JPH03222452A - カセット収納方法および多数カセットの処理設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ウェハを複数枚収納したカセットの収納方
法、および多数カセットの処理設備に関するものである
。

〔従来の技術〕

第９図はウェハ（１）を示す平面図、第１０図はカセッ
ト（２）を示す斜視図であり、ウェハ（１）はカセット
（２）に２４枚または２５枚が間隔をあけて平行に収納
され、これを１０ツトの単位にして各処理工程にかけら
れる。従来のウェハ製造ラインのレイアウトを第１１図
に示す。図中（３）から（力は処理設備（以下モジュー
ルという）で、（３）はウェット処理モジュー７＋＜、
（４）は拡散モジュール、（５）はイオン注入モジュー
ル、（６）は写真製版モジュール、（７）はエツチング
モジュールであり、（８）は処理装置である。

従来のウェハ製造ラインにおいて、ウェハ（１）は上記
各モジュール（３）〜（７）閥及び処理装置（８）間を
数回ないし士数回繰り返し往来して処理される。しかも
、前記カセット（２）の単位で処理されるロットは、他
のロットとは各々異なる処理工程であるため同じ処理モ
ジュール（３）〜（７八処理装置（８）で処理された多
数のロフトは、次工程の処理モジュール（３）〜（７）
、処理装置（８）が同じであるとは限らない。このため
、各ロフトに応じて作業員が次の行ミ先を判断し、それ
ぞれの次工程に人手で運搬し、次工程の処理モジュール
（３）〜（力、処理装置（８）付近にランダムに保管し
、処理袋ｆｆ１ｉ　（８３に任意に投入していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハ製造ラインは以上の様に行なわれていたの
で、カセット（２）の行き光指示、運搬作業及び各々の
処理モジュールでの作業は、−工場単位では膨大な作業
量となす、種々の不具合を生じてきた。

例えば、作業員による作業ミス、作業むら、ある処理モ
ジエール内での処理完了から次工程処理モジュールへの
送りだしまでの時間ずれが生じることによる仕係り数の
増大、これによる工期の遅延、人手の取扱によるウエノ
１の汚染、ロットは多数ありそれぞれ複雑な処理工程を
要し工程管理が困難であるなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、カセットの仕損や仕係り数を減少し、効率の
良い工程管理をして処理装置の稼働率の向上が図れるカ
セット収納方法および多数カセットの処理設備を得るこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明によるカセット収納方法は、カセットを一時収
納し待機しておくための多数の計部を有する収納庫を設
け、カセットは収納庫への収納の前後には番号読み取り
装置により識別番号が読みとられて確認され、次工程の
処理装置及び処理条件、次工程の処理設備別に所定の計
部へ収納、計部から取り出され次工程の処理装置、処理
設備へ配送されて処理され、カセットの受渡し搬送は移
送装置により自動的に行ない、番号読み取り装置、移送
装置および処理装置の制御と、各カセットの処理工程管
理をコンビ二一夕による制御装置により行なう処理設備
と複数の処理設備と処理設備から処理設備への搬送を行
なう搬送装置の制御と各処理設備の制御装置の統括制御
を工場管理コンピュータにより行なうものである。

〔作　用〕

この発明においては、複数のカセットの識別番号を読み
取り工場管理コンビエータにより、自動的に次工程の処
理装置及び処理装置の処理条件別、あるいは次工程の処
理設備別に収納庫の棚に分類して収納するため、次工程
に搬送移送する際に効率のよい工程管理ができ、処理装
置の仕係りを減少し処理装置の稼働率が向上する。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は処理モジュールを示す平面図であり、図中（９）は
カセットに施された識別番号を読みとる番号読み取り装
置、（１０）は識別番号が読みとられたカセットを一時
保管し次工程に対し【待機させ゛る収納庫、（ｌｌａ、
ｂ、ｅ）は処理装置、（１２）は番号読み取り装置（９
）からカセットを受取り収納庫（１０）に収納しまた収
納庫（１０）のカセットを取り出し番号読み取り装置（
９）にかけ番号を確認させ番号読み取り装置（９）より
処理装置（１１ａ　＋　ｂ　＋　’　）にカセットを投
入し処理完了後処理袋［（ｌｌａ。

ｂ　、　ｃ）より受取り番号読み取り装置（９）にかけ
再び収納庫（１０）に収納する移送装置、（１３）は処
理完了したカセットを次工程行き先モジュールへ搬送す
る搬送装置、（１４）は番号読み取り装置（９）収納庫
（１０）処理装置（１１ａ　。

ｂ　、　ｃ）移送装置（１２）を制御しかつ各カセット
の識別番号を登録して工程管理をする制御装置である。

第２図〜第６図はそれぞれ番号読み取り装置（９）、収
納庫（１０）　、処理装置（ｌｌａ、ｂ、ｃ）、移送装
置（１２）　、搬送装置（１３）を示す斜視図である。

第７図は収納庫（１０）の正面図である。図中（１０ａ
、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ）は棚を示し、（１０ｆ、ｇ、ｈ）は
棚（１０ａ　、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ）内に設けられた複数の
升部を示す。

第８図はこの発明のウェハ製造ラインのレイアウトであ
り、（４）〜（８）は従来のラインと同様で（１５）は
複数のモジュールを統括制御する工場統括コンピュータ
を示す。

搬送車（１３）によりカセット（２）が複数個番号読み
取り装置（９）に搬送される。ついで、番号読み取り装
置（９）によりカセット（２）に施された識別番号を睨
み取り制御装置（１４）の指令に基づいて移送装置（１
２）により次工程の処理が処理装置（１１ａ　、　ｂ　
、　ｃ）のどの装置で行なわれるかによって、あるいは
同一の処理装置（１１ａ　＋　ｂ　ｓ　ｃ）であっても
処理条件の違いによって収納する収納庫（１０）の棚（
１０ａ。

