JPH03225847A - ウエハカセツトストツカ - Google Patents
ウエハカセツトストツカInfo
- Publication number
- JPH03225847A JPH03225847A JP2021658A JP2165890A JPH03225847A JP H03225847 A JPH03225847 A JP H03225847A JP 2021658 A JP2021658 A JP 2021658A JP 2165890 A JP2165890 A JP 2165890A JP H03225847 A JPH03225847 A JP H03225847A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- wafer
- cassette stocker
- stocker
- cassettes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、半導体ウェハの製造工程において、完成又
は未完成の＠品を一時的に収納して保管するウェハカセ
ットストン力、特にウェハカセットのウニバカセントス
トッカの収納、取出し作業の拡尤に関する・ 〔従来の技術〕 第２図は従来の半導体工場における半導体ウェハカセッ
トの搬送形態の一例を示した斜視図であり、図において
、ｌは半導体ウニ八（図示しない）の＠造工程において
、半導体ウニ／Ｘに加工処理を行うための処理装置、２
は各処理装置１間に図示しないウェハカセットを搬送す
るための搬送ロボット・３は完成又は未完成の半導体ウ
エノ１を一時的に収納して保管するウェハカセットスト
ッカ、４は前記搬送ロボット２により前記ウェハカセッ
トストッカ３にウェハカセットを収納又は取出しを行う
ための収納、取出口である０ 第３図は前記ウェハカセットストッカ３の構造の詳細晧
面図であり、図において、５はウニ／１カセントを所定
数量だけ載置可能な載置台であり、この載置台５はチェ
ーン６により環状に数段連結されて、スプロケット７に
より回転Ｔる機構になっており、搬送ロボット２により
ウェハカセットを収納・取出しを行う際に・任意の載置
台を収納、取出口４に位置させる。そして、牛導俸つニ
／島の製造工場においては、処理装置１、搬送ロボット
２、ウェハカセットストッカ３をＮえｉ？第２図のよう
に配蓋し、各工程における処理装置間のバランスをとる
ために、ウニへカセントＢウェハカセットストッカ３へ
搬送して、−時的に収納又はウェハカセットストッカ３
より取出して、処理装置１へ搬送しセットするという作
業を行う。
は未完成の＠品を一時的に収納して保管するウェハカセ
ットストン力、特にウェハカセットのウニバカセントス
トッカの収納、取出し作業の拡尤に関する・ 〔従来の技術〕 第２図は従来の半導体工場における半導体ウェハカセッ
トの搬送形態の一例を示した斜視図であり、図において
、ｌは半導体ウニ八（図示しない）の＠造工程において
、半導体ウニ／Ｘに加工処理を行うための処理装置、２
は各処理装置１間に図示しないウェハカセットを搬送す
るための搬送ロボット・３は完成又は未完成の半導体ウ
エノ１を一時的に収納して保管するウェハカセットスト
ッカ、４は前記搬送ロボット２により前記ウェハカセッ
トストッカ３にウェハカセットを収納又は取出しを行う
ための収納、取出口である０ 第３図は前記ウェハカセットストッカ３の構造の詳細晧
面図であり、図において、５はウニ／１カセントを所定
数量だけ載置可能な載置台であり、この載置台５はチェ
ーン６により環状に数段連結されて、スプロケット７に
より回転Ｔる機構になっており、搬送ロボット２により
ウェハカセットを収納・取出しを行う際に・任意の載置
台を収納、取出口４に位置させる。そして、牛導俸つニ
／島の製造工場においては、処理装置１、搬送ロボット
２、ウェハカセットストッカ３をＮえｉ？第２図のよう
に配蓋し、各工程における処理装置間のバランスをとる
ために、ウニへカセントＢウェハカセットストッカ３へ
搬送して、−時的に収納又はウェハカセットストッカ３
より取出して、処理装置１へ搬送しセットするという作
業を行う。
従来のウェハカセットストッカは、前述のように搬送ロ
ボット２にてウェハカセットを収納、取出しを行う際に
、ウェハカセットストッカの前面及び背面のみしか、収
納、取出口を設けていないため、ウェハカセットストッ
カへのウェハカセットの収納、取出しは地上走行タイプ
の搬送ロボットに限定される。ところが、近年の半導体
ウェハのＩｊｌｌ造工程＠は、数百工程に及ぶとともに
、半導体ウェハの製造における処理装置においても、数
十種類に及んでいるために、ウェハカセ′ノドストッカ
への収納、取出し作業も繁雑となる。また、工場内の広
いフロア上に平面的に設置された多種の処理装置間を長
距離に亘って搬送する際、高速で効率よくウェハカセッ
トを搬送するために、従来の地上走行タイプの搬送ロボ
ットに代えて、天井走行タイプの高速搬送ロボットを設
置した場合においても、ウェハカセットストン力へのウ
ェハカセットの収納、取出し作業は、地上走行タイプの
搬送ロボットのみでしか行うことが出来ず、非常に搬送
の効率が悪いとともに、繁雑な収納、取出し作業に地上
走行タイプの搬送ロボットのみでは、対処が困難である
