JPH03218844A

JPH03218844A - インクジェット記録ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH03218844A
Application number: JP1269290A
Authority: JP
Inventors: Minoru Nozawa; 実野沢; Tadaki Inamoto; 忠喜稲本; Masami Yokota; 横田　雅実; Hideaki Mashio; 真塩　英明
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1990-01-24
Filing date: 1990-01-24
Publication date: 1991-09-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、記録液滴を吐出し記録を行なうためのインク
ジェット記録ヘッドの製造方法に関する。

［従来の技術と発明が解決しようとする課題］インクジ
ェット記録方式（液体噴射記録方式）に適用されるイン
クジェット記録ヘッドは、一Ｍに微細な記録液吐出口（
以下、オリフィスと呼ぶ）、液流路および該液流路の一
部に設けられる液体吐出エネルギー発生部とを備えてい
る。従来、このようなインクジェット記録ヘッドを製造
する方法として、例えば、ガラスや金属等の板を用いこ
の板に切削やエッチング等の加工手段によって微細な溝
を形成した後、この溝が形成された板を他の適当な板と
接合して液流路等の形成を行なう方法が知られている。

しかしながら、斯かる従来の製造方法によって作成され
るインクジェット記録ヘッドでは、切削加工によって形
成される液流路内壁面の荒れが大きすぎたり、あるいは
エッチング率の差から液流路に歪が生じたりして、流路
抵抗の一定した液流路が得難く、製造後のインクジェッ
ト記録ヘッドの記録液吐出特性にバラッキが出易いと言
った問題があった。

また、切削加工の際に板の欠けや割れが生じ易く、製造
歩留りが悪いと言う問題点もあった。

また、エッチング加工を行なう場合には、製造工程が多
く、製造コストの上昇を招くと言う不利もあった。

更には、上記従来法に共通する問題点として、液流路を
形成した溝付板と、記録液滴を吐出させるための吐出エ
ネルギーを発生する圧電素子や、あるいは電気熱変換素
子等の駆動素子が設けられた蓋板とを貼り合せる際に、
これら板の位置合わせが困難であり、量産性に欠けると
言った問題もあった。

上記従来の製造方法に対して、第４図に示すような製造
方法が用いられていた。

第４図（ａ）に示すように、電気熱変換素子等のエネル
ギ発生素子７を基体ｌ上に設け、同図（ｂ）に示すよう
に、通常行なわれているフォトリソグラフィーの手法に
より、基体１上にオリフィス用開口１３，開口１３に連
通する液流路用溝１４，各液流路用溝に共通の共通液室
用溝１５をそれぞれ形成し、その後同図（Ｃ）に示すよ
うに、接着層３を介して液供給口６が形成されている蓋
板４と基体１とを接合する。

この製造方法は、記録ヘッドが小型の場合は比較的有効
な手法であるが、記録ヘッドが大型の場合、例えば被記
録媒体の記録幅に対応した長さにわたりオリフィスが所
定のピッチで配列されているような、いわゆるフルマル
チタイプの記録ヘッドの場合、基体または蓋板の反り、
面粗さ等、接合面の面精度が低くなり、基体と蓋板との
接合そのものが困難であった。

また、基体には成膜，バターニング工程がその製造工程
に導入されるためかなりの面精度を出すことができるが
、成膜された膜の内部応力により基体に反りが発生しや
すい。また、蓋板について面精度を高めるには、研磨加
工が必要となり、高価なものとなってしまうという問題
点があった。

第５図に示す製造方法は、製造方法の他の従来例を示す
ものであり、以下に示す工程よりなる。

（１）液体を吐出するのに利用されるエネルギーを発生
するための素子７を設けた基体１上の液流路形成予定部
位および共通液室形成予定部位に、これらの形状に沿っ
て溶解除去可能な固体層８を設ける工程（第５図（ａ）
）。

