JPH03229254A - 薄膜の包装及び取扱いシステム - Google Patents
薄膜の包装及び取扱いシステムInfo
- Publication number
- JPH03229254A JPH03229254A JP2260371A JP26037190A JPH03229254A JP H03229254 A JPH03229254 A JP H03229254A JP 2260371 A JP2260371 A JP 2260371A JP 26037190 A JP26037190 A JP 26037190A JP H03229254 A JPH03229254 A JP H03229254A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane
- holder
- thin film
- frame
- assembly
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
- H10P72/1902—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers specially adapted for a single substrate
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
- H10P72/1906—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
- H10P72/1921—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by substrate supports
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
- H10P72/1922—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Packaging Of Special Articles (AREA)
- Basic Packing Technique (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、集積回路の製造の間、パターンマスクを覆う
ために用いられるペリクル即ち薄膜の出荷、貯蔵、及び
取扱いのための包装及び取扱いシステムに関する。
ために用いられるペリクル即ち薄膜の出荷、貯蔵、及び
取扱いのための包装及び取扱いシステムに関する。
［従来の技術及びその課題］
集積回路は主にパターンマスク・イメージングを利用す
る方法によって作られる。この方法がパターンマスク・
イメージの投射印刷を含む場合は、紫外線がパターンマ
スクのアパーチャを通過し、基質ウェハー上にコーティ
ングされた１層の抵抗の上にフォーカスさせられる。こ
の光線がパターンマスクに相当する上記１層の抵抗にパ
ターンを形成し、次に、この１層の抵抗が基質の露出部
分に広げられ、ホトレジスト・マスクを形成する。
る方法によって作られる。この方法がパターンマスク・
イメージの投射印刷を含む場合は、紫外線がパターンマ
スクのアパーチャを通過し、基質ウェハー上にコーティ
ングされた１層の抵抗の上にフォーカスさせられる。こ
の光線がパターンマスクに相当する上記１層の抵抗にパ
ターンを形成し、次に、この１層の抵抗が基質の露出部
分に広げられ、ホトレジスト・マスクを形成する。
パターンマスクのイメージがホトレジスト層の表面に鋭
く焦点を結ぶので、パターンマスクの表面に存在する全
ての汚染粒子がこのホトレジスト層の表面の鋭い焦点の
中に持ち込まれ、抵抗層に汚染粒子のイメージを印刷し
てしまう。ホトレジスト層上に汚染粒子のイメージが印
刷されると、しばしば、ホトレジスト・マスクを駄目に
して、大きな経済的損失を招く。
く焦点を結ぶので、パターンマスクの表面に存在する全
ての汚染粒子がこのホトレジスト層の表面の鋭い焦点の
中に持ち込まれ、抵抗層に汚染粒子のイメージを印刷し
てしまう。ホトレジスト層上に汚染粒子のイメージが印
刷されると、しばしば、ホトレジスト・マスクを駄目に
して、大きな経済的損失を招く。
このパターンマスクの粒子汚染を無くすために、一般的
に、保護薄膜を使用して、マスクを覆うようにする。こ
のパターンマスクの薄膜が、薄膜フレームを越えて伸び
る透明な薄膜フィルムを含み、これが薄膜装填デバイス
によってパターンマスクの上に装着される。この薄膜フ
レームが薄膜フィルムをある距離だけパターンマスクか
ら引き離す。
に、保護薄膜を使用して、マスクを覆うようにする。こ
のパターンマスクの薄膜が、薄膜フレームを越えて伸び
る透明な薄膜フィルムを含み、これが薄膜装填デバイス
によってパターンマスクの上に装着される。この薄膜フ
レームが薄膜フィルムをある距離だけパターンマスクか
ら引き離す。
この距離は、薄膜の外表面にある汚染粒子のイメージを
焦点外に保ち、汚染粒子のイメージがレジストの感光層
の上に回路パターンと共に印刷されないようにすること
の出来る距離である。
焦点外に保ち、汚染粒子のイメージがレジストの感光層
の上に回路パターンと共に印刷されないようにすること
の出来る距離である。
薄膜の外側表面上の汚染粒子がフォーカスすることは１
つの薄膜によって防ぐことが出来るが、一方、薄膜の内
側の汚染粒子はパターンマスク上に落ち、パターンと共
に印刷され、ホトレンストマスクか駄目になることがあ
る。薄膜を実質的に粒子の無い状態で作ることは出来る
が、次の包装、出荷、貯蔵及び取扱いの段階で、薄膜の
内側で粒子ｔり染か発生することかある。
つの薄膜によって防ぐことが出来るが、一方、薄膜の内
側の汚染粒子はパターンマスク上に落ち、パターンと共
に印刷され、ホトレンストマスクか駄目になることがあ
る。薄膜を実質的に粒子の無い状態で作ることは出来る
が、次の包装、出荷、貯蔵及び取扱いの段階で、薄膜の
内側で粒子ｔり染か発生することかある。
この包装、出荷、貯蔵の間の薄膜内側の粒子汚染を防ぐ
１つの方法は、薄膜フレームの下側の縁に沿って形状補
足的バックシール・シートで薄膜をシールする方法であ
る。このシートは薄膜がパターンマスクに装着される一
寸前にはぎ取られる。
１つの方法は、薄膜フレームの下側の縁に沿って形状補
足的バックシール・シートで薄膜をシールする方法であ
る。このシートは薄膜がパターンマスクに装着される一
寸前にはぎ取られる。
薄膜は普通グローブをはめた手で包装から取り出される
ので、この時、薄膜の内面がバックシールヲ剥かし、薄
膜をパターンマスクに装置する前に、粒子によって汚染
