JPH0322224B2 - - Google Patents

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JPH0322224B2
JPH0322224B2 JP58077368A JP7736883A JPH0322224B2 JP H0322224 B2 JPH0322224 B2 JP H0322224B2 JP 58077368 A JP58077368 A JP 58077368A JP 7736883 A JP7736883 A JP 7736883A JP H0322224 B2 JPH0322224 B2 JP H0322224B2
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JP
Japan
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air
surface treatment
region
enclosure
treatment apparatus
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JP58077368A
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JPS58202078A (ja
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Yosefuson Reifu
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ABB Technology FLB AB
Original Assignee
Flaekt AB
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Publication date
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Publication of JPS58202078A publication Critical patent/JPS58202078A/ja
Publication of JPH0322224B2 publication Critical patent/JPH0322224B2/ja
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B16/00—Spray booths
    • B05B16/90—Spray booths comprising conveying means for moving objects or other work to be sprayed in and out of the booth, e.g. through the booth
    • B05B16/95—Spray booths comprising conveying means for moving objects or other work to be sprayed in and out of the booth, e.g. through the booth the objects or other work to be sprayed lying on, or being held above the conveying means, i.e. not hanging from the conveying means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B16/00—Spray booths
    • B05B16/60—Ventilation arrangements specially adapted therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
    • B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
    • B05B13/04—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work the spray heads being moved during spraying operation
    • B05B13/0447—Installation or apparatus for applying liquid or other fluent material to conveyed separate articles