（２）固体層８が設けられた基体１上に、活性エネルギ
ー線硬化性材料２を被覆する工程（第５図（ｂ））。

（３）活性エネルギー線硬化性材料２の共通液室形成予
定部位をマスク１２によって被覆し、この部位以外の部
分に活性エネルギー線１ｌを照射し、硬化させる工程（
第５図（ｂ））。

（４）活性エネルギー線硬化性材料２のマスクｌ２が施
された非硬化部分を溶解除去して共通液室用溝１５を形
成する工程（第５図（Ｃ））。

（５）活性エネルギー線硬化性材料２の硬化部分上に蓋
板４を接着剤３により接着して共通液室９を形成する工
程（第５図（ｄ））。

（６）基体ｌ上に設けられた固体層８を溶解除去する工
程（第５図（ｄ））。

しかし、この製造方法には次のような問題点があった。

従来は、大気圧中で全ての工程を行っていたために、工
程（２）において基体と液状の活性エネルギー線硬化性
材料との間、あるいは液状の活性エネルギー線硬化性材
料内部に気泡が混入してしまうことがあった。

また、工程（５）において、蓋板を接着する際にも気泡
の混入が発生することがあった。このような気泡の混入
は液流路の変形を招き、液滴吐出性能に重大な支障をも
たらす。また、混入した気泡の膨張によって基体と蓋板
との剥離を生じることもあった。

さらに、上記製造方法では、蓋板を接着する際に、活性
エネルギー線硬化性材料はすでに硬化しているため前も
って蓋板の反り、面精度をかなり高くする必要があった
。このため、前述したように蓋板の高価格化を招いてい
た。

その他の従来例として、液晶表示体の製造に良く用いら
れている方法で、液晶の減圧注入という方法がある。こ
れを参考としてまず基体と蓋板とを接合した後にその内
部を減圧し、液状の活性エネルギー線硬化性材料を注入
する方法も検討されている。

しかし、この方法の場合（１１基体と蓋板とを接合する
時に液流路内にごみ，異物等が入り易い。

（２）基体と蓋板の周囲を封止する工程が必要。

（３）共通液室となる部分にかなりの活性エネルギー線
硬化性材料が詰まり、後工程で、共通液室部分の未硬化
の同材料を除去するときに、かなりの量が詰まっている
ため除去しに《いこと、および同材料がかなり無駄にな
る。というような問題点があった。

〔発明の目的〕

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので
あり、活性エネルギー線硬化性材料の基体への塗布およ
び蓋板と基体との接合を、減圧雰囲気中で行なうことに
より、製造工程中における気泡の混入を防止し、気泡の
混入によって生じる記録液滴の吐出特性への影響や、基
体と蓋板との剥離等がなく、さらに、基体や蓋板の反り
，面精度をそれほど考慮しなくてもよいインクジェット
記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

そのために本発明では、液流路の一部に吐出エネルギー
発生素子を有し、該素子が発生する吐出エネルギーを利
用して記録液滴を吐出し記録を行なうためのインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法において、前記素子を配設す
る基体上の少なくとも前記液流路に対応するパターンで
、溶解除去可能な固体層を設ける工程、該固体層が設け
られた基体上に、活性エネルギー線硬化性材料を減圧雰
囲気中で被覆する工程、該活性エネルギー線硬化性材料
が被覆された基体と、蓋板とを減圧雰囲気中で接合する
工程、活性エネルギー線を照射することにより、前記活
性エネルギー線硬化性材料が被覆された部位の少なくと
も前記液流路を構成する部位を硬化させる工程、および
前記液流路に対応するパターンの前記固体層を除去する
工程からなることを特徴とする。

［イ乍　用〕以上の構成によれば、活性エネルギー線硬化性材料の基
体への被覆、および蓋板と基体との接合を減圧雰囲気中
で行なうので、製造工程中における気泡の混入を防止で
きる。

また、蓋板と基体との接合が硬化する前の活性エネルギ
ー線硬化性材料を媒介にして行なわれるので、蓋板や基
体の反りや面精度の低さが緩和されて容易に接合するこ
とができる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。

