JPH03220710A - Manufacture of laminated ceramic capacitor - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、セラ主ツクグリーンシートに内部電極塗膜を
設ける設は方を改良して得られる積層セラミックコンデ
ンサの製造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor obtained by improving the method of providing an internal electrode coating on a ceramic-based green sheet.
セラミックグリーンシートは、積層セラミックコンデン
サを得る場合等に用いられるものであって、セラミック
の原料粉末を樹脂等のバインダーと混合しシート状に成
形したものである。これを積層セラミックコンデンサに
するには、その複数枚がその主面に電極を形成してから
積層されて焼成される。Ceramic green sheets are used to obtain multilayer ceramic capacitors, and are made by mixing raw ceramic powder with a binder such as a resin and forming it into a sheet. To make a multilayer ceramic capacitor, a plurality of the capacitors are laminated and fired after electrodes are formed on their main surfaces.
ところで、セラミックグリーンシートは、例えハ表面加
工ポリエチレンテレフタレートフイルムの担体フィルム
を回行させておき、これに粘稠なセラミック材料のスラ
リーを供給してドクターブレードにより一定の厚さにな
るようにのばし、乾燥させてシートを担体フィルムから
剥がし取る、いわゆるドクターブレード法によって製造
されたり、あるいは上記回行する担体フィルムに隣接し
て互いに逆回転する２つのロールと、これらロールによ
り絞られて供給されたスラリーを付着させ、この付着し
たスラリーを担体フィルムに転移させる第３のロールを
設けた、いわゆる３本ロールリバースコーターによって
製造される。By the way, ceramic green sheets are produced by rotating a carrier film of surface-treated polyethylene terephthalate film, supplying a viscous slurry of ceramic material to this carrier film, and rolling it out to a constant thickness using a doctor blade. The slurry is produced by the so-called doctor blade method, in which the sheet is dried and peeled off from the carrier film, or the slurry is supplied by two rolls that rotate in opposite directions adjacent to the above-mentioned circulating carrier film, and which are squeezed by these rolls. It is produced by a so-called three-roll reverse coater, which is equipped with a third roll for depositing the slurry and transferring the deposited slurry onto the carrier film.
このようにして製造されたセラミックグリーンシートに
は所定形状の内部電極塗膜が導電ペーストをスクリーン
印刷し、乾燥することにより形成され、セラミックコン
デンサグリーンシートが得られる。An internal electrode coating film having a predetermined shape is formed on the thus produced ceramic green sheet by screen printing a conductive paste and drying it, thereby obtaining a ceramic capacitor green sheet.
このセラミックコンデンサグリーンシートの複数枚が重
ねられ圧着されて、セラミックコンデンサグリーンシー
ト積層体が得られるが、この際、各々のセラミックコン
デンサグリーンシートの内部電極塗膜はセラミックグリ
ーンシートの両側及び一端部を余白にして他端がセラミ
ックグリーンシートの端部に引き出されるように塗布さ
れる。A plurality of these ceramic capacitor green sheets are stacked and crimped to obtain a ceramic capacitor green sheet laminate. At this time, the internal electrode coating of each ceramic capacitor green sheet covers both sides and one end of the ceramic capacitor green sheet. Apply so that the other end is drawn out to the edge of the ceramic green sheet with a blank space.
ついで、セラミックコンデンサグリーンシートは引き出
された内部電極塗膜が左右交互に位置するように積層さ
れ、積層体の左右に引き出された内部電極膜はこれら左
右の面に外部電極膜を形成することにより接続される。Next, the ceramic capacitor green sheets are stacked so that the internal electrode coatings pulled out are positioned alternately on the left and right sides, and the internal electrode coatings pulled out on the left and right sides of the laminate are stacked by forming external electrode coatings on these left and right surfaces. Connected.
このようにして内部電極塗膜にセラミックグリーンシー
トが挟まれ、これが複数繰り返された積層体となり、こ
れが焼成されて積層セラミックコンデンサになる。In this way, the ceramic green sheets are sandwiched between the internal electrode coatings, and this is repeated multiple times to form a laminate, which is fired to form a multilayer ceramic capacitor.