されることがある。又、薄膜は手で持つことが非常に難
しい。従って薄膜を装着に先立って扱っている間に落と
す危険があり、薄膜はｔ９染され、駄目になってしまう
。
ので、この時、薄膜の内面がバックシールヲ剥かし、薄
膜をパターンマスクに装置する前に、粒子によって汚染
されることがある。又、薄膜は手で持つことが非常に難
しい。従って薄膜を装着に先立って扱っている間に落と
す危険があり、薄膜はｔ９染され、駄目になってしまう
。
従って薄膜の包装及び取扱いシステムを改善する必要か
ある。
ある。
［課題を解決するための手段］
本発明による薄膜包装及び取扱いシステムはパターンマ
スク薄膜を含み、この薄膜が周辺薄膜フレームを越えて
伸びる透明な薄膜フィルムを含んでいる。１つの薄膜ホ
ルダーか設けられ、これが、薄膜フレームを取り外し可
能に押さえ、ホルダー・薄膜集合体を形成する手段を持
ち、この薄膜ホルダーが、更に、上記ホルダー・薄膜集
合体を掴んで取り扱い且つこの薄膜をホルダーから剥が
す手段を含んでいる。選択的に開くことの出来る包装が
設けられ、ホルダー・薄膜集合体を収容すると共に、上
記ホルダー・薄膜集合体を上記包装の中の一定の位置に
取り外し可能に保持する手段か設けられる。
スク薄膜を含み、この薄膜が周辺薄膜フレームを越えて
伸びる透明な薄膜フィルムを含んでいる。１つの薄膜ホ
ルダーか設けられ、これが、薄膜フレームを取り外し可
能に押さえ、ホルダー・薄膜集合体を形成する手段を持
ち、この薄膜ホルダーが、更に、上記ホルダー・薄膜集
合体を掴んで取り扱い且つこの薄膜をホルダーから剥が
す手段を含んでいる。選択的に開くことの出来る包装が
設けられ、ホルダー・薄膜集合体を収容すると共に、上
記ホルダー・薄膜集合体を上記包装の中の一定の位置に
取り外し可能に保持する手段か設けられる。
［実施例］
第１図に示すごとく、本発明による薄膜包装取り扱いシ
ステムの１つの実施例が、パターンマスク薄膜１０を持
ち、これが、箱型蓋部材Ｉ２と箱型底部＋４１４とによ
って形成された薄膜容器即ち箱の中に格納されている。
ステムの１つの実施例が、パターンマスク薄膜１０を持
ち、これが、箱型蓋部材Ｉ２と箱型底部＋４１４とによ
って形成された薄膜容器即ち箱の中に格納されている。
この薄膜か周辺薄膜フレーム２０を越えて伸びる透明な
薄膜フィルム１８を持っている。この薄膜フレーム２０
が機械加工された金属（例えばアルミニウム）の如き適
度な強度を持った材料で作られ、普通、使用するパター
ンマスクに対応する形状及び寸法を持っている。例えば
、この薄膜フレームは円形でも方形でも良く、１個以上
の斜め切りされた端部及び又は１個以上のコーナーを持
っている。普通、透明な薄膜フィルムが接着剤によって
薄膜フレームの上縁に取り付けられる。
薄膜フィルム１８を持っている。この薄膜フレーム２０
が機械加工された金属（例えばアルミニウム）の如き適
度な強度を持った材料で作られ、普通、使用するパター
ンマスクに対応する形状及び寸法を持っている。例えば
、この薄膜フレームは円形でも方形でも良く、１個以上
の斜め切りされた端部及び又は１個以上のコーナーを持
っている。普通、透明な薄膜フィルムが接着剤によって
薄膜フレームの上縁に取り付けられる。
透明な薄膜フィルムは任意適当な材料で形成することが
出来、その厚さはイメージ形成紫外線の光路に悪影響を
与えない程度のものにすべきである。この適当な薄膜フ
ィルムには、ポリオキシエチレン・テレフタレート、ナ
イトロセルローズ、及びパリレーン等のポリマーか含ま
れる。この薄膜フィルム材料に対しては、約０．２〜１
０ミクロンの範囲内のフィルム厚さか適当である。若し
必要ならば、反射防止コーティングをフィルムに施し、
光学的歪を減らすことが出来る。
出来、その厚さはイメージ形成紫外線の光路に悪影響を
与えない程度のものにすべきである。この適当な薄膜フ
ィルムには、ポリオキシエチレン・テレフタレート、ナ
イトロセルローズ、及びパリレーン等のポリマーか含ま
れる。この薄膜フィルム材料に対しては、約０．２〜１
０ミクロンの範囲内のフィルム厚さか適当である。若し
必要ならば、反射防止コーティングをフィルムに施し、
光学的歪を減らすことが出来る。
周辺薄膜フレーム２０かシール用連続縁２４を薄膜フレ
ームの底の部分の回りに持っている。薄膜フレームのこ
のシール縁はパターンマスクを薄膜フィルム１８で覆う
ためにパターンマスクの上に掛けるためのもので、薄膜
フィルムのシール縁２４が薄膜フィルムと平行な面の中
に横たわり、この面が、薄膜フィルム１８の外表面上の
全ての粒子がプリントの間焦点を結ばないようにするこ
との出来る十分な距離、薄膜フィルムから離れている。
ームの底の部分の回りに持っている。薄膜フレームのこ
のシール縁はパターンマスクを薄膜フィルム１８で覆う
ためにパターンマスクの上に掛けるためのもので、薄膜
フィルムのシール縁２４が薄膜フィルムと平行な面の中
に横たわり、この面が、薄膜フィルム１８の外表面上の
全ての粒子がプリントの間焦点を結ばないようにするこ
との出来る十分な距離、薄膜フィルムから離れている。
使用する場合、薄膜フレームのシール縁か一般的に透明
フィルムをマスクパターンから約１から約１５ｍｍの所
に位置付けられ、これによって、透明フィルム１８の外
表面上の粒子が焦点外に置かれる。
フィルムをマスクパターンから約１から約１５ｍｍの所
に位置付けられ、これによって、透明フィルム１８の外
表面上の粒子が焦点外に置かれる。
箱型底部材１４がシール縁２４に引き剥がし可能に接着
される接触面２６を持ち、これが薄膜フレーム２０の底
に囲まれている。箱型底部材１４のこの接触面２６がせ
り上かったステージ区域２７の上にあり、その意味に就
いて以下に詳細に説明する。箱型底部材１４のこの接触
面２６を薄膜フレーム２０のシール縁２４に引き剥がし
可能に接着させる方法は各種ある。第１図の実施例にお
いては、薄膜フレームのシール縁が弾性発泡ガスケット
・キャリヤー２８の底面によって形成され、その上面が
薄膜フレーム２０の剛性フレーム部品３０にしっかりと
取り付けられている。この弾性発泡ガスケット材料には
３ＭＮｏ４９６２及びＮｏ ｒｗｏｏｄ Ｎｏ、８０
３１が含まれるが、これに限定されない。ガスケット２
８の底シール縁部分に施された圧力に敏感な接着材料が
箱型底部材１４１こ引き剥がし可能に接着され、これに
より、薄膜の内部１６が密封される。この圧力に敏感な
接着材料にはＭ ｏ ｎ ｓ ａ ｎ ｏ製Ｇｅ１ｖａ
（商品名）マルチポリマー樹脂（例えばＮｏ１１５１及
び３０１０）が含まれるが、これに限定されない。
される接触面２６を持ち、これが薄膜フレーム２０の底
に囲まれている。箱型底部材１４のこの接触面２６がせ
