JPH0324065B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体処理装置、特にイオン打込み
装置におけるウエハーの搬送方法及び装置に関す
る。

〔従来技術〕

一般的に、ウエハー収納用カセツトとしては、
両内側壁に左右対称に例えば25本の水平溝を設け
たＨ型のウエハーカセツトが使用されている。
（第１図参照）そして、ウエハーはこのカセツト
に設けた溝に一枚宛差し込み保持している。

従つて、上記の例では１個のカセツトに25枚の
ウエハーを収納している。

このウエハーカセツトからウエハーを取り出す
場合、通常次のように行う。

まず、ウエハーカセツトをエレベータにより上
下動させ、ウエハーカセツト下方に位置するコン
ベヤ上に下段のウエハーから順番に排出する。
（第２図イおよび第２図ロ参照） 一方、空のウエハーカセツトにウエハーを装填
する場合には、逆に上段からウエハーを順番に装
填していく。

この従来の搬送方法の場合、ウエハーカセツト
から順次コンベヤ、搬入手段を介して例えばイオ
ン注入用デイスク上のウエハー置き台へウエハー
を供給し、イオン注入処理後、当該ウエハーを搬
出手段、コンベヤを介し出側に設けた元のウエハ
ーカセツト或いは同型の空ウエハーカセツトに装
填していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

叙上のような工程でウエハーをカセツトから取
出し収納すると、イオン打込み装置等の処理装置
にウエハーを供給する前にカセツトに装填してい
た順番と、イオン打込み処理等の処理した後にカ
セツトに装填したウエハーとではウエハーの順番
が上下逆になるため枚葉による在庫管理が難し
く、特に、小数多品種のチツプの製造には問題が
あつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本出願における第１の発明に係るウエハー搬送
方法は、未処理ウエハーをウエハーカセツトから
取り出し、各種の処理をした後、再びウエハーカ
セツトに収納するウエハー搬送方法において、入
側ウエハーカセツトエレベータの後段又は出側ウ
エハーカセツトエレベータの前段若しくはその双
方に入側及び／又は出側のウエハーカセツトエレ
ベータに隣接して、ウエハー一時収納用エレベー
タによつて昇降され、かつ、３方向に開口面を有
する多数の収納室を備えたウエハー一時収納装置
を配置し、処理する前又は処理した後のウエハー
を一旦ウエハー一時収納装置に収納すると共に、
該ウエハー一時収納装置から収納した方向と反対
方向又は収納した方向と直交する方向に、収納し
た時と逆の順序で取出し、処理したウエハーを未
処理ウエハーと同一順序になるようにウエハーカ
セツトに収納するようにしたことを特徴とするも
のである。

また、本出願における第２の発明に係るウエハ
ー搬送装置は、入側ウエハーカセツトエレベータ
と３方向に開口面を有する多数の収納室を備えた
ウエハー一時収納装置を載置した入側ウエハー一
時収納用エレベータとを隣接配置し、これらの間
にウエハーを搬送するコンベヤを設け、かつ、ウ
エハー一時収納装置から直角方向に処理装置入側
の固定部へウエハーを搬送するコンベヤを設け、
該入側の固定部上のウエハーを処理装置に移送す
るための搬入手段を設けると共に、ウエハーを処
理装置で処理した後、処理装置出側の固定部へ取
り出すための搬出手段を設け、かつ、処理後のウ
エハーを処理装置出側の固定部からウエハーカセ
ツトエレベータ上のウエハーカセツトに搬送する
ための搬送手段を設けてなることを特徴とするも
のである。

さらに、本出願における第３の発明に係るウエ
ハー搬送装置は、入側ウエハーカセツトから処理
装置入側の固定部へウエハーを搬送するコンベヤ
と、入側の固定部のウエハーを処理装置に移送す
るための搬入手段と、処理装置で処理したウエハ
ーを処理装置出側の固定部へ取り出すための搬出
手段と、処理装置出側の固定部から３方向に開口
面を有する多数の収納室を備えた出側ウエハー一
時収納装置へウエハーを搬送するコンベヤと、互
に隣接して配置したウエハー一時収納装置を載置
した出側ウエハー一時収納用エレベータと出側ウ
エハーカセツトエレベータとの間でウエハー一時
収納装置への収納方向と直角方向にウエハーを搬
送するコンベヤとからなることを特徴とするもの
である。

