JPH0668408B2 - クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム - Google Patents
クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ムInfo
- Publication number
- JPH0668408B2 JPH0668408B2 JP61122160A JP12216086A JPH0668408B2 JP H0668408 B2 JPH0668408 B2 JP H0668408B2 JP 61122160 A JP61122160 A JP 61122160A JP 12216086 A JP12216086 A JP 12216086A JP H0668408 B2 JPH0668408 B2 JP H0668408B2
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- passage
- wall surface
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は，クリーンルーム用空気吹出装置およびこれを
利用した高天井室内の任意の区域にクリーンゾーンを形
成する技術に関する。
利用した高天井室内の任意の区域にクリーンゾーンを形
成する技術に関する。
従来のクリーンルームは，天井高さが高々3m程度であ
り,5〜20mもしくはそれ以上の天井高さのクリーンルー
ムはあまり例を見ない。これは床面に作業用設備を設置
する関係上，必要以上の天井高さは不要であることと，
天井が高ければ高いほど気流の制御が困難になり，また
空調負荷が必要以上に過大になることによる。また，天
井の高低にはかかわらず，大空間の場合には，更に囲わ
れた小ルームを作りこれをクリーンルームに構築するの
が通常であり，大きな工場全体の空間をそのままクリー
ンルームに形成するようなことも前記と同様の理由から
通常は行われていない。
り,5〜20mもしくはそれ以上の天井高さのクリーンルー
ムはあまり例を見ない。これは床面に作業用設備を設置
する関係上，必要以上の天井高さは不要であることと，
天井が高ければ高いほど気流の制御が困難になり，また
空調負荷が必要以上に過大になることによる。また，天
井の高低にはかかわらず，大空間の場合には，更に囲わ
れた小ルームを作りこれをクリーンルームに構築するの
が通常であり，大きな工場全体の空間をそのままクリー
ンルームに形成するようなことも前記と同様の理由から
通常は行われていない。
高い天井の大空間をクリーンルームに構成することが要
求されることがある。これは，大型作業機械が設置され
る場合や，製造ラインが上下に組まれて物流が室内を昇
降するような設備，さらには既存の高天井室（普通の工
場空間などの非クリーンルーム）を大きな改変をするこ
となくそのままクリーンルームに利用したい場合などで
ある。しかし，このような大空間の室全体を層流式クリ
ーンルームに構成するには極めて多大の設備費用と運転
費用を必要とする。そして，多大の費用をかけても必ず
しも室内全体を高い清浄域に維持することは困難である
し，また高い清浄度を必要とする作業域が限られた区域
だけである場合には多大の無駄が生ずる。
求されることがある。これは，大型作業機械が設置され
る場合や，製造ラインが上下に組まれて物流が室内を昇
降するような設備，さらには既存の高天井室（普通の工
場空間などの非クリーンルーム）を大きな改変をするこ
となくそのままクリーンルームに利用したい場合などで
ある。しかし，このような大空間の室全体を層流式クリ
ーンルームに構成するには極めて多大の設備費用と運転
費用を必要とする。そして，多大の費用をかけても必ず
しも室内全体を高い清浄域に維持することは困難である
し，また高い清浄度を必要とする作業域が限られた区域
だけである場合には多大の無駄が生ずる。
本発明はこのような問題の解決を目的としてなされたも
のである。
のである。
本発明は，かような大空間高天井室をクリーンルームに
構成するのに好適な空気吹出装置を案出したもので，長
手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連設した第一風道
と，長手方向に沿う壁面に複数個の空気噴射ノズルを連
設した第二風道とを背合わにした複合ダクトからなり，
かつこの複合ダクトの第一風道の一方の端から第二風道
の他方の端に通ずる空気連通路を設けると共にこの空気
連通路にファンとHEPAフィルタを装着してなるクリーン
ルーム用空気吹出装置を提供するものである。
