JPH0322682Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 クリーンルームの天井に設けたフイルターを複
数のグリツドに分け、各グリツドごとにシヤツタ
ーを設け、各グリツドごとに室内側から風量を調
節できるようにし、部分的な気流制御及び層流ク
リーンルームから乱流クリーンルームへ、風量を
自由に変更できるようにしたクリーンルームに関
する考案である。

〔従来の技術〕

垂直層流型クリーンルームにはいくつかの方法
があるがこれからのユーザーのニーズに答えるた
めには改良すべき点が多々ある。

プレナムチヤンバー方式は天井フイルターと上
部フロアーの間に循環フアンでエアーを送り、下
部の床吸込口から循環フアンで吸気し、大空間を
クリーン化できるので室内レイアウト変更も比較
的容易にできる為現在主流をしめている。しかし
大空間の大風量を１度でON、OFFしなければな
らない為レイアウト後のクリーン度の高低に関係
なく同一の清浄度を給気する為無駄のランニング
コストがかかる、又製産ライン毎に運転停止、風
量調整ができない為、今後の省エネ化及び設備費
削減の動向には適合しなくなつている。

ウエバー方式は主ダクトにシヤツター付ホツパ
ーフイルターを接続する方式であるが、フイルタ
ー毎に風量調整はできるが、天井裏に主ダクトを
通し更にフイルターごとにダクトを接続しなけれ
ばならない為、建家の階高の問題イニシヤル設備
が非常に高くつく、又、ダクト押し込み方式であ
り、エアーのモレによるリークの危険が非常に高
い為、日本ではあまり採用されていない。しかも
前記した方式のように一定量の風量を保つている
だけでは、クリーンルーム内の製造装置の配管替
え、清浄度の部分的変更等に容易に対応できない
ものである。

〔考案が解決しようとする問題点〕

一定量を風量を保つているだけではクリーンル
ーム内の製造装置の配置替え、清浄度の部分的変
更に対応できないという問題点設備費の割高域は
建家の階高の問題点を解決しようとする考案であ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

天井全面に設置されたフイルターを複数のグリ
ツドに分け、各グリツド毎のフイルターの上流に
は該フイルターの枠体に固定されるとともに複数
の円孔を穿設した下部プレートと、該下部プレー
トの円孔と同じ円孔を複数穿設した上部プレート
とを設け、前記下部プレートの中央で軸支されそ
の先端部に歯が刻設されたピニオンを形成すると
ともに後端部を面取りしてなる風量調節用のシヤ
フトを前記フイルターへ下方貫通させて室内に突
設せしめ、前記シヤフトのピニオンと噛合するラ
ツクを前記上部プレートに設けるとともに、前記
下部プレートの両側に前記上部プレートの移動を
規制するストツパーを立設し、前記シヤフトを適
宜回転させることにより前記下部プレートの円孔
と上部プレートの円孔との重なり具合いが変化
し、吹出気流分布を損なうことなく各グリツド毎
に風量が調整され、更に下部のフイルターで清浄
されて室内のクリーン度が保持されるようにし
た。この様に、当該シヤツターを個々に調整する
ことにより層流クリーンルームから乱流クリーン
ルームへ自由に変更できるようにし、部分的に適
切な清浄度に変更でき、製造装置等で気流がみだ
れた個所を流れる空気量を調整することにより気
流のみだれを少なくすることができるようにした
考案である。

〔作用〕

複数に分けた天井のフイルターの上流に設けた
シヤツターを室内において、シヤツターの開口度
合を調整し部分的に風量を調整し、層流クリーン
ルーム、乱流クリーンルームとに自由に変更し、
クリーンルーム内の変化に応じて調整するもので
ある。しかも、前記フイルターの上流側にシヤツ
ターがあるので、該シヤツターに付着することあ
る塵埃が下流のフイルターで除去されることとな
り、室内のクリーン度が維持される。

〔実施例〕

内部にフイルターを内挿し適宜形成されたフイ
ルターケース１の上部にフイルターケース１とほ
ぼ同じ大きさの四側を囲つた枠体２を取り付け枠
体２の上下の中間にフランジ３を設け、該フラン
ジ３に数多の円孔４を穿つたシヤツター用の下部
プレート５を固定し、該下部プレート５と全く同
条件で複数の円孔６を穿つたシヤツター用の上部
プレート７を下部プレート５上に載置し、上部プ
レート７の中央に横長の長孔８を穿ち、下部プレ
ート５の孔１２及び上部プレート７の長孔８を貫
通してシヤフト９を設け、シヤフト９はフイルタ
ーの下部迄延長し、該延長部の下部を角形に面取
り１１して工具を使用し易すくする。