    • B05B13/0452—Installation or apparatus for applying liquid or other fluent material to conveyed separate articles the objects being vehicle components, e.g. vehicle bodies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B14/00—Arrangements for collecting, re-using or eliminating excess spraying material
    • B05B14/40—Arrangements for collecting, re-using or eliminating excess spraying material for use in spray booths
    • B05B14/46—Arrangements for collecting, re-using or eliminating excess spraying material for use in spray booths by washing the air charged with excess material
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S55/00—Gas separation
    • Y10S55/46—Spray booths

Landscapes

  • Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)
  • Separation Of Particles Using Liquids (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は表面処理装置に関するものである。
この明細書において、表面処理装置は、処理さ
れたり或は被覆される1つ以上の物体が連続的に
或は間歇的に細長い囲い内に配置されたり或は該
囲いを通つて運ばれて該囲い内で表面処理された
り或は被覆されたりする装置を意味することが理
解されるべきである。例えば、囲いは、ブラシや
噴霧による液体塗装、この様な手段による別の表
面被覆、粉体塗装や研磨や研削の様な別の作業、
他の予備処理、製品の加熱と冷却を含む後処理等
のための装置を有することができる。
塗装ブースは、車体の様な製品の製造のための
生産ラインの一部をしばしば形成している。完全
に組立てられたり部分的に完成された車体はブー
スの囲い部分を形成する室やトンネル内にコンベ
ヤによつて通常運ばれて、手動または自動的に車
体に塗料を噴霧することによつて所要の色に塗装
される。手動塗装では、ブース内で作業をする適
宜に扮装した作業者が塗装すべき物体に向つて塗
装噴霧装置を向けるもので、ガスや蒸気や噴霧塗
料や霧が噴霧作業のときに放出されるので、健康
に有害である。作業者やブースの有効な作業のた
めの効果的な換気装置が従つて要求される。
また、ブースを通過する異つた製品に異つた色
や明暗を適用できることがしばしば所要される。
従つて、ブース内の1つの噴霧場所から別の噴霧
場所に塗料が吹き流されるのを防止することによ
つて塗料の交叉汚染が防止されるべきである。
健康に害を与えることを避けて噴霧操作の制御
をなす塗装ブースを設けるよう種々のブースをつ
くることが試みられている。従来のブースでは、
多量の空気がブース内に導かれるように天井に空
気入口が設けられている。この空気は床や同様な
ものに設けられた出口を通つてブースから出て、
霧や蒸気や塗料やほこり等は空気によつてブース
から掃気されて空気と一緒に放出される。もし空
気流入量が不十分であると、しばしば不都合な乱
れを生じて、不規則な向きの空気流が発生して霧
や蒸気や塗料やほこり等をブースを通つて運び出
す。乱れを避けるために、空気が比較的高速度で
ブース内に送られる。しかし、例えば車体を塗装
するブースは比較的大きな容積を有することが理
解されよう。この様なブースは例えば長さが20〜
60メートルで、横が5〜6メートルで、高さが3
〜5メートルほどになることがある。換気空気は
例えば19〜23℃の範囲の正常な周囲作業温度にて
供給される。健康上の理由のために、新鮮な外部
空気が換気に普通に使われるので、冬の例えば−
20℃の非常に低い温度の空気は適度な状態に温度