構成するのに好適な空気吹出装置を案出したもので，長
手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連設した第一風道
と，長手方向に沿う壁面に複数個の空気噴射ノズルを連
設した第二風道とを背合わにした複合ダクトからなり，
かつこの複合ダクトの第一風道の一方の端から第二風道
の他方の端に通ずる空気連通路を設けると共にこの空気
連通路にファンとHEPAフィルタを装着してなるクリーン
ルーム用空気吹出装置を提供するものである。
そして，このクリーンルーム用空気吹出装置を使用した
高天井クリーンルームとして，この装置を高天井室の各
コーナー部に長手方向を垂直にして設置するか，または
高天井室の一方の壁面近くとこれに対向する他方の壁面
近くに長手方向を実質上水平にして設置し，そのさい，
この装置の各空気噴射ノズルの方向が一様に次の隣接す
る装置の方向に向けられ，該装置の各空気取入用開口を
もつ壁面がこの装置に向かって流れてくる空気流と衝突
する方向に向けられており，該装置内のフアンの稼動に
より高天井室内の任意高さの空間位置に一方向性の渦流
を形成するようにした高天井クリーンルームを提供する
ものである。
高天井クリーンルームとして，この装置を高天井室の各
コーナー部に長手方向を垂直にして設置するか，または
高天井室の一方の壁面近くとこれに対向する他方の壁面
近くに長手方向を実質上水平にして設置し，そのさい，
この装置の各空気噴射ノズルの方向が一様に次の隣接す
る装置の方向に向けられ，該装置の各空気取入用開口を
もつ壁面がこの装置に向かって流れてくる空気流と衝突
する方向に向けられており，該装置内のフアンの稼動に
より高天井室内の任意高さの空間位置に一方向性の渦流
を形成するようにした高天井クリーンルームを提供する
ものである。
以下に図面に従って本発明の内容を具体的に説明する。
第１図は本発明に従うクリーンルーム形成用空気吹出装
置の例を示したもので，上部を切り欠いた外観の一部を
示している。本発明装置は全体として細長いボックス形
状（両端が閉じたダクト形状）を有している。そして，
この細長いボックスの内部には長手方向に沿って第一風
道１と第二風道２が背合わせに形成されている。本例で
は，長手方向に延びる仕切り板３を，ボックス内のコー
ナーを対角線上に横切るように取付けることによって，
共に横断面三角形状の第一風道１と第二風道２が形成さ
れている。この第一風道１と第二風道２とからなる複合
ダクトはその下端は第１図のａで示すところまでであ
り，このａの位置まで仕切り板３が存在している。そし
て，この下端に後述のファンフイルターユニット７が接
続されている。一方，第１図には示されていないが、こ
の複合ダクトの上端は閉塞しており，仕切り板３はその
上端まで延びている。つまり第一風道１と第二風道２の
上端はそれぞれ閉塞している。
置の例を示したもので，上部を切り欠いた外観の一部を
示している。本発明装置は全体として細長いボックス形
状（両端が閉じたダクト形状）を有している。そして，
この細長いボックスの内部には長手方向に沿って第一風
道１と第二風道２が背合わせに形成されている。本例で
は，長手方向に延びる仕切り板３を，ボックス内のコー
ナーを対角線上に横切るように取付けることによって，
共に横断面三角形状の第一風道１と第二風道２が形成さ
れている。この第一風道１と第二風道２とからなる複合
ダクトはその下端は第１図のａで示すところまでであ
り，このａの位置まで仕切り板３が存在している。そし
て，この下端に後述のファンフイルターユニット７が接
続されている。一方，第１図には示されていないが、こ
の複合ダクトの上端は閉塞しており，仕切り板３はその
上端まで延びている。つまり第一風道１と第二風道２の
上端はそれぞれ閉塞している。
第一風道１の壁面には空気取入用開口４が長手方向に連
設されている。図示の例では円形の空気取入用開口４が
長手方向に所定の間隔をあけて設けられている。図示は
しないが，各空気取入用開口４にはそれぞれ開口を閉成
と開成を自由に行うことができる開口開閉手段例えば手
動ブラインドなどを取付けられる。なお，この空気取入
用開口４は第一風道１の壁面に長手方向に沿うスリット
を設けることによって形成してもよい。この場合にもス
リットの開口長さを任意の位置で自由に調整できる開閉
板を設けておくのがよい。
設されている。図示の例では円形の空気取入用開口４が
長手方向に所定の間隔をあけて設けられている。図示は
しないが，各空気取入用開口４にはそれぞれ開口を閉成
と開成を自由に行うことができる開口開閉手段例えば手
動ブラインドなどを取付けられる。なお，この空気取入
用開口４は第一風道１の壁面に長手方向に沿うスリット