シヤフト９は下部プレート５に軸受１０によつ
て回転自在に取り付ける。

上部プレート７より突出しているシヤフト９に
ピニオン１３を刻設し、該ピニオン１３に噛合す
るラツク１４を上部プレート７の長孔８の上側端
部に固定して設け、ラツク１４とピニオン１３を
噛合させておく、下部プレート５の両側上部に上
部プレート７用のストツパー１５を設けてシヤツ
ターＡを形成するものである。１６は軸受（ベア
リング）１０のケースで下部プレート５に固定さ
れている。

ピニオン１３は上部プレート７の下面まで刻設
することによりラツク１４と確実に噛合させるこ
とができるものである。１７は枠体２の補強用プ
レートを示すものである。

複数のグリツド（区画部）に吊り鋼材Ｂで区画
した天井面の各グリツド（区画部）Ｃに前記シヤ
ツターＡ付フイルター１を取り付けるものであ
る。

そして風量を調整する際は工具を用いてクリー
ンルーム内よりシヤフト９を回転させるとピニオ
ン１３が回転するため、ピニオン１３に噛合して
ラツク１４が横移動する。ラツク１４と一体とな
つている上部プレート７も長孔８に沿つて横移動
し下部プレート５の円孔４と上部プレート７の円
孔６とが閉じたり開口したり０〜100％迄で自由
にその開口状態を調整することができるものであ
る。

〔考案の効果〕

シヤツターの調整により層流クリーンルームか
ら乱流クリーンルームへ自由に変更ができ、且つ
部分的に適切な清浄度に変更でき、又製造装置等
で気流がみだれた場合、その部分を流れる空気量
の調整でみだれを少なくできるものである。

しかも、前述の垂直層流システムにも、全面フ
イルター方式及びランダム方式、又は0.3μ用フイ
ルター、0.1μ用フイルターの併用が含まれる事は
言う迄もない。また、風量調整用のシヤツターに
付着する虞のある塵埃が室内に浸入することがな
く室内のクリーン度が維持され、更に、シヤツタ
ーの開閉動作機構がラツクアンドピニオンによる
ので一定の操作力で操作できるので操作性が良
い。

本願のシステムを採用する事により、例えば通
路部分の風速を0.2ｍ／ｓ、製造エリアの風速を
0.35ｍ／ｓ、又休止しているラインについては完
全停止等製産ラインの都合に合わせてトータル的
にコントロールできるため有効稼動率が非常に高
くなり年間を通して考えると大巾なランニングコ
ストの減少になる等の効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は天井面の底面図、第２図はシヤツター
とフイルターの平面図、第３図は同正面図、第４
図はシヤツターの斜視図、第５図はシヤフト取り
付け部の拡大断面図である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 天井全面に設置されたフイルターを複数のグリ
   ツドに分け、各グリツド毎のフイルターの上流に
   は該フイルターのの枠体に固定されるとともに複
   数の円孔を穿設した下部プレートと、該下部プレ
   ートの円孔と同じ円孔を複数穿設した上部プレー
   トとからなるシヤツターを設け、前記下部プレー
   トの中央で軸支されその先端部に歯が刻設された
   ピニオンを形成するとともに後端部を面取りして
   なる風量調節用のシヤフトを前記フイルターへ下
   方貫通させて室内に突設せしめ、前記シヤフトの
   ピニオンと噛合するラツクを前記上部プレートに
   設けるとともに、前記下部プレートの両側に前記
   上部プレートの移動を規制するストツパーを立設
   し、前記シヤフトを適宜回転させることにより前
   記下部プレートの円孔と上部プレートの円孔との
   重なり具合いが変化し、吹出気流分布を損なうこ
   となく各グリツド毎に風量が調整され、更に下部
   のフイルターで清浄されて室内のクリーン度が保
   持される、ことを特徴としてなる風量調整機構付
   フイルターを天井面に設けたプレナムチヤンバー
   式垂直層流型クリーンルーム。