないコンタクトの移送方向に
おける両側縁上の点P1,P2を挾んで投光器17
−1,17−2と受光器18−1,18−2とが
それぞれ配設される。受光器18−1,18−2
の出力端子は測定回路19の入力端子に接続され
る。キヤリア13の矢印X方向への定速度移送に
伴つて受光器18−1では点P1で投光器17−
1からの投射光の受光状態から遮光状態への転換
の時点が検出され、例えば測定回路19の光電ス
イツチがONとされる。受光器18−2では点P2
で投光器17−2からの投射光の遮光状態から受
光状態への転換の時点が検出され、測定回路19
の光電スイツチがOFFとされる。点P1,P2はコ
ンタクトの形状と二次加工の工程の内容に対応し
てコンタクトが最も変形の生じ易い点が選定され
る。 At a predetermined position on the carrier 13 of each contact, a projector 17 is placed between points P 1 and P 2 on both edges of the undeformed contact in the transport direction.
-1, 17-2 and light receivers 18-1, 18-2 are respectively provided. Light receiver 18-1, 18-2
The output terminal of is connected to the input terminal of the measuring circuit 19. As the carrier 13 moves at a constant speed in the direction of the arrow
The time point at which the state of receiving the projected light from 1 is changed to the state of blocking light is detected, and, for example, a photoelectric switch of the measuring circuit 19 is turned on. At the receiver 18-2, the point P 2
The time point at which the projected light from the projector 17-2 changes from the blocking state to the receiving state is detected, and the measurement circuit 19
The photoelectric switch is turned off. Points P 1 and P 2 are selected as points at which the contact is most likely to deform, depending on the shape of the contact and the details of the secondary processing process.
このようにして測定回路19で例えば光電スイ
ツチのON,OFFによりコンタクトの所定位置の
移送方向の幅に対応した時系列信号が得られる。
コンタクトが変形すると光電スイツチのON,
OFFの転換の時点がP1,P2よりずれ、時系列信
号が変化するので、この変化の状態をとられてコ
ンタクトの変形が検出される。 In this way, the measuring circuit 19 obtains a time-series signal corresponding to the width of the contact in the transfer direction at a predetermined position, for example, by turning on and off a photoelectric switch.
When the contact deforms, the photoelectric switch turns on,
Since the time of OFF switching deviates from P 1 and P 2 and the time-series signal changes, the deformation of the contact is detected by taking this state of change.
又、被検体の所定の位置をカメラで撮影し、そ
の映像信号に基づいて被検体の変形を検出する方
式の形状検査装置も提案されている。 Further, a shape inspection apparatus has also been proposed in which a predetermined position of the subject is photographed with a camera and deformation of the subject is detected based on the video signal.
「発明の解決すべき問題点」
前述のように時系列信号を得て、これに基づい
て被検体の変形を検査する方式では、キヤリアの
移送速度が一定であることが前提条件として必要
とされ、キヤリアの移送速度が変化するとこれを
コンタクトの変形と誤認するため正確な測定結果
が得られない。従つて現場の製造工程内に形状検
査装置を組込む場合に一定移送条件が要求されて
条件が厳しくなるという欠点がある。``Problems to be Solved by the Invention'' As mentioned above, in the method of obtaining time-series signals and inspecting the deformation of the object based on this, it is necessary as a prerequisite that the transport speed of the carrier is constant. If the transport speed of the carrier changes, this will be mistaken for contact deformation, making it impossible to obtain accurate measurement results. Therefore, when a shape inspection device is incorporated into an on-site manufacturing process, certain transfer conditions are required and the conditions become strict.
又、カメラ撮影に基づき被検体の変形を検査す
る方式においては、移送されている被検体の静止
像を得るためストロボ光を点灯させて撮影する必
要がある。従つてストロボ光の遮光機構を設けた
りして装置の構成が複雑となり、製造費用も大幅
に増大するという欠点がある。 Furthermore, in the method of inspecting the deformation of a subject based on camera photography, it is necessary to turn on a strobe light to take a picture in order to obtain a still image of the subject being transported. Therefore, the structure of the device becomes complicated due to the provision of a strobe light shielding mechanism, and the manufacturing cost also increases significantly.
この発明の形状検査装置は前述の従来使用され
ている各種のこの種の検査装置での欠点を解決
し、被検体の移送速度に依存せず、高精度の変形
検査を迅速に行うことのできる形状検査装置を提
供するものである。 The shape inspection device of the present invention solves the drawbacks of the various conventionally used inspection devices of this type described above, and is capable of quickly performing highly accurate deformation inspection without depending on the transport speed of the specimen. The present invention provides a shape inspection device.
「発明の構成」
この発明で形状が検査される被検体は、帯状の
キヤリアにその長手方向にパイロツト孔が配列形
成され、このパイロツト孔によつて位置決めされ
てキヤリア3の同一側に突出して被検体が形成配
設されている。このキヤリアが長手方向に移送さ
れ、その移送状態で被検体の形状が検査される。``Structure of the Invention'' The object whose shape is to be inspected according to the present invention has pilot holes arranged in a strip-shaped carrier in its longitudinal direction, and is positioned by the pilot holes so as to protrude to the same side of the carrier 3. The specimen is formed and arranged. This carrier is transported in the longitudinal direction, and the shape of the object is inspected while being transported.
