JPH0321879A - Timing signal generating circuit of tester - Google Patents

Timing signal generating circuit of tester

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JPH0321879A
JPH0321879A JP1157271A JP15727189A JPH0321879A JP H0321879 A JPH0321879 A JP H0321879A JP 1157271 A JP1157271 A JP 1157271A JP 15727189 A JP15727189 A JP 15727189A JP H0321879 A JPH0321879 A JP H0321879A
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JP
Japan
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counter
signal
clock signal
counters
rate
Prior art date
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Pending
Application number
JP1157271A
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Japanese (ja)
Inventor
Kiyotake Udo
有働 清健
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0321879A publication Critical patent/JPH0321879A/en
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Abstract

PURPOSE:To generate timing pulses to many rate widths by providing a phase clock generating circuit with plural counters, and cascading and putting them in operation as one counter or independent counters. CONSTITUTION:A control circuit 29 when receiving a two-rate setting signal from a CPU 12 as a timing phase range setting signal T sends a state setting control signal for putting the counters 25a - 25d in independent operation to state setting circuits 22 and 23 respectively. Further, when a 4-rate signal is received, a signal which cascades and puts the counters 25a and 25b, and 25c and 25d in operation is sent out to the circuits 22 and 23 respectively. Thus counted values are preset in the counters according to an RTTC signal from a pattern generating circuit 1 after rate pulses are received and then the counters are made to count up. Consequently, when the RTTC signal is generated plural times in one rate, a phase clock pulse can be generated at each time and many phase clock pulses can be set in real time.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、テスターのタイミング信号発生回路に関し
、特に、I(Jl査のためのテスト波形パターンの発生
など、複数のICテストピンにそれぞれの波形パターン
を発生するテスターのパターン発生システムにおけるタ
イミング信号発生同路に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a timing signal generation circuit for a tester. The present invention relates to a timing signal generation circuit in a pattern generation system for a tester that generates waveform patterns.

[従来の技術] IC検査システムでは、ICの性能,機能試験を行うた
めにそれに必要な複数ビットのテスト波形パターンを、
テストパターンプログラム等に従って自動的に発生させ
る。そのため、従来のパターン発生システムにおいては
、パターン発生器から得られるパターンデータとタイミ
ング信号発生回路により作られた多数の位相をもった位
相クロック信号とのそれぞれのうちから、ICのピンご
とに必要なものをそれぞれ選択して合成し、所定の波形
パターンを生成することが行われ、生成したテストパタ
ーンをドライブ回路に送り、その出力をレベル変換して
所定のICピンに供給する方法が採られている。
[Prior Art] In an IC testing system, a multi-bit test waveform pattern necessary for performance and functional testing of an IC is
Automatically generated according to a test pattern program, etc. Therefore, in the conventional pattern generation system, the necessary data for each pin of the IC is selected from among the pattern data obtained from the pattern generator and the phase clock signal with multiple phases generated by the timing signal generation circuit. The test pattern is selected and synthesized to generate a predetermined waveform pattern, the generated test pattern is sent to a drive circuit, the output is level-converted, and then supplied to a predetermined IC pin. There is.

この場合の位相クロフク信号は、通常、テストパターン
の立上がり及び立下がりタイミングを決定するものとし
て使用されていて、タイミング信号発生回路は、テスト
基準周期(レート)に対応する周期で多数の異なる位相
のクロック信号(以下位相クロックパルス)をそれぞれ
の位相クロ・ソク出力端子に発生する。
The phase clock signal in this case is normally used to determine the rise and fall timing of the test pattern, and the timing signal generation circuit generates a large number of different phases at a period corresponding to the test reference period (rate). A clock signal (hereinafter referred to as phase clock pulse) is generated at each phase clock output terminal.

このような位相クロックパルスは、一般に、基準クロッ
ク信号をあらかじめ設定されているタイミングデータ分
だけカウントして発生するが、従来のタイミング発生器
のタイミング位相設定範囲は、2レート程度までであっ
て、例えば、レート周期がtons程度では、2nns
程度の範囲まテハ位相クロックパルスが発生できるよう
な設定が通常できるようになっている。
Such phase clock pulses are generally generated by counting the reference clock signal by preset timing data, but the timing phase setting range of conventional timing generators is up to about 2 rates. For example, if the rate period is about tons, 2nns
Normally, settings can be made to generate phase clock pulses within a certain range of degrees.

[解決しようとする課題] しかし、測定するICの機能や速度が向七するにつれ、
それに応じてテストレートの周期も短くなり、従来のよ
うに、レート2周期分のタイミング位相設定幅では十分
な性能テストができなくなってきている。しかし、単純
にレートの4倍程度の4レートまで位相設定幅を大きく
すると、例えば、tonsのレート周期では、一般に1
レート内でのタイミング位置をins単位で細かに設定
することが要求されるので、位相設定幅が1レートの4
倍にまで拡張するとなるとハードウエア屈の増加が著し
く、その制御も複雑化する欠点がある。
[Problem to be solved] However, as the functions and speed of ICs to be measured improve,
Correspondingly, the period of the test rate has become shorter, and it is no longer possible to perform a sufficient performance test with a timing phase setting width of two rate periods, as in the past. However, if you simply increase the phase setting width to 4 rates, which is about 4 times the rate, for example, at a rate period of tons, generally 1
Since it is required to set the timing position within the rate minutely in ins units, the phase setting width is 4 for 1 rate.
Expansion to double the size would significantly increase the amount of hardware required, and its control would also become complicated.