を設けることによって形成してもよい。この場合にもス
リットの開口長さを任意の位置で自由に調整できる開閉
板を設けておくのがよい。
第二風道２には空気噴射ノズル５が長手方向に所定の間
隔で連設される。図示の例では第一風道１の円形の空気
取入用開口４に対応する数の空気取入用開口４が第二風
道２の対応位置の壁面に連設されている。この空気噴射
ノズル５にはそれぞれダンパが取付けられ，その吹出稼
動数が任意に調整できるようにしてある。６はそのダン
パの開閉ハンドルを示している。また各空気噴射ノズル
５は空気吹出角度を或る程度自由に変えられる構成とし
ておくのがよい。
隔で連設される。図示の例では第一風道１の円形の空気
取入用開口４に対応する数の空気取入用開口４が第二風
道２の対応位置の壁面に連設されている。この空気噴射
ノズル５にはそれぞれダンパが取付けられ，その吹出稼
動数が任意に調整できるようにしてある。６はそのダン
パの開閉ハンドルを示している。また各空気噴射ノズル
５は空気吹出角度を或る程度自由に変えられる構成とし
ておくのがよい。
そして，この複合ダクトにおける第一風道の一方の端か
ら第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設け，この
空気連通路にファンとHEPAフイルタを介装させる。第１
図ではこの空気連通路が複合ダクトの下端に設けられて
おり，この部分でファンフイルターユニット７を構成し
ている。
ら第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設け，この
空気連通路にファンとHEPAフイルタを介装させる。第１
図ではこの空気連通路が複合ダクトの下端に設けられて
おり，この部分でファンフイルターユニット７を構成し
ている。
第２図はこの空気連通路部分を形成するファンフイルタ
ーユニット７を図解して示したものである。図示のよう
に，このファンフイルターユニット７は複合ダクトと実
質上同径のボックス状ケーシング内にファン８とHEPAフ
イルタ９を装着したものであり，このボックス状ケーシ
ングの上板13には第一風道１に通ずる開口10と第二風道
２に通ずる開口11が設けてある。複合ダクトの仕切り板
３の下縁は該上板13に当接しており，この仕切り板３に
よって区分される第一風道１の側の上板13に開口11が，
そして，第二風道２の側の上板13に開口11が設けられる
ことによって，第一風道１の下端と第二風道２の下端が
ファンフイルターユニット７を通じて連通することにな
る。図示のファンフイルターユニット７ではケーシング
内を仕切り板14によってファンボックス15とHEPAフイル
タボックス16とに区分し，ファンボックス15の上板に開
口10を，そしてHEPAフイルタボックス16の上板に開口11
を設けると共に，ファンボックス15内に設置したファン
８の吐出口を仕切り板14からHEPAフイルタボックス16に
開放することによって，第一風道１内の空気をファンフ
イルターユニット７内に取入れてHEPAフイルタ９で浄化
したあと第二風道２に送気するようにしてある。したが
ってファン８を駆動すると，複合ダクトの周辺の空気が
空気取入用開口４から第一風道１内に取入れられ,HEPA
フイルタ９によって浄化されたあと第二風道２の空気噴
射ノズル５から噴射されることになる。そのさい，空気
取入用開口４と空気噴射ノズル５の開口数を調整すれ
ば，複合ダクトの長手方向の任意の位置から空気を吸い
込み任意の位置から吹き出すことができる。
ーユニット７を図解して示したものである。図示のよう
に，このファンフイルターユニット７は複合ダクトと実
質上同径のボックス状ケーシング内にファン８とHEPAフ
イルタ９を装着したものであり，このボックス状ケーシ
ングの上板13には第一風道１に通ずる開口10と第二風道
２に通ずる開口11が設けてある。複合ダクトの仕切り板
３の下縁は該上板13に当接しており，この仕切り板３に
よって区分される第一風道１の側の上板13に開口11が，
そして，第二風道２の側の上板13に開口11が設けられる
ことによって，第一風道１の下端と第二風道２の下端が
ファンフイルターユニット７を通じて連通することにな
る。図示のファンフイルターユニット７ではケーシング
内を仕切り板14によってファンボックス15とHEPAフイル
タボックス16とに区分し，ファンボックス15の上板に開
口10を，そしてHEPAフイルタボックス16の上板に開口11
を設けると共に，ファンボックス15内に設置したファン
８の吐出口を仕切り板14からHEPAフイルタボックス16に
開放することによって，第一風道１内の空気をファンフ
イルターユニット７内に取入れてHEPAフイルタ９で浄化
