JPH03225269A - 酸素感知方法およびその装置 - Google Patents

酸素感知方法およびその装置

Info

Publication number
JPH03225269A
JPH03225269A JP2244127A JP24412790A JPH03225269A JP H03225269 A JPH03225269 A JP H03225269A JP 2244127 A JP2244127 A JP 2244127A JP 24412790 A JP24412790 A JP 24412790A JP H03225269 A JPH03225269 A JP H03225269A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
thermistor
magnetic wind
generating
oxygen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2244127A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2947904B2 (ja
Inventor
Emilio Meyer
エミリオ・マイアー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panametrics LLC
Original Assignee
Panametrics LLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panametrics LLC filed Critical Panametrics LLC
Publication of JPH03225269A publication Critical patent/JPH03225269A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2947904B2 publication Critical patent/JP2947904B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/72Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
    • G01N27/74Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables of fluids

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、−船釣には、酸素感知方法とその装置に関し
、更に詳しくは、磁気手段によって混合ガスにおける酸
素濃度を測定する装置と方法に関する。
[従来の技術] 混合ガスにおける酸素濃度の正確な測定は、多くの工業
上、臨床上、そして実験室でのプロセスにおいて重要で
あり、それ故に、酸素濃度を測定するための種々の装置
が提案あるいは開発された。酸素はその分子が磁界の最
も強い部分を指向するという点で常磁性体であることが
長い間認められていた。対照的に、他のほとんどのガス
はそれらの分子が磁界の最も弱い場所を指向するという
点で逆磁性体である。広く認識された酸素の常磁性の特
性は、磁気感知装置によって混合ガスにおける酸素濃度
を測定する装置と方法に関する多くの研究を刺激するも
のであった。
詳述すると、物質が磁界の強さHの中に置かれた場合、
磁気誘導度は下式Bで与えられる。すなわち、 B=H+4π ζ 式(1) ここで、数値ζ(Zeta)は磁化の強さであり、ζ/
H=に 式(2) は、単位体積あたりの磁化率である。
一般に、逆磁性物質の全体の質量磁化率は温度と磁界の
強さに依存しない。しかしながら、常磁性体物質の磁化
率は、絶対温度に反比例し、磁界の強さには依存しない
、その密度も温度に反比例するので、体積あたりの磁化
率は温度の2乗に反比例する。
電界中の無極性分子によって発生する誘導電気モーメン
トに類似して、磁界中に置かれたいかなる物質も誘導モ
ーメントを発生する。しかしながら、常磁性体物質は、
極性分子の永久電気双極子モーメントに類似して、永久
モーメントを有している。
物体が一様な磁界の中に置かれた場合、磁界が磁気的に
等方性でなければ、配向効果を受けるであろう。これら
の環境下で物体が得る磁気モーメントは、kvH、すな
わち、体積k、単位体積あたりの磁化率V、そして、磁
界の強さHの積に比例する。
しかしながら、磁界が一様であれば物体は変位力を得る
ことはないであろう。S方向に勾配(gradient
)がdH/dSであり磁界が一様でない場合、物体はS
方向に線形の変位力を受け、この線形の変位力Fは、 F = k v H−dH/dS     式(3)で
与えられ、変位力はモーメントと勾配の積に比例する。
磁石の極の間に、試料の一方が磁界の強い領域にあり他
方が磁界が無視できるような領域にあるように、試料の
物体が置ゆ)れた場合、試料に作用する力は式(3)を
磁界が最大の領域から磁界が無視できる領域まで積分し
たものである。この積分は結果として生じる次の力を与
える。すなわち、F=1/2・kH2A    式(4
)ここで、Aは試料の断面積である。
酸素の磁化率に依存する初期形式の常磁性測定セル(装
置)が、Pau I ing等の、r Journal
 of the American Chemical