この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決
するものであって、車純なハードウエアでその増加を抑
えることができ、多数のレート輔に亙ってタイミングパ
ルスを発生することができるテスターのタイミング信号
発生回路を提供することを目的とする。
The purpose of the present invention is to solve the problems of the prior art, and to suppress the increase in vehicle-specific hardware, and to generate timing pulses over a large number of rates. The purpose of the present invention is to provide a timing signal generation circuit for a tester that can perform the following steps.

[課題を解決するための千段コ このような目的を達成するためのこの発明のテスターの
タイミング信号発生回路の構成は、クロック信号発生回
路と、このクロック信号発生回路からのクロック信号又
は外部からのクロック信号を受けて所定の周期のレート
パルスを発生するレートパルス発生回路と、第1及び第
2のカウンタを有していて、外部からのタイミング位相
範囲設定信号に応じて第1のカウンタと第2のカウンタ
とを独立に動作させるかこれらを従属接続して1つのカ
ウンタとして動作させるかが選択され、タイミング位相
範囲設定信号が所定のnレート(nは正の整数)を指示
しているときには第1及び第2のカウンタを1つのカウ
ンタとして動作させてレートパルスnごとに対応するレ
ートパルスに応じてクロック信号を受けて第1のカウン
タにセットされた値までカウントし、続いて第2のカウ
ンタにセットされた値までカウントして第2のカウンタ
の出力を位相クロックパルスとして発生し、タイミング
位相範囲設定信号が2nレートを指示しているときには
第1及び第2のカウンタを独立のカウンタとして動作さ
せてnごとに対応する最初のレートパルスに応じてクロ
ック信号を受けて第1のカウンタにセットされた値まで
カウントしてその出力を位相クロックパルスとして発生
し、nごとの次のレートパルスに応じて前記クロック信
号を受けて第2のカウンタにセットされた値までカウン
トしてその出力を位相クロックパルスとして発生する位
相クロック発生回路とを備えるものである。
[Thousand Steps to Solve the Problems] The configuration of the timing signal generation circuit of the tester of the present invention to achieve the above object includes a clock signal generation circuit and a clock signal from the clock signal generation circuit or from the outside. The circuit includes a rate pulse generation circuit that generates a rate pulse of a predetermined period in response to a clock signal of It is selected whether to operate the second counter independently or to connect them in series to operate as one counter, and the timing phase range setting signal indicates a predetermined n rate (n is a positive integer). Sometimes, the first and second counters are operated as one counter, and each rate pulse n receives a clock signal and counts up to the value set in the first counter in accordance with the corresponding rate pulse, and then the second counter is operated as one counter. the output of the second counter is generated as a phase clock pulse, and when the timing phase range setting signal indicates the 2n rate, the first and second counters are counted as independent counters. It receives a clock signal according to the first rate pulse corresponding to every n, counts up to the value set in the first counter, generates the output as a phase clock pulse, and generates the next rate pulse for every n. and a phase clock generation circuit that receives the clock signal in response to a pulse, counts up to a value set in a second counter, and generates the output as a phase clock pulse.

[作用] このように、位相クロック発生回路に少なくとも2つの
カウンタを設けて、これをタイミング位相範囲設定信号
に応じて、従属接続させて1つのカウンタとして動作さ
せたり、独立のカウンタとして動作させたりすることに
より、レートパルス信号に応じて、例えば、n=1とす
ると、1レート対応に位相クロックパルスを発生させた
り、倍の2レート対応に位相クロックパルスを発生させ
たりすることを選択することができる。
[Function] In this way, the phase clock generation circuit is provided with at least two counters, and depending on the timing phase range setting signal, these counters can be connected in cascade to operate as one counter or as independent counters. By doing this, depending on the rate pulse signal, for example, if n=1, it is possible to select whether to generate a phase clock pulse corresponding to one rate or to generate a phase clock pulse corresponding to double the rate. I can do it.

その結果、ハードウエアをほとんど増加させることなし
に、同一の回路でタイミング位相幅を測定すべきICの
機能に対応して容易に変更してテストすることが可能に
なり、その設定制御もlI[iにできる。
As a result, it becomes possible to easily change and test the timing phase width in the same circuit according to the function of the IC whose timing phase width is to be measured, without increasing the hardware. I can do it.

[実施例] 以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳細
に説明する。
[Example] Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、この発明のテスターのタイミング信号発生回
路の一実施例のブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of a timing signal generating circuit of a tester according to the present invention.