この発明では被検体検出信号発生手段が設けら
れ、この被検体検出信号発生手段からは被検体の
所定位置の移送方向のに対応したパルス幅の被検
体検出信号が発生する。又パイロツト信号発生手
段が設けられ、このパイロツト信号発生手段から
はキヤリアの移送方向におけるパイロツト孔の有
無に対応したパイロツト信号が発せられる。この
発明では被検体検出信号もしくはパイロツト信号
の持続時間が第1のカウンタで計数され、又パイ
ロツト信号と被検体検出信号とのずれ部分の持続
時間が第2のカウンタで計数され、第2のカウン
タの計数値の第1のカウンタの計数値に対する比
率が演算手段によつて演算される。 In this invention, a subject detection signal generating means is provided, and the subject detection signal generating means generates a subject detection signal having a pulse width corresponding to the direction of movement of the subject at a predetermined position. Further, a pilot signal generating means is provided, and the pilot signal generating means generates a pilot signal corresponding to the presence or absence of a pilot hole in the transport direction of the carrier. In this invention, the duration of the object detection signal or the pilot signal is counted by the first counter, and the duration of the deviation between the pilot signal and the object detection signal is counted by the second counter. The calculation means calculates the ratio of the count value of the first counter to the count value of the first counter.
この演算手段で得られた比率が所定値を越える
とこれが検出されて判定手段から不良判定信号が
発せられる。 When the ratio obtained by this calculation means exceeds a predetermined value, this is detected and a defect determination signal is issued from the determination means.
従つて常に被検体検出信号もしくはパイロツト
信号の持続時間を基準にして変形が比率で判定さ
れるので、被検体の変形率が高精度で検出され
る。 Therefore, since the deformation is always determined as a ratio based on the duration of the object detection signal or the pilot signal, the deformation rate of the object can be detected with high precision.
「実施例」
以下この発明をその実施例に基づき図面を使用
して詳細に説明する。``Example'' The present invention will be described in detail below based on an example using the drawings.
実施例においては被検体として第5図に示すよ
うなコンタクトを取り上げて説明する。即ち帯状
のキヤリア13の長手方向にパイロツト孔16−
1,16−2…が等間隔に配列形成され、これら
のパイロツト孔の存在しないキヤリア領域の中央
位置において、キヤリア13の同一側に被検体と
してのコンタクト14−1,14−2…が互に平
行に突出配設されている。第5図においてはコン
タクト14−2,14−4及び14−6がそのつ
なぎ部分Eにおいてそれぞれ変形している。 In the embodiment, a contact as shown in FIG. 5 will be described as a subject. That is, pilot holes 16- are provided in the longitudinal direction of the belt-shaped carrier 13.
1, 16-2... are arranged at equal intervals, and contacts 14-1, 14-2... as test objects are mutually arranged on the same side of the carrier 13 at the center position of the carrier area where these pilot holes are not present. They are arranged in parallel and protruding. In FIG. 5, contacts 14-2, 14-4 and 14-6 are each deformed at their connecting portions E. In FIG.
キヤリア13が長手方向に移送され、これに伴
つて移送するコンタクト14−1,14−2…の
所定位置における移送方向の幅に対応したパルス
幅の被検体検出信号を発する被検体検出信号発生
手段が設けられる。 The carrier 13 is transported in the longitudinal direction, and a test object detection signal generating means generates a test object detection signal having a pulse width corresponding to the width in the transport direction at a predetermined position of the contacts 14-1, 14-2, etc., which are transported accordingly. will be provided.
即ちコンタクトを挾んで投光器と受光センサが
配設され、変形のない正常形状のコンタクトの所
定位置における移送方向の側縁部分における受光
から遮光への第1の変化及び遮光から受光への第
2の変化が受光センサ21で検出される。受光セ
ンサ21の出力は増幅器22に与えられ、増幅器
22の出力信号が被検体検出信号A1とされる。
この被検体検出信号A1は受光センサ21の遮光
状態で論理値が“1”となる信号で、そのパルス
幅は被検体の移送方向における所定位置の幅に対
応した幅となる。 That is, a light projector and a light receiving sensor are arranged to sandwich the contact, and a first change from light receiving to light blocking and a second change from light blocking to light receiving at the side edge portion in the transfer direction at a predetermined position of a contact with a normal shape without deformation are performed. The change is detected by the light receiving sensor 21. The output of the light receiving sensor 21 is given to an amplifier 22, and the output signal of the amplifier 22 is used as the object detection signal A1 .
This object detection signal A1 is a signal whose logical value becomes "1" when the light-receiving sensor 21 is in a light-shielded state, and its pulse width corresponds to the width of a predetermined position in the transport direction of the object.
この場合所定位置は第5図の直線MM上に設定
されている。従つて第5図に示すような被検体に
対しては第6図Bに示すような被検体検出信号が
得られる。 In this case, the predetermined position is set on the straight line MM in FIG. Therefore, for a subject as shown in FIG. 5, a subject detection signal as shown in FIG. 6B is obtained.
キヤリアの移送方向におけるパイロツト孔の有
無に対応したパイロツト信号を発するパイロツト
孔信号発生手段が設けられる。 Pilot hole signal generating means is provided for generating a pilot signal corresponding to the presence or absence of a pilot hole in the carrier transport direction.