 5ociety」 第68巻、9 、795(194
6年発行)の”An Instrument for 
Determining the Partial P
ressure of Oxygen in a Ga
sと題する論文に記載されている。Pauling等に
よる測定セルは窒素のような弱逆磁性体ガスを密封した
ガラス管を使用している。ガラス管は、不均一な磁界を
提供する永久磁石のくさび状の極の間に吊持され、垂直
軸に関して自由に回転することができる。構造全体は選
択されたガスが封じ込まれた室の中に設置されている。
ガラス管を取り囲んでいる室の中に酸素が導入されたと
き、ガラス管内部の窒素は、取り囲んでいる常磁性体酸
素ガスに対して効果的に逆磁性体となり、ガラス管は、
磁界が最も弱い領域へ回転しようとする力を受ける。
この回転、あるいは、この回転を阻止するのに要する力
は、室内部の酸素濃度の指示として測定することができ
る。しかしながら、Pau l ingのセルは壊れや
すく、またガラス管の回転軸は各用途に対して終始特定
の方向に配向されなければならず、このためこの装置は
産業用の酸素測定応用機器としては不適当なものとなる
酸素濃度を測定する他の形式の装置には、温度と酸素の
磁化率との逆の関係に依存したものがある。この逆の関
係を活用するためには、不均質性の磁界において酸素混
合ガスの一部を加熱する加熱素子が用いられ、「磁気風
(magnetic wind)Jガス流れを生じさせ
、そしてこのガス流を隣接したサーミスタ素子に対する
その熱作用により測定すればよい。
特に、試料ガスの磁化率は温度の2乗に反比例し、もし
加熱が十分であれば磁化率は無視できるレベルまで低下
することがあり得る。しかし、もし加熱素子が不完全あ
るいは不十分な加熱を行なうと、試料ガスの磁化率は相
当なレベルに留まる。このような環境下では、式(3)
は、F= 1/2 (k−k。 )(H”−H,”)A
式(5) となる。ここで、koは残留磁化率であり、Hoは残留
磁界強度である。
磁気風を用いた装置のさまざまな構成が、1949年、
ストックホルムにおいて発行されたr Transac
tions of the Instruments 
and Methods ConferenceJ p
、 l−8のMed 1ock等による°’Oxyge
n Analysi s ”と題する論文に、また、r
British Journalof Anaesth
esiaJ第40巻、9.569 (1968年)のE
llis等による、の” The Measureme
nt of GaseousOxygen Ten5i
on Utilizing Paramagnetis
m ”と題する論文において論じられている。
従来の磁気風利用の酸素測定装置は、あいにく、取り囲
んでいる、すなわちバックグランド・ガスの熱的特性が
変動することによる比較的大きい誤差を受ける。特に、
異なったバックグランド・ガスの存在は、バックグラン
ド・ガス間での熱的特性の大きな違いによって、−船釣
な磁気風酸素測定センサに酸素濃度の誤った表示を生じ
させる。
従来の磁気風酸素感知装置はまた、特に磁化率の直接測
定に基づく方法に比較して、位置感性やバックグランド
・ガスへの依存性がある。
さらに、磁界の勾配と不均質性磁界において試料が受け
る力との関係に基づいて、常磁性体ガスセンサの設計者
は、従来、強い測定信号を得るためには、磁界の急な勾
配を保持し、また、急勾配領域に磁気風生成抵抗性要素
を設置することが必要であると仮定していた。
この仮定から出発して、ある種の従来技術の装置は、局
部的に最高磁界勾配を生成するように賦型した磁極を使
用し、また、急勾配領域に設置された加熱および感知用
サーミスタを用いている。
しかしながら、これらのサーミスタの加熱の効果は最も
強い磁界強度領域に制限されず、強い磁界強度領域の範
囲を超えた第2の領域へも漏れる。
高められた温度はこの第2の領域の磁化率を減少させ、
それにより感知用サーミスタによって生成される信号を
低減させる。それゆえに、ある種の従来の感知装置のこ
の構成は最高の測定信号を得ることを妨げる。
R1chardsonの米国特許第3.064.465
号はこの構成の例である。R1chardsonの特許
は、磁極片が最高磁界勾配を提供するように賦型され、
また、加熱サーミスタの加熱の効果を最も強い磁界強度
点の範囲を超^て理想的には測定信号を最大にする最も
低い温度を有すべき領域へ広げる測定装置を開示してい
る。最も強い磁界強度領域の外側での加熱と磁化率の減
少によって引き起こされるこの測定信号の低減は、従来
技術の相当の制約である。
[発明が解決しようとする課題] それゆえに、本発明の目的は、バックグランド・ガス組
成と温度特性に依存しない感度の良い正確な酸素濃度の
測定をもたらす酸素感知方法及び装置を提供することで
ある。
本発明の他の目的は、頑丈で、信頼性の高い、容易に持
ち運びできる酸素測定装置を提供することである。
本発明のその他の一般的および特定の目的は、以下の詳
細な説明から明らかとなろう。
[課題を解決するための手段および作用]前述の目的は
、混合ガスに含まれる常磁性体ガスの濃度を測定する方
法と装置を提供する本発明によって達成される。本発明
は1つの側面として、不均質な磁界を生成するための磁
界要素と、磁気風を生成するためにガスを加熱し、常磁
性体ガスの存在下で磁気風を感知するための、磁気風生
成サーミスタと磁気風感知サーミスタと、サーミスタと