第1図において、lOは、タイミング信号発生回路であ
って、レートパルス発生回il!?11と位相クロック
発生ト)1路2と基準クロソク発IFJTIl路3とを
備えていて、位相クロック発生回路2は、タイミングデ
ータメモリ21と、状態設定回路22,23、データセ
レクタ24、第1〜第4のカウンタ25a.25b.2
5c,25d,AND回路26,27、OR回路28、
そして制御回路29とから構成されている。
In FIG. 1, lO is a timing signal generation circuit, and a rate pulse generation circuit il! ? The phase clock generation circuit 2 includes a timing data memory 21, state setting circuits 22, 23, a data selector 24, and a reference clock generation IFJTI1 path 2. Fourth counter 25a. 25b. 2
5c, 25d, AND circuits 26, 27, OR circuit 28,
and a control circuit 29.

レートパルス発生回路1は、パターン発生41lからデ
ータを受けて動作し、基準クロック発生回路3からのク
ロックパルスを受けてそれをCPU12から受ける分周
データに従って分周して所定の周期のレートパルスを発
生してテスターの他の回路に送出するとともに、位相ク
ロック発生回路2に送出する。
The rate pulse generation circuit 1 operates upon receiving data from the pattern generation circuit 41l, receives the clock pulse from the reference clock generation circuit 3, and divides the clock pulse according to the frequency division data received from the CPU 12 to generate rate pulses of a predetermined period. It is generated and sent to other circuits of the tester, and also sent to the phase clock generation circuit 2.

位相クロック発生回路2は、制御回路29にレートパル
ス発生回路lからテストの基準周期に対応して発生する
レートパルスを受けるとともに、パターン発生替11か
らRTTC信号(実時間制御データ)をそのタイミング
データメモリ2lに受け、基準クロック発生同路3から
クロックパルスCKをカウンタ25a.25b,25c
,25dがそれぞれ受けて、このクロックパルスCKを
所定の設定値までカウントする。
The phase clock generation circuit 2 receives rate pulses generated corresponding to the reference period of the test from the rate pulse generation circuit 1 to the control circuit 29, and receives the RTTC signal (real-time control data) from the pattern generation change 11 as its timing data. The memory 2l receives the clock pulse CK from the reference clock generation circuit 3, and the clock pulse CK is sent to the counter 25a. 25b, 25c
, 25d respectively receive this clock pulse CK and count it up to a predetermined set value.

データメモリ21は、RTTC信号をアドレス信号とし
て受けて、これによりアクセスされ、アクセスされた番
地のデータを読出してデータセレクタ24に送出する。
The data memory 21 receives the RTTC signal as an address signal, is accessed by the RTTC signal, reads out data at the accessed address, and sends it to the data selector 24.

この場合に1度に読出されるデータ数は、最大でカウン
タ25a〜25bにセットされるデータ数であって、そ
れがデータセレクタ24で各カウンタに対応して分配さ
れる。
In this case, the maximum number of data read at one time is the number of data set in the counters 25a to 25b, which is distributed by the data selector 24 corresponding to each counter.

データセレクタ24は、制御回路29からの制御信号に
応じてタイミングデータメモリ21から読出されたデー
タを第1〜第4のカウンタ25a,25b.25c.2
5dに同時に送るか、或は最初の制御信号で第1,第2
のカウンタ25a,25bに同時に送り、次の制御信号
で第3,第4のカウンタ25c.25dに同時に送るか
の切換え行う。
The data selector 24 transfers the data read from the timing data memory 21 to the first to fourth counters 25a, 25b, . 25c. 2
5d at the same time, or the first and second control signals
counters 25a, 25b at the same time, and the next control signal is sent to the third, fourth counters 25c, . 25d and whether to send them at the same time.

カウンタ25a.25b.25c,25dは、制御回路
29からロード信号を受けてこれに応じて、データセレ
クタ24から送られるデータを゛そのプリセソト値とし
てそれぞれ記憶する。
Counter 25a. 25b. 25c and 25d receive a load signal from the control circuit 29 and, in response thereto, respectively store the data sent from the data selector 24 as its preset value.

制御回路29は、CPU12 (或はレートパルス発生
回路1又はパターン発生器11からでも可)からタイミ
ング位相範囲設定信号Tを受けるとともに、レートパル
ス発生回路lからレートパルスを受け、さらに、パター
ン発生4l1からはRTTC信号を受ける。そして、タ
イミング位相範囲設定信号Tを受けたときには、タイミ
ング位相範囲設定信号Tの指示に応じた切換え制御信号
を状態設定回路22.23に送出して内部の接続状態の
設定を行い、タイミング位相範囲設定信号TとRTTC
信号とに応じて制御信号をデータセレクタ24に送出し
てデータセレクタ24の内部状態をタイミング位相範囲
設定信号Tの指示に応じて切換える。また、タイミング
データメモリ21から読出されたデータを各カウンタに
格納する制御をし、かつ、状態設定回路22.23を起
動させる。
The control circuit 29 receives the timing phase range setting signal T from the CPU 12 (or from the rate pulse generation circuit 1 or the pattern generator 11), receives the rate pulse from the rate pulse generation circuit 1, and also receives the rate pulse from the rate pulse generation circuit 1. It receives an RTTC signal from. When the timing phase range setting signal T is received, a switching control signal according to the instruction of the timing phase range setting signal T is sent to the state setting circuit 22, 23 to set the internal connection state, and the timing phase range setting signal T is set. Setting signal T and RTTC
A control signal is sent to the data selector 24 in response to the signal, and the internal state of the data selector 24 is switched in accordance with the instruction of the timing phase range setting signal T. It also controls the storage of data read from the timing data memory 21 into each counter and activates the state setting circuits 22 and 23.