ｂ　、　ｅ　、　ｄ　、　ｅ）の升部（１０ｆ、ｇ）に
分類して収納する。また、収納庫（１０）に処理装置及
び処理装置の処理条件別に収納されたカセット（２）は
制御装置（１４）の指令に基づいて、収納された棚（１
０ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ）単位で、移送装置（１２）によ
り処理装置（ｌｌａ。

ｂ、ｃ）に投入される。処理装置（ｌｌａ、ｂ。

Ｃ）での処理が完了すると、制御装置（１４）の指令に
基づいて、移送装置（１２）により番号読み取り装置（
９）にかけ番号を確認させ、同一モジュー／Ｌ／　（３
１〜（７）内で処理を行なうカセット（２）は、上記と
同様に処理装置（１ｘａ＋ｂ＋ｃ）及び処理装置（１ｘ
ａ＋ｂ＋ｃ）の処理条件別に制御装置ｉ　（１４）の指
令に基づいて、移送装置（１２）により収納Ｊｉｉ［（
１０）の棚（１０ａ＊ｂ　、　ｃ　、　ｄ　、　ｅ）の
升部（１０ｆ、ｇ）に収納する。同一モジュー）Ｌ／（
３３〜（刀内での処理が完了したカセット（２）は制御
装置（１４）の指令に基づいて、移送装置（１２）によ
り次工程行き先モジュール別に収納庫（１０）の棚（１
０ａ。

ｂ　、　ｃ　、　ｄ　、　ｅ）に分類して収納する。つ
いで、上記カセット（２）は制御装置（１４）の指令に
基づいて、移送装置（１２）により棚（１０ａ。

ｂ　、　ｃ　、　ｄ　、　ｅ）単位で番号読み取り装置
（９）にかけ識別番号を確認後、工場統括コンピュータ
（１５）の指令により、搬送装置（１３）により次工程
行き先モジュール（３）〜（７）の番号読み取り装ｗ１
．（９１に搬送する。

なお、この発明においてはウェハ製造ラインについての
ものを説明したが、他の製品の製造ラインであっても良
く上記実施例と同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によればカセットを一時収納し
待機しておくための多数の升部を有する収納庫を設け、
カセットは収納庫への収納の前後には番号読み取り装置
によりｍ別番号が読みとられて確認され、次工程の処理
装置及び処理条件、次工程の処理モジュール別に所定の
升部へ収納、升部から取り出され次工程の処理装置、処
理モジュールへ配送されて処理され、カセットの受渡し
搬送は移送装置により自動的に行ない、番号読み取り装
置、移送装置および処理装置の制御と、各カセットの処
理工程管理をコンビエータによる制御装置により行なう
処環モジュールと複数の処理モジュールと処理モジュー
ルから処理モジュールへの搬送を行なう搬送装置の制御
と各処理モジュールの制御装置の統括制御を工場管理コ
ンピュータにより行なうようにしたため、カセットの仕
損や仕係り数を減少し、効率のよい工程管理をし処理装
置の稼働率向上が図れるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は処理設備を示す平面図、第２図は番号読み取り
装置を示す斜視図、第３図は収納庫の斜視図、第４図は
処理装置の斜視図、第５図は移送装置の斜視図、第６図
は搬送装置の斜視モジュール、（力はエツチングモジュ
ール、（８）は処理装置、（９）は番号読み取り装置、
（１０）は収納庫、（１０ａ、ｂ、ｅ、ｄ、ｅ）は棚、
（１０ｆ　、　ｇ）は升部、（ｔｔａ＋ｂ＋Ｃ）は処理
装置、（１２）は移送装置、（１３）は搬送装置、（１
４）は制御装置、（１５）は工場管理コンピュータを示
す。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハが複数枚収納されたカセットに施された識
   別番号を読みとる番号読み取り装置、複数の棚に仕切ら
   れた多数の升部が設けられかつ識別番号が読みとられた
   前記カセットを所定の升部に一時収納し次工程に対し待
   機させる収納庫、前記番号読み取り装置から前記カセッ
   トを受け取り前記収納庫の升部に収納しまた前記升部の
   カセットを取り出し前記番号読み取り装置にかけ識別番
   号を確認させるための移送装置、制御指令によつて処理
   条件が設定されるようにしてありそれぞれ前記升部から
   取り出され識別番号が確認されたカセットを処理加工す
   る複数種の処理装置、前記カセットを前記番号読み取り
   装置から受取り次工程の前記処理装置に渡しまた処理が
   関連する処理装置間では前記カセットを受渡しその工程
   の処理が終わつたカセットを前記番号読み取り装置側に
   渡して識別番号が確認されるようにする移送装置、およ
   びコンピュータを有し前記各処理装置と番号読み取り装
   置と移送装置とを制御しかつ前記各カセットの識別番号
   を登録して工程管理をする制御装置を備えた複数の多数
   カセットの処理設備、 この複数の処理設備間を往来してカセットを受渡し、搬
   送する搬送装置、 および前記複数の処理設備と前記搬送装置を統括制御す
   る工場管理コンピュータを備え、識別番号が読みとられ
   たカセットを前記制御装置の指令に基づいて次工程の処
   理装置及び処理装置の処理条件別に分類して前記収納庫
   の同一の棚の升部に収納することを特徴とするカセット
   収納方法。
2. （２）請求項（１）記載のカセット収納方法において備
   えた多数カセットの処理設備。