第１図（ａ）〜（ｆ）は、本発明の一実施例にかかるイ
ンクジェット紀録ヘッドの製造方法を工程順に小してい
る。

工程（ａ）（第１図（ａ））基体１は、液流路および共通液室構成材料の一部として
機能し、また後述の固体層および活性エネルギー線硬化
性材料積層時の支持体として機能させるものであり、そ
の形状，材質等、特に限定されることなく使用すること
ができる。

基体ｌ上には、電気熱変換素子あるいは圧電素子等の液
体吐出エネルギー発生素子７が吐出口（以下、オリフィ
スという）の数に対応して配設される。このような液体
吐出エネルギー発生素子７によって記録液摘を吐出させ
るための吐出エネルギーが記録液に与えられ、記録が行
なわれる。

因に、例えば液体吐出エネルギー発生素子７として電気
熱変換素子が用いられるときには、この素子が、近傍の
記録液を加熱することにより、記録液中に気泡を発生さ
せ、この気泡の変化に伴なう記録液中の圧力変動によっ
て吐出が行なわれる。また、例えば圧電素子が用いられ
るときは、この素子の機械的振動による記録液中の圧力
変動によって吐出が行なわれる。

尚、これ等の素子７には、これら素子を動作させるため
の制御信号人力用電極（不図示）が接続されている。ま
た、一般にはこれら吐出エネルギー発生素子の耐用性の
向上等を目的として、保護層等の各種の機能層が設けら
れるが、もちろん本発明においてもこのような機能層を
設けることは一向に差しつかえない。

次いで、上記液体吐出エネルギー発生素子７を含む基体
１上の液流路形成部位およびそれと連通ずる共通液室形
成部位に、これらの形状に沿って第１図（ａ）に示す固
体層８を積層する。

尚、本発明においては液流路および共通液室の形成部位
の双方に固体層を設けることは必ずしも必要ではなく、
固体層は少なくとも液流路形成部位に設ければよい。

また、説明が前後するが、第１図（ｃ）等に示すように
蓋板４は、液室形成予定部位に凹部５および２ヶの記録
液供給口６を有したものとして予め構成されている。

固体層８は、後述する各工程を経た後に除去され、除去
部分に液流路および共通液室が構成される。もちろん、
液流路および共通液室の形状は所望のものとすることが
可能であり、固体層８も液流路および共通液室の形状に
応じたものとすることができる。因に、共通液室は液流
路の各々に記録液を供給し得るようにこれらと連通した
ものとされている。

このような同体層８を構成するに際して用いられる材料
および手段としては、例えば下記に列挙するようなもの
が具体的なものとして挙げられる。

■　感光性ドライフィルムを用い、所謂ドライフィルム
の画像形成プロセスに従って固体層を形成する。

■　基体１上に所望の厚さの溶剤可溶性ボリマー層およ
びフォトレジスト層を順に積層し、フォトレジスト層の
パターン形成後、溶剤可溶性ボリマー層を選択的に除去
する。

■　樹脂を印刷する。

■　に挙げた感光性ドライフィルムとしては、ボジ型の
ものもネガ型のものも用いることができるが、例えばボ
ジ型ドライフィルムであれば、活性エネルギー線照射に
よって、現像液に可溶化するボジ型ドライフィルム、ま
たネガ型ドライフィルムであれば、光重合型であるが塩
化メチレンあるいは強アルカリで溶解あるいは剥離除去
し得るネガ型ドライフィルムが適している。

ボジ型ドライフィルムとしては、具体的には、例えばｒ
ＯＺＡＴＥｃ　　Ｒ２２５Ｊ　　［商品名、ヘキストジ
ャパン（株）］等、またネガ型ドライフィルムとしては
、ｒＯＺＡＴＥ（：　ＴシリーズＪ　〔商品名、ヘキス
トジャパン（株）］、ｒＰＨＯＴＥｃ　ＰＩＴシリーズ
」　〔商品名、日立化成工業（株）］、ｒＲＩｓＴＯＮ
Ｊ　　［商品名、デュ・ボン・ド・ネモアース・Ｃｏｌ
等が用いられる。