状態設定回路22は、制御同路29からの起動信号に応
じて起動され、また、制御回路29からの制御信号に応
じてカウンタ25a.25bを従属接続して動作させる
のか、切り離して動作させるのかの状態切換えを行う。
The state setting circuit 22 is activated in response to an activation signal from the control circuit 29, and is activated in response to a control signal from the control circuit 29. 25b is operated in a cascade connection or is operated separately.

そして、前記制御信号がカウンタ25a.25bをそれ
ぞれ独立に動作させるものであるときには、AND回路
26のゲートを開き、カウンタ25a.25bのそれぞ
れのイネーブル信号a,bをレートパルスに対応して所
定のタイミングでそれぞれ送出し、それぞれのカウンタ
にセットされているプリセット値のカウントを開始させ
、そのカウントが終了したとき(“0”になったとき)
にそれぞれのカウント終丁出力をOR回路28を介して
位相クロ,ソクパルスとして出力されるように制御する
。また、前記の制御回路29からの制御信号がこれらカ
ウンタを従属接続して1つのカウンタとして使用するこ
とを示しているときには、AND回路26のゲートを閉
じ、まず、イネーブル信号aを送出してカウンタ25a
を動作させ、そのプリセット値のカウントを開始させ、
プリセットイ1^が“0”までカウントされた■,4点
で、そのカウント終r信号をカウント25aから受けて
、カウンタ25bにイネーブル信号bを送出して動作さ
せてカウンタ25bにそのプリセット値のカウントを開
始させる。
Then, the control signal is sent to the counter 25a. 25b are operated independently, the gate of the AND circuit 26 is opened and the counters 25a. 25b respectively at predetermined timings corresponding to the rate pulses to start counting the preset values set in the respective counters, and when the counting ends (“0”). )
Then, the final output of each count is controlled so as to be outputted as phase black and phase pulses via an OR circuit 28. Further, when the control signal from the control circuit 29 indicates that these counters are to be connected in series and used as one counter, the gate of the AND circuit 26 is closed, and the enable signal a is first sent to the counter. 25a
to start counting the preset value,
When the preset value 1^ has counted up to "0" (4 points), the count end r signal is received from the counter 25a, and the enable signal b is sent to the counter 25b to operate it, and the counter 25b receives the preset value. Start counting.

そして、そのプリセント値が“0”までカウントされた
ときに、そのカウント終了信号をOR同路28から位相
クロックパルスとして出力する。
Then, when the precent value is counted up to "0", the count end signal is output from the OR circuit 28 as a phase clock pulse.

状態設定回路23も状態設定回路22と同様な回路であ
って、制御回路29からの起動信号に応じて起動され、
また、制御回路29からの制御信号に応じてカウンタ2
5c.25dを従属接続して動作させるのか、切り離し
て動作させるのかの状態切換えを行う。そして、前記制
御信号がカウンタ25c.25dをそれぞれ独立に動作
させるものであるときには、AND回路27のゲートを
開き、カウンタ25c,25dのそれぞれのイネープル
信号c+dをレートパルスに対応して所定のタイミング
でそれぞれ送出し、それぞれのカウンタにセットされて
いるプリセット値のカウントを開始させ、そのカウント
終丁したとき(“0”になったとき)にそれぞれのカウ
ント終了出力をOR回路28を介して位相クロックパル
スとして出力されるようにする。また、前記の制御回路
29からの制御信号がこれらカウンタを従属接続して1
つのカウンタとして使用することを示しているときには
、AND回路27のゲートを閉じ、まず、イネーブル信
号Cを送出してカウンタ25cを動作させ、そのプリセ
ット値のカウントを開始させ、プリセット値が“0”ま
でカウントされた時点で、そのカウント終丁信号をカウ
ント25cから受けて、カウンタ25dにイネーブル信
号dを送出して動作させる。カウンタ25dにそのプリ
セット値のカウントを開始させ、プリセット値が“O”
までカウントされたときに、そのカウント終了信号をO
R回路28から位相クロックパルスとして出力する。
The state setting circuit 23 is also a circuit similar to the state setting circuit 22, and is activated in response to an activation signal from the control circuit 29.
Further, the counter 2
5c. 25d is operated in a cascade connection, or is operated separately. Then, the control signal is sent to the counter 25c. 25d are to be operated independently, the gate of the AND circuit 27 is opened, and enable signals c+d of the counters 25c and 25d are sent out at predetermined timings corresponding to the rate pulses, and set in the respective counters. Counting of the preset values is started, and when the count ends (when it becomes "0"), the respective count end outputs are outputted as phase clock pulses via the OR circuit 28. Further, the control signal from the control circuit 29 connects these counters in series so that one
When indicating that the counter is to be used as one counter, the gate of the AND circuit 27 is closed, and the enable signal C is sent out to operate the counter 25c and start counting the preset value, so that the preset value becomes "0". When the counter 25c has counted up to 1, the counter 25c receives a count end signal and sends an enable signal d to the counter 25d to operate it. The counter 25d starts counting the preset value, and the preset value becomes "O".
When the count is reached, the count end signal is turned O.
The R circuit 28 outputs it as a phase clock pulse.

