JPH0321845B2 - - Google Patents
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- JPH0321845B2 JPH0321845B2 JP16352184A JP16352184A JPH0321845B2 JP H0321845 B2 JPH0321845 B2 JP H0321845B2 JP 16352184 A JP16352184 A JP 16352184A JP 16352184 A JP16352184 A JP 16352184A JP H0321845 B2 JPH0321845 B2 JP H0321845B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/16—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring distance of clearance between spaced objects
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は被検体の形状を検査し、被検体の形
状に規定の比率以上の変形が検知されると不良の
判定をする形状検査装置に関するものである。
状に規定の比率以上の変形が検知されると不良の
判定をする形状検査装置に関するものである。
「従来の技術」
被検体の形状を連続的に検査し、被検体の形状
の基準許容範囲からのずれを検知すると不良の判
定を行う形状検査装置が従来から製造現場で使用
されている。
の基準許容範囲からのずれを検知すると不良の判
定を行う形状検査装置が従来から製造現場で使用
されている。
従来この種の形状検査装置としては被検体を一
定速度で移送させ、移送方向の両端における被検
体の緑辺位置を検出して時系列信号を得て、この
時系列信号の変化によつて被検体の形状を検査す
るものである。
定速度で移送させ、移送方向の両端における被検
体の緑辺位置を検出して時系列信号を得て、この
時系列信号の変化によつて被検体の形状を検査す
るものである。
第8図はこの種の形状検査装置の構成を示すも
ので、被検体11が例えばシリンダを使用した送
り装置12によつて図で矢印Xで示す方向に定速
度で移送される。例えばプレス加工で連鎖状部品
として作成されるコンタクトがこの種の形状検査
装置での検査の対象として用いられる。この場合
のコンタクトは第9図に示すように帯状のキヤリ
ア13に対してその同一方向に一体に複数のコン
タクト14−1,14−2…が突出して配設され
た形状とされ、このような形状のコンタクトが被
検体とされる。
ので、被検体11が例えばシリンダを使用した送
り装置12によつて図で矢印Xで示す方向に定速
度で移送される。例えばプレス加工で連鎖状部品
として作成されるコンタクトがこの種の形状検査
装置での検査の対象として用いられる。この場合
のコンタクトは第9図に示すように帯状のキヤリ
ア13に対してその同一方向に一体に複数のコン
タクト14−1,14−2…が突出して配設され
た形状とされ、このような形状のコンタクトが被
検体とされる。
キヤリア13にはプレス加工の際に形成される
等間隔のパイロツト孔16−1,16−2…が設
けられており、これらのパイロツト孔によつて位
置決めされてキヤリア13に対して同一方向に直
角にコンタクト14−1,14−2…が互に平行
に等間隔で配列形成されている。
等間隔のパイロツト孔16−1,16−2…が設
けられており、これらのパイロツト孔によつて位
置決めされてキヤリア13に対して同一方向に直
角にコンタクト14−1,14−2…が互に平行
に等間隔で配列形成されている。
コンタクトとキヤリアはコネクタを製造する際
の中間工程で切り離して使用するために、そのつ
なぎ部分Eは強度的には弱くなつている。従つて
各種の二次加工工程でこの部分において変形して
曲ることがあり、変形した状態では固定絶縁体内
に挿入できないことがある。このような変形状態
を検出するためにこの種の形状検査装置が使用さ
れる。
の中間工程で切り離して使用するために、そのつ
なぎ部分Eは強度的には弱くなつている。従つて
各種の二次加工工程でこの部分において変形して
曲ることがあり、変形した状態では固定絶縁体内
に挿入できないことがある。このような変形状態
を検出するためにこの種の形状検査装置が使用さ
れる。
各コンタクトのキヤリア13の所定位置におい
て、変形の生じていないコンタクトの移送方向に
おける両側縁上の点P1,P2を挾んで投光器17
−1,17−2と受光器18−1,18−2とが
それぞれ配設される。受光器18−1,18−2
の出力端子は測定回路19の入力端子に接続され
る。キヤリア13の矢印X方向への定速度移送に
伴つて受光器18−1では点P1で投光器17−
1からの投射光の受光状態から遮光状態への転換
の時点が検出され、例えば測定回路19の光電ス
イツチがONとされる。受光器18−2では点P2
で投光器17−2からの投射光の遮光状態から受
光状態への転換の時点が検出され、測定回路19
の光電スイツチがOFFとされる。点P1,P2はコ
ンタクトの形状と二次加工の工程の内容に対応し
てコンタクトが最も変形の生じ易い点が選定され
る。
て、変形の生じていないコンタクトの移送方向に
おける両側縁上の点P1,P2を挾んで投光器17
−1,17−2と受光器18−1,18−2とが
それぞれ配設される。受光器18−1,18−2
の出力端子は測定回路19の入力端子に接続され
る。キヤリア13の矢印X方向への定速度移送に