り上かったステージ区域２７の上にあり、その意味に就
いて以下に詳細に説明する。箱型底部材１４のこの接触
面２６を薄膜フレーム２０のシール縁２４に引き剥がし
可能に接着させる方法は各種ある。第１図の実施例にお
いては、薄膜フレームのシール縁が弾性発泡ガスケット
・キャリヤー２８の底面によって形成され、その上面が
薄膜フレーム２０の剛性フレーム部品３０にしっかりと
取り付けられている。この弾性発泡ガスケット材料には
３ＭＮｏ４９６２及びＮｏ ｒｗｏｏｄ Ｎｏ、８０
３１が含まれるが、これに限定されない。ガスケット２
８の底シール縁部分に施された圧力に敏感な接着材料が
箱型底部材１４１こ引き剥がし可能に接着され、これに
より、薄膜の内部１６が密封される。この圧力に敏感な
接着材料にはＭ ｏ ｎ ｓ ａ ｎ ｏ製Ｇｅ１ｖａ
（商品名）マルチポリマー樹脂（例えばＮｏ１１５１及
び３０１０）が含まれるが、これに限定されない。
薄膜フレームを箱型底部材の接触面に引き剥がし可能に
接着する手段が弾性ガスケット以外にもある。このその
他の適当な手段に、薄膜フレーム２０と箱型底部材１４
の接触面２６との間に置かれる両面接着テープが、又は
、薄膜フレームのシール縁が接着されるせり上がったス
テージ２７の全上表面３１の上に置かれる接着シート２
９が含まれる。ステージ２７の全上表面３１の上に接着
材を設ける利点は、薄膜１０の内部に入り込んだ粒子が
接着材の露出面に接触して、これに掴まり保持されるこ
とである。
接着する手段が弾性ガスケット以外にもある。このその
他の適当な手段に、薄膜フレーム２０と箱型底部材１４
の接触面２６との間に置かれる両面接着テープが、又は
、薄膜フレームのシール縁が接着されるせり上がったス
テージ２７の全上表面３１の上に置かれる接着シート２
９が含まれる。ステージ２７の全上表面３１の上に接着
材を設ける利点は、薄膜１０の内部に入り込んだ粒子が
接着材の露出面に接触して、これに掴まり保持されるこ
とである。
せり上がったステージ２７の全上表面を覆うのに適した
接着材はパッケージの使用期間中その構造的完全性を保
ち、この接着材自身が汚染粒子を形成することが無い。
接着材はパッケージの使用期間中その構造的完全性を保
ち、この接着材自身が汚染粒子を形成することが無い。
薄膜ＩＯを携えた箱型底部材１４がせり上がったステー
ジ２７から外に向かって伸び、このステージの回りに周
辺フランジ３５を形成する。図に示した実施例において
は、箱型底部材１４が適当な方法によって作られた一体
の可撓性シートで形成され、この方法には、押出し、射
出成形、ブローモールディング、真空成形、機械加工、
等の方法が含まれる。
ジ２７から外に向かって伸び、このステージの回りに周
辺フランジ３５を形成する。図に示した実施例において
は、箱型底部材１４が適当な方法によって作られた一体
の可撓性シートで形成され、この方法には、押出し、射
出成形、ブローモールディング、真空成形、機械加工、
等の方法が含まれる。
本発明による薄膜包装及び取扱いシステムは薄膜ホルダ
ー５０を含み、これが薄膜フレームを取り外し可能に把
持する手段を持ち、ホルダー／薄膜集合体５２を形成す
る。第１図の実施例においては、薄膜フレームを取り外
し可能に把持する手段が複数の内向きに伸びるタブ５４
を含み、これが、薄膜フレーム２０の外周を囲む周辺溝
５６の如き補足し合う形のビーバー四部と係合する。第
１図の実施例においては、周辺溝５６が薄膜フレーム２
０の全周に亘って伸びている。タブ５４が向き合った１
対の回動腕６４から内向に伸び、この腕が薄膜フレーム
２０の回りに少なくともその途中まで対称的に伸びてい
る。このタブの代わりに、薄膜フレームがピンを持ち、
このビンが薄膜フレームの凹んだ保持部に贋と謄穴式に
嵌合するようにすることが出来る。
ー５０を含み、これが薄膜フレームを取り外し可能に把
持する手段を持ち、ホルダー／薄膜集合体５２を形成す
る。第１図の実施例においては、薄膜フレームを取り外
し可能に把持する手段が複数の内向きに伸びるタブ５４
を含み、これが、薄膜フレーム２０の外周を囲む周辺溝
５６の如き補足し合う形のビーバー四部と係合する。第
１図の実施例においては、周辺溝５６が薄膜フレーム２
０の全周に亘って伸びている。タブ５４が向き合った１
対の回動腕６４から内向に伸び、この腕が薄膜フレーム
２０の回りに少なくともその途中まで対称的に伸びてい
る。このタブの代わりに、薄膜フレームがピンを持ち、
このビンが薄膜フレームの凹んだ保持部に贋と謄穴式に
嵌合するようにすることが出来る。
薄膜ホルダー５０がホルダー／薄膜集合体５２を掴み操
作するための手段を含み、薄膜ｌＯをホルダー５０から
放すことが出来る。第１図の実施例では、この手段が、
ホルダー／薄膜集合体を把持するためのフィンガーグリ
ップ手段５８を持っている。この手段５８を把持して、
箱型底部材１４を薄膜フレーム２０の底の回りのシール
縁２４から引き剥がすことが出来、ホルダー／薄膜集合
体を箱の底から剥がした後容易に取り扱うことが出来る
。必要ならば、単純にフィンガーグリップ手段５８を強
く握ることによって、薄膜１０をホルダー５０から容易
に放すことが出来る。この実施例では、箱型底部材１４
のせり上がったステージ区域２７が、フィンガーグリッ
プ手段５８の中に指を突込むことの出来る十分な間隔を
持ち、薄膜ホルダー５０を容易に操作することが出来る
ようになっている。
作するための手段を含み、薄膜ｌＯをホルダー５０から
放すことが出来る。第１図の実施例では、この手段が、
ホルダー／薄膜集合体を把持するためのフィンガーグリ
ップ手段５８を持っている。この手段５８を把持して、
箱型底部材１４を薄膜フレーム２０の底の回りのシール
縁２４から引き剥がすことが出来、ホルダー／薄膜集合
体を箱の底から剥がした後容易に取り扱うことが出来る
。必要ならば、単純にフィンガーグリップ手段５８を強
く握ることによって、薄膜１０をホルダー５０から容易
に放すことが出来る。この実施例では、箱型底部材１４
のせり上がったステージ区域２７が、フィンガーグリッ
プ手段５８の中に指を突込むことの出来る十分な間隔を
持ち、薄膜ホルダー５０を容易に操作することが出来る
ようになっている。
第１図に示す“握り一放し”型薄膜ホルダーは弾性材料
で一体に形成され、これにより、タブ５４が薄膜フレー
ム２０の凹部即ち溝５６の中に嵌まり込むバネ作用が与
えられ、フィンガーグリップ手段５８を強く握って薄膜
を放すまで、薄膜を薄膜ホルダーの中にしっかりと保持
している。
で一体に形成され、これにより、タブ５４が薄膜フレー
ム２０の凹部即ち溝５６の中に嵌まり込むバネ作用が与
えられ、フィンガーグリップ手段５８を強く握って薄膜
を放すまで、薄膜を薄膜ホルダーの中にしっかりと保持