次に、このようなタイミング発生回路10の全体的な動
作を説明する。
Next, the overall operation of such timing generation circuit 10 will be explained.

まず、CPU12からタイミング位相範囲設定信号Tと
して2レート又は4レートのうちのいずれかの設定信号
を制御回路29が受けると、制御回路29は、それが2
レートのときには、カウンタ25a,25b.25c,
25dをそれぞれ独〜lに動作させる状態設定制御信号
をそれぞれ状態設定回路22.23に送出する。また、
それが4レートのときには、カウンタ25aと25b1
そしてカウンタ25c,25dをそれぞれ従属接続して
動作させる状態設定制御信号をそれぞれ状態設定回路2
2.23に送出する。
First, when the control circuit 29 receives a setting signal of either 2 rates or 4 rates as the timing phase range setting signal T from the CPU 12, the control circuit 29 determines whether the timing phase range setting signal T is 2 rates or 4 rates.
When the rate is the counter 25a, 25b . 25c,
A state setting control signal for operating each of the state setting circuits 22 and 25d independently is sent to the state setting circuits 22 and 23, respectively. Also,
When it is 4 rates, counters 25a and 25b1
Then, a state setting control signal for operating the counters 25c and 25d in a subordinate manner is sent to the state setting circuit 2.
Send on 2.23.

実際の測定状態入り、設定幅が2レートのときには、制
御回路29が最初のレートパルスをレートパルス発生回
路1から受けたときには、パターン発生回路1からのR
TTC信号に応じて動作し、RTTC信号によりタイミ
ングデータメモリ21がアクセスされ、その読出しデー
タをデータセレクタ24を介してカウンタ2 5 a,
  2 5 b. 2 5 ゜c.25dに同時にプリ
セットする。そして、制御回路29は、状態設定回路2
2を起動して、カウンタ25a.25bを1つのカウン
タとして動作させるように制御する。
When the actual measurement state is entered and the set width is 2 rates, when the control circuit 29 receives the first rate pulse from the rate pulse generation circuit 1, the R pulse from the pattern generation circuit 1 is
It operates according to the TTC signal, and the timing data memory 21 is accessed by the RTTC signal, and the read data is sent to the counters 25a, 25a,
2 5 b. 2 5 °c. 25d at the same time. The control circuit 29 then controls the state setting circuit 2.
2, the counters 25a. 25b is controlled to operate as one counter.

その結果、状態設定回路22からイネーブル信号aが送
出されてカウンタ25aがまず動作し、カウンタ25a
が“O”までカウントし、続いて状態設定回路22から
イネーブル信号bが送出されてカウンタ25bが動作し
、カウンタ25bが“0”までカウントしたそのカウン
ト終r信号が位相クロックパルスとして位相クロック発
生回路2から出力される。
As a result, the enable signal a is sent from the state setting circuit 22, and the counter 25a operates first.
counts up to "O", then the enable signal b is sent from the state setting circuit 22, the counter 25b operates, and the counter 25b counts up to "0", and the count end r signal generates the phase clock as a phase clock pulse. Output from circuit 2.

次に制御回路29がレートパルスを受けたときには、制
御回路29は、状態設定回路23を起動して、カウンタ
25c.25dを1つのカウンタとして動作させるよう
に制御する。その結果、前記と同様にイネーブル信号C
が送出されて続いてカウンタ25cが動作して、カウン
タ25cが“0”までカウントシ、続いてイネーブル信
号dが送出されてカウンタ25dが動作してこれが“0
”までカウントし、カウンタ25dのカウント終丁信号
が位相クロックパルスとして位相クロック発生回路2か
ら出力される。
Next, when the control circuit 29 receives a rate pulse, the control circuit 29 activates the state setting circuit 23 and sets the counter 25c. 25d is controlled to operate as one counter. As a result, the enable signal C
is sent out, and then the counter 25c operates, and the counter 25c counts up to "0". Then, the enable signal d is sent out, and the counter 25d operates, and the counter 25c counts up to "0".
The count end signal of the counter 25d is output from the phase clock generation circuit 2 as a phase clock pulse.

一方、実際の7!lll定状態入り、設定幅が4レート
のときには、制御同路29が最初のレートパルスをレー
トパルス発生回路lから受けたときには、パターン発生
回路1からのRTTC信号に応じて動作し、RTTC信
号によりタイミングデータメモリ21がアクセスされ、
その読出しデータをデータセレクタ24を介してカウン
タ25a,25bに同時にプリセットする。次に、制御
回路29は、状態設定回路22を動作させ、カウンタ2
5a +  2 5 bを独立のカウンタとして動作さ
せるように制御する。
On the other hand, the actual 7! When the control circuit 29 enters a steady state and the set width is 4 rates, when the control circuit 29 receives the first rate pulse from the rate pulse generation circuit 1, it operates in response to the RTTC signal from the pattern generation circuit 1. The timing data memory 21 is accessed,
The read data is simultaneously preset into counters 25a and 25b via data selector 24. Next, the control circuit 29 operates the state setting circuit 22 so that the counter 2
5a + 2 5b is controlled to operate as an independent counter.

