JPH03227036A - ウェーハ移載方法 - Google Patents
ウェーハ移載方法Info
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- JPH03227036A JPH03227036A JP2023524A JP2352490A JPH03227036A JP H03227036 A JPH03227036 A JP H03227036A JP 2023524 A JP2023524 A JP 2023524A JP 2352490 A JP2352490 A JP 2352490A JP H03227036 A JPH03227036 A JP H03227036A
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 abstract 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェーハを半導体製造用縦型高温加熱装置に出
し入れする際のウェーハ移載方法に関する。
し入れする際のウェーハ移載方法に関する。
従来この種のウェーハ移載方法は、第２図（ａ）の外観
図に示すように、ウェーハカセット４とボート１との間
で１枚のみ移載用フォーク８を用いて移載ウェーハ５を
１枚ずつ移し替える方法か、あるいは、第２図（ｂ）の
外観図に示すように、多数枚のウェーハを多数枚同時移
載用フォーク６により一括して移し替える方法かのいず
れかであった。また、それぞれフォークの動作は、フォ
ーク駆動機構９により、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動可能
となっている。
図に示すように、ウェーハカセット４とボート１との間
で１枚のみ移載用フォーク８を用いて移載ウェーハ５を
１枚ずつ移し替える方法か、あるいは、第２図（ｂ）の
外観図に示すように、多数枚のウェーハを多数枚同時移
載用フォーク６により一括して移し替える方法かのいず
れかであった。また、それぞれフォークの動作は、フォ
ーク駆動機構９により、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動可能
となっている。
上述した従来のウェーハ移載方法は、ウェーハ１枚のみ
移載用のフォークを使用する場合には、百数十枚のウェ
ーハを移載しようとすると、長時間を要するという欠点
がある。
移載用のフォークを使用する場合には、百数十枚のウェ
ーハを移載しようとすると、長時間を要するという欠点
がある。
又、ウェーハ多数枚同時移載用のフォークを使用する場
合には、移載に要する時間は短時間であるが、ウェーハ
１枚のみの移載やウェーハとウェーハの間に歯抜けが有
る場合、そこを補うための移載が不可能であるという欠
点がある。
合には、移載に要する時間は短時間であるが、ウェーハ
１枚のみの移載やウェーハとウェーハの間に歯抜けが有
る場合、そこを補うための移載が不可能であるという欠
点がある。
上述した従来のウェーハ移載方法に対し、本発明はウェ
ーハ１枚のみ移載用フォークとウェーハ多数枚を同時に
移載する為のフォークの両方の動作を組み合わせて使用
するという相違点を有する。
ーハ１枚のみ移載用フォークとウェーハ多数枚を同時に
移載する為のフォークの両方の動作を組み合わせて使用
するという相違点を有する。
本発明のウェーハ移載方法は、ウェーハ１枚のみ移載用
フォークとウェーハ多数枚同時移載用フォークの両方を
有する移載装置を使用し、ウェーハの同時移載枚数が多
数枚有る場合は、多数枚同時移載用フォークを用い、又
、ウェーハの移載枚数が多数枚同時移載用フォークの１
回当りの移載枚数に満たない場合は、ウェーハ１枚のみ
移載用フォークを用いるようにしたものである。
フォークとウェーハ多数枚同時移載用フォークの両方を
有する移載装置を使用し、ウェーハの同時移載枚数が多
数枚有る場合は、多数枚同時移載用フォークを用い、又
、ウェーハの移載枚数が多数枚同時移載用フォークの１
回当りの移載枚数に満たない場合は、ウェーハ１枚のみ
移載用フォークを用いるようにしたものである。
〔実施例〕
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を説明するためのウェーハ移
載装置の外観図である。移載ウェーハ５は、ボート１と
ウェーハカセット４との間を移載され、相手方にウェー
ハ２として搭載される。本実施例では、多数枚移載用フ
ォークとして５枚同時移載用フォークを例にとり説明す
る。本実施例に使用する装置は、移載用フォークとして
５枚移載用フォーク６と１枚のみ移載用フォーク８との
両方を備え、フォーク駆動用機構９により、ボート１と
ウェーハカセット４との間で、ｘ、ｙ。
載装置の外観図である。移載ウェーハ５は、ボート１と
ウェーハカセット４との間を移載され、相手方にウェー
ハ２として搭載される。本実施例では、多数枚移載用フ
ォークとして５枚同時移載用フォークを例にとり説明す
る。本実施例に使用する装置は、移載用フォークとして
５枚移載用フォーク６と１枚のみ移載用フォーク８との
両方を備え、フォーク駆動用機構９により、ボート１と
ウェーハカセット４との間で、ｘ、ｙ。
Ｚ、θ方向の動作が可能である。
５枚同時移載用フォーク６は、同時移載ウェーハが５枚
以上有る場合前後に動作し、ウェーハカセット４から移
載ウェーハを抜き取り、５枚−括してボート１に移す移
載動作を行なう。１枚のみ移載用フォーク８は、同時移
載ウェーハが５枚未満の場合前後に動作しウェーハカセ
ット４から移載ウェーハを抜き取り１枚ずつボート１に
移す移載動作を行なう。
以上有る場合前後に動作し、ウェーハカセット４から移
載ウェーハを抜き取り、５枚−括してボート１に移す移
載動作を行なう。１枚のみ移載用フォーク８は、同時移
載ウェーハが５枚未満の場合前後に動作しウェーハカセ
ット４から移載ウェーハを抜き取り１枚ずつボート１に
移す移載動作を行なう。
以上説明したように本発明は、ウェーハ多数枚同時移載
用フォークと１枚のみ移載用フォークとの両方を有する
装置を使用する事により、ウェーハの同時移載枚数が多
数枚同時移載用フォークの１回当りの移載枚数以上であ
る場合は多数枚同時移載用フォークを用いる事ができる
。その為、従来は１枚のみ移載用フォークしか使えなか
った場合でも多数枚同時移載用フォークが使えるように
なり、ウェーハ移載時の工程を従来の１／４〜１１５に
短縮でき、移載時間も１／４〜１１５に短縮できる効果
がある。
用フォークと１枚のみ移載用フォークとの両方を有する
装置を使用する事により、ウェーハの同時移載枚数が多
数枚同時移載用フォークの１回当りの移載枚数以上であ
る場合は多数枚同時移載用フォークを用いる事ができる
。その為、従来は１枚のみ移載用フォークしか使えなか
った場合でも多数枚同時移載用フォークが使えるように
なり、ウェーハ移載時の工程を従来の１／４〜１１５に
短縮でき、移載時間も１／４〜１１５に短縮できる効果
がある。
又、ウェーハ移載枚数が多数枚同時移載用フォーク１回
当りの移載枚数未満である場合や、歯ぬけの部分にウェ
ーハを移載する場合は、１枚のみ移載用フォークを用い
る事ができる為、多数枚同時移載用フォークの欠点を補
う事ができるという効果がある。
当りの移載枚数未満である場合や、歯ぬけの部分にウェ
ーハを移載する場合は、１枚のみ移載用フォークを用い
る事ができる為、多数枚同時移載用フォークの欠点を補
う事ができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を説明するためのウェーハ移
載装置の外観図、第２図（ａ）、（ｂ）は、従来の方法
を説明するためのウェーハ移載装置の外観図である。 １・・・ボート、２・・・ウェーハ、４・・・ウェーハ