もちろん、これらの市販材料のみならず、ポジティブに
作用する樹脂組成物、例えばナフキノンジアド誘導体と
ノボラック型フェノール樹脂を主体とする樹脂組成物、
およびネガティブに作用する樹脂組成物、例えばアクリ
ルエステルを反応基とするアクリルオリゴマーと熱可塑
性高分子化合物および増感剤を主体とする組成物、ある
いはポリチオールとボリエン化合物および増感剤とから
成る組成物等が同様に用いることができる。

■に挙げた溶剤可溶性ボリマーとしては、それを溶解す
る溶剤が存在し、コーティングによって被膜形成し得る
高分子化合物であればいずれでも用い得る。ここで用い
得るフォトレジスト層としては、典型的にはノボラック
型フェノール樹脂とナフトキノンジアジドから成るボジ
型液状フォトレジスト，ポリビニルシンナメートから成
るネガ型液状フォトレジスト、環化ゴムとビスアジドか
ら成るネガ型液状フォトレジスト、ネガ型感光性ドライ
フィルム、熱硬化型および紫外線硬化型のインキ等が挙
げられる。

■に挙げた印刷法によって固体層を形成する材料として
は、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは紫外線硬化型
等のそれぞれの乾燥方式で用いられている平板インキ、
スクリーンインキならびに転写型の樹脂等が用いられる
。

以上に挙げた材料群の中で、加工精度や除去の容易性あ
るいは作業性等の面から見て、■の感光性ドライフィル
ムを用いる手段が好まし《、その中でもボジ型ドライフ
ィルムを用いるのが特に好ましい。すなわち、ボジ型感
光性材料は、例えば解像度がネガ型の感光性材料よりも
優れている、レリーフパターンが垂直かつ平滑な側壁面
を持つ、あるいはテーパ型ないし逆テーバ型の断面形状
が容易につ《れるという特長を持ち、液流路を形づくる
上で最適である。

また、レリーフパターンを現像液や有機溶剤で溶解除去
できる等の特長も有しており、本発明における固体層形
成材料として好ましいものである。持に、例えば先に挙
げたナフキノンジアジドとノボラック型フェノール樹脂
を用いたボジ型感光性材料では、弱アルカリ水溶液ある
いはアルコールで完全溶解できるので、吐出エネルギー
発生素子に何ら損傷を与えることなく、かつ後工程での
除去もきわめて速やかである。このようなボジ型感光性
材料の中でも、ドライフィルム状のものは、ｌＯ〜１０
０μｍの厚膜のものが得られる点で、最も好ましい材料
である。

工程（ｂ）（第１図（ｂ））固体層８が形成された基体１には、固体層８を覆うよう
に活性エネルギー線硬化性材料層２が減圧雰囲気中で積
層される。

活性エネルギー線硬化性材料としては、上記固体層を覆
設し得るものであれば好適に使用することができるが、
この材料は、液流路および共通液室を形成してインクジ
ェット記録ヘッドの構造材料と成るものであるので、基
体との接着性、機械的強度、寸法安定性、耐蝕性の面で
優れたものを選択して用いるのが好ましい。さらに、前
記固体層を侵さない性質を有することが必要である。ま
た、活性エネルギー線硬化性材料は、減圧雰囲気中で使
用されるため、もし材料中に溶剤が含まれていると発泡
してしまい、液流路の欠陥になってしまうため、無溶剤
型である必要がある。

そのような材料を具体的に示せば、液状で、紫外線硬化
および電子ビーム硬化などの活性エネルギー線硬化性材
料が適しており、中でもエボキシ樹脂、アクリル樹脂、
ジグリコールジアルキルカーボネート樹脂、不飽和ポリ
エステル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、メ
ラミン樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂等が用いられる
。

