JPH0322331A - X-ray tubular bulb - Google Patents
X-ray tubular bulbInfo
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- JPH0322331A JPH0322331A JP15911289A JP15911289A JPH0322331A JP H0322331 A JPH0322331 A JP H0322331A JP 15911289 A JP15911289 A JP 15911289A JP 15911289 A JP15911289 A JP 15911289A JP H0322331 A JPH0322331 A JP H0322331A
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
《産業上の利用分野〉
この発明は、Ｘ線分析等に用いるＸ線を発生させるため
のＸ線管球の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <<Industrial Application Field>> The present invention relates to an improvement of an X-ray tube for generating X-rays used for X-ray analysis and the like.
く従来の技術および解決しようとする課題〉従来のＸ線
管球（Ｂ）は、第２図に示すように、真空室（２０〉内
に、電子線を発生するフィラメント（２ｌ）と、金属タ
ーゲット（２２〉が対向状態に設けられているものであ
る。上記Ｘ線管球（Ｂ）では、上記フィラメント（２１
）で発生した電子線が、上記金属ターゲット（２２）に
照射され、当該金属ターゲッ｝ （２２）から特性Ｘ線
（固有Ｘ線）が発生する。Prior Art and Problems to be Solved> As shown in Figure 2, a conventional X-ray tube (B) has a filament (2l) that generates an electron beam and a metal tube in a vacuum chamber (20). The target (22) is provided in a facing state. In the X-ray tube (B), the filament (21)
) is irradiated onto the metal target (22), and characteristic X-rays (specific X-rays) are generated from the metal target (22).
しかし、上記金属ターゲット（２２）が固定されている
ため、金属ターゲット（２２）の特定の部位のみに電子
線が照射される。このため、電子線が照射される部分が
汚れて性能が劣化した場合は、Ｘ線管球全体を交換しな
ければならず、不経済であるという問題があった。However, since the metal target (22) is fixed, only a specific portion of the metal target (22) is irradiated with the electron beam. Therefore, if the part to which the electron beam is irradiated becomes dirty and the performance deteriorates, the entire X-ray tube must be replaced, which is uneconomical.
また、上記Ｘ線管球（Ｂ）は１種類の金属ターゲット（
２２） ｔ，か有さないため、１種類の特性Ｘ線しか発
生することができない。このため、異なる種類の特性Ｘ
線を発生させる必要がある場合は、異なる種類の金属タ
ーゲット（２２）を有するＸ線管球（Ｂ）と交換しなけ
ればならず、その手間が面倒であるという問題があった
。In addition, the above X-ray tube (B) has one type of metal target (
22) Only one type of characteristic X-ray can be generated because it does not have t. For this reason, different kinds of properties X
When it is necessary to generate rays, the X-ray tube (B) must be replaced with an X-ray tube (B) having a different type of metal target (22), which is a problem.
この発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、タ
ーゲットの性能が劣化した場合にも、引き続き使用する
ことができるＸ線管球を提供することを目的とする。ま
た、一つのターゲットで複数の種類の特性Ｘ線を発生さ
せることができるＸ線管球を提供することを目的とする
。The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide an X-ray tube that can be used continuously even when the performance of the target has deteriorated. Another object of the present invention is to provide an X-ray tube that can generate a plurality of types of characteristic X-rays with one target.
く課題を解決するための手段〉
上記問題を解決するためのこの発明のＸ線管球は、上記
ターゲットが、可動状態に設けられていると共に、真空
室に固定され且つ電子線照射位置と対応する部分に開口
部を有するマスクにより被覆されており、真空室の外部
に上記ターゲットを回動または移動するための磁石が配
置されていることを特徴とする。Means for Solving the Problems> In order to solve the above problems, the X-ray tube of the present invention is provided with the target being movable, fixed in a vacuum chamber, and corresponding to the electron beam irradiation position. The vacuum chamber is covered with a mask having an opening in the target area, and a magnet for rotating or moving the target is disposed outside the vacuum chamber.
また、上記ターゲットとしては、複数の金属を配列した
ものでもよい。Furthermore, the target may be one in which a plurality of metals are arranged.
く作用〉
上記構成のＸ線管球によれば、ターゲットを、真空室外
に設けられた磁石の移動にともなって回動または移動操
作することができる。このため、ターゲットの電子線照
射位置が汚れて性能が劣化しても、上記磁石を操動し、
ターゲットを回転または移動させることにより、電子線
照射位置を変更し、初期の性能を回復することができる
。Effects> According to the X-ray tube configured as described above, the target can be rotated or moved in accordance with the movement of the magnet provided outside the vacuum chamber. Therefore, even if the electron beam irradiation position on the target becomes dirty and performance deteriorates, the magnet can be operated and
By rotating or moving the target, the electron beam irradiation position can be changed and the initial performance can be restored.