その結果、状態設定回路22からイネーブル信号aが発
生してカウンタ25aが動作してカウンタ25aが“0
”までカウントし、そのカウント終了信号が位相クロッ
クパルスとして位相クロック発生回路2から出力される
。次に制御回路29がレートパルスを受けたときには、
制御回路29からの制御信号を受けた状態設定回路22
がイネーブル信号bを発生してこれに応じてカウンタ2
5bが動作し、カウンタ25bが“0”までカウントし
、そのカウント終了信号が位相クロックパルスとして位
相クロック発生同路2から出力される。
As a result, the enable signal a is generated from the state setting circuit 22, the counter 25a operates, and the counter 25a becomes "0".
”, and the count end signal is output from the phase clock generation circuit 2 as a phase clock pulse.Next, when the control circuit 29 receives the rate pulse,
A state setting circuit 22 receiving a control signal from a control circuit 29
generates the enable signal b, and in response, the counter 2
5b operates, the counter 25b counts up to "0", and the count end signal is output from the phase clock generation circuit 2 as a phase clock pulse.

そして、制御回路29がレートパルス発生回路1からさ
らにレートパルスを受けたときには、制御回路29は、
今度は状態設定回路23を動作させる。その結果、状態
設定回路23からイネーブル信号Cが発生してカウンタ
25cが動作してカウンタ25cが“0”までカウント
し、そのカウント終了信号が位相クロックパルスとして
位相クロック発生回路2から出力される。さらに次に制
御回路29がレートパルスを受けたときには、制御回路
29からの制御信号を受けた状態設定回路23がイネー
ブル信号dを発生してこれに応じてカウンタ25dが動
作し、カウンタ25dが“O”までカウントし、そのカ
ウント終了信号が位相クロックパルスとして位相クロッ
ク発生回路2から出力される。
Then, when the control circuit 29 further receives a rate pulse from the rate pulse generation circuit 1, the control circuit 29
This time, the state setting circuit 23 is activated. As a result, the enable signal C is generated from the state setting circuit 23, the counter 25c operates, the counter 25c counts up to "0", and the count end signal is outputted from the phase clock generation circuit 2 as a phase clock pulse. Furthermore, the next time the control circuit 29 receives a rate pulse, the state setting circuit 23 that has received the control signal from the control circuit 29 generates an enable signal d, and the counter 25d operates in response to this, and the counter 25d registers " The count end signal is output from the phase clock generation circuit 2 as a phase clock pulse.

このようにすれば、レートパルスを受けてからRTTC
信号に応じてカウンタにカウント値をプリセットしてカ
ウントを開始させるようにすれば、1レートの中におい
て、複数回RTTC信号を発生させれば、その都度、位
相クロックパルスを発生させることが可能であり、実時
間で位相クロックパルスをいくつも設定することができ
る。また、この場合には、レートパルスを受けた後にR
TTC信号に応じて各カウンタにブリセット値が格納さ
れてカウントを開始するように制御するものであるが、
レートパルス発生前にRTTC信号を発生させて、この
RTTC信号受けて各カウンタにプリセット値をセット
し、次のレート信号を受けて、そのタイミングでカウン
タのカウントを開始するようにしてもよい。このように
すれば、各レート対応に位相クロックパルスを発生させ
ることができる。
In this way, after receiving the rate pulse, the RTTC
If you preset the count value in the counter according to the signal and start counting, it is possible to generate the phase clock pulse each time by generating the RTTC signal multiple times within one rate. Yes, it is possible to set a number of phase clock pulses in real time. Also, in this case, after receiving the rate pulse, R
It controls so that each counter stores a preset value and starts counting in response to a TTC signal.
An RTTC signal may be generated before the rate pulse is generated, a preset value is set in each counter upon receiving this RTTC signal, and upon receipt of the next rate signal, the counters may start counting at that timing. In this way, phase clock pulses can be generated for each rate.

また、各カウンタのプリセット値は、RTTC信号に応
じてセットすることなく、各測定の開始時点或は各レー
トパルスの発生する手前でパターン発生器等から格納す
るようにしてもよい。
Further, the preset value of each counter may not be set in response to the RTTC signal, but may be stored from a pattern generator or the like at the start of each measurement or before each rate pulse is generated.

以上説明してきたが、実施例では、2/4レートの切換
えでタイミング位相幅を設定するようになっているが、
この場合、2レート帽でタイミング位相設定を行うと、
4レート幅の場合の2倍の精度で位相設定が可能である
。また、実施例では、2つのカウンタを対にして2レー
ト単位で制御しているが、これは、1レート単位でRT
TC信号によりプリセット値を順次設定するようにして
もよい。さらに、4つのカウンタを設けているので、3
レート対応に順次カウンタを切り換えて使用し、位相設
定することも可能である。したがって、実施例では、レ
ートサイクルを2〜4と変化させて、それぞれをレート
数を単位としてそれぞれにおいて位相クロックを発生さ
せることが可能である。
As explained above, in the embodiment, the timing phase width is set by switching the 2/4 rate.
In this case, if you set the timing phase with a 2-rate cap,
It is possible to set the phase with twice the accuracy as in the case of 4 rate widths. Furthermore, in the embodiment, two counters are paired and controlled in units of two rates;
The preset values may be sequentially set using the TC signal. Furthermore, since 4 counters are provided, 3
It is also possible to set the phase by sequentially switching the counter according to the rate. Therefore, in the embodiment, it is possible to vary the rate cycles from 2 to 4 and generate a phase clock for each rate cycle as a unit.