特に、光によってカチオン重合を開始することのできる
エボキシ樹脂、光によってラジカル重合できるアクリル
エステル基を持ったアクリルオリゴマー類、ポリチオー
ルとボリエンを用いた光付加重合型樹脂、不飽和シクロ
アセクール樹脂等は、重合速度が大きく、重合体の物性
も優れており、構造材料として適している。

活性エネルギー線硬化性材料２の積層方法および蓋板４
を基体ｌに接合する工程は、第２図にて後述されるよう
な装置を使用することにより行なう。

工程（Ｃ）（第１図（Ｃ））次に、基体ｌの活性エネルギー線硬化性材料層２上に蓋
板４を減圧雰囲気中で接合する。

なお、第１図（ｂ），（Ｃ）について述べた減圧雰囲気
の圧力は、１０Ｔｏｒｒ以下が好ましい。何故なら、こ
の圧力であれば仮りに両工程において微小気泡が入った
としても大気圧にもどした時には欠陥にならない位の微
小気泡になる。また、ある時間その減圧雰囲気中に保つ
ことにより気泡は破れつして消滅してしまうからである
。

この際、蓋板４には、前述したように所望の液室容積を
得るための凹部５を必要に応じて共通液室形成部位に設
けてお《。蓋板４は、活性エネルギー線照射を蓋板４側
から行なうので、活性エネルギー線透過性であることが
必要である。また、蓋板４には、記録液供給用の液供給
口６が予め設けられている。

また、蓋板４を接合するに際しては、活性エネルギー線
硬化性材料層を所要の厚さにするべく、例えば蓋板と基
体との間にスペーサーを設けたり、蓋板４の端部に凸部
を設ける等の工夫をしてもよい。

こうして基体１、固体層８、活性エネルギー線硬化性材
料層２および蓋板４が順次積層された積層体を得る。

工程（ｄ）（第１図（ｄ））共通液室形成予定部位に対して、それを活性エネルギー
線１１から遮蔽するように、活性エネルギー線透過性の
蓋板４にマスク５２を積層し、マスク５２の上方から活
性エネルギー線１１を照射する。

この活性エネルギー線ｌ１の照射により、照射部分の活
性エネルギー線硬化性材料が硬化して硬化樹脂層が形成
されるとともに、この硬化によって基体１と蓋板４との
接合も行なわれる。

活性エネルギー線としては、紫外線、電子線、可視光線
等が利用できるが、蓋板４を透過させての露光であるの
で紫外線、可視光線が好ましく、また重合速度の面から
紫外線が最も適している。

紫外線の線源としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハ
ロゲンランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプ
、カーボンアーク等のエネルギー密度の高い光源が好ま
しく用いられる。光源からの光線は、平行性が高く、熱
の発生が少ないもの程精度の良い加工が行なえるが、印
刷製版ないしプリント配線板加工あるいは光硬化型塗料
の硬化に一般に用いられている紫外線光源であれば概ね
利用可能である。

活性エネルギー線に対するマスクとしては，特に紫外線
もしくは可視光線を用いる場合、メタルマスク、銀塩の
エマルジョンマスク、ジアゾマスク等が挙げられ、その
他、単に共通液室形成部位に黒色のインクの印刷もし《
はシールを貼りつける等の方法でもかまわない。

次いで、例えばオリフィス端面が露出していない場合等
、必要に応じてダイヤモンドブレードを用いたグイシン
グソー等によって、上記活性エネルギ一線照射による硬
化を終了した積層体を所要の位置で切断し、オリフィス
端面を露出させる。

しかし、このような切断の操作は、本発明の実施のため
に必ずしも必要ではなく、例えば液状の硬化性材料を用
い、該材料を積層する際に型を使用し、オリフィス先端
部が閉じて覆われてしまうことがなく、且つオリフィス
先端部が平滑に成型されるようにした場合等には、切断
は不要である。