電気的に同一回路にあ・って、磁気風感知サーミスタの
電気的抵抗を測定し、常磁性体ガスの濃度を表示しかつ
磁気風の強さに比例した測定信号を発生する信号生成要
素とを備えている。
磁界要素は、第1磁極部材と第2磁極部材(以下磁極と
記す)の間には間隙を有し、互いに隣接して配置される
第1磁極と第2磁極を備えている。磁気風生成サーミス
タは、間隙の両側の磁極間の間隙に配置され、磁気風感
知サーミスタは、磁気風生成サーミスタに隣接して配置
される。
磁極は、延だ強磁界強度領域を生成するように賦型され
、各サーミスタは磁極に対して選択された位置に配置さ
れていて、強い磁界の領域が実質的に磁気風生成サーミ
スタによって加熱された領域を取り巻くようになされて
いる。すなわち、磁気風生成サーミスタの加熱効果は強
磁界強度領域に限定される。磁気風感知サーミスタの加
熱効果は磁界強度が減少する領域に限定される。信号生
成要素は、電気的一定温度ブリッジと、サーミスタがホ
イートストーン・ブリッジの辺を形成する電気的測定ブ
リッジとを備えている。電流制御要素は、電気的一定温
度ブリッジと測定ブリッジとの間の電気的不平衡に応答
して、サーミスタを実質的に一定温度に保持するために
ホイートストーン・ブリッジへの電流を制御する。
信号制御要素はまた、電気的一定温度ブリッジと測定ブ
リッジとの間の電気的不平衡に反応する補正信号を生成
するための補正要素と、混合ガスのバックグランド・ガ
スの変化に応答する測定信号の強度を補正するために、
補正信号と測定信号とを結合する結合要素とを備えてい
る。
次に、本発明を例示の実施例について説明するが、この
技術に精通した者であれば種々の変更、追加、削除が特
許請求の範囲から離脱することなしになされ得ることが
明らかであろう。
[実施例] 第1図は、本発明による酸素感知セル(cell)ない
し装置の構成を図示した概略図である。酸素センサは゛
磁気風°°現象を利用し、電気的に加熱される従来の2
対のサーミスタR1、Wlと、R2、W2を有するセン
サ・セル100を備えている。
電気的に加熱されるサーミスタの多対の一方のサーミス
タ、すなわち、サーミスタWlとW2は一様でない高い
強度の磁界の中に位置している。
電気的に加熱されるサーミスタの多対の他のサーミスタ
、すなわち、サーミスタR1とR2は、それぞれWlと
W2に隣接して位置しているが、もっとも強い磁界強度
領域から選択的に変位されている。磁極の断面の形状と
、外側のサーミスタの最高磁界強度領域からの変位に関
しては、第4A図〜第4D図を参照して以下で詳しく論
じられる。
酸素感知セル100に酸素が存在し、そして、サーミス
タWlとW2が電気的に加熱されている場合、サーミス
タW1とW2は、最大磁界から変位されている隣接する
サーミスタの方向に、すなわち、サーミスタR1とR2
の方向にガスの流れを発生する。したがって、サーミス
タWlとW2は、隣接するサーミスタR1とR2に熱を
放出する。これにより、酸素感知セル100内の酸素の
存在は、サーミスタWlとW2の温度を比例的に減少さ
せようとし、隣接するサーミスタR1とR2の温度を上
昇させようとする。
酸素感知セル100の図示された配置は、別の方法では
熱伝導率、容量、そして粘性率の変動から生じるであろ
うバックグランド・ガスへの依存性を最小限にする。さ
らに、第4A図〜第4D図を参照して以下で詳しく記述
されるように、対のサーミスタは出力信号を最大にする
よう正確に配置することができる。
本発明の好ましい実施例において、対のサーミスタR1
とWlおよびR2とW2は、第2図に示される測定ブリ
ッジ回路に付加的に接続される。測定ブリッジ回路20
0は、サーミスタの温度不平衡が原因で変化する抵抗値
のために不平衡状態である。このサーミスタの温度不平
衡は、酸素濃度に比例している。
第2図に示す本発明による回路は、酸素感知素子の温度
を制御することによって、周囲温度の変動の望ましくな
い影響を除去する。酸素感知素子の温度は、図示された
直列のトランジスタSTとブリッジ温度調整素子RTと
を備えた高精度温度制御ループによって、実質的に一定
レベルに保持される。詳しくいうと、図示された回路2
00は、抵抗RC,RD、R3で形成される一定温度ブ
リッジと、サーミスタW1.W2、R1,R2、RAと
抵抗RB、RZとからなる酸素測定ブリッジとを備えて
いる。
抵抗RC,RD、R8と、サーミスタWl、W2、R1
、R2、RAと抵抗RB、RZとからなる酸素測定ブリ
ッジとは、ホイートストーン・ブリッジの4辺を形成す
る。可変抵抗RTはブリッジ温度調整素子として用いら
れる。従来の設計と構造である増幅器AIは、ノード”
X”と°°Y°。
の間の電気的不平衡を検出し、直列のトランジスタST
をドライブしブリッジの平衡を回復するようブリッジ電
流を変化させる。
別の方法では熱伝導率の変化によってサーミスタの熱損
失と温度に影響を及ぼすであろうバックグランド・ガス
の組成のどのような変化が生じても、この検出制御ルー
プは酸素測定ブリッジの素子を一定温度に保持する。酸
素がない状態でのサーミスタの最適温度は約200 ℃
であることが知られている。
第2図に図示された回路の重要な利点はサーミスタが一
定温度に保持されることである。この−定温度は、′第
1図に図示された感知セル100の対のサーミスタR1
とWlおよびR2とW2の間に一定の温度関係を保持し
、それによって、パックグランド・ガスの熱的特性の変