伴つて受光器18−1では点P1で投光器17−
1からの投射光の受光状態から遮光状態への転換
の時点が検出され、例えば測定回路19の光電ス
イツチがONとされる。受光器18−2では点P2
で投光器17−2からの投射光の遮光状態から受
光状態への転換の時点が検出され、測定回路19
の光電スイツチがOFFとされる。点P1,P2はコ
ンタクトの形状と二次加工の工程の内容に対応し
てコンタクトが最も変形の生じ易い点が選定され
る。
このようにして測定回路19で例えば光電スイ
ツチのON,OFFによりコンタクトの所定位置の
移送方向の幅に対応した時系列信号が得られる。
コンタクトが変形すると光電スイツチのON,
OFFの転換の時点がP1,P2よりずれ、時系列信
号が変化するので、この変化の状態をとられてコ
ンタクトの変形が検出される。
ツチのON,OFFによりコンタクトの所定位置の
移送方向の幅に対応した時系列信号が得られる。
コンタクトが変形すると光電スイツチのON,
OFFの転換の時点がP1,P2よりずれ、時系列信
号が変化するので、この変化の状態をとられてコ
ンタクトの変形が検出される。
又、被検体の所定の位置をカメラで撮影し、そ
の映像信号に基づいて被検体の変形を検出する方
式の形状検査装置も提案されている。
の映像信号に基づいて被検体の変形を検出する方
式の形状検査装置も提案されている。
「発明の解決すべき問題点」
前述のように時系列信号を得て、これに基づい
て被検体の変形を検査する方式では、キヤリアの
移送速度が一定であることが前提条件として必要
とされ、キヤリアの移送速度が変化するとこれを
コンタクトの変形と誤認するため正確な測定結果
が得られない。従つて現場の製造工程内に形状検
査装置を組込む場合に一定移送条件が要求されて
条件が厳しくなるという欠点がある。
て被検体の変形を検査する方式では、キヤリアの
移送速度が一定であることが前提条件として必要
とされ、キヤリアの移送速度が変化するとこれを
コンタクトの変形と誤認するため正確な測定結果
が得られない。従つて現場の製造工程内に形状検
査装置を組込む場合に一定移送条件が要求されて
条件が厳しくなるという欠点がある。
又、カメラ撮影に基づき被検体の変形を検査す
る方式においては、移送されている被検体の静止
像を得るためストロボ光を点灯させて撮影する必
要がある。従つてストロボ光の遮光機構を設けた
りして装置の構成が複雑となり、製造費用も大幅
に増大するという欠点がある。
る方式においては、移送されている被検体の静止
像を得るためストロボ光を点灯させて撮影する必
要がある。従つてストロボ光の遮光機構を設けた
りして装置の構成が複雑となり、製造費用も大幅
に増大するという欠点がある。
この発明の形状検査装置は前述の従来使用され
ている各種のこの種の検査装置での欠点を解決
し、被検体の移送速度に依存せず、高精度の変形
検査を迅速に行うことのできる形状検査装置を提
供するものである。
ている各種のこの種の検査装置での欠点を解決
し、被検体の移送速度に依存せず、高精度の変形
検査を迅速に行うことのできる形状検査装置を提
供するものである。
「発明の構成」
この発明で形状が検査される被検体は、帯状の
キヤリアにその長手方向にパイロツト孔が配列形
成され、このパイロツト孔によつて位置決めされ
てキヤリア3の同一側に突出して被検体が形成配
設されている。このキヤリアが長手方向に移送さ
れ、その移送状態で被検体の形状が検査される。
キヤリアにその長手方向にパイロツト孔が配列形
成され、このパイロツト孔によつて位置決めされ
てキヤリア3の同一側に突出して被検体が形成配
設されている。このキヤリアが長手方向に移送さ
れ、その移送状態で被検体の形状が検査される。
この発明では被検体検出信号発生手段が設けら
れ、この被検体検出信号発生手段からは被検体の
所定位置の移送方向のに対応したパルス幅の被検
体検出信号が発生する。又パイロツト信号発生手
段が設けられ、このパイロツト信号発生手段から
はキヤリアの移送方向におけるパイロツト孔の有
無に対応したパイロツト信号が発せられる。この
発明では被検体検出信号もしくはパイロツト信号
の持続時間が第1のカウンタで計数され、又パイ
ロツト信号と被検体検出信号とのずれ部分の持続
時間が第2のカウンタで計数され、第2のカウン
タの計数値の第1のカウンタの計数値に対する比
率が演算手段によつて演算される。
れ、この被検体検出信号発生手段からは被検体の
所定位置の移送方向のに対応したパルス幅の被検
体検出信号が発生する。又パイロツト信号発生手
段が設けられ、このパイロツト信号発生手段から
はキヤリアの移送方向におけるパイロツト孔の有
無に対応したパイロツト信号が発せられる。この
発明では被検体検出信号もしくはパイロツト信号
の持続時間が第1のカウンタで計数され、又パイ
ロツト信号と被検体検出信号とのずれ部分の持続
時間が第2のカウンタで計数され、第2のカウン
タの計数値の第1のカウンタの計数値に対する比
率が演算手段によつて演算される。
この演算手段で得られた比率が所定値を越える
とこれが検出されて判定手段から不良判定信号が
発せられる。
とこれが検出されて判定手段から不良判定信号が
発せられる。
従つて常に被検体検出信号もしくはパイロツト
信号の持続時間を基準にして変形が比率で判定さ
れるので、被検体の変形率が高精度で検出され
る。
信号の持続時間を基準にして変形が比率で判定さ
れるので、被検体の変形率が高精度で検出され
る。
「実施例」
以下この発明をその実施例に基づき図面を使用
して詳細に説明する。
して詳細に説明する。
実施例においては被検体として第5図に示すよ
うなコンタクトを取り上げて説明する。即ち帯状