工程（ｅ）　．　（ｆ）　（第１図（ｅ）　．　（ｆ）
　）次いで、活性エネルギー線照射を終．了した上記積
層体から、固体層８および未硬化の活性エネルギー線硬
化性材料２、すなわち共通液室部の活性エネルギー線硬
化性材料を除去して、液流路および共通液室を形成する
。

本実施例では共通液室形成部位の活性エネルギー線硬化
性材料には活性エネルギー線照射が行なわれず、未硬化
のまま除去されるので、固体層上に積層する活性エネル
ギー線硬化性材料の層厚を任意に制御することにより、
液流路と無関係に液室を自在に形成することが可能であ
る。

固体層８および未硬化の活性エネルギー線硬化性材料の
除去手段としては特に限定されるものではないが、具体
的には例えば固体層８と未硬化の活性エネルギー線硬化
性材料とを溶解または膨潤あるいは剥離する液体に浸漬
して除去する等の方法が好ましいものとして挙げられる
。この際、必要に応じて超音波処理、スプレー、加熱、
攪拌、振どう、加圧循環、その他の除去促進手段を用い
ることも可能である。

上記除去手段に対して用いられる液体としては、例えば
含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステル、芳香族炭化水
素、エーテル、アルコール、Ｎ−メチルビロリドン、ジ
メチルホルムアミド、フェノール、水、酸あるいはアル
カリを含む水、等が挙げられる。これら液体には、必要
に応じて界面活性剤を加えても良い。

第１図（ｆ）には、上記のような固体層８および未硬化
の活性エネルギー線硬化性材料の除去を行なった後の状
態が示されているが、本例の場合、固体層８および未硬
化の活性エネルギー線硬化性材料は、これを溶解する液
体中に浸漬され、第１図（ｅ）の矢印で示すようにヘッ
ドのオリフィスと液供給口６を通して溶解除去されてい
る。

尚、以上の各工程を終了した後、液体吐出エネルギー発
生素子７とオリウィス１３との間隔を最適化するために
、必要に応じてオリフィス先端の切断、研磨、平滑化を
行なってもよい。

第２図は、上記製造方法の工程（ｂ）．（ｃ）を可能と
する装置の模式的斜視図である。

第２図において、２０は真空チャンバー、２１は液状の
活性エネルギー線硬化性材料２を基体１に塗布するディ
スペンサーヘッドであり、塗布のＯＮ／ＯＦＦを制御す
るバルブが内臓されている。２２は同村料２の貯留タン
クであり、チューブ等を介してディスペンサーヘッド２
ｌに同村料２を圧送する。

また、同村料２を基体１に被覆する方法として、ディス
ベンサーヘッド２ｌによる塗布方法の他に、アプリケー
タ，カーテンコータ，ロールコータ，スプレーコータ，
スビンコー夕等の手段がある。

まず、設定された圧力に達した後、基体１は、ディスベ
ンサーヘッド２ｌの下に送られ、液状の活性エネルギー
線硬化性材料２が塗布される。この時ディスペンサーヘ
ッド２ｌと基体１の相対的な位置決めは、Ｘ方向がボー
ルネジ３ｌとそれを回転駆動するモータ３２、Ｙ方向が
ボールネジ３３とそれを回転駆動するモータ（不図示）
により成される。

基体１の決められた位置に活性エネルギー線硬化性材料
２を塗布した後に、基体ｌと蓋板４との接合を行なうた
めの接合機構部３４へと送られる。

接合機構部３４では、蓋板４がクランブ部材３６により
チャックされ、シリンダ３５により上下動される。また
、蓋板４が小さい場合は治具等に取り付け、それを上下
させても良い。

接合機構部３４で基体１と蓋板４との接合が終了した後
に、大気圧にもどして工程（ｄ）の前記したような活性
エネルギー線を照射する装置へと移動させる。

真空チャンバー内の真空度（圧力）は、前記したよ−う
に１０Ｔｏｒｒ以下が好ましく、活性エネルギー線硬化
性材料２や固体層８、その他基体１上の各種膜材料また
は真空チャンバー内の材料がガス化等の変質を発生しな
い真空度であれば、真空度が高い程気泡混入に対する効
果は大である。