動によって起こる酸素濃度表示の誤差を最小限にする。
図示された構成の更なる利点は、試料の熱的特性の変動
による、測定ブリッジから得られる酸素濃度表示の誤差
を正確に補正するため、増幅器A2出力に、補正信号す
なわち乗数として使用することができる信号を得ること
ができることである。この信号はブリッジの平衡を回復
するのに必要な電流の変化を抵抗R3を介して感知する
ことによって得ることができる。これらの利点は従来の
磁気風酸素センサを使用する酸素測定の例により最もよ
く説明される。例えば、酸素、窒素、二酸化炭素及び水
素からなるガスの流れにおいて、0%〜5%の濃度範囲
にわたる酸素の測定が要求されろと仮定する。従来の磁
気風酸素分析器において、測定ブリッジは、100%の
窒素では酸素濃度ゼロの表示を、そして、5%の酸素と
95%の窒素では酸素濃度が最大目盛りの表示をなすよ
うに調整されている。それで、従来の磁気風酸素センサ
は、分析器の総合精度の限度内で、0%〜5%の測定範
囲内での酸素濃度の正しい測定を提供する。しかしなが
ら、窒素バックグランド・ガスが水素に置き換λられれ
ば、従来の酸素分析器は真実の濃度より低い濃度を示す
。詳しくいうと、従来の酸素センサは窒素バックグラン
ド・ガスの20%が二酸化炭素で置き換えられたのと同
程度の低い表示を生ずることがある。この場合、ある従
来の磁気風酸素センサは、正しい値の2倍も高い酸素濃
度表示を示すであろう、従来技術の磁気風酸素センサの
典型的である上述の誤差は、窒素と比較して水素と二酸
化炭素の温度特性には大きな差があるためである。熱的
特性におけるこれらの差異は、磁気風生成サーミスタか
ら隣接する磁気風感知サーミスタへの熱伝達に大きく影
響する。
しかしながら、本発明によれば、前述の変動を補償し°
°X”と”Y”の間の平衡を回復するために必要なブリ
ッジ電流の変化は、R3を介して感知され、A2によっ
て増幅され、スケールされ、それにより、酸素測定ブリ
ッジによって供給される信号に対して乗数として使用さ
れ得る、補正信号が供給される。この補正信号は、パッ
クグランド・ガスの組成の変化にかかわらず、酸素濃度
のパーセント単位での酸素測定ブリッジ信号を補正する
ために使用される。
増幅器A2のゲインとバイアスを調整することによって
、A2の出力を熱的作用に対して比例させるか、あるい
は反比例させるかのいずれも可能である。バックグラン
ド・ガスの熱的特性を補正するための補正信号と測定信
号とを結合するために用いられる回路は乗算器あるいは
割算器のいずれかである。
第1図を参照して以上に論じたように、対のサーミスタ
は測定信号出力を最大にするように選択された位置に置
かれる。磁極の断面の形状と磁極の間隙の構成もまた出
力信号を増大するように選択することができる0M1極
とサーミスタの構成の作用、さらに詳しくには、従来技
術を超えた本発明の信号生成の利点は、第3A図〜第3
D図と第4A図〜第4D図を参照して、本発明と従来技
術を比較することによって最も良く説明されている。
第3A図と第3B図は、従来の常磁性体ガス感知装置1
0を描いた簡単な概略図で、従来技術の典型的である、
磁極1)0と1)2およびサーミスタ1)4と1)6の
構成を有する。簡単のために、1対のサーミスタ1)4
と1)6のみが示しである。この技術に熟練した者は、
第2のサーミスタの対が磁極間隙1)3の反対側に対称
的に配置できることに気がつくであろう。
第3C図と第3D図は、それぞれ、第3A図と第3B図
に描かれた従来の構成に対応して、位置Sに対する典型
的な磁界強度の値Hのグラフと、位置Sに対する典型的
な温度の値下のグラフを示している。第3C図と第3D
図は第3B図と1列に整列しており、S軸の値s1と8
2は、それぞれ、各図面で等しい。
次に、第4A図と第4B図は、本発明による常磁性体ガ
ス感知装置200のための、磁極210と212および
サーミスタ214と216の構成を描いた簡単な概略図
である。ここでも、1対のサーミスタ214と216の
みが示しであるが、第2のサーミスタの対が磁極間隙2
13の反対側に対称的に配置され得る。第4c図と第4
D図は、それぞれ、第4A図と第4B図の実施例に対応
して、位置Sに対する典型的な磁界強度の値Hと、位置
Sに対する典型的な温度の値下を示している。
第3A図〜第3C図で示されるように、従来技術での装
置に用いられる磁極は最大磁界勾配を生成するように賦
型されている。特に、磁極1)0と1)2は、M1磁極
隙1)3に近い領域では、実質的に、3角形の断面であ
る。磁界強度HはS軸に沿って急激に増大し、S軸のS
lに対応する位置で最大強度H1となる。このS軸の位
置はまた、磁極1)0と1)2の3角形の断面の頂点が
最も接近した位置に対応している。そして、磁界強度H
はSlより大きなS軸上の位置では急激に減少する。
さらに、第3A図が示すように、サーミスタ1)4と1
)6の加熱作用は、第3D図の温度−位置グラフに示さ
れるように、Slの周りの磁界強度が最も強い領域を過
ぎたところへ漏れる(第3C図と第3D図の領域■とし
て示される)。高められた温度は周囲の領域に存在する
試料ガスの磁化率な減少させ(すなわち、第3C図と第
3D図の領域II)、それによって、感知サーミスタに
よって生成される測定信号の強度を減少させる。
さらに詳しくは、信号を最大にするため比較的に低温で
なければならない、領域II (第3D図)での冷たい
ガスが、従来の配置による動作によって望ましからざる
加熱を受ける。