即ち第5図においてパイロツト孔16−1,1
6−2…の中心を結ぶ直線NN上に位置するよう
にキヤリア13を挾んで投光器と受光センサが配
設され、この受光センサ23の出力は増幅器24
に与えられる。増幅器24の出力信号が受光セン
サ23の遮光状態で論理値が“1”となるパイロ
ツト信号A2とされる。パイロツト信号A2のパル
ス幅幅は、第5図における直線NN上のパイロツ
ト孔の存在しない部分の長さに対応する。 That is, in FIG. 5, the pilot holes 16-1, 1
A light projector and a light receiving sensor are arranged with the carrier 13 in between so as to be located on the straight line NN connecting the centers of 6-2..., and the output of the light receiving sensor 23 is sent to an amplifier 24.
given to. The output signal of the amplifier 24 is set as a pilot signal A2 whose logical value becomes "1" when the light receiving sensor 23 is in a light-shielded state. The pulse width of the pilot signal A2 corresponds to the length of the portion of the straight line NN in FIG. 5 where no pilot hole exists.
従つて第5図に示す被検体に対しては第6図A
に示すようなパイロツト信号A2が得られる。被
検体検出信号もしくはパイロツト信号の持続時間
を計数する第1のカウンタが設けられる。 Therefore, for the subject shown in FIG. 5, FIG.
A pilot signal A2 as shown in is obtained. A first counter is provided for counting the duration of the object detection signal or pilot signal.
実施例は第1のカウンタで被検体検出信号の持
続時間を計数する構成とされている。第1図に示
すように増幅器22の出力端子は第1のカウンタ
25のイネーブル端子teに与えられ、この第1の
カウンタ25のクロツク端子tcにはクロツク発生
器26の出力端子が接続される。第1のカウンタ
25の出力はCPU27に入力信号として与えら
れる。 In the embodiment, the first counter is configured to count the duration of the object detection signal. As shown in FIG. 1, the output terminal of the amplifier 22 is applied to the enable terminal te of a first counter 25, and the output terminal of a clock generator 26 is connected to the clock terminal tc of the first counter 25. Ru. The output of the first counter 25 is given to the CPU 27 as an input signal.
従つて受光センサ21によりコンタクトの所定
位置、即ち第5図の直線MMにおける被検体の移
送方向の幅が検出されて被検体検出信号A1が発
せられると、その信号の論理値が“1”の間でク
ロツク発生器26のクロツクが第1のカウンタ2
5で計数され、その計数値はCPU27に入力さ
れる。 Therefore, when the light-receiving sensor 21 detects the width of the object at a predetermined position of the contact, that is, the width in the transport direction of the object on the straight line MM in FIG . The clock of the clock generator 26 is output to the first counter 2 between
5, and the counted value is input to the CPU 27.
パイロツト信号と被検体検出信号とのずれ部分
の持続時間を計数する第2のカウンタが設けられ
る。 A second counter is provided for counting the duration of the deviation between the pilot signal and the subject detection signal.
増幅器24の出力端子はインバータ28を介し
てAND回路29の一方の入力端子に接続され、
AND回路29の他方の入力端子には増幅器22
の出力端子が接続される。AND回路29の出力
端子は第2のカウンタ30のイネーブル端子teに
接続され、この第2のカウンタ30のクロツク端
子tcにはクロツク発生器26の出力端子が接続さ
れる。 The output terminal of the amplifier 24 is connected to one input terminal of an AND circuit 29 via an inverter 28.
An amplifier 22 is connected to the other input terminal of the AND circuit 29.
output terminal is connected. The output terminal of the AND circuit 29 is connected to the enable terminal te of a second counter 30, and the output terminal of the clock generator 26 is connected to the clock terminal tc of the second counter 30.
従つて第2のカウンタ30は被検体検出信号
A1の論理値が“1”でパイロツト信号A2の論理
値が“0”の状態でクロツク発生器26のクロツ
クを計数し、その計数値がCPU27に入力され、
パイロツト信号A2と被検体検出信号A1とのずれ
部分の持続時間が計数される。 Therefore, the second counter 30 receives the object detection signal.
When the logical value of A1 is "1" and the logical value of pilot signal A2 is "0", the clocks of the clock generator 26 are counted, and the counted value is input to the CPU 27,
The duration of the deviation between the pilot signal A2 and the subject detection signal A1 is counted.
第5図に示すような被検体に対しては、第6図
cに示す信号が第2のカウンタ30の入力端子に
与えられ、この持続時間の間クロツク発生器26
のクロツクが第2のカウンタ30で計数される。
又増幅器22及び24の出力端子がそれぞれ
AND回路31の入力端子に接続され、AND回路
31の出力端子がフリツプフロツプ32の入力端
子に接続され、フリツプフロツプ32の出力は
CPU27に入力される。 For a test object such as that shown in FIG. 5, the signal shown in FIG.
clocks are counted by a second counter 30.
Also, the output terminals of amplifiers 22 and 24 are connected to
The output terminal of the AND circuit 31 is connected to the input terminal of the flip-flop 32, and the output terminal of the flip-flop 32 is connected to the input terminal of the AND circuit 31.
It is input to the CPU 27.