している。
薄膜ホルダー５０が１つの溝６０を含み、これによって
、フィンガーグリップ手段５８を互いに近付けて薄膜１
０を放すことが出来るばかりでなく、箱型底部材１４か
ら上向に伸びる互いに補足し合う形状の止部６２を挟み
、ホルダー／薄膜集合体が包装から取り出されるまで、
薄膜ホルダーか回らないようにすることが出来る。
、フィンガーグリップ手段５８を互いに近付けて薄膜１
０を放すことが出来るばかりでなく、箱型底部材１４か
ら上向に伸びる互いに補足し合う形状の止部６２を挟み
、ホルダー／薄膜集合体が包装から取り出されるまで、
薄膜ホルダーか回らないようにすることが出来る。
ｇ本
ホルダー／薄膜集合対を把持し取り扱い且つ薄膜をホル
ダーから放すための手段が必ずしもフィンガーグリップ
手段である必要はなく、この代わりに、これを機械デバ
イスによって把持することの出来る手段とし、これによ
り、薄膜ホルダーを薄膜装着体の上に置くようにするが
、或いは又、薄膜装着体自体によって把持することの出
来る手段とし、これによって、ホルダー／薄膜集合体を
パッケージから取り゛出し、薄膜をパターンマスクの上
に装着し、次に、薄膜をホルダーから放すようにするこ
とも出来る。
ダーから放すための手段が必ずしもフィンガーグリップ
手段である必要はなく、この代わりに、これを機械デバ
イスによって把持することの出来る手段とし、これによ
り、薄膜ホルダーを薄膜装着体の上に置くようにするが
、或いは又、薄膜装着体自体によって把持することの出
来る手段とし、これによって、ホルダー／薄膜集合体を
パッケージから取り゛出し、薄膜をパターンマスクの上
に装着し、次に、薄膜をホルダーから放すようにするこ
とも出来る。
箱型底部材１４と共に、箱型蓋部材１２がホルダー／薄
膜集合体５２を格納する囲いを形成する。箱型蓋部材１
２が薄膜ＩＯを覆うための本体部分３４と、下向きに伸
びるホルダー押え環状部とを持ち、箱が閉ざされている
とき、これが薄膜ホルダーの腕６４を押える。
膜集合体５２を格納する囲いを形成する。箱型蓋部材１
２が薄膜ＩＯを覆うための本体部分３４と、下向きに伸
びるホルダー押え環状部とを持ち、箱が閉ざされている
とき、これが薄膜ホルダーの腕６４を押える。
第１図の実施例では、箱型蓋部材１２が更に密封域３６
を持ち、これが、薄膜本体部分３４の円周部から外向き
に伸びるリップ部３８の下側に設けられる。
を持ち、これが、薄膜本体部分３４の円周部から外向き
に伸びるリップ部３８の下側に設けられる。
リップ部３８の周辺密封域３６が底部材１４の周辺フラ
ンジ３５に引き剥がし可能に接着され、薄膜１０を蓋部
材１２と底部材１４との中に密封シールする。
ンジ３５に引き剥がし可能に接着され、薄膜１０を蓋部
材１２と底部材１４との中に密封シールする。
この薄膜蓋１２が、例えば上述した薄膜フレームのシー
ル縁をパッケージの底板に接着させた場合の如き適宜の
方法によって、パッケージの底板の周辺フランジに引き
剥がし可能に接着される。これらの手段はシール域３６
の接触区域に施された固形接着剤、両面テープ等を含む
。
ル縁をパッケージの底板に接着させた場合の如き適宜の
方法によって、パッケージの底板の周辺フランジに引き
剥がし可能に接着される。これらの手段はシール域３６
の接触区域に施された固形接着剤、両面テープ等を含む
。
薄膜ホルダーの箱型蓋及び底部材には各種の材料を使う
ことが出来る。これらの包装及び取り扱い構成部品を形
成するために用いられる）オ料は、材料費、及びその材
料の性質及び特徴の利害得失によって決定される。包装
及び取り扱い部品に用いられる材料は概して粒子が付着
し憎く且つ洗浄可能なものでなければならない。このた
めに、炭素含有材の高いプラスチックスは静電気を帯電
しない点ては良い材料であるが、粒子発生の観点からす
ると好ましくない。包装及び取り扱い部品は製造後組み
立てに先立って洗浄される。代表的には、これらの部品
が水溶液、アルコール、フレオンその他の溶剤の中で洗
浄されるが、この場合包装材料はこれらの洗浄剤の使用
に耐えるものでなければならない。
ことが出来る。これらの包装及び取り扱い構成部品を形
成するために用いられる）オ料は、材料費、及びその材
料の性質及び特徴の利害得失によって決定される。包装
及び取り扱い部品に用いられる材料は概して粒子が付着
し憎く且つ洗浄可能なものでなければならない。このた
めに、炭素含有材の高いプラスチックスは静電気を帯電
しない点ては良い材料であるが、粒子発生の観点からす
ると好ましくない。包装及び取り扱い部品は製造後組み
立てに先立って洗浄される。代表的には、これらの部品
が水溶液、アルコール、フレオンその他の溶剤の中で洗
浄されるが、この場合包装材料はこれらの洗浄剤の使用
に耐えるものでなければならない。
包装及び取り扱い部品の材料として適するものは、箱型
蓋及び底部材のケースの中で運搬貯蔵される間、薄膜か
衝撃その他の取り扱い不良から十分に保護される強度を
持ち、又、薄膜ホルダーの場合、十分な弾力性を持ち、
薄膜を取り外し可能に把持し又制御することの出来るも
のでなければならない。好ましくはこの材料は低温でも
脆くならないものである。包装及び取り扱い材料は軽量
で、運搬費用の掛からないものの方が有利である。
蓋及び底部材のケースの中で運搬貯蔵される間、薄膜か
衝撃その他の取り扱い不良から十分に保護される強度を
持ち、又、薄膜ホルダーの場合、十分な弾力性を持ち、
薄膜を取り外し可能に把持し又制御することの出来るも
のでなければならない。好ましくはこの材料は低温でも
脆くならないものである。包装及び取り扱い材料は軽量
で、運搬費用の掛からないものの方が有利である。
包装及び取り扱い部品の適当な厚さは一般的に０．５か
ら３ａｍの範囲に入る厚さである。
ら３ａｍの範囲に入る厚さである。
薄膜包装及び取り扱い材料は大気中から余り湿気を吸収
しないものとし、これによる薄膜の損傷のないようにす
る。又包装数り扱い材料は電荷を消すことの出来るもの
である。その点金属は電荷を消す点で理想的だが、重量
、腐食、値段等の点で不適当である。その他の候補は、
粒子発生の少ないカーボン入りプラスチックス、メタラ
イズされたプラスチックス、及び抗帯電性のコーティン
グ又は添加剤を持つプラスチックスである。抗帯電性の
コーティング又は添加剤を使用する場合は、これらは洗
浄に対して抵抗力を持ち、瓦斯放出を行わないものとす
べきである。ガス放出をすると薄膜が損傷され、又、透
明包装材料の変色及び不透明度増加か起きる。この変色
及び不透明度増加はそれ自体は機能的問題ではないが、
これがガス放出のインジケーターになる場合が多い。
しないものとし、これによる薄膜の損傷のないようにす