のキヤリア13の長手方向にパイロツト孔16−
1,16−2…が等間隔に配列形成され、これら
のパイロツト孔の存在しないキヤリア領域の中央
位置において、キヤリア13の同一側に被検体と
してのコンタクト14−1,14−2…が互に平
行に突出配設されている。第5図においてはコン
タクト14−2,14−4及び14−6がそのつ
なぎ部分Eにおいてそれぞれ変形している。
うなコンタクトを取り上げて説明する。即ち帯状
のキヤリア13の長手方向にパイロツト孔16−
1,16−2…が等間隔に配列形成され、これら
のパイロツト孔の存在しないキヤリア領域の中央
位置において、キヤリア13の同一側に被検体と
してのコンタクト14−1,14−2…が互に平
行に突出配設されている。第5図においてはコン
タクト14−2,14−4及び14−6がそのつ
なぎ部分Eにおいてそれぞれ変形している。
キヤリア13が長手方向に移送され、これに伴
つて移送するコンタクト14−1,14−2…の
所定位置における移送方向の幅に対応したパルス
幅の被検体検出信号を発する被検体検出信号発生
手段が設けられる。
つて移送するコンタクト14−1,14−2…の
所定位置における移送方向の幅に対応したパルス
幅の被検体検出信号を発する被検体検出信号発生
手段が設けられる。
即ちコンタクトを挾んで投光器と受光センサが
配設され、変形のない正常形状のコンタクトの所
定位置における移送方向の側縁部分における受光
から遮光への第1の変化及び遮光から受光への第
2の変化が受光センサ21で検出される。受光セ
ンサ21の出力は増幅器22に与えられ、増幅器
22の出力信号が被検体検出信号A1とされる。
この被検体検出信号A1は受光センサ21の遮光
状態で論理値が“1”となる信号で、そのパルス
幅は被検体の移送方向における所定位置の幅に対
応した幅となる。
配設され、変形のない正常形状のコンタクトの所
定位置における移送方向の側縁部分における受光
から遮光への第1の変化及び遮光から受光への第
2の変化が受光センサ21で検出される。受光セ
ンサ21の出力は増幅器22に与えられ、増幅器
22の出力信号が被検体検出信号A1とされる。
この被検体検出信号A1は受光センサ21の遮光
状態で論理値が“1”となる信号で、そのパルス
幅は被検体の移送方向における所定位置の幅に対
応した幅となる。
この場合所定位置は第5図の直線MM上に設定
されている。従つて第5図に示すような被検体に
対しては第6図Bに示すような被検体検出信号が
得られる。
されている。従つて第5図に示すような被検体に
対しては第6図Bに示すような被検体検出信号が
得られる。
キヤリアの移送方向におけるパイロツト孔の有
無に対応したパイロツト信号を発するパイロツト
孔信号発生手段が設けられる。
無に対応したパイロツト信号を発するパイロツト
孔信号発生手段が設けられる。
即ち第5図においてパイロツト孔16−1,1
6−2…の中心を結ぶ直線NN上に位置するよう
にキヤリア13を挾んで投光器と受光センサが配
設され、この受光センサ23の出力は増幅器24
に与えられる。増幅器24の出力信号が受光セン
サ23の遮光状態で論理値が“1”となるパイロ
ツト信号A2とされる。パイロツト信号A2のパル
ス幅幅は、第5図における直線NN上のパイロツ
ト孔の存在しない部分の長さに対応する。
6−2…の中心を結ぶ直線NN上に位置するよう
にキヤリア13を挾んで投光器と受光センサが配
設され、この受光センサ23の出力は増幅器24
に与えられる。増幅器24の出力信号が受光セン
サ23の遮光状態で論理値が“1”となるパイロ
ツト信号A2とされる。パイロツト信号A2のパル
ス幅幅は、第5図における直線NN上のパイロツ
ト孔の存在しない部分の長さに対応する。
従つて第5図に示す被検体に対しては第6図A
に示すようなパイロツト信号A2が得られる。被
検体検出信号もしくはパイロツト信号の持続時間
を計数する第1のカウンタが設けられる。
に示すようなパイロツト信号A2が得られる。被
検体検出信号もしくはパイロツト信号の持続時間
を計数する第1のカウンタが設けられる。
実施例は第1のカウンタで被検体検出信号の持
続時間を計数する構成とされている。第1図に示
すように増幅器22の出力端子は第1のカウンタ
25のイネーブル端子teに与えられ、この第1の
カウンタ25のクロツク端子tcにはクロツク発生
器26の出力端子が接続される。第1のカウンタ
25の出力はCPU27に入力信号として与えら
れる。
続時間を計数する構成とされている。第1図に示
すように増幅器22の出力端子は第1のカウンタ
25のイネーブル端子teに与えられ、この第1の
カウンタ25のクロツク端子tcにはクロツク発生
器26の出力端子が接続される。第1のカウンタ
25の出力はCPU27に入力信号として与えら
れる。
従つて受光センサ21によりコンタクトの所定
位置、即ち第5図の直線MMにおける被検体の移
送方向の幅が検出されて被検体検出信号A1が発
せられると、その信号の論理値が“1”の間でク
ロツク発生器26のクロツクが第1のカウンタ2
5で計数され、その計数値はCPU27に入力さ
れる。
位置、即ち第5図の直線MMにおける被検体の移
送方向の幅が検出されて被検体検出信号A1が発
せられると、その信号の論理値が“1”の間でク
ロツク発生器26のクロツクが第1のカウンタ2
5で計数され、その計数値はCPU27に入力さ
れる。
パイロツト信号と被検体検出信号とのずれ部分
の持続時間を計数する第2のカウンタが設けられ
る。
の持続時間を計数する第2のカウンタが設けられ
る。
増幅器24の出力端子はインバータ28を介し
