JPH03219593A - 薄膜ｅｌ素子 - Google Patents
薄膜ｅｌ素子Info
- Publication number
- JPH03219593A JPH03219593A JP2004579A JP457990A JPH03219593A JP H03219593 A JPH03219593 A JP H03219593A JP 2004579 A JP2004579 A JP 2004579A JP 457990 A JP457990 A JP 457990A JP H03219593 A JPH03219593 A JP H03219593A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- color
- cas
- present
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は薄膜ＥＬ素子（薄膜エレクトロルミネッセント
素子）、特に緑色発光層を備える薄膜ＥＬ素子に関する
。
素子）、特に緑色発光層を備える薄膜ＥＬ素子に関する
。
［従来の技術］
薄膜ＥＬ素子を用いてフルカラー表示を実現する際、も
っとも有望な発光材料としては、青色にＳｒＳ：Ｃｅ、
緑色にＺｎＳ：Ｔｂ、赤色にＣａＳ ： Ｅｕがそれぞ
れ現在研究されている。
っとも有望な発光材料としては、青色にＳｒＳ：Ｃｅ、
緑色にＺｎＳ：Ｔｂ、赤色にＣａＳ ： Ｅｕがそれぞ
れ現在研究されている。
しかし、実際に材料の適応性を考えれば、緑色用発光材
料だけが他の材料と異っていることが問題である。
料だけが他の材料と異っていることが問題である。
すなわち、ＺｎＳはｎ ｂ−ｖｒｂ族化合物であるのに
対して、Ｃａ５ＳＳｒＳは何れもｎａｖｘｂ族化合物で
ある。
対して、Ｃａ５ＳＳｒＳは何れもｎａｖｘｂ族化合物で
ある。
ＩＩ ａ −Ｖｌ ｂ族化合物を用いた緑色発光材料と
しては、ＣａＳ ： ＣｅやＳ ｒ Ｓ ： Ｍ ｎが
知られているがＣａＳ ： Ｃｅは色純度が悪く、黄緑
色を示し、ＳｒＳ：Ｍｎは作製条件によっては黄橙色に
なる場合があって、色調の再現性がよくないのが問題で
あった。
しては、ＣａＳ ： ＣｅやＳ ｒ Ｓ ： Ｍ ｎが
知られているがＣａＳ ： Ｃｅは色純度が悪く、黄緑
色を示し、ＳｒＳ：Ｍｎは作製条件によっては黄橙色に
なる場合があって、色調の再現性がよくないのが問題で
あった。
［発明が解決しようとする課題］
本発明ではＣａＳ ： Ｃｅの色純度の改善を行い、フ
ルカラー表示用の緑色発光材料として用いることができ
るようにすることである。
ルカラー表示用の緑色発光材料として用いることができ
るようにすることである。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するための本発明の構成は、ＣａＳ ：
ＣｅをＴｂで付活した緑色発光層を有する薄膜ＥＬ素
子である。
ＣｅをＴｂで付活した緑色発光層を有する薄膜ＥＬ素
子である。
発光中心であるＣｅとＴｂの濃度については、作製条件
等により異るが、あくまでもＣｅの発光が主体となるよ
うにする。これはＣａＳ ：ＣｅとＣａＳ：Ｔｂとの輝
度をそれぞれ比べると、ＣａＳ：Ｃｅの方が高いためで
ある。そのためＣｅ濃度は最適値である０、０５〜０．
３ｍｏ１％とし、Ｔｂ濃度は０．１〜２．０ｍｏ１％が
適している。
等により異るが、あくまでもＣｅの発光が主体となるよ
うにする。これはＣａＳ ：ＣｅとＣａＳ：Ｔｂとの輝
度をそれぞれ比べると、ＣａＳ：Ｃｅの方が高いためで
ある。そのためＣｅ濃度は最適値である０、０５〜０．
３ｍｏ１％とし、Ｔｂ濃度は０．１〜２．０ｍｏ１％が
適している。
発光層の作製方法は蒸着法、イオンブレーティング法ス
パッタ法、あるいはＭｏＣＶＤ法等いずれでも良い。
パッタ法、あるいはＭｏＣＶＤ法等いずれでも良い。
又、本発明は薄膜ＥＬ素子の発光層に関するものであり