が上げられる。従つて、天井から床にまでブース
全体に亘つて比較的高速高温の空気を必然的に多
量に設けるように多量のエネルギが必要なことが
理解されよう。また、実際からは、ブースを物理
的に仕切ることなく、十分な度合に従来のブース
の異つた部分を換気するようにできない。
この発明の目的は従来技術における欠点を軽減
することにある。
この発明の1つの形態に依れば、囲いに換気用
の空気を供給する装置と、囲いの少なくとも一部
に亘つて延びる少なくとも2つの領域に囲いを仕
切るよう少なくとも1つの空気カーテンを形成す
る装置と、領域から放出される空気および汚染物
質を分離するようできる各領域のための分離装置
とを備え、各領域にて囲いを通過する換気空気は
領域内の汚染物質を搬出し、各領域は例えば一方
の領域が他方の領域よりも激しく汚染されるよう
に異つた特性の汚染をなしている、上述した様な
囲いを有する表面処理装置が提供される。
少なく汚染される領域からの空気の分離装置は
ドライ分離器とすることができる。これは簡単で
効果的で安価な分離器である。
激しく汚染される領域からの空気の分離装置は
ウエツト分離器とすることができる。これは有効
な分離装置である。
両領域における分離装置は離れた領域から出口
に近接できる。これは、2つの分離装置を囲いの
床の下に設けて両分離装置間の協同を許すようで
きる小型な構造を形成している。
囲い内に換気空気を再循環するよう別のドライ
分離器を先の分離器に隣接して設けることができ
る。
各分離装置から出る浄化された空気は表面処理
装置に再循環したり、熱回収装置を通過したり、
或は大気に放出するようにできる。
領域の1つに関連した分離器からの浄化された
空気は別の領域の換気空気として導入するようで
きる。
車体を塗装する塗装ブースの形の表面処理装置
が添付図面を参照して例により以下に詳細に説明
される。
3つの図面の全てを参照するに、これら図面に
は、操業者4により操作される散布機を用いる噴
霧塗装によつて車両、この場合には車体2、が塗
装される囲い3を有した塗装ブース1が示されて
いる。新鮮な換気用空気は、空気入口20にある
フアンやブロウ(詳細は図示しない)を有する新
鮮な空気供給装置5から塗装ブース1に供給され
る。
塗装ブース1は空気供給装置5の下流に圧力室
6を有しており、この圧力室6は中間天井7と、
長手方向に延びていて圧力室6を中央領域と2つ
の横方向の側領域との3つの領域に分ける中間壁
8とを有している。これら3の領域は中間天井7
によつて下領域部分6A,6Bと上領域部分6
A′,6B′に分けられている。上下領域部分6A,
6B,6A′,6B′は下領域部分6A′,6B′に所
要の圧力を得るため流れ制御用の空気分配入口2
4,25,26を介して連通しており、所要の空
気が下領域部分6A,6Bから囲い3内に流れ
る。上領域部分6A′,6B′への流れは分岐導管
21,22,23によつて空気供給装置5から圧
力室6の上領域部分6A′,6B′に達成される。
横の上領域部分6A′に続く分岐導管21,23
内には空気流れ制御用の弁39,42が設けられ
ている。また、中央の分岐導管22内には空気流
れ制御用の弁40が設けられている。これに加
え、弁41を有した戻り空気導管45が中央の上
領域部分6B1に延びている。これに就いては後
に詳しく述べる。弁39,40,41,42の適
宜な調節によつて、横の下領域部分6Aに一定の
入口圧力PAが達成され、中央の下領域部分6B
に別の一定の入口圧力PBが達成される。中間天
井7において、空気分配入口24,25,26に
は更に均等化された空気流れと空気速度が形成さ
れる。一般に、横の下領域部分6A内の圧力PA
は図面に例示される様に中央の下領域部分6Bの
圧力PBよりも低い。
圧力室7は、フイルタの形をなしている天井9
によつて囲い3から隔てられる。圧力室6の中間
壁8に隣接して、圧力室6から流入する空気を受
けてこの空気を流入する空気の速度よりも早い速
度にて囲い3内に向けられ、図示実施例では囲い
3の長手方向に延びていて囲い3の長手方向に亘
つて延びる3つの領域A,B,Cに囲い3を分け
る空気カーテン11を形成するようなす空気ノズ
ル10が設けられている。囲い3の有孔床12の
下には3つの分離器、すなわち領域Aから流出す
る空気流れ用のドライ分離器13と、領域Bから
流出する空気流れ用のウエツト分離器14とがあ
る。ウエツト分離器14は通常の型のもので、水
が傾斜板15の上を中央の溝部16へと流れるも
ので、領域Bにおける空気と液体水を溝部16に
て減合するベンチユリー状の作用を設けて空気か
ら汚れを分離して水に移すようなすものである。