等の問題点があつπ５この発明は上記のような問題点を
解消するためニナサれたもので、ウェハカセットを王に
長距１１１に亘って高速搬送する天井走行タイプの搬送
ロホ。
ボット２にてウェハカセットを収納、取出しを行う際に
、ウェハカセットストッカの前面及び背面のみしか、収
納、取出口を設けていないため、ウェハカセットストッ
カへのウェハカセットの収納、取出しは地上走行タイプ
の搬送ロボットに限定される。ところが、近年の半導体
ウェハのＩｊｌｌ造工程＠は、数百工程に及ぶとともに
、半導体ウェハの製造における処理装置においても、数
十種類に及んでいるために、ウェハカセ′ノドストッカ
への収納、取出し作業も繁雑となる。また、工場内の広
いフロア上に平面的に設置された多種の処理装置間を長
距離に亘って搬送する際、高速で効率よくウェハカセッ
トを搬送するために、従来の地上走行タイプの搬送ロボ
ットに代えて、天井走行タイプの高速搬送ロボットを設
置した場合においても、ウェハカセットストン力へのウ
ェハカセットの収納、取出し作業は、地上走行タイプの
搬送ロボットのみでしか行うことが出来ず、非常に搬送
の効率が悪いとともに、繁雑な収納、取出し作業に地上
走行タイプの搬送ロボットのみでは、対処が困難である
等の問題点があつπ５この発明は上記のような問題点を
解消するためニナサれたもので、ウェハカセットを王に
長距１１１に亘って高速搬送する天井走行タイプの搬送
ロホ。
ットヘ直接つェハ刀セントストッカより取出して載置す
ることが可能であるとともに、天井走行タイプの搬送ロ
ボットより直接ウェハカセットストッカへｅｊｉｎ”１
にとが出来るウェハカセットストッカを得ることを目的
とする〇 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るウェハカセットストッカは、前面及び背
面にウェハカセットの収納、取出口を配置した従来のウ
ニバカセントストッカの上部にもウェハカセットの収納
、取出口を配置するとともに、前記上部の収納、取出口
にウェハカセット載置ロボットを設置したものである。
ることが可能であるとともに、天井走行タイプの搬送ロ
ボットより直接ウェハカセットストッカへｅｊｉｎ”１
にとが出来るウェハカセットストッカを得ることを目的
とする〇 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るウェハカセットストッカは、前面及び背
面にウェハカセットの収納、取出口を配置した従来のウ
ニバカセントストッカの上部にもウェハカセットの収納
、取出口を配置するとともに、前記上部の収納、取出口
にウェハカセット載置ロボットを設置したものである。
この発明におけるウェハカセットストッカは、上部にウ
ニバカセントの収納、取出ロＴｒ：設けるとともに、ウ
ェハカセット載置ロボットを設置したことにより、ウェ
ハカセットを王に長距隔に亘って高速搬送する天井走行
夕・イブの搬送ロボットへ直接ウェハカセットストッカ
より取出して、載置することが可能であるとともに、天
井走行タイプの搬送ロボットより直接ウニ／１カセント
ストツ刀へ収納することが出来る〇 〔実施例〕 以下・この発明の一実施例を図について説明Ｔる０＄１
図はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、第１図に
おいて、８はウェハカセットを処理袋１１間ｉ、：亘っ
て搬送する無人搬送車・ ９は地上走行タイプの搬送ロ
ボット２が走行する走行レールであり、ｌＯは天井走行
タイプの走行ロボット１１が走行する天井走行レール、
しは前記無人搬送車８、地上走行タイプの搬送四ボット
２及び天井走行ロボット１１によって各処理装置１間に
亘ってｍ送されるウニバカセント、１３はウェハカセッ
トストッカ３の上部に設けられたウェハカセットの収納
、取出口・１４はこのウェハカセットストッカ３に収納
されたウェハカセットを前記収納、取田口氏より取出し
て・天井走行ロボツ）１１への載置、又は天井走行ロボ
ット１１よりウェハカセットストッカ３内へ直接収納す
るウェハカセット載置ロボットである。
ニバカセントの収納、取出ロＴｒ：設けるとともに、ウ
ェハカセット載置ロボットを設置したことにより、ウェ
ハカセットを王に長距隔に亘って高速搬送する天井走行
夕・イブの搬送ロボットへ直接ウェハカセットストッカ
より取出して、載置することが可能であるとともに、天
井走行タイプの搬送ロボットより直接ウニ／１カセント
ストツ刀へ収納することが出来る〇 〔実施例〕 以下・この発明の一実施例を図について説明Ｔる０＄１
図はこの発明の一実施例を示す斜視図であり、第１図に
おいて、８はウェハカセットを処理袋１１間ｉ、：亘っ
て搬送する無人搬送車・ ９は地上走行タイプの搬送ロ
ボット２が走行する走行レールであり、ｌＯは天井走行
タイプの走行ロボット１１が走行する天井走行レール、
しは前記無人搬送車８、地上走行タイプの搬送四ボット
２及び天井走行ロボット１１によって各処理装置１間に
亘ってｍ送されるウニバカセント、１３はウェハカセッ
トストッカ３の上部に設けられたウェハカセットの収納
、取出口・１４はこのウェハカセットストッカ３に収納
されたウェハカセットを前記収納、取田口氏より取出し
て・天井走行ロボツ）１１への載置、又は天井走行ロボ