、従って電極材料、絶縁層材料を特定するものでは無い
。もちろん、素子構成も限定されるものでは無く、発光
層の画側に絶縁層を設けた両側絶縁構造、片側に設けた
片側絶縁構造でも良く、又、絶縁層をまったく用いない
構造でも良い。
、従って電極材料、絶縁層材料を特定するものでは無い
。もちろん、素子構成も限定されるものでは無く、発光
層の画側に絶縁層を設けた両側絶縁構造、片側に設けた
片側絶縁構造でも良く、又、絶縁層をまったく用いない
構造でも良い。
まずはじめに本発明の上記構成を有する薄膜ＥＬ素子の
一具体例を第１図に示す。
一具体例を第１図に示す。
図示するように、本発明の薄膜ＥＬ素子はガラス基板１
、透明電極２、発光層３、絶縁層４及び背面電極５で構
成されている。
、透明電極２、発光層３、絶縁層４及び背面電極５で構
成されている。
ガラス基板ｌは例えばほう珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガ
ラス等のアルカリ成分のすくない材質のものであること
が望ましい。
ラス等のアルカリ成分のすくない材質のものであること
が望ましい。
透明電極２の材料はＩＴＯ等、透明電極としての機能を
もつ材料であれば特に制限なく利用できるが、特に、Ｚ
ｎＯ：Ａ１等、ＺｎＯ系材料は耐熱性にすぐれており透
明電極２の材料として好適である。後述の実施例では透
明電極２としてＲＰマグネトロンスパッタ法で作製した
比抵抗−１Ｏ−４ΩＣｎＩ のＺｎＯ：Ａｔの薄膜が
用いられる。
もつ材料であれば特に制限なく利用できるが、特に、Ｚ
ｎＯ：Ａ１等、ＺｎＯ系材料は耐熱性にすぐれており透
明電極２の材料として好適である。後述の実施例では透
明電極２としてＲＰマグネトロンスパッタ法で作製した
比抵抗−１Ｏ−４ΩＣｎＩ のＺｎＯ：Ａｔの薄膜が
用いられる。
絶縁層の４の材料としては、８１３ Ｎ４ 、ＢＮ。
ＡＩＮ等の窒化物、Ｔａ２ ０５、Ｓ］、０２、Ｙ ２
０３、Ａｌ２Ｏ３等の酸化物を用いることができる。ま
た、タングステンブロンズ構造やペロプスカイト構造の
結晶構造を取る強誘電体材料を用いることもできる。又
、更にはこれら材料の混合系による膜や材料のことなる
薄膜を積層した複合膜の形態で絶縁層４を構成してもよ
い。
０３、Ａｌ２Ｏ３等の酸化物を用いることができる。ま
た、タングステンブロンズ構造やペロプスカイト構造の
結晶構造を取る強誘電体材料を用いることもできる。又
、更にはこれら材料の混合系による膜や材料のことなる
薄膜を積層した複合膜の形態で絶縁層４を構成してもよ
い。
更に、絶縁層は第１図のようにどちらか一方のみのによ
るいわゆる片側絶縁構造でも又両方とも用いないいわゆ
る直流型構造でもよい。
るいわゆる片側絶縁構造でも又両方とも用いないいわゆ
る直流型構造でもよい。
絶縁層４上に積層される背面電極５の材料としては、Ａ
１等の金属材料をあげることができる。
１等の金属材料をあげることができる。
もちろん、背面電極５上に更に重ねて別のＥＬ素子構造
を積層する場合は背面電極を透明電極とすべきはいうま
でもない。
を積層する場合は背面電極を透明電極とすべきはいうま
でもない。
以下実施例によって、本発明を具体的に説明する。
［実施例］
ここでは第１図に示したようなＭＩＳ構造を有する薄膜
ＥＬ素子を作製した。
ＥＬ素子を作製した。
ガラス基板上にＺｎＯ：Ａｌを形成し、次に発光層を電
子ビーム蒸着法を用いて、基板温度５００℃で形成した
。この際、発光層としてＣａＳにＣｅＣｌ３を０．１ｍ
ｏ１％添加したものと、本発明によるＣｅＣｌ３を０．
１ｍｏ１％、ＴｂＣｌ３を１．０ＩＩｏ１％添加したも
の、それぞれ２種類作製した。そして、発光層形成後、
絶縁層としてＹ２Ｏ３薄膜を電子ビーム蒸着で形成し、
最後に背面電極としてＡＩ薄膜を形成した。
子ビーム蒸着法を用いて、基板温度５００℃で形成した
。この際、発光層としてＣａＳにＣｅＣｌ３を０．１ｍ