したあと第二風道２に送気するようにしてある。したが
ってファン８を駆動すると，複合ダクトの周辺の空気が
空気取入用開口４から第一風道１内に取入れられ,HEPA
フイルタ９によって浄化されたあと第二風道２の空気噴
射ノズル５から噴射されることになる。そのさい，空気
取入用開口４と空気噴射ノズル５の開口数を調整すれ
ば，複合ダクトの長手方向の任意の位置から空気を吸い
込み任意の位置から吹き出すことができる。
第３図は第１図〜第２図で説明した本発明のクリーンル
ーム用空気吹出装置を使用した高天井クリーンルームを
示している。高天井室20には空調機21で調和した空気を
HEPAフイルタユニット22を経て吹き出すことによって一
応の清浄調和空間に形成する。なお，高天井室20からは
空調機21に還気を取入れると共に外気（O.A.）を空調機
21に取り入れる。図示の例では天井高さに相当する長さ
をもつ本発明に従うクリーンルーム用空気吹出装置24を
高天井室20の四隅に縦にして設置した例を示しており，
各装置の空気噴射ノズルの方向を一様に次の装置の方向
かこれより若干室内側に向けて設置してある。この場
合，各装置の空気取入用開口を設けた面が隣の装置から
吹き出されてくる空気を取り入れる方向に向けておく。
ーム用空気吹出装置を使用した高天井クリーンルームを
示している。高天井室20には空調機21で調和した空気を
HEPAフイルタユニット22を経て吹き出すことによって一
応の清浄調和空間に形成する。なお，高天井室20からは
空調機21に還気を取入れると共に外気（O.A.）を空調機
21に取り入れる。図示の例では天井高さに相当する長さ
をもつ本発明に従うクリーンルーム用空気吹出装置24を
高天井室20の四隅に縦にして設置した例を示しており，
各装置の空気噴射ノズルの方向を一様に次の装置の方向
かこれより若干室内側に向けて設置してある。この場
合，各装置の空気取入用開口を設けた面が隣の装置から
吹き出されてくる空気を取り入れる方向に向けておく。
そして，各装置の稼動する空気噴射ノズル数を調整し，
例えば図示のように中腹部の空気噴射ノズルの数個が稼
動するように調整し且つこの稼動する空気噴射ノズルの
位置する高さの空気取入用開口だけを開口するように調
整して，これらの空気噴射ノズルから空気を噴射する
と，その高さにおいて一方向性の旋回流が室内に形成さ
れ，この旋回流によって室内中央部には一方向性の渦流
が発生してこの中空部分にクリーンゾーンを形成するこ
とができる。すなわち，この渦流が生じている中空部分
では各装置のHEPAフイルタで浄化された空気が流れると
共に，この中空部分が塵埃発生源が存在する作業域にあ
ってもその塵埃が渦流によって吹き飛ばされて拡散する
ので，この旋回流の上下の区域に比べて高い清浄度に維
持されることになる。
例えば図示のように中腹部の空気噴射ノズルの数個が稼
動するように調整し且つこの稼動する空気噴射ノズルの
位置する高さの空気取入用開口だけを開口するように調
整して，これらの空気噴射ノズルから空気を噴射する
と，その高さにおいて一方向性の旋回流が室内に形成さ
れ，この旋回流によって室内中央部には一方向性の渦流
が発生してこの中空部分にクリーンゾーンを形成するこ
とができる。すなわち，この渦流が生じている中空部分
では各装置のHEPAフイルタで浄化された空気が流れると
共に，この中空部分が塵埃発生源が存在する作業域にあ
ってもその塵埃が渦流によって吹き飛ばされて拡散する
ので，この旋回流の上下の区域に比べて高い清浄度に維
持されることになる。
同様に，空気噴射ノズルの稼動位置を天井近くの高い位
置に調整した場合や，逆に床面に近い低い位置に調整し
た場合にも，その旋回流に囲われる内部では渦流の発生
により高い清浄度のゾーンを形成することができる。し
たがって，本発明装置によると，高天井室20内の任意高
さのゾーンにおいてクリーンゾーンを自由に形成するこ
とができる。
置に調整した場合や，逆に床面に近い低い位置に調整し
た場合にも，その旋回流に囲われる内部では渦流の発生
により高い清浄度のゾーンを形成することができる。し
たがって，本発明装置によると，高天井室20内の任意高
さのゾーンにおいてクリーンゾーンを自由に形成するこ
とができる。
第４図は第１〜２図のクリーンルーム用空気吹出装置を
横にして配置することによって構成した高天井クリーン
ルームを示している。第４図において第３図と同じ数字
で示した部材は第３図で説明したものと実質上同じ部材
である。本例では各クリーンルーム形成用装置24を横に
して使用するものであるが，第４図の場合には，高天井
室20の一方の壁面近くにおいて，空気噴射ノズルを上向