る。又包装数り扱い材料は電荷を消すことの出来るもの
である。その点金属は電荷を消す点で理想的だが、重量
、腐食、値段等の点で不適当である。その他の候補は、
粒子発生の少ないカーボン入りプラスチックス、メタラ
イズされたプラスチックス、及び抗帯電性のコーティン
グ又は添加剤を持つプラスチックスである。抗帯電性の
コーティング又は添加剤を使用する場合は、これらは洗
浄に対して抵抗力を持ち、瓦斯放出を行わないものとす
べきである。ガス放出をすると薄膜が損傷され、又、透
明包装材料の変色及び不透明度増加か起きる。この変色
及び不透明度増加はそれ自体は機能的問題ではないが、
これがガス放出のインジケーターになる場合が多い。
薄膜包装及び取り扱い部品を形成するのに適した材料の
例が表１にリストアツブされている。
例が表１にリストアツブされている。
表 １
材料 吸水率 ＦｌｅｘＭＯＤ ＦｌｅｘＳｔｒ、
衝撃値１．０８〜．０９ ２．８〜４．０ １２〜
１４．５２．０５〜．０６ １．．５〜４．６３〜１２
．５〜４．０Ｂ 、１５ ３．０〜３．４ １
１〜１５１２〜１６４ ．３ ．６５〜２．５
７〜１０．５．６〜１．２但し、１．ポリエチレン・テ
レフタレイト（ＰＥＴ） 、２・耐衝撃性ポリスチレン
、３：ポリカーボネート、４ニアクリル、である。
衝撃値１．０８〜．０９ ２．８〜４．０ １２〜
１４．５２．０５〜．０６ １．．５〜４．６３〜１２
．５〜４．０Ｂ 、１５ ３．０〜３．４ １
１〜１５１２〜１６４ ．３ ．６５〜２．５
７〜１０．５．６〜１．２但し、１．ポリエチレン・テ
レフタレイト（ＰＥＴ） 、２・耐衝撃性ポリスチレン
、３：ポリカーボネート、４ニアクリル、である。
第２図に示すホルダー／薄膜集合体はバネ線で作られた
“握り一放し“型薄膜ホルダー５０ａを持っている。こ
のバネ線薄膜ホルダー５０ａかタブ５４ａを持ち、これ
が薄膜１０ａの薄膜フレーム２０ａのＶ型の溝に係合す
る。
“握り一放し“型薄膜ホルダー５０ａを持っている。こ
のバネ線薄膜ホルダー５０ａかタブ５４ａを持ち、これ
が薄膜１０ａの薄膜フレーム２０ａのＶ型の溝に係合す
る。
第３図には、方形の薄膜Ｊｏｂを保持する“握り放し”
型薄膜ホルダー５０ｂを持つホルダー／薄膜集合体が示
されている。この薄膜ホルダー５０ｂがタブ５４ｂを持
ち、これが薄膜フレーム２Ｑｂの隅角部の溝５６ｂと係
合する。
型薄膜ホルダー５０ｂを持つホルダー／薄膜集合体が示
されている。この薄膜ホルダー５０ｂがタブ５４ｂを持
ち、これが薄膜フレーム２Ｑｂの隅角部の溝５６ｂと係
合する。
第４Ａ及び４Ｂ図に本発明の別の実施例による、ホルダ
ー／薄膜集合体を格納する蝶番式包装具が示されている
。この包装システムが蝶番６８によって箱方底部材１４
ａに接続された箱方蓋部材１２ａを持っている。ラッチ
手段７０ａ、７０ｂによってこの包装具を開閉すること
が出来る。
ー／薄膜集合体を格納する蝶番式包装具が示されている
。この包装システムが蝶番６８によって箱方底部材１４
ａに接続された箱方蓋部材１２ａを持っている。ラッチ
手段７０ａ、７０ｂによってこの包装具を開閉すること
が出来る。
“握り一放し“型薄膜ホルダー５０ｅが薄膜ＬＯｃを保
持しながら、底部材１４ａから上向きに伸びる４つの第
１のランド部材７２の上に置かれる。第１のランド部材
７２かそれぞれそのこれらか薄膜ホルダー５０ｃの対応
するアパーチャの中に伸びている。
持しながら、底部材１４ａから上向きに伸びる４つの第
１のランド部材７２の上に置かれる。第１のランド部材
７２かそれぞれそのこれらか薄膜ホルダー５０ｃの対応
するアパーチャの中に伸びている。
薄膜箱が閉じられると、薄膜ホルダー５０ｃが第１のラ
ンド部材７２と、第２のランド部材７６の間に保持され
る。この第２の部材は箱の蓋１２ａから下向きに伸び、
薄膜ホルダー５０ｃの対応するアパーチャに係合するピ
ン７４を持っている。従ってこの実施例においては、薄
膜箱が薄膜ホルダー５０ｃを保持し、ホルダー５０ｃが
、薄膜１０ｃと薄膜箱との間で接触することなく、薄膜
ｔｏｅを保持する。
ンド部材７２と、第２のランド部材７６の間に保持され
る。この第２の部材は箱の蓋１２ａから下向きに伸び、
薄膜ホルダー５０ｃの対応するアパーチャに係合するピ
ン７４を持っている。従ってこの実施例においては、薄
膜箱が薄膜ホルダー５０ｃを保持し、ホルダー５０ｃが
、薄膜１０ｃと薄膜箱との間で接触することなく、薄膜
ｔｏｅを保持する。
第５及び６図は本発明の更に別の実施例による薄膜包装
及び取り扱いシステムが示されている。
及び取り扱いシステムが示されている。
本実施例により、“握り一把持”型薄膜ホルダ５０ｄが
設けられる。この型は前例とは異なり、握ることによっ
てフレームが把持される型である。
設けられる。この型は前例とは異なり、握ることによっ
てフレームが把持される型である。
そのフィンガーグリップ手段５８′がアーム６４′の端
部に設けられ、このアームが薄膜１０ｄの薄膜フレーム
２０ｄの全周に亘って伸びている。前の実施例と同様に
、タブ５４ｄか薄膜フレーム２０ｄの外周に沿う周辺ス
ロットと係合する。図示した実施例においては、薄膜ホ
ルダー５０ｄか３つの第１のランド部材７２′の上に載
り、これらのランド部材が底から上に向かって伸び薄膜
ホルダー５０ｄの対応するアパーチャと係合する。薄膜
ホルダーはこのランド部材７２′ と、蓋部材１２ｂか
ら下向きに伸びる第２のランド部材７８′ との間に保
持される。
部に設けられ、このアームが薄膜１０ｄの薄膜フレーム
２０ｄの全周に亘って伸びている。前の実施例と同様に
、タブ５４ｄか薄膜フレーム２０ｄの外周に沿う周辺ス
ロットと係合する。図示した実施例においては、薄膜ホ
ルダー５０ｄか３つの第１のランド部材７２′の上に載
り、これらのランド部材が底から上に向かって伸び薄膜
ホルダー５０ｄの対応するアパーチャと係合する。薄膜
ホルダーはこのランド部材７２′ と、蓋部材１２ｂか
ら下向きに伸びる第２のランド部材７８′ との間に保
持される。
第７から８Ａ図は本発明による薄膜包装及び取り扱いシ
ステムの更に別の実施例を示している。
ステムの更に別の実施例を示している。
この実施例か接触棚部１６０を持つ薄膜ホルダー５０ｅ
を持ち、この棚部か薄膜フレーム２０ｅの底のシール縁
２４ａに引き剥がし可能に接着されている。
を持ち、この棚部か薄膜フレーム２０ｅの底のシール縁
２４ａに引き剥がし可能に接着されている。
この薄膜ホルダー５０ｅはシール縁２４ａから引き剥が
すのに十分な可撓性を持つが、薄膜フィルム１８ａを検
査している間又ホルダー／薄膜集合体５２ａを薄膜１０
ｅに触れること無く箱の底に、又は、から動かすとき、
薄膜１０ｅを支えるのに十分な強さを持っていなければ