従つてフリツプフロツプ32からは被検体検出
信号A1及びパイロツト信号A2の論理値が“1”
の場合に論理値“1”の信号が発せられてCPU
27に入力される。 Therefore, the logical values of the object detection signal A1 and the pilot signal A2 from the flip-flop 32 are "1".
In this case, a signal with logical value “1” is issued and the CPU
27.
増幅器22の出力端子がインバータ33を介し
てフリツプフロツプ34の入力端子に接続され、
フリツプフロツプ34の出力はCPU27に入力
される。従つてフリツプフロツプ34は被検体検
出信号A1の立下りに対応して出力信号の論理値
が“1”となり、この信号がCPU27に入力さ
れる。 The output terminal of the amplifier 22 is connected to the input terminal of a flip-flop 34 via an inverter 33;
The output of flip-flop 34 is input to CPU 27. Therefore, the logic value of the output signal of the flip-flop 34 becomes "1" in response to the fall of the subject detection signal A1 , and this signal is input to the CPU 27.
増幅器24の出力端子がインバータ35を介し
てフリツプフロツプ36の入力端子に接続され、
フリツプフロツプ36の出力はCPU27に入力
される。従つてフリツプフロツプ36はパイロツ
ト信号A2の立下りに対応して出力信号の論理値
が“1”となり、この信号がCPU27に入力さ
れる。 The output terminal of the amplifier 24 is connected to the input terminal of a flip-flop 36 via an inverter 35;
The output of flip-flop 36 is input to CPU 27. Therefore, the logic value of the output signal of the flip-flop 36 becomes "1" in response to the fall of the pilot signal A2 , and this signal is input to the CPU 27.
クロツク発生器26の第1のカウンタ25、第
2のカウンタ30及びフリツプフロツプ34の各
リセツト端子tRには、CPU27からのリセツト信
号が供給されるように共通のリセツト信号が接続
されている。又フリツプフロツプ34及び36の
リセツト端子tRにはCPU27からのリセツト信号
が供給されるように共通のリセツト信号線が接続
されている。 A common reset signal is connected to each reset terminal t R of the first counter 25, second counter 30 and flip-flop 34 of the clock generator 26 so that a reset signal from the CPU 27 is supplied. A common reset signal line is connected to the reset terminals tR of the flip-flops 34 and 36 so that a reset signal from the CPU 27 is supplied thereto.
この発明で相互位置関係が判定されるべきパイ
ロツト信号A2と被検体検出信号A1との各場合に
おける相対位置関係を第4図A〜Iに示す。実施
例においては第4図Aに示すパイロツト信号A2
に対して被検体検出信号A1がB,E,Fの状態
にある場合は被検体は変形がないものとする。A
に示すパイロツト信号A2に対して被検体検出信
号A1がC,H及びIの相対位置関係にある場合
は被検体の変形は明らかに許容範囲外にある。 The relative positional relationships in each case of the pilot signal A2 and the subject detection signal A1 whose mutual positional relationship is to be determined in this invention are shown in FIGS. 4A to 4I. In the embodiment, the pilot signal A 2 shown in FIG.
On the other hand, when the object detection signal A1 is in the states B, E, and F, it is assumed that the object is not deformed. A
If the object detection signal A1 has a relative positional relationship of C, H, and I with respect to the pilot signal A2 shown in FIG.
Aに示すパイロツト信号A2に対して被検体検
出信号A1がD及びGの相対位置関係にある場合
は、被検体検出信号A1の持続時間Tに対するパ
イロツト信号A2と被検体検出信号A1とのずれ部
分の持続時間t1,t2の比率によつて被検体の変形
が許容範囲内にあるか否かが判定される。 If the subject detection signal A 1 has the relative positional relationship D and G with respect to the pilot signal A 2 shown in A, then the pilot signal A 2 and the subject detection signal A for the duration T of the subject detection signal A 1 It is determined whether the deformation of the subject is within the allowable range based on the ratio of the durations t 1 and t 2 of the deviation portion from 1 .
被検体の移送速度をVとすると被検体検出信号
A1の幅はVTで与えられ、パイロツト信号A2と
被検体検出信号A1とのずれ部分の幅はその持続
時間をtとしてVtで与えられる。被検体の変形
許容定数をnとしてその変形許容条件をVt/VT<
nとするとt<nTが得られ、変形許容条件は被
検体の移送速度Vに依存しない。 If the transport speed of the specimen is V, then the specimen detection signal is
The width of A 1 is given by VT, and the width of the deviation portion between pilot signal A 2 and object detection signal A 1 is given by Vt, where its duration is t. If the allowable deformation constant of the object is n and the allowable deformation condition is Vt/VT<n, then t<nT is obtained, and the allowable deformation condition does not depend on the transport speed V of the object.
第7図A〜Cは被検体に加速度を与えて移送さ
せた場合のパイロツト信号A2、被検体検出信号
A1及び第2のカウンタ30の入力信号の波形を
それぞれ示すものである。この場合には被検体の
変形に基づいて得られる信号はその変形の程度に
は一義的に比例しなくなる。しかしこのような場
合でもこの発明ではt<nTによつて被検体の変
形の許容範囲の判定を行うので、被検体の移送速
度に関係なく被検体の形状の検査を行うことがで
きる。 Figures 7 A to C show the pilot signal A 2 and the object detection signal when the object is transferred while being accelerated.