しかしながら、上記のようにして得られたセラミックコ
ンデンサグリーンシート積層体は、内部電極塗膜がその
膜厚骨だけセラミックグリーンシート上に突出して形成
され、セラミックコンデンサグリーンシートは内部電極
塗膜がセラミックグリーンシートを挟み対向されて重ね
られるので、全体としては内部電極膜交叉部分の厚さが
（内部電極の膜厚×積層枚数）分だけセラミックグリー
ンシートのみを積層した場合より厚くなって最も厚く、
ついでセラミックグリーンシートの片面に内部電極膜を
有する左右両端部のエンドマージン部が（内部電極の膜
厚×積層枚数Ｘ １／２）分だけ厚くなり、内部電極の
全く形成されない両側のサイドマージン部がセラミック
グリーンシートのみを積層した厚みとなり最も薄くなる
。However, in the ceramic capacitor green sheet laminate obtained as described above, the internal electrode coating film is formed so as to protrude from the ceramic green sheet by the thickness of the film. Since they are stacked facing each other with the sheets in between, the overall thickness at the intersection of the internal electrode films is thicker than when only ceramic green sheets are stacked by (internal electrode film thickness x number of stacked sheets), and is the thickest.
Next, the end margins at both left and right ends, which have an internal electrode film on one side of the ceramic green sheet, are thickened by (internal electrode film thickness x number of laminated sheets x 1/2), and the side margins on both sides where no internal electrode is formed are formed. is the thickness of only ceramic green sheets laminated and is the thinnest.
このような積層方向に厚みの差があるセラミックコンデ
ンサグリーンシート積層体を焼成して積層コンデンサを
得ても、密度差があることにより焼結むらが生じ、セラ
ミックコンデンサグリーンシートの焼結体間に剥離、す
なわちデラミネーションが生じたり、コンデンサの容量
落ちの原因となることがある。Even if a laminated capacitor is obtained by firing such a ceramic capacitor green sheet laminate having a thickness difference in the stacking direction, uneven sintering will occur due to the density difference, and there will be unevenness between the sintered ceramic capacitor green sheets. This may cause peeling, or delamination, or a decrease in capacitance.
そこで、セラ主ツクコンデンサグリーンシート積層体に
ついて厚みの差を生じさせないように、担体フィルム上
に内部電極塗膜パターンを印刷したのち、その上にセラ
ミックグリーンシートを形成して担体フィルムから剥が
し取る方法も知られている（特開昭５９−２２８７１１
号公報）。しかし、この方法は担体フィルム上に直接内
部電極塗膜パターンを形成するため、担体フィルムから
剥がし取るときに内部電極塗膜に応力が生じ、できあが
った積層コンデンサに上記と同様のデラミネーションや
容量落ちを起こすことがある。Therefore, in order to prevent thickness differences in the ceramic-based capacitor green sheet laminate, a method is used in which an internal electrode coating pattern is printed on a carrier film, a ceramic green sheet is formed thereon, and then the ceramic green sheet is peeled off from the carrier film. is also known (Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-228711)
Publication No.). However, since this method forms the internal electrode coating pattern directly on the carrier film, stress is generated in the internal electrode coating when it is peeled off from the carrier film, resulting in delamination and capacitance loss similar to those described above in the completed multilayer capacitor. may occur.
本発明の目的は、セラｔ７クグリーシートに内部電極塗
膜を設ける設は方を改良し、積層コンデンサにデラ【ネ
ーションや容量魯ちが起こることがないようにすること
にある。An object of the present invention is to improve the method of providing an internal electrode coating film on a Cera T7 Quigley sheet so that delamination and capacitance changes do not occur in multilayer capacitors.
本発明は、上記課題を解決するために、セラミックグリ
ーンシートに内部電極塗膜を形成したセラミックコンデ
ンサグリーンシートを複数枚積層し、この積層体を主要
部に用いて積層セラミックコンデンサを得る積層セラミ
ックコンデンサの製造方法において、上記セラミックコ
ンデンサグリーンシートは互いに重ねられる面のそれぞ
れに凹溝とこれに嵌合する内部電極材料からなる凸部を
有することを特徴とする積層セラ（７クコンデンサの製
造方法を提供するものである。In order to solve the above problems, the present invention laminates a plurality of ceramic capacitor green sheets in which internal electrode coatings are formed on ceramic green sheets, and obtains a multilayer ceramic capacitor by using this laminate as the main part. In the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, the ceramic capacitor green sheet has a concave groove and a convex portion made of an internal electrode material that fits into the concave groove on each of the surfaces overlapped with each other. This is what we provide.