ならない。この薄膜ホルダー５０ｅに適する材料は、ガ
ス放出をせず、粒子化しないもので、これにより薄膜フ
ィルム１８ａの汚染を防ぐことの出来るものである。こ
れに適する材料はポリエチレン、テフロン（商品名）、
ポリカーボネート、及びポリスチレンで、約０．０５か
ら約０．１インチの、好ましくは約０．０７から０．０
９インチの、厚さを持っている。所望の材料が所望の厚
さを持つ可撓性のシートの中から得られる。フィンガー
グリップ５８０と観察アパーチャ５９０とを持つ薄膜ホ
ルダー５０ｅは可撓性シートから色々な手段で作ること
が出来る。
すのに十分な可撓性を持つが、薄膜フィルム１８ａを検
査している間又ホルダー／薄膜集合体５２ａを薄膜１０
ｅに触れること無く箱の底に、又は、から動かすとき、
薄膜１０ｅを支えるのに十分な強さを持っていなければ
ならない。この薄膜ホルダー５０ｅに適する材料は、ガ
ス放出をせず、粒子化しないもので、これにより薄膜フ
ィルム１８ａの汚染を防ぐことの出来るものである。こ
れに適する材料はポリエチレン、テフロン（商品名）、
ポリカーボネート、及びポリスチレンで、約０．０５か
ら約０．１インチの、好ましくは約０．０７から０．０
９インチの、厚さを持っている。所望の材料が所望の厚
さを持つ可撓性のシートの中から得られる。フィンガー
グリップ５８０と観察アパーチャ５９０とを持つ薄膜ホ
ルダー５０ｅは可撓性シートから色々な手段で作ること
が出来る。
これらの手段には、スタンピング、レーザ切断、ダイス
切断、機械加工、真空形成、射出成形、等がある。
切断、機械加工、真空形成、射出成形、等がある。
ホルダー５０ｅの接触棚部１６０が薄膜フレーム２０ｅ
のシール縁２４ａに引き剥がし可能に接着される。シー
ル縁２４ａを接触棚部１６０に接着する接着剤及びその
上の剥離剤のタフタイル強度（ｔａｅｔｉｌｅ ｓｔｒ
ｅｎｇｔｈ） （粘着強度）はインチ当り約５から８
０オンスにすべきである。これか５オンス以下だと、シ
ール縁が接触棚部に接着しない。
のシール縁２４ａに引き剥がし可能に接着される。シー
ル縁２４ａを接触棚部１６０に接着する接着剤及びその
上の剥離剤のタフタイル強度（ｔａｅｔｉｌｅ ｓｔｒ
ｅｎｇｔｈ） （粘着強度）はインチ当り約５から８
０オンスにすべきである。これか５オンス以下だと、シ
ール縁が接触棚部に接着しない。
又８０オンス以上なと、接触棚部をシール縁から引き剥
がすことが出来ない。接触棚部に剥離剤を必要とすると
きは、非ガス放出性で非粒子化の剥離剤を使用する。好
ましい剥離剤はシリコンである。
がすことが出来ない。接触棚部に剥離剤を必要とすると
きは、非ガス放出性で非粒子化の剥離剤を使用する。好
ましい剥離剤はシリコンである。
薄膜１０ｅの内部を保護するために、引き剥がし可能の
カバーシート２９０が薄膜ホルダー５０ｅの背面５７０
に接着される。カバーシート２９０はホルダー５０ｅよ
り可撓性かあり、カバーシートがホルダーに対して好ま
しい状態で曲げられ、カバーシートがホルダーを変形又
は曲げることなくホルダーから引き剥がせるようにすべ
きである。更に、カバーシートの材料はホルダーから一
体で引き剥がすことの出来る強度を持ち、薄膜１０ｅの
内部を汚染する′ことが無いようにすべきである。カバ
ーシートに適する材料はポリエステル、ポリスチレン、
ポリエチレン、ポリビニール・クロライド、及びポリカ
ーボネートである。シートの厚さは約１〜１０ミルが好
ましく、特に、約７〜７．５ミルが好ましい。
カバーシート２９０が薄膜ホルダー５０ｅの背面５７０
に接着される。カバーシート２９０はホルダー５０ｅよ
り可撓性かあり、カバーシートがホルダーに対して好ま
しい状態で曲げられ、カバーシートがホルダーを変形又
は曲げることなくホルダーから引き剥がせるようにすべ
きである。更に、カバーシートの材料はホルダーから一
体で引き剥がすことの出来る強度を持ち、薄膜１０ｅの
内部を汚染する′ことが無いようにすべきである。カバ
ーシートに適する材料はポリエステル、ポリスチレン、
ポリエチレン、ポリビニール・クロライド、及びポリカ
ーボネートである。シートの厚さは約１〜１０ミルが好
ましく、特に、約７〜７．５ミルが好ましい。
カバーシート２９０を薄膜ホルダー５０ｅの背面５７０
に接着する方法は各種ある。例えば、非ガス放出性で非
粒子化性の接着剤で、インチ接着当り約５から約８０オ
ンスのタフタイル強度を持つものが使用される。好まし
い接着剤はＮｏ ｒｗｏｏｄ Ｎｏ、８０３１及びＭ
ａ ｃ ｔ ａ ｃ２１００である。このカバーシー
ト２９０の表面が、又は薄膜ホルダー５０ｅの背面５７
０が、のいずれかに施される。接着剤がカバーシートの
表面に施される場合は、これをカバーシートの全表面に
施すようにしたほうが良い。次に、薄膜１０ｅの内部に
掴まえられた粒子がこの接着面と接触したとき、この暴
露された接着面によって捕捉保持される。
に接着する方法は各種ある。例えば、非ガス放出性で非
粒子化性の接着剤で、インチ接着当り約５から約８０オ
ンスのタフタイル強度を持つものが使用される。好まし
い接着剤はＮｏ ｒｗｏｏｄ Ｎｏ、８０３１及びＭ
ａ ｃ ｔ ａ ｃ２１００である。このカバーシー
ト２９０の表面が、又は薄膜ホルダー５０ｅの背面５７
０が、のいずれかに施される。接着剤がカバーシートの
表面に施される場合は、これをカバーシートの全表面に
施すようにしたほうが良い。次に、薄膜１０ｅの内部に
掴まえられた粒子がこの接着面と接触したとき、この暴
露された接着面によって捕捉保持される。
接着剤の無いカバーシートの表面か又はホルダーの背面
のいずれかの表面に剥離剤が必要な場合かある。シリコ
ンの如き非ガス放出性で非粒子化性の剥離剤が使用され
る。
のいずれかの表面に剥離剤が必要な場合かある。シリコ
ンの如き非ガス放出性で非粒子化性の剥離剤が使用され
る。
第７及び７Ａ図に示す本発明による薄膜包装及び取扱い
システムの実施例は、箱型蓋部材１２ｃ及び箱型底部材
１４ｃによって形成される薄膜パッケージ即ち箱を持っ
ている。この薄膜パッケージ即ち箱が、所定位置に固定
された薄膜１［１ｅを持つ薄膜／ホルダー集合体５２ａ
を格納する。この箱の底部材１４ｃが１つのキャビティ
ー２７０を持ち、これか薄膜／ホルダー集合体５２ａと
共同して、薄膜１０ｅを一定の位置に保持する。キャビ
ティー２７０は、第７ａ図に示すごとく、薄膜フレーム
２０ｅと箱の底とが最小面積で接触するように設計され
ている。この両者の間の最小接触が、キャビティーの壁
土の接触点６２０を用いて達成される。先ず、薄膜がキ
ャビティーの中に置かれると、上記接触点と薄膜フレー
ムとが出会い、これによって薄膜がキャビティーの中に
更に進まないように止められる。更に、この接触点て薄