The waveforms of the input signals of A1 and the second counter 30 are shown respectively. In this case, the signal obtained based on the deformation of the object is no longer uniquely proportional to the extent of the deformation. However, even in such a case, the present invention determines the permissible range of deformation of the object based on t<nT, so that the shape of the object can be inspected regardless of the transport speed of the object.
パイロツト信号A2と被検体検出信号A1とが互
に第4図のA及びBのような相対位置関係にある
場合について説明する。 A case will be described in which the pilot signal A2 and the subject detection signal A1 are in a relative positional relationship as shown in A and B in FIG. 4.
時刻τ3から第1のカウンタ25が計数を開始
し、τ4までの時間Tの数計を行う。時刻τ4におけ
る被検体検出信号A1の立下りでフリツプフロツ
プ34の出力信号の論理値が“1”となる。フリ
ツプフロツプ34の出力信号の論理値“1”を
CPU27が取り込むと、CPU27は第2図に示
す割込み処理を実行する。 The first counter 25 starts counting from time τ 3 and counts the time T up to τ 4 . At the fall of the object detection signal A1 at time τ4 , the logic value of the output signal of the flip-flop 34 becomes "1". The logic value “1” of the output signal of the flip-flop 34 is
When the CPU 27 takes in the data, the CPU 27 executes the interrupt processing shown in FIG.
第1のステツプ1においてCPU27は第2の
カウンタ30の出力及び第1のカウンタ25の出
力を読み込むが、第2のカウンタ30の計数値は
この場合零であり、第1のカウンタ25の出力は
Tである。第2のステツプ(2)でクロツク発生器2
6、第1のカウンタ25及びフリツプフロツプ3
4がリセツトされる。第3のステツプ(3)でずれ部
分の持続時間tがt=0であるか否かの判定が行
われる。この場合はt=0であるから不良判定出
力は得られない。 In the first step 1, the CPU 27 reads the output of the second counter 30 and the output of the first counter 25, but the count value of the second counter 30 is zero in this case, and the output of the first counter 25 is It is T. In the second step (2) the clock generator 2
6. First counter 25 and flip-flop 3
4 is reset. In the third step (3), it is determined whether the duration t of the shifted portion is t=0. In this case, since t=0, no defect determination output is obtained.
時刻τ2においてパイロツト信号A2が立下り、
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値が
“1”となる。フリツプフロツプ36の出力信号
の論理値“1”をCPU27が取り込むと、CPU
27は第3図に示す割込み処理を実行する。 At time τ 2 , pilot signal A 2 falls,
The logic value of the output signal of flip-flop 36 becomes "1". When the CPU 27 takes in the logic value "1" of the output signal of the flip-flop 36, the CPU
27 executes the interrupt processing shown in FIG.
第1のステツプ(1)でCPU27はフリツプフロ
ツプ32の出力信号を読み込む。次いで第2のス
テツプ(2)で読み込まれたフリツプフロツプ34の
出力信号の論理値が“1”であるかどうかの判定
が行われる。この場合はパイロツト信号の持続時
間内の時刻τ3〜τ4間の時間Tにおいてフリツプフ
ロツプ32の出力信号の論理値は“1”となつて
おり、第4のステツプに移行して不良判定出力は
得られない。この場合は第4のステツプでフリツ
プフロツプ32及び36がリセツトされる。 In the first step (1), the CPU 27 reads the output signal of the flip-flop 32. Next, in the second step (2), it is determined whether the logical value of the output signal of the flip-flop 34 read is "1". In this case, the logic value of the output signal of the flip-flop 32 is "1" at the time T between times τ 3 and τ 4 within the duration of the pilot signal, and the process moves to the fourth step, where the failure judgment output is I can't get it. In this case, flip-flops 32 and 36 are reset in a fourth step.
第4図のE及びFで示す位置に被検体検出信号
A1が得られた場合もこの実施例においては同様
の判定をして不良判定出力は得られない。 The object detection signal is located at the positions shown by E and F in Figure 4.
Even when A 1 is obtained, a similar determination is made in this embodiment, and no defective determination output is obtained.
第4図Cの位置に被検体検出信号A1が得られ
た場合の動作について説明する。 The operation when the object detection signal A1 is obtained at the position shown in FIG. 4C will be described.
時刻τ5からτ6までの時間T1≒Tの間第1のカウ
ンタ25がクロツク発生器26のクロツクを計数
する。この場合時刻τ6で第2図に示す割込み処理
が実行されるが、第3のステツプでt=0となる
ので不良判定出力は得られない。、又時刻τ2にお
いてフリツプフロツプ36の出力の論理値が
“1”となりこれがCPU27に取り込まれると第
3図の割込みが行われる。 The first counter 25 counts the clocks of the clock generator 26 during the time T 1 ≈T from time τ 5 to τ 6 . In this case, the interrupt process shown in FIG. 2 is executed at time τ 6 , but since t=0 in the third step, no defect determination output is obtained. Also, at time τ 2 , the logical value of the output of the flip-flop 36 becomes "1", and when this is taken into the CPU 27, the interrupt shown in FIG. 3 is performed.