この際、セラミックコンデンサグリーンシートはその一
方の主面に凹溝、他方の主面に内部電極材料からなる凸
部を有する複数のセラミックコンデンサグリーンシート
と、一方の主面にのみ凹溝を有するセラミックコンデン
サグリーンシートと、他方の主面にのみ内部電極材料か
らなる凸部を有するセラミックコンデンサグリーンシー
トからなり、これらのセラミックコンデンサグリーンシ
ートを上記凹溝と凸部を嵌合して隙間なく積層し、かつ
この積層体の両側に複数の表裏平坦なセラミックグリー
ンシートを積層し積層体とする方法も好ましく、また、
セラミックコンデンサグリーンシートの凹溝はこの凹溝
に対応する内部電極材料からなる担体フィルムに対応す
る凸部を有する担体フィルムにセラ尖ツク材料スラリー
を塗布することにより形成し、セラミックコンデンサグ
リーンシートの凸部は平坦面に内部電極材料の塗布によ
り形成することも好ましい。At this time, the ceramic capacitor green sheets are composed of a plurality of ceramic capacitor green sheets each having a groove on one main surface and a convex portion made of internal electrode material on the other main surface, and a ceramic capacitor green sheet having a groove on only one main surface. It consists of a capacitor green sheet and a ceramic capacitor green sheet having a convex part made of an internal electrode material only on the other main surface, and these ceramic capacitor green sheets are stacked without any gaps by fitting the concave groove and the convex part, It is also preferable to laminate a plurality of flat ceramic green sheets on both sides of this laminate to form a laminate.
The concave grooves of the ceramic capacitor green sheet are formed by applying a slurry of the ceramic capacitor material to a carrier film having convex portions corresponding to the convex portions of the internal electrode material corresponding to the concave grooves. It is also preferable that the portion is formed by coating an internal electrode material on a flat surface.
複数のセラミックグリーンシートのそれぞれ別個に又は
同一体に凹部と、これに嵌合する内部電極材料からなる
凸部を設けて各シートを隙間なく積層し、この積層体を
主要部に用いて積層セラ尖ツクコンデンサを得るように
したので、積層されるセラミックコンデンサグリーンシ
ートは内部電極塗膜の凸部が凹溝に嵌合し、重ね合わせ
面に隙間ができず、また、内部電極塗膜に何等の応力も
かからないようにできるので、積層体はその厚さに差が
なく、密度を一様にできる。そのため、その焼成体に焼
結むらを生じることがなく、デラミネーションや容量落
ちを防止することができる。A plurality of ceramic green sheets are individually or in the same body provided with a concave portion and a convex portion made of internal electrode material that fits into the concave portion, and the sheets are laminated without any gaps, and this laminated body is used as the main part to form a laminated ceramic. Since a sharp capacitor is obtained, the convex parts of the internal electrode coating of the laminated ceramic capacitor green sheets fit into the grooves, and there are no gaps between the overlapping surfaces, and there is no damage to the internal electrode coating. Since no stress is applied, the laminate has no difference in thickness and can have a uniform density. Therefore, uneven sintering does not occur in the fired body, and delamination and loss of capacity can be prevented.
次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described based on the drawings.
ポリビニルブチラールをバインダーとしたセラミック材
料のスラリーを作製した。A slurry of ceramic material was prepared using polyvinyl butyral as a binder.
次に、第２図（イ）に示す高さ５μｍ、幅２．６ｎ、間
隔２．Ｏｎの塗工方向の凸条部１ａ、１ａ・・を等間隔
に有するＰＥＴフィルム（最大厚み部分１００μｍ）１
上に、上記スラリーをドクターブレード法により塗工・
乾燥して第２図（ロ）に示す上記高さ、幅に対応する深
さ、幅の凹条溝２ａ、２ａ・・を有するセラミックグリ
ーンシート（最大厚み部分３５μｍ）２を作製する。ま
た、図示省略した別の平坦なＰＥＴフィルム上に上記ス
ラリーを塗工・乾燥して第２図（ハ）に示すセラ”−−
７タグリーンシート３を得た。Next, the height is 5 μm, the width is 2.6 nm, and the interval is 2. PET film (maximum thickness 100 μm) 1 having convex stripes 1a, 1a, etc. at equal intervals in the coating direction of On
On top, apply the above slurry using the doctor blade method.
After drying, a ceramic green sheet 2 (maximum thickness 35 μm) 2 having grooves 2a, 2a, . . . having a depth and width corresponding to the height and width described above as shown in FIG. In addition, the above slurry was coated and dried on another flat PET film (not shown), and the cella shown in FIG.
7 tag green sheet 3 was obtained.