〔実施例〕

次に、本発明に関し、図面を参照しながらイオ
ン打込み装置に実施した実施例について説明す
る。

第３図は、本発明のウエハー搬送装置の概略を
示すもので、１はウエハーカセツトで、第１図に
示すようなＨ型に形成さており、次に説明する入
側ウエハー一時収納装置４側にウエハー出入部を
開口するようにエレベータ２に載置されており、
該エレベータ２により上下動可能に保持されてい
る。

このエレベータ２の垂直方向への上下動により
ウエハーカセツト１中に収納されたウエハーを一
枚宛コンベヤ３，３′上に載置せしめるように構
成されている。このコンベヤ３の他端上に位置す
るようにウエハー一時収納装置４が設けられてい
る。

このウエハー一時収納装置４は、ウエハーカセ
ツト１と同様にエレベータ５により上下動可能に
保持されており（第４図参照）、かつ、上下方向
に多数の収納室が設けられていて、ウエハーカセ
ツト１から送られてくるウエハーを上の室から順
番に装填出来るようになつている。

即ち、第５図に示すように各室を区画する金属
板６にはコンベヤ３と干渉しないように切欠き部
分７が設けられている。

また、このウエハー一時収納装置４にはコンベ
ヤ３と直交する方向に設けられたコンベヤ８が接
続されている。そのため、上記金属板６には切欠
き部分７に直交する方向の空隙９が設けられてい
る。従つて、ウエハー一時収納装置４の各収納室
には３方向に開口面が設けられており、ウエハー
の装入方向と直交する方向或いは装入した側と反
対側への取出しが可能なようになつている。

なお、第５図では、理解を容易にするため金属
板６が完全に分割分離されているように示されて
いるが、これらの間には当然連結部分があり、こ
の連結分を避けるためコンベヤ３および８はそれ
ぞれ分離型となつている。

また、前記コンベヤ３と８とが干渉しないよう
に、コンベヤ３を挟んでコンベヤ８を前後に２分
割し、このコンベヤ８を一定の高さだけ昇降でき
る機構とすれば、コンベヤ８を使用する場合にそ
れをコンベヤ３より上の位置まで移動させること
により、コンベヤ３と干渉するとなくウエハーを
ウエハー一時収納装置４から搬出できる。

コンベヤ８の他端部にはデイスク入側の固定部
１０が設けられており、コンベヤ８で送られたウ
エハーを一時載置せしめる。このデイスク入側の
固定部１０から少し離れた位置にウエハーデイス
ク１１が配設されている。

そして、ウエハーデイスク１１の上面周辺部に
は多数のウエハー置き台１５が設けられており、
その一つ一つに夫々ウエハーが装填される。

搬送デイスク入側の固定部１０を挟んでウエハ
ーデイスク１１の反対側にウエハー搬入手段１２
が設けられており、デイスク１１に向つて進退自
在の真空吸着部分（図示せず）にウエハーを吸着
し、デイスク１１上にウエハーの搬入を行うよう
になつている。

また、搬送コンベヤ８と同一直線上で、デイス
ク入側の固定部１０から所定距離離れた位置にデ
イスク出側の固定部１３が設けられており、前記
ウエハー搬入手段１２と併設された同一構造のウ
エハー搬出手段１４によりデイスク１１上のウエ
ハー置き台１５からイオン打込み処理したウエハ
ーを取出し載置せしめるようになつている。

更に、デイスク出側の固定部１３にはコンベヤ
１６が接続されており、その後段には、前記ウエ
ハー一時収納装置４およびエレベータ５と左右対
称構造としたウエハー一時収納装置１７およびエ
レベータ１８が設けられており、かつ、その後段
には前記コンベヤ３と同一構造のコンベヤ１９が
設けられている。また、その後段にはウエハーカ
セツト１およびウエハーカセツトエレベータ２と
同一構造のウエハーカセツト２０およびエレベー
タ２１が設けられている。

なお、前記ウエハー搬入手段１２とウエハー搬
出手段１４との間にはダミーウエハーカセツト２
２が設けられており、それに付設されたコンベヤ
２３，２３′によりデイスク入側の固定部１０お
よびデイスク出側の固定部１３に夫々接続されて
いる。ここで、コンベヤ２３′は固定タイプであ
るが、コンベヤ２３は上下動可能とし、ウエハー
を容易に直角方向に乗り移りさせることができる
ようになつている。

次に、ウエハー搬送工程について説明する。

先ず、ロボツト等のハンドリング手段によりウ
エハー装填済みウエハーカセツト１をエレベータ
２上に載置する。

最初エレベータ２はカセツト１を最上部に位置
させ、その後除々に下降カセツト１中のウエハー
をコンベヤ３，３′上に順次載置させ排出する。
そして、コンベヤ３に載置されたウエハーはウエ
ハー一時収納装置４に送られる。