ベンチユリー形の溝部16から流出した混合物は
空気と汚れ含有洗浄水とに分けられ、空気は導管
17を通つて流出され、汚れ含有洗浄水は床30
に流れ落ちる。
装置運転において、領域B内の空気は領域A内
の空気よりも更に汚される。塗装ブース1内にお
いて、領域B内の空気は、図面に大きな矢印で示
される空気ノズル10からの空気カーテン11が
領域Bから領域Aへの汚染物質の横移動を防止す
るので、領域A内の空気よりも塗粒にて更に汚れ
ている。従つて、領域Aから流出する空気は、領
域Bから流出する空気よりも汚されていない。他
の型式の装置では、1つの領域の空気が粒状物質
で大いに汚されて、別の領域の空気がガスや蒸気
汚染物質で激しく汚される。この様な場合、各領
域内の汚染物質を扱うよう適宜な分離器が選ばれ
る。図示の処理装置では、ドライ分離器13は領
域Aからの空気と搬送汚染物質とを分離して、そ
の後に空気は第2,3図に示される様に換気空気
と一緒に塗装ブース1内に再循環させることがで
きる。また、第1図に示される様に空気を大気に
放出することもできる。塗装ブース1に再循環さ
れる空気は第3図に示されるように領域A,Bの
いずれにも附加できるが、第2図に示される実施
例における様に、有害な溶剤を含むことがある場
合には領域A内の操業者に付かないように領域B
だけに再循環される。
領域Bから流出される空気と搬送汚染物質はウ
エツト分離器14で洗浄されるので、空気は浄化
されて、この空気は第1,2図に示される様に分
離導管17によつて大気に排出されるか、第2,
3図に示される様に熱交換装置を通つた後に塗装
ブース1に再循環され、こゝで空気は水により冷
却される14〜15℃の排出温度から約22℃の流入温
度に加熱される。
ウエツト分離器14からの洗浄水は、傾斜した
床30と集水池29のある床下の空所内に集めら
れる。集水池29は放出装置31に接続されてい
て洗浄水を洗浄水分離器32に送り、そこで汚染
物質が抽出されてごみ容器33に捨てられる。浄
化された洗浄水は戻り管34とポンプ35によつ
てウエツト分離器14に再循環される。再循環さ
れた洗浄水は溢流箱27,28に送られ、この溢
流箱27,28から溢れ出てウエツト分離器14
の傾斜板15の上を流れる。この様に、ウエツト
分離器洗浄水を少なくとも一部を閉鎖装置内にて
取扱つてシヤワー装置への汚染水の放出を低減す
るようにできる。
ドライ分離器13はドライ分離器13の室の入
口に単一のフイルタ装置を設けて放出される空気
から汚染物質を除去して導管38を通つて排出す
るようできる。図示される様に、ドライ分離器1
3はウエツト分離器14の両縁に沿つて設けら
れ、ベンチユリー形の溝部16から放出されなか
つた領域Bからの汚染空気を処理するようでき
る。
第3図に示される変形例において、ドライ分離
器13からの排気は圧力室6の上領域部分6A′,
6B′に再循環でき、第2のドライ分離器13′が
塗装ブースの換気入口近くに設けることができ
る。この様な場合に、ドライ分離器13における
分離は不必要で、ドライ分離器13のフイルタ装
置を省略できる。
塗装ブース1の領域A,Bから排出される空気
のエネルギを維持する手段が幾つかあり、第1乃
至第3図はこの手段を達成する幾つかの状態を示
している。第1図に示される実施例では、ウエツ
ト分離器14からの空気は排気装置46により導
管17を通つて流れ、空気出口管47を通つて周
囲大気に通常に排出される。ドライ分離器13か
らの空気は排気装置36の助けをもつて導管38
を通つて排出され、出口管37により周囲の大気
に放出される。出口管37より流出される。出口
管37から出る前の空気は熱および/または湿気
交換器19′を通り、管路45に供給される換気
空気に熱および/湿気を伝達する。横変換導管5
3、空気変換フラツプ弁54、3位置フラツプ弁
55は領域Aおよび/または領域Bからの空気の
出口管37,47の両方またはいずれか一方に選
択的に流すことを可能にしている。
塗装ブース1における別の換気空気が好適には
ドライ分離器13′や調整装置19の様な別の供
給装置18、すなわち熱および/または湿気交換
器19′の一部または連結された空気の加熱およ
び/または冷却装置によつて設けられる。この様
な装置は、塗装ブースや一般の大気を収容する建
造物から出る換気空気を例えば消費するよう適宜
な空気源に接続される空気入口装置51が設けら
れる。建造物からの消費換気空気の利用は、囲い
3内の適切な作動および援助値に再循環空気を調
整するよう実質的なエネルギ入力の必要を軽減す
る。
正確な温度と含有湿度の新鮮な空気と再循環空