ット１１よりウェハカセットストッカ３内へ直接収納す
るウェハカセット載置ロボットである。
なお、ウェハカセットストッカ３の内部の載置台５、チ
ェーン６、スプロケット７の配置構造は第８図のものと
同様につき説明を省略するう上記のように構成された装
置１においては、ウェハカセット１２は例えば遠く離れ
た前工稗の処理装置から天井搬送ロボット１１ ｉｌ：
よりウニバカセントストッカ３の上方へ運ばれた後、ウ
エハカセント載置ロボット１４によって直接ウェハカセ
ットストッカ３の載置台５（第８図に示す）に載置され
、−時的に収納される。次に処理装置ｌの空きによって
ウェハカセットストツｊＪ３の収納、取出口４から地上
搬送ロボット２によって取出され、処理袋ａ！へ搬送さ
れる。一方、処理済のウェハカセットは、地上走行ロボ
ット２によって収納、取出口４よりウェハカセットスト
ッカ３の載置台６へ載置されて一時的に収納された後、
次工程の空きによってウェハカセットストッカ３の上部
収納、取出口１３よりウェハカセット載置ロボット１４
によって天井搬送口ボッ） １１に載置された後、次工
程へ搬送されるものである。
ェーン６、スプロケット７の配置構造は第８図のものと
同様につき説明を省略するう上記のように構成された装
置１においては、ウェハカセット１２は例えば遠く離れ
た前工稗の処理装置から天井搬送ロボット１１ ｉｌ：
よりウニバカセントストッカ３の上方へ運ばれた後、ウ
エハカセント載置ロボット１４によって直接ウェハカセ
ットストッカ３の載置台５（第８図に示す）に載置され
、−時的に収納される。次に処理装置ｌの空きによって
ウェハカセットストツｊＪ３の収納、取出口４から地上
搬送ロボット２によって取出され、処理袋ａ！へ搬送さ
れる。一方、処理済のウェハカセットは、地上走行ロボ
ット２によって収納、取出口４よりウェハカセットスト
ッカ３の載置台６へ載置されて一時的に収納された後、
次工程の空きによってウェハカセットストッカ３の上部
収納、取出口１３よりウェハカセット載置ロボット１４
によって天井搬送口ボッ） １１に載置された後、次工
程へ搬送されるものである。
以上のようにこの発明によれば、ウェハカセットストン
力の上部に新たにウェハカセットの収納取出口を設ける
とともに、この上部のウェハカセットａ納、取出口ぶり
ウェハカセットの載置及び取出しを行うためのウェハカ
セット載置ロボットを配置したことにより、繁雑になる
ウェハカセットのウェハカセットストッカへの収納、取
出し作業を、天井走行ロボットに対して多種の搬送機器
に乗り継ぐことなく直接行えるので、複雑多岐、多量に
及ぶ処理装置間の搬送を、迅速かつ効率的に実現できる
という優れた効果を有する。
力の上部に新たにウェハカセットの収納取出口を設ける
とともに、この上部のウェハカセットａ納、取出口ぶり
ウェハカセットの載置及び取出しを行うためのウェハカ
セット載置ロボットを配置したことにより、繁雑になる
ウェハカセットのウェハカセットストッカへの収納、取
出し作業を、天井走行ロボットに対して多種の搬送機器
に乗り継ぐことなく直接行えるので、複雑多岐、多量に
及ぶ処理装置間の搬送を、迅速かつ効率的に実現できる
という優れた効果を有する。
第１図はこの発明の一実施例によるウェハカセットスト
ッカを示す斜視図、第２図は従来のウェハカセットスト
７カを示す斜視図、第８図は従来のウェハカセットスト
ッカの断面図である０ｍ中、３４’：ｉウェハカセット
ストッカ、鴫、凪は収納、取出口、５は載置台、６は連
結チェーン、７はスプロケット、Ｐはウェハカセット、
１４はウェハカセット載置ロボットである。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。
ッカを示す斜視図、第２図は従来のウェハカセットスト
７カを示す斜視図、第８図は従来のウェハカセットスト
ッカの断面図である０ｍ中、３４’：ｉウェハカセット
ストッカ、鴫、凪は収納、取出口、５は載置台、６は連
結チェーン、７はスプロケット、Ｐはウェハカセット、
１４はウェハカセット載置ロボットである。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ウェハが所定の枚数収納されたウェハカセット
の載置台を環状に数段連結し、この載置台を回転させて
前面及び背面の所定高さに配置した収納、取出口に位置
させて、前記ウェハカセットの収納、取出しを行うウェ
ハカセットストッカにおいて、前記ウェハカセットスト
ッカの上部に、ウェハカセットの収納、取出口を形成す
るとともに、ウェハカセット載置ロボットを備えたこと
を特徴とするウェハカセットストッカ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021658A JPH03225847A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | ウエハカセツトストツカ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021658A JPH03225847A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | ウエハカセツトストツカ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03225847A true JPH03225847A (ja) | 1991-10-04 |