第３図（ａ）〜（ｅ）は、本発明の他の実施例に関し、
基体に対して鉛直方向に吐出口が設けられているタイプ
のインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示し
ている。

工程（ａ）において、第１図（ａ）と同様に、記録液供
給口６，吐出エネルギー発生素子７等が設けられた基体
１上に、後工程において溶解除去可能な固体層８を設け
る（第３図（ａ））。

工程（ｂ）において、第１図（ｂ）と同様に、減圧雰囲
気中で液状の活性エネルギー線硬化性材料２を被覆する
（第３図（ｂ））。

工程（ｃ）において、同村料２上に、記録液滴を吐出す
るためのオリフイス５１が設けられている蓋板４を減圧
雰囲気中で接合する。但し、蓋板４は活性エネルギー線
が透過できる材料で形成されている（第３図（Ｃ））。

工程（ｄ）において、活性エネルギー線硬化性材料２を
硬化させる活性エネルギー線を、マスク５２を介して照
射し、活性エネルギー線が当たった部位の活性エネルギ
ー線硬化性材料を硬化させ、液流路壁を形成する。活性
エネルギー線を遮断する部分としては、吐出口部分は必
須であり、その他には液流路部を遮断することにより高
さ方向に流路が広くなる（第３図（ｄ））。

工程（ｅ）において、未硬化の前記活性エネルギー線硬
化性材料２と前記固体層８を溶解除去する。例えば、溶
解液中に基体を浸漬し、超音波等の外力を加えると溶解
除去時間を短縮出来る（第３図（ｅ））。

〔発明の効果】

以上説明したように、本発明によれば活性エネルギー線
硬化性材料の基体への塗布、および蓋板と基体との接合
を減圧雰囲気中で行なうので、製造工程中における気泡
の混入を防止できる。

この結果、気泡の混入が皆無となったことにより液流路
の欠陥がな《なった。

また、気泡の温度変化による体積膨張を原因とした基体
、蓋板の剥れがな《なった。

さらに、基体や蓋仮に反りがあったり、また面精度が低
い場合でも容易に接合を行なうことができ、結果として
廉価な記録ヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明の一実施例にかかるイン
クジェット記録ヘッドの製造方法を示す模式的斜視図、第２図は本発明の一実施例にかかるインクジェット記録
ヘッドの製造に使用する装置の模式的斜視図、第３図（ａ）〜（ｅ）は本発明の他の実施例にかかるイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法を示す模式的斜視図
、第４図（ａ）〜（ｃ）および第５図（ａ）〜（ｄ）は従
来のインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す模式的
斜視図である。１・・・基体、２・・・液流路構成部材（活性エネルギー線硬化性材料
）、４・・・蓋板、８・・・固体層、９・・・共通液室、１３．　５１・・・オリフィス、２０・・・真空チャンバー２ｌ・・・ディスペンサーヘッド、３４・・・接合機構部、５２・・・マスク。第４図第１図（ａ冫６第３図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）液流路の一部に吐出エネルギー発生素子を有し、
該素子が発生する吐出エネルギーを利用して記録液滴を
吐出し記録を行なうためのインクジェット記録ヘッドの
製造方法において、前記素子を配設する基体上に少なくとも前記液流路に対
応するパターンで、固体層を設ける工程、該固体層が設けられた基体上に、活性エネルギー線硬化
性材料を減圧雰囲気中で被覆する工程、該活性エネルギー線硬化性材料が被覆された基体と、蓋
板とを減圧雰囲気中で接合する工程、活性エネルギー線
を照射することにより、前記活性エネルギー線硬化性材
料が被覆された部位の少なくとも前記液流路を構成する
部位を硬化させる工程、および前記液流路に対応するパターンの前記固体層を除去する
工程からなることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
製造方法。
（２）前記活性エネルギー線硬化性材料は、無溶剤型の
材料であることを特徴とする請求項１に記載のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法。