てAND回路29の一方の入力端子に接続され、
AND回路29の他方の入力端子には増幅器22
の出力端子が接続される。AND回路29の出力
端子は第2のカウンタ30のイネーブル端子teに
接続され、この第2のカウンタ30のクロツク端
子tcにはクロツク発生器26の出力端子が接続さ
れる。
てAND回路29の一方の入力端子に接続され、
AND回路29の他方の入力端子には増幅器22
の出力端子が接続される。AND回路29の出力
端子は第2のカウンタ30のイネーブル端子teに
接続され、この第2のカウンタ30のクロツク端
子tcにはクロツク発生器26の出力端子が接続さ
れる。
従つて第2のカウンタ30は被検体検出信号
A1の論理値が“1”でパイロツト信号A2の論理
値が“0”の状態でクロツク発生器26のクロツ
クを計数し、その計数値がCPU27に入力され、
パイロツト信号A2と被検体検出信号A1とのずれ
部分の持続時間が計数される。
A1の論理値が“1”でパイロツト信号A2の論理
値が“0”の状態でクロツク発生器26のクロツ
クを計数し、その計数値がCPU27に入力され、
パイロツト信号A2と被検体検出信号A1とのずれ
部分の持続時間が計数される。
第5図に示すような被検体に対しては、第6図
cに示す信号が第2のカウンタ30の入力端子に
与えられ、この持続時間の間クロツク発生器26
のクロツクが第2のカウンタ30で計数される。
又増幅器22及び24の出力端子がそれぞれ
AND回路31の入力端子に接続され、AND回路
31の出力端子がフリツプフロツプ32の入力端
子に接続され、フリツプフロツプ32の出力は
CPU27に入力される。
cに示す信号が第2のカウンタ30の入力端子に
与えられ、この持続時間の間クロツク発生器26
のクロツクが第2のカウンタ30で計数される。
又増幅器22及び24の出力端子がそれぞれ
AND回路31の入力端子に接続され、AND回路
31の出力端子がフリツプフロツプ32の入力端
子に接続され、フリツプフロツプ32の出力は
CPU27に入力される。
従つてフリツプフロツプ32からは被検体検出
信号A1及びパイロツト信号A2の論理値が“1”
の場合に論理値“1”の信号が発せられてCPU
27に入力される。
信号A1及びパイロツト信号A2の論理値が“1”
の場合に論理値“1”の信号が発せられてCPU
27に入力される。
増幅器22の出力端子がインバータ33を介し
てフリツプフロツプ34の入力端子に接続され、
フリツプフロツプ34の出力はCPU27に入力
される。従つてフリツプフロツプ34は被検体検
出信号A1の立下りに対応して出力信号の論理値
が“1”となり、この信号がCPU27に入力さ
れる。
てフリツプフロツプ34の入力端子に接続され、
フリツプフロツプ34の出力はCPU27に入力
される。従つてフリツプフロツプ34は被検体検
出信号A1の立下りに対応して出力信号の論理値
が“1”となり、この信号がCPU27に入力さ
れる。
増幅器24の出力端子がインバータ35を介し
てフリツプフロツプ36の入力端子に接続され、
フリツプフロツプ36の出力はCPU27に入力
される。従つてフリツプフロツプ36はパイロツ
ト信号A2の立下りに対応して出力信号の論理値
が“1”となり、この信号がCPU27に入力さ
れる。
てフリツプフロツプ36の入力端子に接続され、
フリツプフロツプ36の出力はCPU27に入力
される。従つてフリツプフロツプ36はパイロツ
ト信号A2の立下りに対応して出力信号の論理値
が“1”となり、この信号がCPU27に入力さ
れる。
クロツク発生器26の第1のカウンタ25、第
2のカウンタ30及びフリツプフロツプ34の各
リセツト端子tRには、CPU27からのリセツト信
号が供給されるように共通のリセツト信号が接続
されている。又フリツプフロツプ34及び36の
リセツト端子tRにはCPU27からのリセツト信号
が供給されるように共通のリセツト信号線が接続
されている。
2のカウンタ30及びフリツプフロツプ34の各
リセツト端子tRには、CPU27からのリセツト信
号が供給されるように共通のリセツト信号が接続
されている。又フリツプフロツプ34及び36の
リセツト端子tRにはCPU27からのリセツト信号
が供給されるように共通のリセツト信号線が接続
されている。
この発明で相互位置関係が判定されるべきパイ
ロツト信号A2と被検体検出信号A1との各場合に
おける相対位置関係を第4図A〜Iに示す。実施
例においては第4図Aに示すパイロツト信号A2
に対して被検体検出信号A1がB,E,Fの状態
にある場合は被検体は変形がないものとする。A
に示すパイロツト信号A2に対して被検体検出信
号A1がC,H及びIの相対位置関係にある場合
は被検体の変形は明らかに許容範囲外にある。
ロツト信号A2と被検体検出信号A1との各場合に
おける相対位置関係を第4図A〜Iに示す。実施
例においては第4図Aに示すパイロツト信号A2
に対して被検体検出信号A1がB,E,Fの状態
にある場合は被検体は変形がないものとする。A
に示すパイロツト信号A2に対して被検体検出信
号A1がC,H及びIの相対位置関係にある場合
は被検体の変形は明らかに許容範囲外にある。
Aに示すパイロツト信号A2に対して被検体検
出信号A1がD及びGの相対位置関係にある場合
は、被検体検出信号A1の持続時間Tに対するパ
イロツト信号A2と被検体検出信号A1とのずれ部
分の持続時間t1,t2の比率によつて被検体の変形
が許容範囲内にあるか否かが判定される。
出信号A1がD及びGの相対位置関係にある場合
は、被検体検出信号A1の持続時間Tに対するパ
イロツト信号A2と被検体検出信号A1とのずれ部