きにした装置24aを設置すると共にこの装置24aからの上
向き噴流が到達する位置に空気噴射ノズルを対向する壁
面に向けた装置24bを設置し，他方，対向する他方の壁
面においては，空気噴射ノズルを下向きにした装置24c
を前記の装置24bと実質上同じ高さに設置すると共にこ
の装置24cからの下向き噴流が到達する位置に空気噴射
ノズルを装置24aの方向に向けた装置24dを装置24aと実
質上同じ高さに設置したものである。この場合各装置の
空気取入用開口は，その装置に向かって流れてくる噴流
が衝突する面に設けておくのがよい。このような設置の
仕方によっても各装置を順に経る空気の循環流を形成さ
せることができ，この循環流で囲われるソーン内には一
方向性の渦流が生じる。
横にして配置することによって構成した高天井クリーン
ルームを示している。第４図において第３図と同じ数字
で示した部材は第３図で説明したものと実質上同じ部材
である。本例では各クリーンルーム形成用装置24を横に
して使用するものであるが，第４図の場合には，高天井
室20の一方の壁面近くにおいて，空気噴射ノズルを上向
きにした装置24aを設置すると共にこの装置24aからの上
向き噴流が到達する位置に空気噴射ノズルを対向する壁
面に向けた装置24bを設置し，他方，対向する他方の壁
面においては，空気噴射ノズルを下向きにした装置24c
を前記の装置24bと実質上同じ高さに設置すると共にこ
の装置24cからの下向き噴流が到達する位置に空気噴射
ノズルを装置24aの方向に向けた装置24dを装置24aと実
質上同じ高さに設置したものである。この場合各装置の
空気取入用開口は，その装置に向かって流れてくる噴流
が衝突する面に設けておくのがよい。このような設置の
仕方によっても各装置を順に経る空気の循環流を形成さ
せることができ，この循環流で囲われるソーン内には一
方向性の渦流が生じる。
この状態を第５図に示した。この第５図に示されるよう
に，四本の装置24によって囲われる渦流が生じている中
空の位置においては，第３図で説明したのと同じ理由に
よって，これより下または上の空間よりも清浄なゾーン
が形成される。なお各装置の空気噴射ノズルと空気取入
用開口４の開口数を調整することによって，形成しよう
とするクリーンゾーンの位置を横方向に自由にずらすこ
とができる。
に，四本の装置24によって囲われる渦流が生じている中
空の位置においては，第３図で説明したのと同じ理由に
よって，これより下または上の空間よりも清浄なゾーン
が形成される。なお各装置の空気噴射ノズルと空気取入
用開口４の開口数を調整することによって，形成しよう
とするクリーンゾーンの位置を横方向に自由にずらすこ
とができる。
第６図は四本の装置の全体を床面近くに下げた以外は第
５図と同じ高天井クリーンルームを示している。この場
合には，床面近くに作業域を形成する場合に適用され
る。同様に天井近くに作業域を形成する場合には，同様
の関係をもってクリーンルーム形成用装置を天井部近く
に設置すればよい。
５図と同じ高天井クリーンルームを示している。この場
合には，床面近くに作業域を形成する場合に適用され
る。同様に天井近くに作業域を形成する場合には，同様
の関係をもってクリーンルーム形成用装置を天井部近く
に設置すればよい。
また，第４〜６図は各装置24は一方の壁面近くに２個
（24a.24b），これと対向する壁面近くに２個（24c.24
d）の合計４個設置した例を示したが，この装置本数は
必ずしもこの例に限られるものではない。高天井室の内
部事情によっては例えば一方（または他方）の壁面近く
に少なくとも１個，他方（または一方）の壁面近くに少
なくとも２個の該装置を配置することによっても同様の
渦流を形成することは可能である。しかし，いずれの場
合も、水平方向に配置された３個以上の装置によって，
形成しようとするクリーンゾーンを取り囲み，そのさい
各装置の空気噴射ノズルの方向が一様に次の隣接する装
置の方向に向けられ，また各装置の空気取入用開口をも
つ壁面がこの装置に向かって流れてくる空気流と衝突す
る方向に向けられていることが必要であり，これによっ
て，各装置内のフアンの稼動により高天井室内の任意高
さの空間位置に時計回りまたは反時計回りの一方向性の
渦流を形成することができる。
（24a.24b），これと対向する壁面近くに２個（24c.24
d）の合計４個設置した例を示したが，この装置本数は
必ずしもこの例に限られるものではない。高天井室の内
部事情によっては例えば一方（または他方）の壁面近く
に少なくとも１個，他方（または一方）の壁面近くに少
なくとも２個の該装置を配置することによっても同様の
渦流を形成することは可能である。しかし，いずれの場