なあ、設定範囲が1レートであれば、複数の各カウンタ
をそれぞれ独立に1レート単位で動作されてもよいこと
はもちろんである。
Of course, if the setting range is one rate, each of the plurality of counters may be operated independently in units of one rate.

実施例では、4つのカウンタを切換えて使用する構成を
採っているが、これは、さらに多くのカウンタを使用し
てもよいことはもちろんである。
In the embodiment, a configuration is adopted in which four counters are switched and used, but it goes without saying that more counters may be used.

また、1レート幅設定のものを2レート幅に切換える場
合には、少なくとも2つのカウンタを設けて、これらカ
ウンタを独\2に動作させるか、1つのカウンタとして
動作させるかを切換えればよい。
Furthermore, when switching from one rate width setting to two rate widths, it is sufficient to provide at least two counters and switch whether these counters operate independently or as one counter.

また、実施例では、、レートパルス発生回路も位相クロ
ック発生回路も同一の基準クロック発生回路からクロソ
クパルスを得て動作するようになっているが、これらは
別々のクロック発生回路からクロックパルスをI9ても
よいことはもちろんである。
In addition, in the embodiment, both the rate pulse generation circuit and the phase clock generation circuit operate by obtaining cross pulses from the same reference clock generation circuit, but they receive clock pulses from separate clock generation circuits. Of course it's a good thing.

[発明の効果] 以上の説明から理解できるように、この発明にあっては
、位相クロック発生回路に少なくとも2つのカウンタを
設けて、これをタイミング位相範囲設定信号に応じて、
従属接続させて1つのカウンタとして動作させたり、独
立のカウンタとして動作させたりすることにより、レー
トパルス信号に応じて、例えば、n=1とすると、1レ
ート対応に位相クロックパルスを発生させたり、倍の2
レート対応に位相クロックパルスを発生させたりするこ
とを選択することができる。
[Effects of the Invention] As can be understood from the above explanation, in the present invention, at least two counters are provided in the phase clock generation circuit, and the counters are controlled according to the timing phase range setting signal.
By cascading them and operating them as one counter, or operating them as independent counters, you can generate phase clock pulses corresponding to one rate according to the rate pulse signal, for example, if n=1, double 2
It is possible to select to generate phase clock pulses corresponding to the rate.