また、ターゲットが、複数種の金属を配列したものであ
る上記Ｘ線管球であれば、ターゲットを回転または移動
させることによりマスクの開口部から複数種の金属を選
択的に露出させることにより、異なる種類の特性Ｘ線を
発生させることができる。In addition, if the target is the above-mentioned X-ray tube in which multiple types of metals are arranged, the multiple types of metals may be selectively exposed from the opening of the mask by rotating or moving the target. Different types of characteristic X-rays can be generated.
く実施例〉
次いで、この発明の実施例について図を参照しながら以
下に説明する。Embodiments Next, embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図は、この発明に係るＸ線管球（Ａ）の一実施例を
示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an X-ray tube (A) according to the present invention.
上記Ｘ線管球（Ａ）は、ガラス管（１）、金属壁（２）
及びフランジ部（３）によって形成される真空室（５）
に、電子線を放射するフィラメント（８）、電子線を制
御するウエーネルト（７）及び電子線の照射によってＸ
線を放射するターゲット００）が設けられているもので
ある。上記真空室（５）の内部は１０−６ｍｍＨｇ以上
の真空に設定されている。上記金属壁（２）の四方には
、Ｘ線をＸ線管球（＾〉外に取り出すための放射窓（４
）が設けられている。この放射窓（４）は、Ｘ線の透過
率がよいベリリウム金属によって形戊されている。The above X-ray tube (A) consists of a glass tube (1) and a metal wall (2).
and a vacuum chamber (5) formed by the flange portion (3).
The filament (8) that emits an electron beam, the Wehnelt (7) that controls the electron beam, and the
A target 00) that emits radiation is provided. The inside of the vacuum chamber (5) is set to a vacuum of 10 −6 mmHg or more. On all sides of the metal wall (2), there are radiation windows (4
) is provided. This emission window (4) is made of beryllium metal, which has good X-ray transmittance.
上記フランジ部（３）には、環状の永久磁石（ｌ１）が
回動可能に設けられている。この磁石（１１）の外周は
、回動操作できるようにフランジ部（３）の外周がら突
出している。An annular permanent magnet (l1) is rotatably provided on the flange portion (3). The outer periphery of this magnet (11) protrudes from the outer periphery of the flange portion (3) so that it can be rotated.
上記ターゲット００）は、電子線の照射によりＸ線を放
射する鉄等の磁性体からなる。このターゲット００）は
、真空室（５）の底面（５ｌ〉に回動自在に載置されて
いると共に、上記磁石（ｌ１〉の磁力により当該磁石（
ｌ１）側に引き付けられており、磁石（ｔｉ）の回動操
作によって回動することができる。The target 00) is made of a magnetic material such as iron that emits X-rays when irradiated with an electron beam. This target 00) is rotatably placed on the bottom surface (5l) of the vacuum chamber (5), and is also rotated by the magnetic force of the magnet (l1).
It is attracted to the l1) side and can be rotated by rotating the magnet (ti).
また、ターゲット００）の回動中心は、電子線照射位置
の中心とずらしてある。さらに、ターゲット００）は、
電子線照射位置と対応する部分に開口部（１２ａ）を有
し、真空室（５）の底部（５ｌ）に固定されているマス
ク（１２）により被覆されている。なお、上記開口部（
１２ａ）の大きさは、Ｘ線の焦点サイズ以上のものであ
る。Further, the center of rotation of the target 00) is shifted from the center of the electron beam irradiation position. Furthermore, target 00) is
It has an opening (12a) at a portion corresponding to the electron beam irradiation position and is covered with a mask (12) fixed to the bottom (5l) of the vacuum chamber (5). In addition, the above opening (
The size of 12a) is larger than the X-ray focal spot size.
また、上記フランジ部（３）内には、上記ターゲット０
０）を冷却するための冷却水路（６）が設けられている
。In addition, the target 0 is provided in the flange portion (3).
0) is provided.
上記構造のＸ線管球（Ａ）であれば、フィラメント（８
）が加熱されると熱電子が放出される。放出された熱電
子は、上記ウエーネルト（７）でその流れの方向を制御
され、フィラメント（８）とターゲット００）との間に
加えられた高電圧で加速され、ターゲッ｝ （１０）に
衝突する。ターゲット００）に衝突した電子は、その運
動エネルギーをターゲット００）に与え、該運動エネル
ギーの一部はｘｌとしてターゲット００）より放射され
る。ターゲット００）より放射されたＸ線は、上記放射
窓（４）より、Ｘ線管球（Ａ）外に放射される。その際
、上記冷却水路（６）に冷却水を流すことにより、ター
ゲット００）の加熱を防ぐことができる。If the X-ray tube (A) has the above structure, the filament (8
) is heated, thermionic electrons are released. The direction of the emitted thermoelectrons is controlled by the Wehnelt (7), accelerated by the high voltage applied between the filament (8) and the target (00), and collides with the target (10). . The electrons that collide with the target 00) give their kinetic energy to the target 00), and a part of the kinetic energy is emitted from the target 00) as xl. X-rays emitted from the target 00) are emitted outside the X-ray tube (A) through the radiation window (4). At that time, heating of the target 00) can be prevented by flowing cooling water into the cooling water channel (6).