第4A図〜第4D図に描かれたように、本発明は、延張
された最大磁界強度領域を提供する磁極断面形状と磁極
間隙を使用し、また、サーミスタの加熱作用が実質的に
最も高い磁界強度領域に限定されるように、磁界に関し
て位置せしめられたサーミスタを使用することによって
、この問題を回避している。
第4A図は、本発明による酸素感知装置を描いており、
磁極210と212及びサーミスタ214と216を有
する。第3A図と第3B図に示される磁極1)0と1)
2と異なり、第4A図と第4B図に描かれた磁極210
と212は、磁極間隙213に近接して領域において断
面が実質的に矩形の形状であり、各磁極は磁極間隙21
3に最も近い実質的に平面状の表面を有する。これらの
技術に熟練した者は、延張された強い磁界強度の領域を
提供するように、ほかの磁極の断面形状と磁極間隙構造
が本発明によって利用できることに気がつくであろう。
動作において、磁気風に関連したガスの流動中、上流の
サーミスタ214はガスの流れによって冷却され、下流
のサーミスタ216は流れによって加熱される。サーミ
スタ214と216の両方によって試料ガスは加熱され
、したがって、その磁化率が減少する。
第4A図と第4B図で示された装置では、加熱/感知サ
ーミスタ214と216は部分的に磁界の中に配置され
ている。第3A図〜第3D図に描かれた構造と異なって
、磁極210と212によって生成される磁界強度Hは
位置S1を過ぎても急激に減少しない。それよりも、磁
界強度は位置Slと$2の間でその最大値H1て一定の
ままである。したがって、磁極210と212の近接す
る表面が実質的に平面の形状のために、すなわち、磁極
間隙213に面した表面によって提供される一定の磁極
間隙幅のために、従来の磁極によって生成される磁界と
比較すると(第3A図〜第3C図)、強い磁界強度領域
は延張ないし拡張されている。
それゆえに、第4C図と第4D図に示されるように、サ
ーミスタ214と216の加熱領域は、磁極210と2
12によって生成される拡張された強い磁界強度領域に
よって実質的に取り巻かれる。要するに、サーミスタに
よる加熱は、冷たい試料ガスが磁界に流入する反対の磁
界勾配領域に影響を及ぼすことを実質的に阻止される。
さらに、前述の式(3)は、Slの周りのより低い勾配
が、結果的に、観測される磁力の減少となることを示唆
しているが、そのような減少は発生しない。このことは
、磁力が強い磁界から無視できる磁界までのすべての層
にわたり積分することによって(前述の式(4))表さ
れ、そして、本発明によれば、この積分が延張された経
路の範囲で発行われるからである。
したがって、本発明は上述した目的を効果的に達成する
ことがわかる。特に、本発明は、バックグランド・ガス
の組成の変化に依存しない、酸素濃度の正確な測定を提
供する。本発明はまた、極端に正確なゼロとドリフトの
小さい安定した測定範囲を提供し、電気的接続あるいは
気体系の接続を断つことなく、研究室での校正検査のた
めに取りはずすことができるコンパクトなセンサを実現
可能とする。
本発明の技術思想から離脱することなく、前述の構造と
一連の動作に変更をなすことが考えられる。例えば、実
質的に一定の磁極間隙と、拡大された最大磁界強度領域
とを提供するために、他の磁極断面構成が用いられるで
あろう。それゆえに、上述したことに含まれるすべての
内容、あるいは添付の図面に示されたすべての内容は、
範囲を制限する意味ではなく、むしろ説明のためのもの
と解釈されることを意図したものである。
[発明の効果] 本発明は上述した目的を効果的に達成することがわかる
。特に、本発明は、バックグランド・ガスの組成の変化
に依存しない、酸素濃度の正確な測定を提供する。本発
明はまた、極端に正確なゼロと変動の小さい安定した測
定範囲を提供し、電気的接続あるいは気体系の接続を断
つことなく、校正検査のために取りはずすことができる
コンパクトなセンサを実現可能とする。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明によって構成された酸素感知セル(c
ell)の概略図である。 第2図は、本発明による酸素感知回路の概略図である。 第3A図、および、第3B図は、従来技術の典型的であ
る磁極片とサーミスタ構成を有する従来の常磁性体ガス
感知装置の構成を示す簡単な概略図である。 第3C図、および、第3D図は、第3A図、および、第
3B図に例示された従来の装置の、位置に対する磁界強
度と、位置に対する温度を図示したものである。 第4A図、および、第4B図は、本発明による常磁性体
ガス感知装置の磁極とサーミスタの構成を示す簡単な概
略図である。 第4C図、および、第4D図は、第4A図、および、第
4B図の実施例における、位置に対する磁界強度と、位
置に対する温度を図示したものである。 10  ・・・ 常磁性体ガス感知装置+00・・・ 
酸素感知セル 200・・・ 測定ブリッジ回路 102A、102B  ・・−磁石 104A、104B  ・・・ m極部1)0.1)2
  ・・・ 磁極 1)4.1)6  ・・・ サーミスタ1)3  ・・
・ 磁極間隙 210.212 ・・・ 磁極 214.216  ・・・ サーミスタ213   ・ R1,Wl  、 ST   ・ ・ RB、  RZ、 RT    ・ ・ A1.A2 ・・ 磁極間隙 R2、W2、RA・・ ・ トランジスタ RC,RD、R5 ・ 可変抵抗 ・・・ 増幅器 ・サーミスタ 抵抗