分の持続時間t1,t2の比率によつて被検体の変形
が許容範囲内にあるか否かが判定される。
被検体の移送速度をVとすると被検体検出信号
A1の幅はVTで与えられ、パイロツト信号A2と
被検体検出信号A1とのずれ部分の幅はその持続
時間をtとしてVtで与えられる。被検体の変形
許容定数をnとしてその変形許容条件をVt/VT< nとするとt<nTが得られ、変形許容条件は被
検体の移送速度Vに依存しない。
A1の幅はVTで与えられ、パイロツト信号A2と
被検体検出信号A1とのずれ部分の幅はその持続
時間をtとしてVtで与えられる。被検体の変形
許容定数をnとしてその変形許容条件をVt/VT< nとするとt<nTが得られ、変形許容条件は被
検体の移送速度Vに依存しない。
第7図A〜Cは被検体に加速度を与えて移送さ
せた場合のパイロツト信号A2、被検体検出信号
A1及び第2のカウンタ30の入力信号の波形を
それぞれ示すものである。この場合には被検体の
変形に基づいて得られる信号はその変形の程度に
は一義的に比例しなくなる。しかしこのような場
合でもこの発明ではt<nTによつて被検体の変
形の許容範囲の判定を行うので、被検体の移送速
度に関係なく被検体の形状の検査を行うことがで
きる。
せた場合のパイロツト信号A2、被検体検出信号
A1及び第2のカウンタ30の入力信号の波形を
それぞれ示すものである。この場合には被検体の
変形に基づいて得られる信号はその変形の程度に
は一義的に比例しなくなる。しかしこのような場
合でもこの発明ではt<nTによつて被検体の変
形の許容範囲の判定を行うので、被検体の移送速
度に関係なく被検体の形状の検査を行うことがで
きる。
パイロツト信号A2と被検体検出信号A1とが互
に第4図のA及びBのような相対位置関係にある
場合について説明する。
に第4図のA及びBのような相対位置関係にある
場合について説明する。
時刻τ3から第1のカウンタ25が計数を開始
し、τ4までの時間Tの数計を行う。時刻τ4におけ
る被検体検出信号A1の立下りでフリツプフロツ
プ34の出力信号の論理値が“1”となる。フリ
ツプフロツプ34の出力信号の論理値“1”を
CPU27が取り込むと、CPU27は第2図に示
す割込み処理を実行する。
し、τ4までの時間Tの数計を行う。時刻τ4におけ
る被検体検出信号A1の立下りでフリツプフロツ
プ34の出力信号の論理値が“1”となる。フリ
ツプフロツプ34の出力信号の論理値“1”を
CPU27が取り込むと、CPU27は第2図に示
す割込み処理を実行する。
第1のステツプ1においてCPU27は第2の
カウンタ30の出力及び第1のカウンタ25の出
力を読み込むが、第2のカウンタ30の計数値は
この場合零であり、第1のカウンタ25の出力は
Tである。第2のステツプ(2)でクロツク発生器2
6、第1のカウンタ25及びフリツプフロツプ3
4がリセツトされる。第3のステツプ(3)でずれ部
分の持続時間tがt=0であるか否かの判定が行
われる。この場合はt=0であるから不良判定出
力は得られない。
カウンタ30の出力及び第1のカウンタ25の出
力を読み込むが、第2のカウンタ30の計数値は
この場合零であり、第1のカウンタ25の出力は
Tである。第2のステツプ(2)でクロツク発生器2
6、第1のカウンタ25及びフリツプフロツプ3
4がリセツトされる。第3のステツプ(3)でずれ部
分の持続時間tがt=0であるか否かの判定が行
われる。この場合はt=0であるから不良判定出
力は得られない。
時刻τ2においてパイロツト信号A2が立下り、
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値が
“1”となる。フリツプフロツプ36の出力信号
の論理値“1”をCPU27が取り込むと、CPU
27は第3図に示す割込み処理を実行する。
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値が
“1”となる。フリツプフロツプ36の出力信号
の論理値“1”をCPU27が取り込むと、CPU
27は第3図に示す割込み処理を実行する。
第1のステツプ(1)でCPU27はフリツプフロ
ツプ32の出力信号を読み込む。次いで第2のス
テツプ(2)で読み込まれたフリツプフロツプ34の
出力信号の論理値が“1”であるかどうかの判定
が行われる。この場合はパイロツト信号の持続時
間内の時刻τ3〜τ4間の時間Tにおいてフリツプフ
ロツプ32の出力信号の論理値は“1”となつて
おり、第4のステツプに移行して不良判定出力は
得られない。この場合は第4のステツプでフリツ
プフロツプ32及び36がリセツトされる。
ツプ32の出力信号を読み込む。次いで第2のス
テツプ(2)で読み込まれたフリツプフロツプ34の
出力信号の論理値が“1”であるかどうかの判定
が行われる。この場合はパイロツト信号の持続時
間内の時刻τ3〜τ4間の時間Tにおいてフリツプフ
ロツプ32の出力信号の論理値は“1”となつて
おり、第4のステツプに移行して不良判定出力は
得られない。この場合は第4のステツプでフリツ
プフロツプ32及び36がリセツトされる。
第4図のE及びFで示す位置に被検体検出信号
A1が得られた場合もこの実施例においては同様
の判定をして不良判定出力は得られない。
A1が得られた場合もこの実施例においては同様
の判定をして不良判定出力は得られない。
第4図Cの位置に被検体検出信号A1が得られ
た場合の動作について説明する。
た場合の動作について説明する。
時刻τ5からτ6までの時間T1≒Tの間第1のカウ
ンタ25がクロツク発生器26のクロツクを計数
する。この場合時刻τ6で第2図に示す割込み処理