そして、上記ターゲット００）が劣化した場合には、磁
石（１１）を回転させることにより、マスク（ｌ２）に
より被覆されていた部分を、開口部（１２ａ）を通して
露出させて、初期の性能を回復させることができる。If the target 00) deteriorates, the magnet (11) is rotated to expose the part covered by the mask (l2) through the opening (12a) and restore the initial performance. can be done.
この発明のＸ線管球（Ａ）は、上記実施例に限定される
ものではなく、例えば、ターゲット００）を銅、ニッケ
ル等の非磁性体で形成することも可能である。この場合
、該ターゲット００）に適当な磁性体を付加することに
より、ターゲット００）を磁石（１１）の回動にともな
って回動操作できるものとする。The X-ray tube (A) of the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments; for example, the target 00) may be made of a non-magnetic material such as copper or nickel. In this case, by adding an appropriate magnetic material to the target 00), the target 00) can be rotated as the magnet (11) rotates.
さらに、ターゲット００）としては、回動中心の回りに
、電子線を照射することによりＸ線を発生する複数種の
金属を配列したものであってもよく、この場合には、磁
石（１ｌ〉を回転させて、各金属を開口部（１２ａ）を
通して選択的に露出させることにより、異なった種類の
特性Ｘ線を発生させることができる。Furthermore, the target 00) may be one in which multiple types of metals that generate X-rays when irradiated with electron beams are arranged around the center of rotation. By rotating the metal to selectively expose each metal through the opening (12a), different types of characteristic X-rays can be generated.
また、上記実施例では、ターゲット００）を回動させる
ことにより、電子線照射位置を変更するＸ線管球（Ａ）
を示したが、ターゲット００）を左右方向や前後方向等
の所定の方向に移動させることにより、電子線魚射位置
を変更するものでもよい。In addition, in the above embodiment, the X-ray tube (A) changes the electron beam irradiation position by rotating the target 00).
However, the electron beam shooting position may be changed by moving the target 00) in a predetermined direction such as the left-right direction or the front-back direction.
く７効果〉
以上のように、この発明のＸ線管球によれば、夕−ゲッ
トを真空室外に設けられた磁石により回動または移動す
ることができるので、性能が劣化した場合でも、電子線
の照射位置を変えることにより、引き続き使用すること
ができ、経済的である。7 Effects> As described above, according to the X-ray tube of the present invention, the target can be rotated or moved by the magnet provided outside the vacuum chamber, so even if the performance deteriorates, the electron By changing the irradiation position of the wire, it can be used continuously and is economical.
また、ターゲットが、複数種の金属を配列したものであ
る上記Ｘ線管球であれば、各金属を開口部を通して選択
的に露出させることにより、ｙコなる種類の特性Ｘ線を
Ｘ線管球を交換することなく得ることができるという特
有の効果を奏する。In addition, if the target is the above-mentioned X-ray tube in which multiple types of metals are arranged, by selectively exposing each metal through the opening, y types of characteristic X-rays can be transmitted to the X-ray tube. It has the unique effect of being able to be obtained without replacing the ball.
第１図は、この発明に係るＸ線管球を示す断面図であり
、第２図は、従来のＸ線管球を示す断面図である。
（Ａ）・・・Ｘ線管球、（５）・・・真空室、（８）・
・・フィラメント、ＯＯ）・・・ターゲット、（１１）
・・・磁石、（１２）・・・マスク。FIG. 1 is a sectional view showing an X-ray tube according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing a conventional X-ray tube. (A)...X-ray tube, (5)...vacuum chamber, (8)...
...Filament, OO)...Target, (11)
...Magnet, (12)...Mask.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15911289A JPH0322331A (en) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | X-ray tubular bulb |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15911289A JPH0322331A (en) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | X-ray tubular bulb |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0322331A true JPH0322331A (en) | 1991-01-30 |
Family
ID=15686507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15911289A Pending JPH0322331A (en) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | X-ray tubular bulb |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322331A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7206381B2 (en) | 2003-01-10 | 2007-04-17 | Toshiba Electron Tube & Devices Co., Ltd. | X-ray equipment |
| JP2007525807A (en) * | 2004-02-26 | 2007-09-06 | オスミック、インコーポレイテッド | X-ray source |
| JP2008047442A (en) * | 2006-08-17 | 2008-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mounting structure of operation key unit and electronic device provided with operation key unit configured using the same |
| US11721515B2 (en) | 2021-01-22 | 2023-08-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray module |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP15911289A patent/JPH0322331A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7206381B2 (en) | 2003-01-10 | 2007-04-17 | Toshiba Electron Tube & Devices Co., Ltd. | X-ray equipment |
| JP2007525807A (en) * | 2004-02-26 | 2007-09-06 | オスミック、インコーポレイテッド | X-ray source |
| JP2008047442A (en) * | 2006-08-17 | 2008-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Mounting structure of operation key unit and electronic device provided with operation key unit configured using the same |
| US11721515B2 (en) | 2021-01-22 | 2023-08-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray module |
| US12154752B2 (en) | 2021-01-22 | 2024-11-26 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray module |
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