第3図の割込み処理の第1のステツプにおいて
フリツプフロツプ32の出力が読み込まれ、第2
のステツプでその論理値が判定される。この場合
にはパイロツト信号の持続時間内でフリツプフロ
ツプ32の出力信号の論理値は“0”であるの
で、第3のステツプで不良判定出力が得られる。 In the first step of the interrupt processing shown in FIG. 3, the output of flip-flop 32 is read and the second
The logical value is determined in step . In this case, since the logic value of the output signal of the flip-flop 32 is "0" within the duration of the pilot signal, a defect determination output is obtained in the third step.
第4図Dの位置に被検体検出信号A1が得られ
る場合について説明する。 The case where the object detection signal A1 is obtained at the position shown in FIG. 4D will be explained.
時刻τ8においてCPU27が被検体検出信号A1
の立下りを検出すると第2図の割込み処理が実行
され、第1のステツプ(1)でt及びT2≒Tが読み
込まれる。第2のステツプ(2)においてクロツク発
生器26、第1のカウンタ25及びフリツプフロ
ツプ34がリセツトされる。 At time τ 8 , the CPU 27 outputs the object detection signal A 1
When the falling edge of is detected, the interrupt process shown in FIG. 2 is executed, and in the first step (1), t and T 2 ≈T are read. In the second step (2), the clock generator 26, first counter 25 and flip-flop 34 are reset.
次いで第3のステツプ(3)ではt1≠0であること
が確認されるので、第4のステツプ(4)に進み、第
4のステツプ(4)においてT<ntであるかどうかの
判定が行われる。この場合T<ntであると被検体
の変形が許容変形範囲内にあることを示すので、
不良判定出力は得られない。一方Tntであるこ
とが確認され、被検体の変形が許容範囲を越える
場合には第5のステツプ(5)で不良判定出力が得ら
れる。 Next, in the third step (3), it is confirmed that t 1 ≠ 0, so the process proceeds to the fourth step (4), where it is determined whether T < nt. It will be done. In this case, if T<nt, it indicates that the deformation of the object is within the allowable deformation range, so
Defective judgment output cannot be obtained. On the other hand, if it is confirmed that Tnt is present and the deformation of the object exceeds the allowable range, a defect determination output is obtained in the fifth step (5).
時刻τ2においてパイロツト信号A2の立下りが
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値“1”
として確認されると、CPU27がこれを取り込
んで第3図の割込み処理が行われる。第1のステ
ツプにおいてフリツプフロツプ32の出力信号が
読み込まれ、第2のステツプ(2)においてフリツプ
フロツプ32の出力信号の論理値が“1”である
か否かの判定が行われる。この場合フリツプフロ
ツプ32の出力信号の論理値はパイロツト信号の
持続時間において“1”となつているので不良判
定出力は得られない。 At time τ 2 , the fall of the pilot signal A 2 causes the logic value of the output signal of the flip-flop 36 to be “1”.
When this is confirmed, the CPU 27 takes it in and performs the interrupt processing shown in FIG. 3. In the first step, the output signal of the flip-flop 32 is read, and in the second step (2), it is determined whether the logic value of the output signal of the flip-flop 32 is "1". In this case, since the logic value of the output signal of the flip-flop 32 is "1" during the duration of the pilot signal, no defect determination output is obtained.
第4図Gの位置に被検体検出信号A1が得られ
た場合について説明する。 The case where the object detection signal A1 is obtained at the position G in FIG. 4 will be explained.
時刻τ2においてパイロツト信号A2の立下りが
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値“1”
としてCPU27が検知すると、CPU27は第3
図の割込み処理を実行する。第1のステツプ(1)に
おいてフリツプフロツプ32の出力信号が読み込
まれる。この場合フリツプフロツプ32の出力信
号の論理値は“1”であり、不良判定信号は送出
されない。 At time τ 2 , the fall of the pilot signal A 2 causes the logic value of the output signal of the flip-flop 36 to be “1”.
When the CPU 27 detects the
Execute the interrupt processing shown in the figure. In a first step (1), the output signal of flip-flop 32 is read. In this case, the logic value of the output signal of flip-flop 32 is "1", and no defect determination signal is sent out.
この場合時刻τ11でフリツプフロツプ34の出
力信号が“1”となり、これがCPU27に取り
込まれ、第2図の割込み処理が実行される。以下
は被検体検出信号A1が第4図Dの位置に得られ
る場合についてすでに述べた場合と同様であり、
T<ntの判定が行われ、被検体の変形が許容変形
範囲を越えている場合には不良判定出力が得られ
る。 In this case, the output signal of the flip-flop 34 becomes "1" at time τ 11 , which is taken into the CPU 27, and the interrupt processing shown in FIG. 2 is executed. The following is the same as the case already described for the case where the object detection signal A1 is obtained at the position shown in FIG. 4D,
A determination is made that T<nt, and if the deformation of the object exceeds the allowable deformation range, a defect determination output is obtained.
第4図Hに示す位置に被検体検出信号A1が得
られる場合には、時刻τ2において第3図の割り込
みが実行され、第1のステツプ(1)でフリツプフロ
ツプ32の出力がCPU27に取り込まれ、第2
のステツプ(2)でその論理値が“0”であることが
判定されるので、第4のステツプ(4)において不良
判定出力が発せられる。 When the object detection signal A1 is obtained at the position shown in FIG. 4H , the interrupt shown in FIG. Re, 2nd
Since it is determined in step (2) that the logical value is "0", a defect determination output is issued in fourth step (4).