Family
ID=12061146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021658A Pending JPH03225847A (ja) | 1990-01-30 | 1990-01-30 | ウエハカセツトストツカ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03225847A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100321545B1 (ko) * | 1999-07-15 | 2002-01-23 | 김광교 | 웨이퍼 카세트 이송장치 |
| JP2005530361A (ja) * | 2002-06-19 | 2005-10-06 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 縦型輪状コンベヤ及びオーバーヘッドホイストを基にした半導体製造のためのマテリアルの自動化処理システム |
| US8277161B2 (en) | 2007-06-26 | 2012-10-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and manufacturing method of a semiconductor device |
| US10957569B2 (en) | 2002-10-11 | 2021-03-23 | Murata Machinery Ltd. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
-
1990
- 1990-01-30 JP JP2021658A patent/JPH03225847A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100321545B1 (ko) * | 1999-07-15 | 2002-01-23 | 김광교 | 웨이퍼 카세트 이송장치 |
| JP2005530361A (ja) * | 2002-06-19 | 2005-10-06 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 縦型輪状コンベヤ及びオーバーヘッドホイストを基にした半導体製造のためのマテリアルの自動化処理システム |
| US7771153B2 (en) | 2002-06-19 | 2010-08-10 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
| US8197172B2 (en) | 2002-06-19 | 2012-06-12 | Murata Machinery, Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
| US9620397B2 (en) | 2002-06-19 | 2017-04-11 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
| US9881823B2 (en) | 2002-06-19 | 2018-01-30 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
| US10141212B2 (en) | 2002-06-19 | 2018-11-27 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
| US10147627B2 (en) | 2002-06-19 | 2018-12-04 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
| US10381251B2 (en) | 2002-06-19 | 2019-08-13 | Murata Machinery Ltd. | Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists |
| US10957569B2 (en) | 2002-10-11 | 2021-03-23 | Murata Machinery Ltd. | Access to one or more levels of material storage shelves by an overhead hoist transport vehicle from a single track position |
| US8277161B2 (en) | 2007-06-26 | 2012-10-02 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing apparatus and manufacturing method of a semiconductor device |
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