膜フレームに接線方向の力を掛けることによって、この
接触点がキャビティーの中の一定位置に薄膜を保持する
。丸い薄膜フレームの場合は、最小接触のために、キャ
ビティーの壁土に少なくとも３つの接触点が必要である
。正方形又は方形の薄膜フレームの場合は、最小接触の
ために少なくとも４つの接触点が必要である。
システムの実施例は、箱型蓋部材１２ｃ及び箱型底部材
１４ｃによって形成される薄膜パッケージ即ち箱を持っ
ている。この薄膜パッケージ即ち箱が、所定位置に固定
された薄膜１［１ｅを持つ薄膜／ホルダー集合体５２ａ
を格納する。この箱の底部材１４ｃが１つのキャビティ
ー２７０を持ち、これか薄膜／ホルダー集合体５２ａと
共同して、薄膜１０ｅを一定の位置に保持する。キャビ
ティー２７０は、第７ａ図に示すごとく、薄膜フレーム
２０ｅと箱の底とが最小面積で接触するように設計され
ている。この両者の間の最小接触が、キャビティーの壁
土の接触点６２０を用いて達成される。先ず、薄膜がキ
ャビティーの中に置かれると、上記接触点と薄膜フレー
ムとが出会い、これによって薄膜がキャビティーの中に
更に進まないように止められる。更に、この接触点て薄
膜フレームに接線方向の力を掛けることによって、この
接触点がキャビティーの中の一定位置に薄膜を保持する
。丸い薄膜フレームの場合は、最小接触のために、キャ
ビティーの壁土に少なくとも３つの接触点が必要である
。正方形又は方形の薄膜フレームの場合は、最小接触の
ために少なくとも４つの接触点が必要である。
箱方底部材１４ｃが更に、ホルダー５０ｅのフィンガー
グラスプ５８０に対応する把持用隙間２８０を持ってい
る。この把持用隙間２８０及びフィンガーグラスプ５８
０が、薄膜ホルダーを掴み、引き剥がし可能に接着され
た薄膜を箱型底部材から持ち上げるために、指又は機械
的手段を差し込むことの出来る隙間を持っていなければ
ならない。このフィンガーグラスブが好ましくは、薄膜
／ホルダー集合体を掴むが、持ち上げるが、又は動かし
たとき、何も薄膜フィルムに触れないようなホルダーの
中の位置に置かれる。第７及び８図は、考え得る１つの
形態を示している。第７及び８図において、Ｌ型のフィ
ンガーグラスブ５８０が接触棚部１６０の隅に並んで配
列されている。丸い薄膜フレームの場合は、このフィン
ガーグラスプか羊の肝臓の形をしている。従って、指を
この２つの隣り合ったフィンカーグラスブに差し込み、
このグラスプの間のホルダ一部分を押ことによって、薄
膜／ホルダー集合体を持ち上げることが出来る。ロボッ
トの指のような機械的デバイスを指の代わりに使用する
ことが出来る。この様にして、薄膜フィルムの汚染が、
フィルムに触れること無く、薄膜／ホルダー集合体を持
ち上げ移動させることによって達成される。
グラスプ５８０に対応する把持用隙間２８０を持ってい
る。この把持用隙間２８０及びフィンガーグラスプ５８
０が、薄膜ホルダーを掴み、引き剥がし可能に接着され
た薄膜を箱型底部材から持ち上げるために、指又は機械
的手段を差し込むことの出来る隙間を持っていなければ
ならない。このフィンガーグラスブが好ましくは、薄膜
／ホルダー集合体を掴むが、持ち上げるが、又は動かし
たとき、何も薄膜フィルムに触れないようなホルダーの
中の位置に置かれる。第７及び８図は、考え得る１つの
形態を示している。第７及び８図において、Ｌ型のフィ
ンガーグラスブ５８０が接触棚部１６０の隅に並んで配
列されている。丸い薄膜フレームの場合は、このフィン
ガーグラスプか羊の肝臓の形をしている。従って、指を
この２つの隣り合ったフィンカーグラスブに差し込み、
このグラスプの間のホルダ一部分を押ことによって、薄
膜／ホルダー集合体を持ち上げることが出来る。ロボッ
トの指のような機械的デバイスを指の代わりに使用する
ことが出来る。この様にして、薄膜フィルムの汚染が、
フィルムに触れること無く、薄膜／ホルダー集合体を持
ち上げ移動させることによって達成される。
箱型蓋部材１２ｃが底部材１４ｅと共に薄膜／ホルダー
集合体５２ａを格納する包装具を形成する。この蓋部材
１２ｃが薄膜１０ｅを覆う本体部分３４ａと、薄膜の本
体部分３４ａの周囲を取り囲み外に向かって伸びるリッ
プ部３８ａとを持っている。このましくは、最終組み立
てにおいて薄膜／ホルダー集合体の上に横たわる本体部
分３４ａの区域が、第７Ａ図のごとくにかぶされる。
集合体５２ａを格納する包装具を形成する。この蓋部材
１２ｃが薄膜１０ｅを覆う本体部分３４ａと、薄膜の本
体部分３４ａの周囲を取り囲み外に向かって伸びるリッ
プ部３８ａとを持っている。このましくは、最終組み立
てにおいて薄膜／ホルダー集合体の上に横たわる本体部
分３４ａの区域が、第７Ａ図のごとくにかぶされる。
箱型蓋部材１２ｃは箱型底部材１４ｃに蝶番結合されて
も、或いはされなくても良い。好ましいのはリビングヒ
ンジ又はノーヒンジである。この部材が関節結合されな
い場合は、周辺の密封区域に張り出したリップ部３８ａ
が設けられる。この密封区域が箱型底部材１４ｃの周辺
フランジ３５ａに引き剥がし可能に接着され、薄膜１０
ｅを蓋部材１２ｃ及び底部材１４ｃの中に封入し、密封
する。この代わりに、蓋部材及び底部材上の番いの部品
によって機械的シールを形成し、この２つの部品を結合
させるようにしても良い。例えば、蓋部材の側壁に隆起
部を持たせ、一方底部材の側壁にこれに対応する同じ形
の凹部を設けるようにする。
も、或いはされなくても良い。好ましいのはリビングヒ
ンジ又はノーヒンジである。この部材が関節結合されな
い場合は、周辺の密封区域に張り出したリップ部３８ａ
が設けられる。この密封区域が箱型底部材１４ｃの周辺
フランジ３５ａに引き剥がし可能に接着され、薄膜１０
ｅを蓋部材１２ｃ及び底部材１４ｃの中に封入し、密封
する。この代わりに、蓋部材及び底部材上の番いの部品
によって機械的シールを形成し、この２つの部品を結合
させるようにしても良い。例えば、蓋部材の側壁に隆起
部を持たせ、一方底部材の側壁にこれに対応する同じ形
の凹部を設けるようにする。
本発明が提供する薄膜ホルダーは、薄膜をその包装から
薄膜フレームに触れること無く、又は第２の手段を用い
て、取り出し、薄膜を保持することが出来る。この薄膜
ホルダーは又観察するとき薄膜を保持する手段を持ち、
この手段により容易に把持することが出来、薄膜を落と
して汚染し、使用不能にする危険性を減らすことが出来
る。
薄膜フレームに触れること無く、又は第２の手段を用い
て、取り出し、薄膜を保持することが出来る。この薄膜
ホルダーは又観察するとき薄膜を保持する手段を持ち、
この手段により容易に把持することが出来、薄膜を落と
して汚染し、使用不能にする危険性を減らすことが出来
る。