上記セラミックグリーンシート２の凹条溝のある側とは
反対側の面に導電ペースト（内部電極材料〉をスクリー
ン印刷し、第１図に示すように凸条部（高さ５ｐｍ、幅
２．６ ｍｕ）２ｂ 、２ｂ ・・を形成したセラくン
クコンデンサグリーンシート２゛を２０枚作製し、これ
らを上記凹溝部に凸条部を嵌合して隙間なく重ねる。ま
た、上端のセラミックコンデンサグリーンシート２′に
は上記セラミンクグリーンシート２をその凹条溝に凸条
部を嵌合し隙間なく重ねるとともに、下端のセラミック
コンデンサグリーンシート２゛には上記セラミックグリ
ーンシート３に上記と同様に導電ペーストからなる凸条
部２ｂ、 ２ｂ・・を形成したセラミックコンデンサグ
リーンシート３゛を上記と同様に凸条部を凹条溝に嵌合
して重ねる。さらにこの重ね体の上下両側にセラミック
グリーンシート３を各１０枚づつカバーシートとして重
ね、全体を熱圧着する。このようにしてセラミックコン
デンサグリーンシート積層体が得られる。A conductive paste (internal electrode material) is screen printed on the surface of the ceramic green sheet 2 opposite to the side with the grooves, and as shown in FIG. Mu) 2b, 2b, etc. are formed on 20 ceramic capacitor green sheets 2'', and these are overlapped by fitting the convex strips into the above-mentioned concave grooves without any gaps. 2', the above-mentioned ceramic green sheet 2 is overlapped by fitting the convex part into the concave groove, and the ceramic capacitor green sheet 2' at the lower end is covered with conductive paste in the same manner as above on the above-mentioned ceramic green sheet 3. Ceramic capacitor green sheets 3'' having convex stripes 2b, 2b, etc. formed thereon are stacked by fitting the convex strips into the concave grooves in the same manner as described above.Furthermore, ceramic green sheets 3 are stacked on both the upper and lower sides of this stacked body. 10 sheets each were stacked as a cover sheet, and the whole was bonded by thermocompression.In this way, a ceramic capacitor green sheet laminate was obtained.
得られた積層体を個々のチップの大きさにカットし、こ
れを３００℃、１０時間加熱してバインダーを焼失させ
、その後１０００℃で焼威し、更に焼成後の積層体を銀
ペーストに浸漬して乾燥させ、８００℃で焼付け、外部
電極を有する積層コンデンサを得た。The resulting laminate was cut into the size of individual chips, heated at 300°C for 10 hours to burn out the binder, then burned at 1000°C, and the fired laminate was immersed in silver paste. The resulting product was dried and baked at 800° C. to obtain a multilayer capacitor having external electrodes.
この積層コンデンサ１００ケについて、内部電極交叉部
分、サイドマージン部分それぞれの焼結体粒径の測定結
果及びデラくネーションを目視により調べその発生率を
求めた結果を表に示す。For 100 of these multilayer capacitors, the results of measuring the sintered particle size of each of the internal electrode intersection portions and side margin portions and visually inspecting the delamination and determining the occurrence rate are shown in the table.
なお、表には特開昭５９−２２８７１１号公報に記載さ
れた方法により得られた積層コンデンサについて試験し
た結果を比較例として示した。The table shows, as a comparative example, the results of testing a multilayer capacitor obtained by the method described in JP-A-59-228711.
表１
上記はドクターブレード法により塗工したが、リバース
ロールコータ等担体フィルムにグリーンシートを形成で
きる他の方法でも良く、また、内部電極材料の凸条部も
スクリーン印刷に限らず、グリーンシート上に所定形状
でかつ所定厚みの塗膜が形成できるものであれば良い。Table 1 Although the above coating was performed using a doctor blade method, other methods that can form a green sheet on a carrier film such as a reverse roll coater may also be used. Also, the ridges of the internal electrode material are not limited to screen printing; Any material that can form a coating film of a predetermined shape and a predetermined thickness may be used.
なお、上記はＰＵＴフィルムの形状により凹条部を形成
したが、平板のグリーンシートを切削して形成しても良
く、また、グリーンシートの上下面に凸部を形成し、こ
れと重ねられるグリーンシートに凹部を形成し、あるい
はこの逆にしても良い。Note that in the above example, the concave portions were formed by the shape of the PUT film, but they may also be formed by cutting a flat green sheet.Also, convex portions may be formed on the top and bottom surfaces of the green sheet, and the green sheet overlapped with the convex portions may be formed. A recess may be formed in the sheet, or vice versa.