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)混合ガス内の常磁性体ガスの濃度を測定する装置
    において、 選択された断面形状を有する、第1磁極部と第2磁極部
    を具備する、不均質な磁界を生成するための磁界手段で
    あって、前記第1磁極部と前記第2磁極部が、前記第1
    磁極部と前記第2磁極部の間に選択された間隙が存する
    ように互いに隣接して位置せしめられ、かつ、それぞれ
    、選択された形状を有する対間隙表面を有しており、前
    記第1磁極部と前記第2磁極部の前記選択された断面形
    状と前記対間隙表面の前記選択された形状とで、前記間
    隙に延長された最大磁界強度領域を提供する、前記磁界
    手段と、 少なくとも1つの電気的に加熱される磁気風生成サーミ
    スタを備え、常磁性体ガスの存在下で磁気風を生成する
    ための磁気風生成サーミスタ手段であって、前記磁気風
    が、混合ガス内の常磁性体ガスの濃度に比例した大きさ
    を有し、前記少なくとも1つの磁気風生成サーミスタは
    、温度に比例した電気的パラメータを有し、かつ、前記
    間隙の範囲内に、そして、前記不均質な磁界内に、位置
    せしめられている、前記磁気風生成サーミスタ手段と、
    少なくとも1つの電気的に加熱される磁気風感知サーミ
    スタを備える磁気風感知サーミスタ手段であって、前記
    少なくとも1つの磁気風感知サーミスタが、常磁性体ガ
    スの存在下で前記少なくとも1つの磁気風生成サーミス
    タによって生成された磁気風を感知するための、温度に
    比例した電気的パラメータを有し、前記少なくとも1つ
    の磁気風生成サーミスタに隣接して位置せしめられ、か
    つ前記延長された最大磁界強度領域に最も近接して配置
    された磁気風感知サーミスタ手段とを備え、 前記少なくとも1つの磁気風生成サーミスタと前記少な
    くとも1つの磁気風感知サーミスタとが関連する加熱さ
    れる領域が、実質的に、前記延長された最大磁界強度領
    域内に包含され、実質的に延長された最大磁界強度領域
    内のガスのみが加熱を受けて磁化率が減少し、延長され
    た最大磁界強度領域外のガスが選択された最大磁力に吸
    引されるようになされたことを特徴とする装置。
  2. (2)前記間隙に近接した前記第1磁極部と前記第2磁
    極部のそれぞれの少なくとも1つの部分が、実質的に矩
    形の断面形状である請求の範囲第1項記載の装置。
  3. (3)前記対間隙表面のそれぞれの少なくとも1つの部
    分が、実質的に平面である請求の範囲第1項記載の装置
  4. (4)前記第1磁極部と前記第2磁極部との間の前記間
    隙の少なくとも1つの部分が、前記1つの対間隙表面に
    対して垂直方向に、該1つの対間隙表面に沿って実質的
    に一定の寸法を有する請求の範囲第1項記載の装置。
  5. (5)前記少なくとも1つの磁気風生成サーミスタと前
    記少なくとも1つの磁気風感知サーミスタとを実質的に
    自動的に一定温度に保持する温度制御手段を備えた請求
    の範囲第1項記載の装置。
  6. (6)前記少なくとも1つの磁気風生成サーミスタ手段
    と前記少なくとも1つの磁気風感知サーミスタ手段と同
    一電気的回路内にあって、前記磁気風感知サーミスタの
    前記電気的パラメータを測定し、かつ、混合ガス内の常
    磁性体ガスの濃度を表し常磁性体ガスの存在下で磁気風
    の強度に比例する振幅を有する測定信号を発生するため
    の、信号発生手段を備え、 前記信号発生手段が、一定温度電気的ブリッジと測定電
    気的ブリッジを備え、前記測定電気的ブリッジは前記少
    なくとも1つの磁気風生成サーミスタと前記少なくとも
    1つの磁気風感知サーミスタを備えた辺を有するホイー
    トストーン・ブリッジを備えており、そしてさらに、 前記一定温度電気的ブリッジと前記測定電気的ブリッジ
    との間の電気的不平衡に応答して、補正信号を発生する
    ための補正手段と、 前記補正信号と前記測定信号とを結合して混合ガス内の
    バックグランド・ガスの変動に応答して前記測定信号の
    振幅を補正する結合手段と、を含む請求の範囲第5項記
    載の装置。
JP2244127A 1990-01-16 1990-09-17 酸素感知方法およびその装置 Expired - Lifetime JP2947904B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/465,025 US5012669A (en) 1988-10-03 1990-01-16 Oxygen sensing method and apparatus
US465025 1990-01-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03225269A true JPH03225269A (ja) 1991-10-04
JP2947904B2 JP2947904B2 (ja) 1999-09-13