一方、ウエハー一時収納装置４は最初はエレベ
ータ５により最下部に保持され、その後除々に上
昇しながら上の収納室から順番にウエハーを装填
していく。

そして、装填完了後、ウエハー一時収納装置４
は、丁度ウエハーカセツト１からのウエハーの排
出と同様、エレベータ５とコンベヤ８が共働して
ウエハー一時収納装置４の下部から一枚宛排出
し、コンベヤ８によりデイスク入側の固定部１０
まで搬送する。（ウエハーの一時収納装置４への
搬送・収納・搬出については第６図イ・ロ・ハを
参照） デイスク入側の固定部１０上のウエハーはウエ
ハー搬入手段１２によりウエハーデイスク１１上
のウエハー置き台１５に順次装入される。

そして、ウエハーデイスク１１の上面周辺部に
設けた、例えば、８個のウエハー置き台１５に一
枚宛ウエハーを装入したら、図示しないウエハー
置き台１５のクランプ装置によりクランプし、ウ
エハーデイスク１１と共に、イオン打込みゾーン
に移送し、イオン打込み処理を施した後、再び第
３図に示す位置まで戻す。

イオン打込み処理後のウエハーはウエハー搬出
手段１４によりウエハー置き台１５から取り出さ
れデイスク出側の固定部１３上に載置される。

このウエハーは更にコンベヤ１６によりウエハ
ー一時収納装置１７に搬送されるが、この実施例
の場合、既にウエハー一時収納装置４により一度
ウエハーの位置関係（順番）を反転させているた
め、一時収納装置１７によりウエハーを再度反転
させる必要がないのでそのまま素通りさせコンベ
ヤ１９によりウエハーカセツト２０まで搬送す
る。

従つて、もしウエハー一時収納装置４でウエハ
ーを反転していない場合には、一時収納装置１７
を使用することは言うまでもない。

ウエハーカセツト２０はエレベータ２１により
最下部に位置されており、エレベータ２１とコン
ベヤ１９が共働してウエハーを一枚宛ウエハーカ
セツト２０上部から下部に収納していく。

このウエハーカセツト２０はウエハー収納のた
めタイミングを合わせてエレベータ２上から移送
した前記未処理ウエハーを収納していたウエハー
カセツト１を使用してもよいし、或いは同一形状
の他のウエハーカセツトを使用してもよい。

このようにして収納を完了したウエハーカセツ
ト２０はロボツト等のハンドリング手段により次
工程に運ばれる。

なお、ウエハーデイスク１１に供給するウエハ
ーの処理枚数が少ないときはダミーウエハーカセ
ツト２２よりコンベヤ２３′，２３を介し、ダミ
ーウエハーをデイスク入側の固定部１０上に載置
しウエハー搬入手段１２により空のウエハー置き
台１５に装入しイオン打込み（注入）時のウエハ
ー置き台１５の表面を保護する。

イオン打込み処理後、ダミーウエハーも普通の
ウエハーと同様、ウエハー搬出手段１４によりデ
イスク出側の固定部１３に取出し、コンベヤ２
３，２３′により再びダミーウエハーカセツト２
２に収納する。

また、上記実施例はイオン打込み装置の入側と
出側に夫々エレベータ機構を一組宛配設している
が第７図に示すように入側或いは出側若しくは双
方に二組以上併設してもよい。この場合、コンベ
ヤの切換により連続してウエハーデイスク１１上
にウエハーを供給できるという利点がある。

なお、この場合、例えば最初のウエハー一時収
納装置４と直列に二番目のウエハー一時収納装置
４′を設置すればコンベヤ８′を両ウエハー一時収
納装置用に兼用することができる。

また、ウエハーをコンベヤ８よりコンベヤ８′
に移送する際、エレベータ５′により収納装置
４′を適当な位置まで上げておけばコンベヤ８′上
のウエハーが通路を妨げられることはない。