合も、水平方向に配置された３個以上の装置によって，
形成しようとするクリーンゾーンを取り囲み，そのさい
各装置の空気噴射ノズルの方向が一様に次の隣接する装
置の方向に向けられ，また各装置の空気取入用開口をも
つ壁面がこの装置に向かって流れてくる空気流と衝突す
る方向に向けられていることが必要であり，これによっ
て，各装置内のフアンの稼動により高天井室内の任意高
さの空間位置に時計回りまたは反時計回りの一方向性の
渦流を形成することができる。
以上のように，本発明によると，高天井室大空間におい
てもその中の特定域だけをクリーンゾーンに自由に形成
することができることになり，既述の問題を効果的に解
決することができる。
てもその中の特定域だけをクリーンゾーンに自由に形成
することができることになり，既述の問題を効果的に解
決することができる。
第１図は本発明に従うクリーンルーム形成用装置の例を
示す一部切り欠き斜視図，第２図は第１図のクリーンル
ーム形成用装置の空気連通路部分に設置されるファンフ
イルターユニットの例を示す透視斜視図，第３図は本発
明に従うクリーンルーム形成用装置を使用した高天井ク
リーンルームの例を示す斜視図，第４図は本発明に従う
クリーンルーム形成用装置を使用した他の高天井クリー
ンルームを示す斜視図，第５図は第４図のクリーンルー
ムの気流の流れを立面的に示した図，第６図は第５図と
同様の気流の流れを床面近くに形成した状態を立面的に
示した図である。 １……第一風道,2……第二風道， ３……仕切り板,4……空気取入用開口， ５……空気噴射ノズル,6……ダンパ調節用ハンドル,7…
…ファンフイルターユニット， ８……ファン,9……HEPAフイルタ， 20……高天井室,21……空調機， 22……HEPAフイルタユニット， 24……クリーンルーム形成用装置。
示す一部切り欠き斜視図，第２図は第１図のクリーンル
ーム形成用装置の空気連通路部分に設置されるファンフ
イルターユニットの例を示す透視斜視図，第３図は本発
明に従うクリーンルーム形成用装置を使用した高天井ク
リーンルームの例を示す斜視図，第４図は本発明に従う
クリーンルーム形成用装置を使用した他の高天井クリー
ンルームを示す斜視図，第５図は第４図のクリーンルー
ムの気流の流れを立面的に示した図，第６図は第５図と
同様の気流の流れを床面近くに形成した状態を立面的に
示した図である。 １……第一風道,2……第二風道， ３……仕切り板,4……空気取入用開口， ５……空気噴射ノズル,6……ダンパ調節用ハンドル,7…
…ファンフイルターユニット， ８……ファン,9……HEPAフイルタ， 20……高天井室,21……空調機， 22……HEPAフイルタユニット， 24……クリーンルーム形成用装置。
Claims (4)
- 【請求項１】長手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連
設した第一風道と，長手方向に沿う壁面に複数個の空気
噴射ノズルを連設した第二風道とを背合わにした複合ダ
クトからなり，かつこの複合ダクトの第一風道の一方の
端から第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設ける
と共にこの空気連通路にファンとHEPAフイルタを装着し
てなるクリーンルーム用空気吹出装置。 - 【請求項２】第二風道に取付けられる複数個の空気噴射
ノズルにはその稼動個数の制御手段が設けてある特許請
求の範囲第１項記載のクリーンルーム用空気吹出装置。 - 【請求項３】長手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連
設した第一風道と，長手方向に沿う壁面に複数個の空気
噴射ノズルを連設した第二風道とを背合わにした複合ダ
クトからなり，かつこの複合ダクトの第一風道の一方の
端から第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設ける
と共にこの空気連通路にファンとHEPAフイルタを装着し
てなるクリーンルーム用空気吹出装置を，高天井室の各
コーナー部に長手方向を実質上垂直にして設置し，その
さい，この装置の各空気噴射ノズルの方向が一様に次の
隣接する装置の方向かこれより若干室内側に向けられ，
該装置の各空気取入用開口をもつ壁面がこの装置に向か
って流れてくる空気流と衝突する方向に向けられてお
り，該装置内のフアンの稼動により高天井室内の任意高
さの空間位置に一方向性の渦流を形成するようにした高
天井クリーンルーム。 - 【請求項４】長手方向に沿う壁面に空気取入用開口を連
設した第一風道と，長手方向に沿う壁面に複数個の空気
噴射ノズルを連設した第二風道とを背合わにした複合ダ