が実行されるが、第3のステツプでt=0となる
ので不良判定出力は得られない。、又時刻τ2にお
いてフリツプフロツプ36の出力の論理値が
“1”となりこれがCPU27に取り込まれると第
3図の割込みが行われる。
ンタ25がクロツク発生器26のクロツクを計数
する。この場合時刻τ6で第2図に示す割込み処理
が実行されるが、第3のステツプでt=0となる
ので不良判定出力は得られない。、又時刻τ2にお
いてフリツプフロツプ36の出力の論理値が
“1”となりこれがCPU27に取り込まれると第
3図の割込みが行われる。
第3図の割込み処理の第1のステツプにおいて
フリツプフロツプ32の出力が読み込まれ、第2
のステツプでその論理値が判定される。この場合
にはパイロツト信号の持続時間内でフリツプフロ
ツプ32の出力信号の論理値は“0”であるの
で、第3のステツプで不良判定出力が得られる。
フリツプフロツプ32の出力が読み込まれ、第2
のステツプでその論理値が判定される。この場合
にはパイロツト信号の持続時間内でフリツプフロ
ツプ32の出力信号の論理値は“0”であるの
で、第3のステツプで不良判定出力が得られる。
第4図Dの位置に被検体検出信号A1が得られ
る場合について説明する。
る場合について説明する。
時刻τ8においてCPU27が被検体検出信号A1
の立下りを検出すると第2図の割込み処理が実行
され、第1のステツプ(1)でt及びT2≒Tが読み
込まれる。第2のステツプ(2)においてクロツク発
生器26、第1のカウンタ25及びフリツプフロ
ツプ34がリセツトされる。
の立下りを検出すると第2図の割込み処理が実行
され、第1のステツプ(1)でt及びT2≒Tが読み
込まれる。第2のステツプ(2)においてクロツク発
生器26、第1のカウンタ25及びフリツプフロ
ツプ34がリセツトされる。
次いで第3のステツプ(3)ではt1≠0であること
が確認されるので、第4のステツプ(4)に進み、第
4のステツプ(4)においてT<ntであるかどうかの
判定が行われる。この場合T<ntであると被検体
の変形が許容変形範囲内にあることを示すので、
不良判定出力は得られない。一方Tntであるこ
とが確認され、被検体の変形が許容範囲を越える
場合には第5のステツプ(5)で不良判定出力が得ら
れる。
が確認されるので、第4のステツプ(4)に進み、第
4のステツプ(4)においてT<ntであるかどうかの
判定が行われる。この場合T<ntであると被検体
の変形が許容変形範囲内にあることを示すので、
不良判定出力は得られない。一方Tntであるこ
とが確認され、被検体の変形が許容範囲を越える
場合には第5のステツプ(5)で不良判定出力が得ら
れる。
時刻τ2においてパイロツト信号A2の立下りが
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値“1”
として確認されると、CPU27がこれを取り込
んで第3図の割込み処理が行われる。第1のステ
ツプにおいてフリツプフロツプ32の出力信号が
読み込まれ、第2のステツプ(2)においてフリツプ
フロツプ32の出力信号の論理値が“1”である
か否かの判定が行われる。この場合フリツプフロ
ツプ32の出力信号の論理値はパイロツト信号の
持続時間において“1”となつているので不良判
定出力は得られない。
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値“1”
として確認されると、CPU27がこれを取り込
んで第3図の割込み処理が行われる。第1のステ
ツプにおいてフリツプフロツプ32の出力信号が
読み込まれ、第2のステツプ(2)においてフリツプ
フロツプ32の出力信号の論理値が“1”である
か否かの判定が行われる。この場合フリツプフロ
ツプ32の出力信号の論理値はパイロツト信号の
持続時間において“1”となつているので不良判
定出力は得られない。
第4図Gの位置に被検体検出信号A1が得られ
た場合について説明する。
た場合について説明する。
時刻τ2においてパイロツト信号A2の立下りが
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値“1”
としてCPU27が検知すると、CPU27は第3
図の割込み処理を実行する。第1のステツプ(1)に
おいてフリツプフロツプ32の出力信号が読み込
まれる。この場合フリツプフロツプ32の出力信
号の論理値は“1”であり、不良判定信号は送出
されない。
フリツプフロツプ36の出力信号の論理値“1”
としてCPU27が検知すると、CPU27は第3
図の割込み処理を実行する。第1のステツプ(1)に
おいてフリツプフロツプ32の出力信号が読み込
まれる。この場合フリツプフロツプ32の出力信
号の論理値は“1”であり、不良判定信号は送出
されない。
この場合時刻τ11でフリツプフロツプ34の出
力信号が“1”となり、これがCPU27に取り
込まれ、第2図の割込み処理が実行される。以下
は被検体検出信号A1が第4図Dの位置に得られ
る場合についてすでに述べた場合と同様であり、
T<ntの判定が行われ、被検体の変形が許容変形
範囲を越えている場合には不良判定出力が得られ
る。
力信号が“1”となり、これがCPU27に取り
込まれ、第2図の割込み処理が実行される。以下
は被検体検出信号A1が第4図Dの位置に得られ
る場合についてすでに述べた場合と同様であり、
T<ntの判定が行われ、被検体の変形が許容変形
範囲を越えている場合には不良判定出力が得られ
る。
第4図Hに示す位置に被検体検出信号A1が得
られる場合には、時刻τ2において第3図の割り込