気との適切な混合物を有した塗装ブース1を設け
るために、新鮮な空気の空気供給装置5と再循環
空気の供給装置18を制御調整するよう調整装置
52が設けられる。この調整装置52は自動的に
或は操縦室内の制御パネルの様な手動制御装置に
よつて作動できる。第1図のこの調整装置52は
1つ以上の作動装置を普通有しており、流れ制御
用の弁39,40,41,42や空気分配入口2
4,25,26や空気供給装置5,18や排気装
置36,46や空気変換フラツプ弁54,55等
の様な空気供給系の全ての制御手段を作動するよ
うつくることができる。
第2図は、塗装ブース1に空気を再循環するよ
う組合せできる別の型式を示している。空気出口
管37は、空気再循環装置への戻り空気用の分岐
導管43と、空気を再循環したり或は空気を熱お
よび/または湿気交換装置191を介して大気に
放出するように切換えできる空気転換用のフラツ
プ弁50とを有している。また、第2図は、分岐
導管43の上流側で出口管37に接続したり或は
調整装置19またはドライ分離器13に直接に或
は熱および/または湿気交換装置191に個別に
接続される分岐導管48を有した出口管47を設
けるようにできることが示している。分岐導管4
8には出口管47との接続部に空気転換用のフラ
ツプ弁49が設けられていて、空気を空気再循環
系の装置の1つか大気のいずれかに転換するよう
できる。分岐導管48は空気転換用のフラツプ弁
49′や他の手段すなわち調整装置48やドライ
分離器13′や供給装置18等を設けることがで
きる。勿論、フラツプ49,49′,50全てを
中間位置に調整して、空気循環装置や熱および/
または湿気交換装置19に空気の流れの一部だけ
を転換するようにできる。
第3図は、出口管37の代りにブロツクの様な
排気装置36の上方に設けられた戻り空気入口4
4によつて空気再循環装置に領域Aを出た空気の
全てが向けられる空気再循環装置を示している。
ウエツト分離器14すなわち領域Bに接続された
空気用の出口管47には分岐導管48を設け、こ
の分岐導管48を空気再循環装置44に接続し、
空気転換用のフラツプ弁49,49′を設けて第
2図に就いて説明した如く空気流れを制御するよ
うできる。第3図には、戻り空気用の管路45と
制御用の弁41によつて中央の上領域部分6
B′に空気が戻されることが示されている。しか
し、戻り空気用の管路45′は横の上領域部分6
A′に空気を戻す。勿論、この上領域部分6A′に
おける予定の状態は、再循環空気が過剰量の溶剤
の様な有害な成分を含まないことである。
第2,3図に示されるこの発明の実施例は、一
般の周囲状況に対して空気の再循環に適合するよ
う非常に有効な機会を設けている。寒い季節の間
は、再循環装置を通つて塗装ブースにドライ分離
器の空気を室温で戻すことが好都合である。暖か
い季節の間は、ウエツト分離器からの空気を再循
環するのが好適で、これは空気がウエツト分離器
を通るときに露点近くにまで冷却されるためであ
る。ウエツトおよび/またはドライ分離器からの
適宜な空気流の選択による再循環空気の状態の制
御に加えて、再循環される空気の調整装置19と
分離器131および供給装置18における空気の
温度や湿度や速度や圧力や純度等の様な状態が調
整される。
フイルタ式の天井9に適宜な開口や入口を設け
ることによつて空気カーテン11を形成できるこ
とが理解されよう。しかし、空気ノズル10は、
所要される様に空気カーテンの位置や領域Bの寸
法または容積を調節するように空気ノズルを動か
したり位置を変えたりできるために好適である。
また、2つの領域Aと1つの領域Bに就いて説
明したが、所要されるだけの数の領域を設け、異
つた特性または型の汚れをもつ領域Aと領域Bを
形成して、例えば一方の領域が他方の領域よりも
ひどく汚れているようにすることができる。図示
される様に空気カーテン11によつて長手方向に
塗料噴霧用の囲いを仕切ることに加えて、塗料噴
霧囲いを横方向の空気カーテンによつて同様な具
合に仕切つて、塗装ブースにおける異つた作業を
区別すると共にほこりや余分な塗料の横方向への
汚染物質の移動を避けて、製品の間違つた色塗装
や異つた操作での処理を防止するようできる。
いずれの実施例にても、もし塗装ブースに再循
環されるならば、領域Aを出てドライ分離器1
3,13′を通過する空気を再加熱する必要がな
い。これはドライ分離器が塗装ブースを出た空気
を冷却せずに、塗装ブースの必要な周囲温度に維
持されているためである。これは設備費用とエネ
ルギの節約の因となり、従つて技術的な利点をな
すものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は換気制御装置の一実施例を有する処理
装置を示す概略断面図、第2図は2つの異つた領
域の1つまたは両方からの空気の選択的加熱およ
び/または湿気再循環を可能にする制御装置の別
の実施例を有する処理装置の概略断面図、第3図
は一方の領域または他方の領域からの空気の選択
的再循環ができる制御装置の他の実施例を有する
処理装置の断面概要図である。図中、1:塗装ブ
ース、3:囲い、5:空気供給装置、6:圧力
室、7:中間天井、8:中間壁、9:天井、1
0:空気ノズル、11:空気カーテン、13,1
3′ドライ分離器、14,14′:ウエツト分離
器、15:傾斜板、16:溝部、18:供給装
置、19,52:調整装置、24,25,26:
空気分配入口、27,28:溢流箱、29:集水
池、35:ポンプ、36,46:排気装置、3
7,47:出口管、39,40,41:弁、4
3,48:分岐導管、49,50:フラツプ弁。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 表面処理が行われる囲いを有した表面処理装
    置において、囲いに換気用の空気を供給する装
    置、囲いの少なくとも一部に亙つて延びる少なく
    とも2つの個別の領域に囲いを仕切るよう少なく
    とも1つの空気カーテンを形成する装置、該領域
    から放出される空気および汚染物質を分離すべく
    各領域より放出された換気空気の個別の分離装置
    を備え、1つの領域の空気が他の領域の空気と異
    なつて汚染され、換気空気は囲いの各領域を通つ
    て流れて各領域の汚染物質を搬送し且つ該領域か
    ら放出されるようになつた表面処理装置。 2 各領域からの汚染物質搬送空気は各領域の出
    口を通つて放出され、各領域の分離装置は各領域
    から出口に近接している特許請求の範囲第1項記
    載の表面処理装置。 3 1つの領域が他の領域よりも汚染が少なく、
    該1つの領域の分離装置がドライ分離器である特
    許請求の範囲第1項記載の表面処理装置。 4 ドライ分離器は囲いに換気空気を供給するよ
    う分離装置に隣接して設けられる特許請求の範囲
    第3項記載の表面処理装置。 5 1つの領域から換気空気供給装置に空気を選
    択的に向ける弁装置を有した特許請求の範囲第3
    項記載の表面処理装置。 6 ドライ分離器より放出された空気から換気空
    気に湿気および熱の少なくとも1つを伝達する装
    置を有した特許請求の範囲第3項記載の表面処理
    装置。 7 一方の領域が他方の領域よりも汚染が少な
    く、該他方の領域の分離装置がウエツト分離器で
    ある特許請求の範囲第1項記載の表面処理装置。 8 ウエツト分離器から換気空気供給装置に放出
    される空気を再循環する装置を有した特許請求の
    範囲第7項記載の表面処理装置。 9 ウエツト分離器は該他方の領域から放出され
    る換気空気より汚染物質を除去するよう洗浄液を
    用い、洗浄液を集めると共に除去された汚染物質
    を分離し且つ浄化された洗浄液をウエツト分離器
    に再循環する装置を備えた特許請求の範囲第7項
    記載の表面処理装置。 10 囲いは圧力室を形成するよう囲いを被う天
    井を有し、圧力室は空気カーテンと重なる位置に
    ある仕切装置と、換気空気供給装置から分離され
    た領域内に空気を換気すべく個別の入口通路を設
    けるよう天井を貫通する開口とを有している特許
    請求の範囲第1項記載の表面処理装置。 11 空気カーテンを形成するよう囲い内の天井
    に接続し且つ仕切装置と重なつて位置されたノズ
    ル装置を有する特許請求の範囲第10項記載の表
    面処理装置。 12 一方の領域から放出された空気を他方の領
    域の入口通路に向ける導管装置を有し、一方の領
    域の分離装置が該導管装置に設けられた特許請求
    の範囲第10項記載の表面処理装置。 13 空気流れと空気速度を制御するよう各入口
    通路内の空気分配器を有した特許請求の範囲第1
    0項記載の表面処理装置。 14 換気空気供給装置は、新鮮な空気を供給す
    る装置と、再循環される空気を供給する装置と、
    各入口通路内の新鮮な空気と再循環される空気の
    割合を調整するよう弁装置とを備えた特許請求の
    範囲第10項記載の表面処理装置。
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