Family

ID=23846207

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2244127A Expired - Lifetime JP2947904B2 (ja) 1990-01-16 1990-09-17 酸素感知方法およびその装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5012669A (ja)
EP (1) EP0442034B1 (ja)
JP (1) JP2947904B2 (ja)
DE (1) DE69014591T2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109459534A (zh) * 2018-11-30 2019-03-12 华东交通大学 一种医用氧气浓度监测与提醒装置

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5269170A (en) * 1992-11-25 1993-12-14 Panametrics, Inc. Measuring system and process using zero shift compensation circuit
US5735387A (en) * 1995-07-14 1998-04-07 Chiron Diagnostics Corporation Specimen rack handling system
US5720377A (en) * 1995-07-14 1998-02-24 Chiron Diagnostics Corporation Magnetic conveyor system
EP0880598A4 (en) * 1996-01-23 2005-02-23 Affymetrix Inc RAPID EVALUATION OF NUCLEIC ACID ABUNDANCE DIFFERENCE, WITH A HIGH-DENSITY OLIGONUCLEOTIDE SYSTEM
US6112576A (en) * 1998-10-05 2000-09-05 Panametrics, Inc. Gas analyzer with background gas compensation
GB9912332D0 (en) * 1999-05-27 1999-07-28 British Gas Plc Portable apparatus and method for tracing a gas leak
GB2355806B (en) 1999-10-30 2001-12-12 Draeger Medizintech Gmbh Device and method for measuring the concentration of a paramagnetic gas
JP3951164B2 (ja) * 2000-05-23 2007-08-01 横河電機株式会社 磁気式酸素計
US6389880B1 (en) * 2001-03-13 2002-05-21 Panametrics, Inc. Zero shift compensation oxygen sensor
DE10241244C1 (de) * 2002-09-06 2003-08-21 Draeger Medical Ag Messkopf für eine Vorrichtung zur Messung der Konzentration eines paramagnetischen Gases
DE102006009370B4 (de) * 2006-03-01 2008-01-31 M+R Meß- und Regelungstechnik GmbH Verfahren und Sensor zur Bestimmung der Gaszusammensetzung in Begasungsbrutschränken
US10564175B2 (en) * 2017-11-29 2020-02-18 International Business Machines Corporation Accelerometer using dimagnetic levitation