みが実行され、第1のステツプ(1)でフリツプフロ
ツプ32の出力がCPU27に取り込まれ、第2
のステツプ(2)でその論理値が“0”であることが
判定されるので、第4のステツプ(4)において不良
判定出力が発せられる。
られる場合には、時刻τ2において第3図の割り込
みが実行され、第1のステツプ(1)でフリツプフロ
ツプ32の出力がCPU27に取り込まれ、第2
のステツプ(2)でその論理値が“0”であることが
判定されるので、第4のステツプ(4)において不良
判定出力が発せられる。
時刻τ13において被検体検出信号A1の立下りを
フリツプフロツプ34の出力信号で検知すると第
2図の割込みが実行されるが、第3のステツプで
t=0となるので不良判定出力は得られない。
フリツプフロツプ34の出力信号で検知すると第
2図の割込みが実行されるが、第3のステツプで
t=0となるので不良判定出力は得られない。
なおこの発明において第3図の割込みの実行を
第2図の割込みの実行に優先させるものとして、
第3図の割込みで不良判定出力が得られた場合に
は、第2図の割込みの実行を省略するような構成
とすることも可能である。
第2図の割込みの実行に優先させるものとして、
第3図の割込みで不良判定出力が得られた場合に
は、第2図の割込みの実行を省略するような構成
とすることも可能である。
第4図に示す場合は所定期間内に被検体検出
信号A1が存在せず、パイロツト信号A2の立下り
の時刻τ2において第3図の割込み処理が行なわ
れ、フリツプフロツプ32の出力信号の論理値が
“0”なので不良判定信号を発するようにに構成
される。この場合は被検体がキヤリアから欠落し
た状態となつている。
信号A1が存在せず、パイロツト信号A2の立下り
の時刻τ2において第3図の割込み処理が行なわ
れ、フリツプフロツプ32の出力信号の論理値が
“0”なので不良判定信号を発するようにに構成
される。この場合は被検体がキヤリアから欠落し
た状態となつている。
「発明の効果」
この発明では被検体検出信号の持続時間と、パ
イロツト信号と被検体検出信号とのずれ部分の持
続時間との計数を行い、これらの計数値の比率が
演算され、この演算値が所定値を越えると被検体
に対する不良判定が発せられる。従つて被検体の
移送速度が変化しても検査結果に誤差を生ずるこ
とはない。
イロツト信号と被検体検出信号とのずれ部分の持
続時間との計数を行い、これらの計数値の比率が
演算され、この演算値が所定値を越えると被検体
に対する不良判定が発せられる。従つて被検体の
移送速度が変化しても検査結果に誤差を生ずるこ
とはない。
装置の構成も比較的簡単であり、その製造費用
も大幅に低減させるとが可能であり、例えば第5
図に示すようなコンタクトを被検体とした場合、
その検査速度も毎秒50本と高速度検査を行うこと
ができる。その不良判定基準も高精度で所望の値
に設定することが可能である。
も大幅に低減させるとが可能であり、例えば第5
図に示すようなコンタクトを被検体とした場合、
その検査速度も毎秒50本と高速度検査を行うこと
ができる。その不良判定基準も高精度で所望の値
に設定することが可能である。
例えばこの発明をデイジタルカセツトなどで多
チヤンネルで信号を記憶している場合に対して適
用する場合、その1チヤンネルを用いて基準信号
として一定幅の基準クロツク信号を録音してお
き、他チヤンネルでデータ信号を録音し、基準ク
ロツク信号とデータ信号の時間長の比較をしてデ
ータの抽出を行うことができる。このような比較
法をとると、回転系の立上り、立下り又は速度変
動に依存せずにデータの抽出を行わせることがで
きる。
チヤンネルで信号を記憶している場合に対して適
用する場合、その1チヤンネルを用いて基準信号
として一定幅の基準クロツク信号を録音してお
き、他チヤンネルでデータ信号を録音し、基準ク
ロツク信号とデータ信号の時間長の比較をしてデ
ータの抽出を行うことができる。このような比較
法をとると、回転系の立上り、立下り又は速度変
動に依存せずにデータの抽出を行わせることがで
きる。
第4図の説明においては被検体としてのコンタ
クトの変形は所定限定以内であつて、T1≒T2≒
T3≒Tとして被検体検出信号A1の持続時間を第
1のカウンタ25で計数して比率演算の基準とし
た。しかし被検体の変形が大きな場合には、パイ
ロツト信号A2の持続時間を第1のカウンタ25
で計数して比率演算の基準とすることができる。
クトの変形は所定限定以内であつて、T1≒T2≒
T3≒Tとして被検体検出信号A1の持続時間を第
1のカウンタ25で計数して比率演算の基準とし
た。しかし被検体の変形が大きな場合には、パイ
ロツト信号A2の持続時間を第1のカウンタ25
で計数して比率演算の基準とすることができる。
又第4図E及びFにそれぞれ示す被検体検出信
号に対しても、例えば被検体検出信号A1の立下
りとパイロツト信号A2の立下り間の時間t3,t4が
それぞれ基準範囲を越えたことを確認して不良判
定を行わせることができる。即ち基準上限値及び
下限値をTl,ThとしてTl<τ3<Th、及びTl<τ4
<Thが確認されない場合に不良判定信号を出力
するように構成することができる。このように構
成されたものではさらに高精度の不良判定が行わ
れることになる。
号に対しても、例えば被検体検出信号A1の立下
りとパイロツト信号A2の立下り間の時間t3,t4が
それぞれ基準範囲を越えたことを確認して不良判
定を行わせることができる。即ち基準上限値及び
下限値をTl,ThとしてTl<τ3<Th、及びTl<τ4
<Thが確認されない場合に不良判定信号を出力
するように構成することができる。このように構