時刻τ13において被検体検出信号A1の立下りを
フリツプフロツプ34の出力信号で検知すると第
2図の割込みが実行されるが、第3のステツプで
t=0となるので不良判定出力は得られない。 When the fall of the object detection signal A1 is detected by the output signal of the flip-flop 34 at time τ13 , the interrupt shown in FIG. 2 is executed, but since t=0 in the third step, no defect judgment output is obtained. do not have.
なおこの発明において第3図の割込みの実行を
第2図の割込みの実行に優先させるものとして、
第3図の割込みで不良判定出力が得られた場合に
は、第2図の割込みの実行を省略するような構成
とすることも可能である。 In this invention, the execution of the interrupt shown in FIG. 3 is given priority over the execution of the interrupt shown in FIG.
It is also possible to adopt a configuration in which execution of the interrupt in FIG. 2 is omitted when a defect determination output is obtained in the interrupt in FIG. 3.
第4図に示す場合は所定期間内に被検体検出
信号A1が存在せず、パイロツト信号A2の立下り
の時刻τ2において第3図の割込み処理が行なわ
れ、フリツプフロツプ32の出力信号の論理値が
“0”なので不良判定信号を発するようにに構成
される。この場合は被検体がキヤリアから欠落し
た状態となつている。 In the case shown in FIG . 4, the object detection signal A1 does not exist within the predetermined period, and the interrupt process shown in FIG . Since the logical value is "0", it is configured to issue a defective determination signal. In this case, the subject is missing from the carrier.
「発明の効果」
この発明では被検体検出信号の持続時間と、パ
イロツト信号と被検体検出信号とのずれ部分の持
続時間との計数を行い、これらの計数値の比率が
演算され、この演算値が所定値を越えると被検体
に対する不良判定が発せられる。従つて被検体の
移送速度が変化しても検査結果に誤差を生ずるこ
とはない。"Effects of the Invention" In this invention, the duration of the object detection signal and the duration of the difference between the pilot signal and the object detection signal are counted, the ratio of these counted values is calculated, and this calculated value is calculated. If exceeds a predetermined value, a defective judgment is issued for the subject. Therefore, even if the transport speed of the subject changes, no error will occur in the test results.
装置の構成も比較的簡単であり、その製造費用
も大幅に低減させるとが可能であり、例えば第5
図に示すようなコンタクトを被検体とした場合、
その検査速度も毎秒50本と高速度検査を行うこと
ができる。その不良判定基準も高精度で所望の値
に設定することが可能である。 The configuration of the device is also relatively simple, and the manufacturing cost can be significantly reduced.
When a contact as shown in the figure is used as a test object,
It can also perform high-speed inspections at 50 pieces per second. The defect determination criteria can also be set to a desired value with high precision.
例えばこの発明をデイジタルカセツトなどで多
チヤンネルで信号を記憶している場合に対して適
用する場合、その1チヤンネルを用いて基準信号
として一定幅の基準クロツク信号を録音してお
き、他チヤンネルでデータ信号を録音し、基準ク
ロツク信号とデータ信号の時間長の比較をしてデ
ータの抽出を行うことができる。このような比較
法をとると、回転系の立上り、立下り又は速度変
動に依存せずにデータの抽出を行わせることがで
きる。 For example, when this invention is applied to a digital cassette that stores signals in multiple channels, one channel is used to record a reference clock signal of a constant width as a reference signal, and the other channels are used to record data. Data can be extracted by recording the signal and comparing the time lengths of the reference clock signal and the data signal. By using such a comparison method, data can be extracted without depending on the rise, fall, or speed fluctuation of the rotating system.
第4図の説明においては被検体としてのコンタ
クトの変形は所定限定以内であつて、T1≒T2≒
T3≒Tとして被検体検出信号A1の持続時間を第
1のカウンタ25で計数して比率演算の基準とし
た。しかし被検体の変形が大きな場合には、パイ
ロツト信号A2の持続時間を第1のカウンタ25
で計数して比率演算の基準とすることができる。 In the explanation of FIG. 4, the deformation of the contact as the object to be examined is within a predetermined limit, and T 1 ≒ T 2 ≒
Assuming that T 3 ≈T, the duration of the object detection signal A 1 was counted by the first counter 25 and used as a reference for ratio calculation. However, if the deformation of the object is large, the duration of the pilot signal A2 is determined by the first counter 25.
It can be counted and used as a basis for ratio calculation.
又第4図E及びFにそれぞれ示す被検体検出信
号に対しても、例えば被検体検出信号A1の立下
りとパイロツト信号A2の立下り間の時間t3,t4が
それぞれ基準範囲を越えたことを確認して不良判
定を行わせることができる。即ち基準上限値及び
下限値をTl,ThとしてTl<τ3<Th、及びTl<τ4
<Thが確認されない場合に不良判定信号を出力
するように構成することができる。このように構
成されたものではさらに高精度の不良判定が行わ
れることになる。 Also, for the object detection signals shown in FIGS. 4E and F, for example, the times t 3 and t 4 between the fall of the object detection signal A 1 and the fall of the pilot signal A 2 fall within the reference range, respectively. It is possible to confirm that the limit has been exceeded and make a defective judgment. That is, assuming that the reference upper and lower limit values are Tl and Th, Tl<τ 3 <Th and Tl<τ 4
It can be configured to output a defective determination signal when <Th is not confirmed. With this configuration, defective determination can be performed with even higher accuracy.