カセット、５・・・移載ウェーハ、６・・・５枚同時移
載用フォーク、８・・・１枚のみ移載用フォーク、９・
・・フォーク駆動機構。
載装置の外観図、第２図（ａ）、（ｂ）は、従来の方法
を説明するためのウェーハ移載装置の外観図である。 １・・・ボート、２・・・ウェーハ、４・・・ウェーハ
カセット、５・・・移載ウェーハ、６・・・５枚同時移
載用フォーク、８・・・１枚のみ移載用フォーク、９・
・・フォーク駆動機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ウェーハ１枚のみ移載用フォークと多数枚同時移載
用フォークの両方を備えたウェーハ移載装置を使用し、
ウェーハカセットとボートとの間のウェーハ同時移載枚
数が多数枚同時移載用フォークの移載枚数より多い場合
は多数枚同時移載用フォークを使用することを特徴とす
るウェーハ移載方法。 ２、ウェーハ同時移載枚数が多数枚同時移載用フォーク
の１回当りの移載枚数に見たない場合は１枚のみ移載用
フォークを使用することを特徴とするウェーハ移載方法
。 ３、１枚のみ移載用フォークを多数枚同時移載用フォー
クの補助に使用する請求項１記載のウェーハ移載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023524A JP2654217B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ウェーハ移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2023524A JP2654217B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ウェーハ移載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03227036A true JPH03227036A (ja) | 1991-10-08 |
| JP2654217B2 JP2654217B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=12112835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023524A Expired - Fee Related JP2654217B2 (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 | ウェーハ移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2654217B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002507846A (ja) * | 1998-03-20 | 2002-03-12 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 異なる保持エンドエフェクタによる基板搬送方法 |
| JP2007005582A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Asm Japan Kk | 基板搬送装置及びそれを搭載した半導体基板製造装置 |
| JP2007150369A (ja) * | 2007-03-14 | 2007-06-14 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
| JP2010251790A (ja) * | 1998-07-10 | 2010-11-04 | Brooks Automation Inc | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| JP2010541201A (ja) * | 2007-09-22 | 2010-12-24 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | 複数のウェハを取り扱う能力を備えた受渡し機構 |
| US9656386B2 (en) | 2010-10-08 | 2017-05-23 | Brooks Automation, Inc. | Coaxial drive vacuum robot |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02151049A (ja) * | 1988-12-02 | 1990-06-11 | Tel Sagami Ltd | 基板移載装置 |
| JPH0348439A (ja) * | 1989-07-17 | 1991-03-01 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 熱処理装置 |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP2023524A patent/JP2654217B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02151049A (ja) * | 1988-12-02 | 1990-06-11 | Tel Sagami Ltd | 基板移載装置 |
| JPH0348439A (ja) * | 1989-07-17 | 1991-03-01 | Tokyo Electron Sagami Ltd | 熱処理装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2016154248A (ja) * | 1998-03-20 | 2016-08-25 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 異なる保持エンドエフェクタを有する基板搬送装置 |
| JP2010251790A (ja) * | 1998-07-10 | 2010-11-04 | Brooks Automation Inc | バッチローダーを有する二本アーム・サブストレート取扱いロボット |
| JP2013093615A (ja) * | 1998-07-10 | 2013-05-16 | Brooks Automation Inc | 基板取扱いロボットの基板取り出し方法 |
| JP2007005582A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Asm Japan Kk | 基板搬送装置及びそれを搭載した半導体基板製造装置 |
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| JP2010541201A (ja) * | 2007-09-22 | 2010-12-24 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | 複数のウェハを取り扱う能力を備えた受渡し機構 |
| US9656386B2 (en) | 2010-10-08 | 2017-05-23 | Brooks Automation, Inc. | Coaxial drive vacuum robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2654217B2 (ja) | 1997-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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