JPH0322531U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0322531U JPH0322531U JP8219889U JP8219889U JPH0322531U JP H0322531 U JPH0322531 U JP H0322531U JP 8219889 U JP8219889 U JP 8219889U JP 8219889 U JP8219889 U JP 8219889U JP H0322531 U JPH0322531 U JP H0322531U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean chamber
- constant temperature
- indoor air
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
Description
第１図は本案の実施例を示す図、第２図は本案
実施例の詳細図、第３図は恒温クリーンチヤンバ
ーの構成要素を示す図、第４図は水平フロー方式
恒温チヤンバーの外観図である。 １……ＨＥＰＡフイルタ、２……室内空気取入
口、３……リターンダクト、４……送風機、５…
…フレキシブルダクト、６……フランジ、７……
ホースバンド、８……移動台、９……恒温クリー
ンチヤンバー、１０……縮小投影露光装置、１１
……外壁。
実施例の詳細図、第３図は恒温クリーンチヤンバ
ーの構成要素を示す図、第４図は水平フロー方式
恒温チヤンバーの外観図である。 １……ＨＥＰＡフイルタ、２……室内空気取入
口、３……リターンダクト、４……送風機、５…
…フレキシブルダクト、６……フランジ、７……
ホースバンド、８……移動台、９……恒温クリー
ンチヤンバー、１０……縮小投影露光装置、１１
……外壁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 冷凍機（又は冷水コイル）とヒータと送風機と
ＨＥＰＡフイルタと温度調節機器より成る恒温ク
リーンチヤンバーにおいて、恒置クリーンチヤン
バー室内空気と室外空気を取入れ、冷凍機（又は
冷水コイル）で取入れた空気を冷却し温度調節機
器でヒータをコントロールし一定温度の空気を作
り、送風機でＨＥＰＡフイルタを介し清浄空気と
してクリーンチヤンバー室内に吸い出し、 上記サイクルを繰り返し精密温度調節をする恒
温クリーンチヤンバーの室内空気取入手段は、移
動可能な構造の室内空気取入口を複数個設けたこ
とを特徴とする恒温クリーンチヤンバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8219889U JPH0322531U (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8219889U JPH0322531U (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0322531U true JPH0322531U (ja) | 1991-03-08 |
Family
ID=31628794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8219889U Pending JPH0322531U (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322531U (ja) |
-
1989
- 1989-07-14 JP JP8219889U patent/JPH0322531U/ja active Pending
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