本発明によれば、セラミックグリーンシートに凹部とこ
れに嵌合する内部電極材料の凸部を形成し、各シートを
隙間なく積層できるようにし、内部電極材料の凸部に応
力が生じないようにしたので、この積層体を用い焼成し
て得られた積層セラミックコンデンサは厚みの相違によ
る密度の差がなく、また内部応力もない。そのため、焼
結むらが生しないので、デラミネーションや容量落ちを
防止することができる。According to the present invention, a concave part and a convex part of the internal electrode material that fits into the concave part are formed in the ceramic green sheet, so that each sheet can be stacked without any gaps, and stress is not generated in the convex part of the internal electrode material. Therefore, the laminated ceramic capacitor obtained by firing this laminated body has no difference in density due to difference in thickness, and also has no internal stress. Therefore, since uneven sintering does not occur, delamination and loss of capacity can be prevented.
第１図は本発明の一実施例の積層セラミックコンデンサ
の製造工程を示す図、第２図（イ）はその製造の際用い
る担体フィルムを示す図、同（ロ）はこれを用いて作製
されたセラミックグリーンシートの正面図、同（ハ）は
別の担体フィルムを用いて作製されたセラミックグリー
ンシートの正面図である。
図中、１はＰＥＴフィルム、１ａはＰＥＴフィルムの凸
条部、２．３はセラミックグリーンシート、２ａは凹条
溝、２ｂは凸条部である。
平成２年０１月２６日FIG. 1 is a diagram showing the manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 (a) is a diagram showing a carrier film used in its manufacturing, and FIG. (C) is a front view of a ceramic green sheet produced using another carrier film. In the figure, 1 is a PET film, 1a is a convex strip of the PET film, 2.3 is a ceramic green sheet, 2a is a groove, and 2b is a convex strip. January 26, 1990
Claims (3)
成したセラミックコンデンサグリーンシートを複数枚積
層し、該積層体を主要部に用いて積層セラミックコンデ
ンサを得る積層セラミックコンデンサの製造方法におい
て、上記セラミックコンデンサグリーンシートは互いに
重ねられる面のそれぞれに凹溝とこれに嵌合する内部電
極材料からなる凸部を有することを特徴とする積層セラ
ミックコンデンサの製造方法。(1) A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor in which a multilayer ceramic capacitor is obtained by laminating a plurality of ceramic capacitor green sheets each having an internal electrode coating formed thereon, and using the laminate as the main part, in which the ceramic capacitor green described above is used. A method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, wherein the sheet has a concave groove and a convex portion made of an internal electrode material that fits into the concave groove on each of the surfaces that are overlapped with each other.
方の主面に凹溝、他方の主面に内部電極材料からなる凸
部を有する複数のセラミックコンデンサグリーンシート
と、一方の主面にのみ凹溝を有するセラミックコンデン
サグリーンシートと、他方の主面にのみ内部電極材料か
らなる凸部を有するセラミックコンデンサグリーンシー
トからなり、これらのセラミックコンデンサシートを上
記凹溝と凸部を嵌合して隙間なく積層し、かつこの積層
体の両側に複数の表裏平坦なセラミックグリーンシート
を積層し積層体とすることを特徴とする請求項１記載の
積層セラミックコンデンサの製造方法。(2) Ceramic capacitor green sheets include a plurality of ceramic capacitor green sheets that have grooves on one main surface and convex parts made of internal electrode material on the other main surface, and ceramic capacitor green sheets that have grooves only on one main surface. consisting of a capacitor green sheet and a ceramic capacitor green sheet having a convex portion made of an internal electrode material only on the other main surface, and these ceramic capacitor sheets are stacked without gaps by fitting the concave grooves and the convex portions, and 2. The method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein a plurality of flat ceramic green sheets are laminated on both sides of the laminate to form a laminate.
この凹溝に対応する凸部を有する担体フィルムにセラミ
ック材料スラリーを塗布することにより形成し、セラミ
ックコンデンサグリーンシートの凸部は平坦面に内部電
極材料の塗布により形成することを特徴とする請求項１
又は２記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。(3) The concave grooves of the ceramic capacitor green sheet are formed by applying ceramic material slurry to a carrier film having convex portions corresponding to the concave grooves, and the convex portions of the ceramic capacitor green sheet are formed by applying internal electrode material on the flat surface. Claim 1 characterized in that it is formed by coating.
Or the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to 2.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1490090A JPH03220710A (en) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Manufacture of laminated ceramic capacitor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1490090A JPH03220710A (en) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Manufacture of laminated ceramic capacitor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03220710A true JPH03220710A (en) | 1991-09-27 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP1490090A Pending JPH03220710A (en) | 1990-01-26 | 1990-01-26 | Manufacture of laminated ceramic capacitor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03220710A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011131494A (en) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Denso Corp | Method for manufacturing ceramic substrate |
-
1990
- 1990-01-26 JP JP1490090A patent/JPH03220710A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2011131494A (en) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Denso Corp | Method for manufacturing ceramic substrate |
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