ｏ１％添加したものと、本発明によるＣｅＣｌ３を０．
１ｍｏ１％、ＴｂＣｌ３を１．０ＩＩｏ１％添加したも
の、それぞれ２種類作製した。そして、発光層形成後、
絶縁層としてＹ２Ｏ３薄膜を電子ビーム蒸着で形成し、
最後に背面電極としてＡＩ薄膜を形成した。
このようにして得られた薄膜ＥＬ素子のそれぞれの色調
についてＣＩＥ色度点を第２図に示す。比較のため、現
在カラーＣＲＴに用いられている緑色の色度点も同様に
示す。
についてＣＩＥ色度点を第２図に示す。比較のため、現
在カラーＣＲＴに用いられている緑色の色度点も同様に
示す。
これからもわかるように従来技術による素子に比べて本
発明による素子の法がカラー用緑色として優れているこ
とが判る。
発明による素子の法がカラー用緑色として優れているこ
とが判る。
なお、本発明において発光中心の化合物として塩化物を
用いたが、フッ化物や硫化物を用いでも同様な結果が得
られた。
用いたが、フッ化物や硫化物を用いでも同様な結果が得
られた。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明の薄膜ＥＬ素子をマルチカ
ラー用緑色として優れた色調の緑色発光をする薄膜ＥＬ
素子である。
ラー用緑色として優れた色調の緑色発光をする薄膜ＥＬ
素子である。
第１図は本発明のＥＬ素子の構造を示す断面の模式図、
第２図は本発明のＥＬ素子（ＣａＳ：Ｃｅ：Ｔｂ）、従
来技術のＥＬ素子（ＣａＳ：Ｃｅ）、現在のカラーＣＲ
Ｔに用いられている緑色の薄膜ＥＬ素子の各色度点を示
すグラフである。 １・・・ガラス基板、２・・・透明電極、３・・・発光
層、４・・・絶縁層、５・・・背面電極。 Ｏ：本発明による素子の色度点 ・：従来技術による素子の色度点 一二現在カラーＣＲＴに用いられている緑色の色度点
来技術のＥＬ素子（ＣａＳ：Ｃｅ）、現在のカラーＣＲ
Ｔに用いられている緑色の薄膜ＥＬ素子の各色度点を示
すグラフである。 １・・・ガラス基板、２・・・透明電極、３・・・発光
層、４・・・絶縁層、５・・・背面電極。 Ｏ：本発明による素子の色度点 ・：従来技術による素子の色度点 一二現在カラーＣＲＴに用いられている緑色の色度点
Claims (1)
- ＣａＳ：ＣｅをＴｂで付活した緑色発光層を有する薄
膜ＥＬ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004579A JPH03219593A (ja) | 1989-11-08 | 1990-01-16 | 薄膜ｅｌ素子 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28874589 | 1989-11-08 | ||
| JP1-288745 | 1989-11-08 | ||
| JP2004579A JPH03219593A (ja) | 1989-11-08 | 1990-01-16 | 薄膜ｅｌ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03219593A true JPH03219593A (ja) | 1991-09-26 |
Family
ID=26338392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004579A Pending JPH03219593A (ja) | 1989-11-08 | 1990-01-16 | 薄膜ｅｌ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03219593A (ja) |
-
1990
- 1990-01-16 JP JP2004579A patent/JPH03219593A/ja active Pending
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