その桔里、ハードウェアをほとんど増加させることなし
に、同=一・の同路でタイミング位相輔を測定すべきI
Cの機能に対応して容易に変史してテストすることが可
能になり、その設定制御も簡単にできる。
That is, I should measure the timing phase on the same path with almost no increase in hardware.
It becomes possible to easily modify and test the history corresponding to the functions of C, and its settings can be easily controlled.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、この允明のテスターのタイミング信号発生回
路の−実施例のブロック図である。 l・・・レートパルス発生回路、2・・・位相クロック
発生回路、3・・・基準クロック発生回路、10・・・
タイミング信号発生回路、 11・・・ハターン発生W、12・・・CPU21・・
・タイミングデータメモリ、 22.23・・・状態設定回路、 24・・・データセレクタ、 25a.25b.25c.25d・・・第1〜第4のカ
ウンタAND回路、 28.27・・・AND回路、28・・・OR回路、2
9・・・制御回路。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the timing signal generation circuit of this tester. l... Rate pulse generation circuit, 2... Phase clock generation circuit, 3... Reference clock generation circuit, 10...
Timing signal generation circuit, 11... Hattern generation W, 12... CPU21...
- Timing data memory, 22.23... Status setting circuit, 24... Data selector, 25a. 25b. 25c. 25d...First to fourth counter AND circuits, 28.27...AND circuit, 28...OR circuit, 2
9...Control circuit.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)クロック信号発生回路と、このクロック信号発生
回路からのクロック信号又は外部からのクロック信号を
受けて所定の周期のレートパルスを発生するレートパル
ス発生回路と、第1及び第2のカウンタを有していて、
外部からのタイミング位相範囲設定信号に応じて第1の
カウンタと第2のカウンタとを独立に動作させるかこれ
らを従属接続して1つのカウンタとして動作させるかが
選択され、前記タイミング位相範囲設定信号が所定のn
レート(nは正の整数)を指示しているときには第1及
び第2のカウンタを1つのカウンタとして動作させて前
記レートパルスnごとに対応するレートパルスに応じて
前記クロック信号を受けて第1のカウンタにセットされ
た値までカウントし、続いて第2のカウンタにセットさ
れた値までカウントして第2のカウンタの出力を位相ク
ロック信号として発生し、前記タイミング位相範囲設定
信号が2nレートを指示しているときには第1及び第2
のカウンタを独立のカウンタとして動作させて前記nご
とに対応する最初の前記レートパルスに応じて前記クロ
ック信号を受けて第1のカウンタにセットされた値まで
カウントしてその出力を位相クロック信号として発生し
、nごとの次の前記レートパルスに応じて前記クロック
信号を受けて第2のカウンタにセットされた値までカウ
ントしてその出力を位相クロック信号として発生する位
相クロック発生回路とを備えることを特徴とするテスタ
ーのタイミング信号発生回路。
(1) A clock signal generation circuit, a rate pulse generation circuit that receives a clock signal from the clock signal generation circuit or an external clock signal and generates a rate pulse of a predetermined period, and first and second counters. have,
Depending on an external timing phase range setting signal, it is selected whether to operate the first counter and the second counter independently or to connect them in a subordinate manner to operate as one counter, and the timing phase range setting signal is a given n
When a rate (n is a positive integer) is specified, the first and second counters are operated as one counter, and the first counter receives the clock signal in accordance with the rate pulse corresponding to each rate pulse n. counts up to a value set in a counter, then counts up to a value set in a second counter, and generates the output of the second counter as a phase clock signal, and the timing phase range setting signal sets the 2n rate. 1st and 2nd when giving instructions
operate the counter as an independent counter, receive the clock signal and count up to the value set in the first counter according to the first rate pulse corresponding to each n, and use the output as a phase clock signal. and a phase clock generation circuit that receives the clock signal according to the next rate pulse every n, counts up to a value set in a second counter, and generates the output as a phase clock signal. A tester timing signal generation circuit featuring:
(2)位相クロック発生回路は、第1、第2、第3及び
第4のカウンタを有していて、外部からのタイミング位
相範囲設定信号に応じて第1のカウンタと第2のカウン
タとを独立に動作させるかこれらを従属接続して1つの
カウンタとして動作させるかが選択され、かつ、第3の
カウンタと第4のカウンタとを独立に動作させるかこれ
らを従属接続して1つのカウンタとして動作させるかが
選択され、タイミング位相範囲設定信号が2レートを指
示しているときには第1及び第2のカウンタと第3及び
第4のカウントとをそれぞれ1つのカウンタとして動作
させて最初の前記レートパルスに応じてクロック信号を
受けて第1のカウンタにセットされた値までカウントし
、続いて第2のカウンタにセットされた値までカウント
して第2のカウンタの出力を位相クロック信号として発
生し、次の前記レートパルスに応じて前記クロック信号
を受けて第3のカウンタにセットされた値までカウント
し、続いて第4のカウンタにセットされた値までカウン
トして第4のカウンタの出力を位相クロック信号として
発生し、前記タイミング位相範囲設定信号が4レートを
指示しているときには第1及び第2、第3、第4のカウ
ンタをそれぞれ独立のカウンタとして動作させて最初の
前記レートパルスに応じて前記クロック信号を受けて第
1のカウンタにセットされた値までカウントしてその出
力を位相クロック信号として発生し、次の前記レートパ
ルスに応じて前記クロック信号を受けて第2のカウンタ
にセットされた値までカウントしてその出力を位相クロ
ック信号として発生し、さらに次の前記レートパルスに
応じて前記クロック信号を受けて第3のカウンタにセッ
トされた値までカウントしてその出力を位相クロック信
号として発生し、さらにまた次の前記レートパルスに応
じて前記クロック信号を受けて第4のカウンタにセット
された値までカウントしてその出力を位相クロック信号
として発生する位相クロック発生回路とを備えることを
特徴とする請求項1記載のテスターのタイミング信号発
生回路。
(2) The phase clock generation circuit has first, second, third, and fourth counters, and the first counter and the second counter are controlled according to an external timing phase range setting signal. It is selected whether to operate independently or to operate these counters in a cascade manner as one counter, and to operate the third and fourth counters independently or to operate them in a cascade manner as one counter. When the timing phase range setting signal indicates two rates, the first and second counters and the third and fourth counters are each operated as one counter to obtain the first rate. It receives a clock signal in response to a pulse, counts up to a value set in a first counter, then counts up to a value set in a second counter, and generates the output of the second counter as a phase clock signal. , receives the clock signal in response to the next rate pulse, counts up to the value set in the third counter, then counts up to the value set in the fourth counter, and outputs the output of the fourth counter. When the timing phase range setting signal indicates 4 rates, the first, second, third, and fourth counters are operated as independent counters, and the first rate pulse is generated as a phase clock signal. In response to the rate pulse, the clock signal is received and counted up to the value set in the first counter, and the output thereof is generated as a phase clock signal, and in response to the next rate pulse, the clock signal is received and counted up to the value set in the first counter. A third counter counts up to a set value and generates its output as a phase clock signal, and then receives the clock signal in response to the next rate pulse, counts up to a value set in a third counter, and generates its output as a phase clock signal. a phase clock generating circuit that generates a clock signal, receives the clock signal according to the next rate pulse, counts up to a value set in a fourth counter, and generates the output as a phase clock signal; 2. The timing signal generating circuit for a tester according to claim 1, further comprising: a timing signal generating circuit for a tester.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5155407A (en) * 1989-12-08 1992-10-13 Canon Kabushiki Kaisha Vibration driven apparatus
JP2009055597A (en) * 2007-06-18 2009-03-12 Nagasaki Univ Timing generator

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