〔効果〕

本発明によれば、イオン打込み処理等の処理を
する前のウエハーの収納カセツトへの収納位置
（順番）とイオン打込み処理等の処理した後の収
納カセツトへの収納位置（順番）が一致するた
め、ウエハーの枚葉ごとの品質管理が容易とな
る。また、ウエハーのウエハー一時収納装置への
装入及び取出しは、装入方向と取出し方向が直角
方向或いは同じ方向（装入側と反対側）に選択出
来るため全体の装置に合せてウエハーの搬送経路
を設計できるので、装置全体としてコンパクトと
なり、ウエハーカセツトの搬出・移送、搬入のハ
ンドリングも極めて容易に行うことが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に使用するウエハーカセツトの
一例を示す斜視図、第２図イ，ロはウエハーカセ
ツトとそこからウエハーを排出するコンベヤとの
関係を示す平面図、第３図は本発明の一実施例を
示す概略図、第４図はウエハー一時収納装置とエ
レベータとを示す正面図、第５図は第４図のＶ−
Ｖ線に沿う断面図、第６図イ，ロ，ハはウエハー
の移送方向の一例を示す概略図、第７図は本発明
の他の実施例を示す概略図である。 １……ウエハーカセツト、２……エレベータ、
３，３′……コンベヤ、４……ウエハー一時収納
装置、５……エレベータ、６……金属板、７……
切欠き部分、８……コンベヤ、９……空隙、１０
……デイスク入側の固定部、１１……ウエハーデ
イスク、１２……ウエハー搬入手段、１３……デ
イスク出側の固定部、１４……ウエハー搬出手
段、１５……ウエハー置き台、１６……コンベ
ヤ、１７……ウエハー一時収納装置、１８……エ
レベータ、１９……コンベヤ、２０……ウエハー
カセツト、２１…コンベヤ、２２……ダミーウエ
ハーカセツト、２３，２３′……コンベヤ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 未処理ウエハーをウエハーカセツトから取り
   出し、各種の処理をした後、再びウエハーカセツ
   トに収納するウエハー搬送方法において、入側ウ
   エハーカセツトエレベータの後段又は出側ウエハ
   ーカセツトエレベータの前段若しくはその双方に
   入側及び／又は出側のウエハーカセツトエレベー
   タに隣接して、ウエハー一時収納用エレベータに
   よつて昇降され、かつ、３方向に開口面を有する
   多数の収納室を備えたウエハー一時収納装置を配
   置し、処理する前又は処理した後のウエハーを一
   旦ウエハー一時収納装置に収納すると共に、該ウ
   エハー一時収納装置へ収納した方向と反対方向又
   は収納した方向と直交する方向に、収納した時と
   逆の順序で取出し、処理したウエハーを未処理ウ
   エハーと同一順序になるようにウエハーカセツト
   に収納するようにしたことを特徴とするウエハー
   搬送方法。 ２ 入側ウエハーカセツトエレベターと３方向に
   開口面を有する多数の収納室を備えたウエハー一
   時収納装置を載置した入側ウエハー一時収納用エ
   レベータとを隣接配置し、これらの間にウエハー
   を搬送するコンベヤを設け、かつ、ウエハー一時
   収納装置から直角方向に処理装置入側の固定部へ
   ウエハーを搬送するコンベヤを設け、該入側の固
   定部上のウエハーを処理装置に移送するための搬
   入手段を設けると共に、ウエハーを処理装置で処
   理した後、処理装置出側の固定部へ取り出すため
   の搬出手段を設け、かつ、処理後のウエハーを処
   理装置出側の固定部からウエハーカセツトエレベ
   ータ上のウエハーカセツトに搬送するための搬送
   手段を設けてなるウエハー搬送装置。 ３ 入側ウエハーカセツトから処理装置入側の固
   定部へウエハーを搬送するコンベヤと、入側の固
   定部のウエハーを処理装置に移送するための搬入
   手段と、処理装置で処理したウエハーを処理装置
   出側の固定部へ取り出すための搬出手段と、処理
   装置出側の固定部から３方向に開口面を有する多
   数の収納室を備えた出側ウエハー一時収納装置へ
   ウエハーを搬送するコンベヤと、互に隣接して配
   置したウエハー一時収納装置を載置した出側ウエ
   ハー一時収納用のエレベータと出側ウエハーカセ
   ツトエレベータとの間でウエハー一時収納装置へ
   の収納方向と直角方向にを搬送するコンベヤとか
   らなるウエハー搬送装置。 ４ 入側或いは出側にウエハーカセツトエレベー
   タを２乃至数組設け、最入側或いは最出側のウエ
   ハーカセツトエレベータと処理装置入側或いは出
   側の固定部との間のコンベヤがその他の一時収納
   装置を貫通していることを特徴とする特許請求範
   囲第２項及び第３項記載のウエハー搬送装置。 ５ 入側の固定部と出側の固定部とをコンベヤで
   連結せしめると共に、このコンベヤと直角方向に
   ウエハーが乗り移り出来るように他のコンベヤを
   設け、この他のコンベヤをダミーウエハーカセツ
   トに接続せしめたことを特徴とする特許請求の範
   囲第２項乃至第４項記載のウエハー搬送装置。