成されたものではさらに高精度の不良判定が行わ
れることになる。
以上詳細に説明したようにこの発明によると、
構成が比較的簡単で被検体の移送速度に依存せず
に被検体の形状を精度よく検査することができ、
製造費用も大幅に低減することが可能な形状検査
装置を提供することができる。
構成が比較的簡単で被検体の移送速度に依存せず
に被検体の形状を精度よく検査することができ、
製造費用も大幅に低減することが可能な形状検査
装置を提供することができる。
第1図はこの発明の形状検査装置の実施例の構
成を示すブロツク図、第2図及び第3図はこの発
明の割込み処理の各ステツプを示すフローチヤー
ト、第4図はこの発明の形状検査装置の動作を示
す波形図、第5図はこの発明の形状検査装置の被
検体の形状を示す図、第6図A,B,Cはこの発
明の形状検査装置の各部において得られる波形
図、第7図A,B,Cは加速度をもつて移送させ
た場合に得られる第6図A,B,Cの各波形図、
第8図は従来使用されている形状検査装置の構成
を示す図、第9図は被検体の一例の要部の形状を
示す図である。 13:帯状キヤリア、16−1,16−2…:
パイロツト孔、14−1,14−2…:コンタク
ト、21,23:受光センサ、22,24:増幅
器、25:第1のカウンタ、26:クロツク発生
器、27:CPU、28,33,35:インバー
タ、29,31:AND回路、30:第2のカウ
ンタ、32,34,36:フリツプフロツプ。
成を示すブロツク図、第2図及び第3図はこの発
明の割込み処理の各ステツプを示すフローチヤー
ト、第4図はこの発明の形状検査装置の動作を示
す波形図、第5図はこの発明の形状検査装置の被
検体の形状を示す図、第6図A,B,Cはこの発
明の形状検査装置の各部において得られる波形
図、第7図A,B,Cは加速度をもつて移送させ
た場合に得られる第6図A,B,Cの各波形図、
第8図は従来使用されている形状検査装置の構成
を示す図、第9図は被検体の一例の要部の形状を
示す図である。 13:帯状キヤリア、16−1,16−2…:
パイロツト孔、14−1,14−2…:コンタク
ト、21,23:受光センサ、22,24:増幅
器、25:第1のカウンタ、26:クロツク発生
器、27:CPU、28,33,35:インバー
タ、29,31:AND回路、30:第2のカウ
ンタ、32,34,36:フリツプフロツプ。
Claims (1)
- 1 帯状のキヤリアの長手方向にパイロツト孔が
配列形成され、これらのパイロツト孔により位置
決めされて前記キヤリアの同一側に被検体が突出
して配設され、前記キヤリアがその長手方向に移
送され、この移送状態で前記被検体の形状を検査
する形状検査装置において、前記被検体の所定位
置における前記移送方向の幅に対応したパルス幅
の被検体検出信号を発する被検体検出信号発生手
段と、前記キヤリアの前記移送方向における前記
パイロツト孔の有無に対応したパイロツト信号を
発するパイロツト信号発生手段と、前記被検体検
出信号もしくは前記パイロツト信号の持続時間を
計数する第1のカウンタと、前記パイロツト信号
と前記被検体検出信号とのずれ部分の持続時間を
計数する第2のカウンタと、前記第2のカウンタ
の計数値の前記第1のカウンタの計数値に対する
比率を演算する演算手段と、この演算手段で得ら
れた比率が所定値を越えることを検出して不良判
定信号を発する判定手段とを有することを特徴と
する形状検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16352184A JPS6141911A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 形状検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16352184A JPS6141911A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 形状検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6141911A JPS6141911A (ja) | 1986-02-28 |
| JPH0321845B2 true JPH0321845B2 (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=15775446
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16352184A Granted JPS6141911A (ja) | 1984-08-03 | 1984-08-03 | 形状検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6141911A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2926703B2 (ja) * | 1988-02-12 | 1999-07-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び装置 |
-
1984
- 1984-08-03 JP JP16352184A patent/JPS6141911A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6141911A (ja) | 1986-02-28 |
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