クトからなり，かつこの複合ダクトの第一風道の一方の
端から第二風道の他方の端に通ずる空気連通路を設ける
と共にこの空気連通路にファンとHEPAフイルタを装着し
てなるクリーンルーム用空気吹出装置を，高天井室の一
方の壁面近くおよびこれと対向する他方の壁面近くに長
手方向を実質上水平にして合計で少なくとも３個以上設
置し，そのさい，この装置の各空気噴射ノズルの方向が
一様に次の隣接する装置の方向に向けられ，該装置の各
空気取入用開口をもつ壁面がこの装置に向かって流れて
くる空気流と衝突する方向に向けられており，該装置内
のフアンの稼動により高天井室内の任意高さの空間位置
に時計回りまたは反時計回りの一方向性の渦流を形成す
るようにした高天井クリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61122160A JPH0668408B2 (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61122160A JPH0668408B2 (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62280530A JPS62280530A (ja) | 1987-12-05 |
| JPH0668408B2 true JPH0668408B2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=14829076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61122160A Expired - Fee Related JPH0668408B2 (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | クリ−ンル−ム用空気吹出装置およびこれを利用した高天井クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668408B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007010237A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 風除室、および風除室において室内と室外の間の空気の流れを低減する方法 |
| KR101859593B1 (ko) * | 2018-01-31 | 2018-05-18 | 오영근 | 크린룸용 기류제어 시스템 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0225652A (ja) * | 1988-07-12 | 1990-01-29 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリーンエリア形成装置 |
| JP4755307B1 (ja) * | 2010-10-28 | 2011-08-24 | 株式会社朝日工業社 | クリーンルーム |
| JP6735498B2 (ja) * | 2016-03-09 | 2020-08-05 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 空調システム |
| JP6960770B2 (ja) * | 2017-05-19 | 2021-11-05 | 清水建設株式会社 | 手術室の空調システム |
| CN110228424B (zh) * | 2018-03-06 | 2024-04-26 | 宇通客车股份有限公司 | 用于车辆顶部的装饰板 |
-
1986
- 1986-05-29 JP JP61122160A patent/JPH0668408B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007010237A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 風除室、および風除室において室内と室外の間の空気の流れを低減する方法 |
| KR101859593B1 (ko) * | 2018-01-31 | 2018-05-18 | 오영근 | 크린룸용 기류제어 시스템 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62280530A (ja) | 1987-12-05 |
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