以上詳細に説明したようにこの発明によると、
構成が比較的簡単で被検体の移送速度に依存せず
に被検体の形状を精度よく検査することができ、
製造費用も大幅に低減することが可能な形状検査
装置を提供することができる。 According to this invention, as explained in detail above,
The configuration is relatively simple, and the shape of the object can be inspected with high accuracy without depending on the transport speed of the object.
It is possible to provide a shape inspection device that can significantly reduce manufacturing costs.
第1図はこの発明の形状検査装置の実施例の構
成を示すブロツク図、第2図及び第3図はこの発
明の割込み処理の各ステツプを示すフローチヤー
ト、第4図はこの発明の形状検査装置の動作を示
す波形図、第5図はこの発明の形状検査装置の被
検体の形状を示す図、第6図A,B,Cはこの発
明の形状検査装置の各部において得られる波形
図、第7図A,B,Cは加速度をもつて移送させ
た場合に得られる第6図A,B,Cの各波形図、
第8図は従来使用されている形状検査装置の構成
を示す図、第9図は被検体の一例の要部の形状を
示す図である。
13:帯状キヤリア、16−1,16−2…:
パイロツト孔、14−1,14−2…:コンタク
ト、21,23:受光センサ、22,24:増幅
器、25:第1のカウンタ、26:クロツク発生
器、27:CPU、28,33,35:インバー
タ、29,31:AND回路、30:第2のカウ
ンタ、32,34,36:フリツプフロツプ。
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the shape inspection device of the present invention, FIGS. 2 and 3 are flowcharts showing each step of the interrupt processing of the present invention, and FIG. 4 is a shape inspection device of the present invention. A waveform diagram showing the operation of the device, FIG. 5 is a diagram showing the shape of the object to be inspected by the shape inspection device of the present invention, and FIGS. 6A, B, and C are waveform diagrams obtained at each part of the shape inspection device of the present invention. Figures 7A, B, and C are waveform diagrams of Figure 6A, B, and C obtained when transporting with acceleration;
FIG. 8 is a diagram showing the configuration of a conventionally used shape inspection apparatus, and FIG. 9 is a diagram showing the shape of a main part of an example of a subject. 13: Band-shaped carrier, 16-1, 16-2...:
Pilot hole, 14-1, 14-2...: Contact, 21, 23: Light receiving sensor, 22, 24: Amplifier, 25: First counter, 26: Clock generator, 27: CPU, 28, 33, 35: Inverter, 29, 31: AND circuit, 30: second counter, 32, 34, 36: flip-flop.
Claims (1)
配列形成され、これらのパイロツト孔により位置
決めされて前記キヤリアの同一側に被検体が突出
して配設され、前記キヤリアがその長手方向に移
送され、この移送状態で前記被検体の形状を検査
する形状検査装置において、前記被検体の所定位
置における前記移送方向の幅に対応したパルス幅
の被検体検出信号を発する被検体検出信号発生手
段と、前記キヤリアの前記移送方向における前記
パイロツト孔の有無に対応したパイロツト信号を
発するパイロツト信号発生手段と、前記被検体検
出信号もしくは前記パイロツト信号の持続時間を
計数する第1のカウンタと、前記パイロツト信号
と前記被検体検出信号とのずれ部分の持続時間を
計数する第2のカウンタと、前記第2のカウンタ
の計数値の前記第1のカウンタの計数値に対する
比率を演算する演算手段と、この演算手段で得ら
れた比率が所定値を越えることを検出して不良判
定信号を発する判定手段とを有することを特徴と
する形状検査装置。1. Pilot holes are arranged in the longitudinal direction of a strip-shaped carrier, a subject is positioned by these pilot holes and protrudes from the same side of the carrier, and the carrier is transferred in the longitudinal direction, and this transfer In the shape inspection apparatus for inspecting the shape of the object under test, the object detection signal generating means generates an object detection signal having a pulse width corresponding to the width in the transport direction at a predetermined position of the object; a pilot signal generating means for generating a pilot signal corresponding to the presence or absence of the pilot hole in the transport direction; a first counter for counting the duration of the object detection signal or the pilot signal; and a first counter for counting the duration of the object detection signal or the pilot signal; a second counter that counts the duration of the deviation from the detection signal; a calculation means that calculates a ratio of the count value of the second counter to the count value of the first counter; 1. A shape inspection device comprising: determination means for detecting that the ratio exceeds a predetermined value and outputting a defective determination signal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16352184A JPS6141911A (en) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | Shape inspecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16352184A JPS6141911A (en) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | Shape inspecting device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6141911A JPS6141911A (en) | 1986-02-28 |
| JPH0321845B2 true JPH0321845B2 (en) | 1991-03-25 |
Family
ID=15775446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16352184A Granted JPS6141911A (en) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | Shape inspecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6141911A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2926703B2 (en) * | 1988-02-12 | 1999-07-28 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate processing method and apparatus |
-
1984
- 1984-08-03 JP JP16352184A patent/JPS6141911A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6141911A (en) | 1986-02-28 |
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