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2693103A (en) * 1950-07-25 1954-11-02 Hartmann & Braun Ag Magnetic gas measuring instrument
US2951359A (en) * 1954-04-17 1960-09-06 Hartmann & Braun Ag Method for compensating the influence of the carrier-gas in magnetic gasanalysers
US2903883A (en) * 1955-02-21 1959-09-15 Onera (Off Nat Aerospatiale) Devices for measuring the relative amount of a paramagnetic gas in a gaseous mixture
US2944418A (en) * 1955-04-06 1960-07-12 Hartmann & Braun Ag Instrument for gas analysis
US3064465A (en) * 1958-06-30 1962-11-20 Robert D Richardson Gas analyzing apparatus
US3045474A (en) * 1959-07-01 1962-07-24 Hartmann & Braun Ag Gas analyser
BE634488A (ja) * 1962-07-17
US3276244A (en) * 1963-09-09 1966-10-04 Hays Corp Paramagnetic oxygen analyzer measuring cell
US3292421A (en) * 1965-04-23 1966-12-20 Mine Safety Appliances Co Paramagnetic gas analyzer
US3435662A (en) * 1965-07-27 1969-04-01 Mine Safety Appliances Co Measuring circuit for a paramagnetic gas analyzer
US3616679A (en) * 1969-11-06 1971-11-02 Mine Safety Appliances Co Paramagnetic oxygen detector
US3646803A (en) * 1969-12-01 1972-03-07 Mine Safety Appliances Co Paramagnetic gas-measuring device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109459534A (zh) * 2018-11-30 2019-03-12 华东交通大学 一种医用氧气浓度监测与提醒装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2947904B2 (ja) 1999-09-13
DE69014591D1 (de) 1995-01-12
DE69014591T2 (de) 1995-04-13
US5012669A (en) 1991-05-07
EP0442034A1 (en) 1991-08-21
EP0442034B1 (en) 1994-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH03225269A (ja) 酸素感知方法およびその装置
US7753582B2 (en) Thermal conductivity sensor
EP0161776B1 (en) Detecting oxygen concentration in a gas
EP3943929B1 (en) Device for measuring the partial pressure of a paramagnetic or diamagnetic gas
US20050049805A1 (en) Methods and systems for temperature compensation of physical property sensors
US6405578B2 (en) Magnetic oxygen analyzer
US4056975A (en) Mass flow sensor system
Leclercq et al. Apparatus for simultaneous temperature and heat‐flow measurements under transient conditions
EP0529295B1 (en) Single-element thermal conductivity detector
Jasek et al. Paramagnetic sensors for the determination of oxygen concentration in gas mixtures
EP0407491B1 (en) Method and apparatus for measuring the concentration of a paramagnetic gas
US3616679A (en) Paramagnetic oxygen detector
US6112576A (en) Gas analyzer with background gas compensation
JP2515247B2 (ja) ゼロシフト補償回路
US3435662A (en) Measuring circuit for a paramagnetic gas analyzer
US6389880B1 (en) Zero shift compensation oxygen sensor
US3290921A (en) Sensing apparatus for determining the partial pressure of paramagnetic gases in a mixture of gases
RU2030717C1 (ru) Устройство для измерения разности температур
SU830224A1 (ru) Способ анализа газов по тепло-пРОВОдНОСТи
JPH0829385A (ja) 酸素濃度検出計
Durakiewicz et al. A novel electronic circuit for a Pirani gauge
JP3700779B2 (ja) 磁気式酸素計
RU2069329C1 (ru) Способ определения давления газа и устройство для его осуществления
JPS6258151A (ja) 気体純度測定器
Cowdrey Temperature and pressure corrections to be applied to the shielded hot wire anemometer at speeds for which natural convective cooling is negligible

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080702

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090702

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100702

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110702

Year of fee payment: 12

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110702

Year of fee payment: 12