これらの実施例に各種の変形変更を行うことが出来るが
、これらは例示として説明したもので、本発明かこれに
よって制限されるものではない。
、これらは例示として説明したもので、本発明かこれに
よって制限されるものではない。
第１図は、本発明の１つの実施例による薄膜包装及び取
り扱いシステムで、握り一放し型薄膜ホルダーを持つも
のを各部分に分割して示す斜視図、第２図は、本発明の
１つの実施例によるホルダー／薄膜集合体で、バネ線の
握り一放し型薄膜ホルダーを持つものを示す斜視図、 第３図は、本発明の１つの実施例によるホルダー／薄膜
集合体の別の実施例で、握り一放し型薄膜ホルダーを持
つものを示す斜視図、第４Ａ図は、本発明による薄膜包
装及び取り扱いシステムの１つの実施例で、握り一放し
型薄膜ホルダーと、開いた状態で示す蝶番結合の薄膜包
装具とを示す斜視図、 第４Ｂ図は、第４図のシステムの薄膜支持手段の断面図
、 第５図は、本発明の別の実施例で、握り一把持型薄膜ホ
ルダーを持つシステムの平面図、第６図は、第５図の部
分断面図、 第７図は、握り一放し型薄膜ホルダーを持つシステムノ
更に別の実施例で、各部分に分割して示す斜視図、 第７Ａ図は、第７図の断面図、 第８図は、第７図の握り一放し型薄膜ホルダーを持つホ
ルダー／薄膜集合体の斜視図、第８Ａ図は、第８図の線
１０１−１０１’に沿う断面図、である。
り扱いシステムで、握り一放し型薄膜ホルダーを持つも
のを各部分に分割して示す斜視図、第２図は、本発明の
１つの実施例によるホルダー／薄膜集合体で、バネ線の
握り一放し型薄膜ホルダーを持つものを示す斜視図、 第３図は、本発明の１つの実施例によるホルダー／薄膜
集合体の別の実施例で、握り一放し型薄膜ホルダーを持
つものを示す斜視図、第４Ａ図は、本発明による薄膜包
装及び取り扱いシステムの１つの実施例で、握り一放し
型薄膜ホルダーと、開いた状態で示す蝶番結合の薄膜包
装具とを示す斜視図、 第４Ｂ図は、第４図のシステムの薄膜支持手段の断面図
、 第５図は、本発明の別の実施例で、握り一把持型薄膜ホ
ルダーを持つシステムの平面図、第６図は、第５図の部
分断面図、 第７図は、握り一放し型薄膜ホルダーを持つシステムノ
更に別の実施例で、各部分に分割して示す斜視図、 第７Ａ図は、第７図の断面図、 第８図は、第７図の握り一放し型薄膜ホルダーを持つホ
ルダー／薄膜集合体の斜視図、第８Ａ図は、第８図の線
１０１−１０１’に沿う断面図、である。
Claims (19)
- （１）（ａ）周辺薄膜フレームを越えて伸びる透明な薄
膜フィルムを含むパターンマスク薄膜と；（ｂ）上記薄
膜フレームを取り外し可能に 押さえる手段を含む薄膜ホルダーで、これが更に、上記
のホルダー／薄膜集合体を把持しこれを手にとって透過
光線で薄膜を観察し、且つ上記薄膜を上記ホルダーから
放すための手段を含む、薄膜ホルダーと； （ｃ）上記ホルダー／薄膜集合体を収納す るための、任意に開くことの出来る包装具と；（ｄ）上
記包装具の中の固定位置に上記ホ ルダー／薄膜集合体を取り外し可能に保持する手段と； を含む、薄膜包装及び取り扱いシステム。 - （２）上記薄膜フレームが上記フレームと上記薄膜ホル
ダーとを相補い合う形状で結合する手段を含む、請求項
１記載のシステム。 - （３）上記フレームと上記薄膜ホルダーとを結合する上
記手段が上記薄膜フレームの外周部に沿って伸びる溝で
ある、請求項２記載のシステム。 - （４）上記薄膜が隅角部を持って角張っており、又、上
記フレームと上記薄膜ホルダーとを結合する上記手段が
上記薄膜フレームの隅角部に設けられた溝を含む、請求
項２記載のシステム。 - （５）上記薄膜ホルダーが互いに向き合って回動するこ
との出来る腕を含み、これらの腕が上記薄膜フレームを
囲み、少なくともその途中まで延びている、請求項１記
載のシステム。 - （６）上記薄膜フレームを取り外し可能に押さえる上記
手段が複数のタブを持ち、これらが上記の回動可能の腕
から内向きに延び、薄膜フレームのこれに対応する溝と
係合する、請求項５記載のシステム。 - （７）上記薄膜ホルダーが１つの観察用アパーチャを持
ち、これが実質的に上記薄膜フレームの上に配列され、
上記フレームの内径寸法とほぼ同じ寸法を持っている、
請求項５記載のシステム。 - （８）上記薄膜フレームを取り外し可能に押さえる上記
手段が、上記薄膜フレームの表面と上記薄膜ホルダーの
表面との間に接着材を含む、請求項７記載のシステム。 - （９）上記ホルダー／薄膜集合体を把持し取り扱うため
の上記手段がフィンガーグリップ手段からなる、請求項
１記載のシステム。 - （１０）上記ホルダー／薄膜集合体を把持し取り扱い、
上記薄膜を上記ホルダーから放すための上記手段がフィ
ンガーグリップ手段からなる、請求項１記載のシステム
。 - （１１）上記ホルダー／薄膜集合体を上記包装具の中の
一定の位置に保持する手段が、上記包装具の中での上記
薄膜ホルダーの回転を防ぐ手段を含む、請求項１記載の
システム。 - （１２）上記ホルダー／薄膜集合体を上記包装具の中の
一定の位置に保持する手段が、薄膜フレームの壁の少な
くとも３か所に接触点を持つキャビティーを含む、請求
項１記載のシステム。 - （１３）上記ホルダー／薄膜集合体を上記包装具の中の
一定の位置に保持する手段が、上記薄膜ホルダーをその
間に保持する対応したランド手段と、上記ランド手段の
間に、上記薄膜ホルダーの対応する開口部を介して延び
るピンと、を含む、請求項１記載のシステム。 - （１４）上記薄膜フレームがその底部分の回りに連続し
たシール縁部を持ち、上記のパッケージの底板が、上記
薄膜フレームの底の回りの上記シール縁部に引き剥がし
可能に接着される接触面を持ち、これにより、上記薄膜
の内部を密封する如くにする、請求項１記載のシステム
。 - （１５）上記接触面が上記包装具の競り上がったステー
ジ部分の上にある、請求項１４記載のシステム。 - （１６）上記ホルダー／薄膜集合体を上記包装具の中の
一定の位置に保持する手段が、上記包装具の中の薄膜ホ
ルダーを押すホルダー押え部材を含む、請求項１５記載
のシステム。 - （１７）上記薄膜ホルダーが握り−把持型の薄膜ホル
ダーである、請求項１記載のシステム。 - （１８）上記薄膜ホルダーが握り−放し型の薄膜ホルダ
ーである、請求項１記載のシステム。 - （１９）更に、上記包装具の中に侵入した汚染粒子を掴
まえこれを保持するために、上記包装具の中に粘着手段
を含む、請求項１記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US413,352 | 1989-09-27 | ||
| US07/413,352 US5042655A (en) | 1989-09-27 | 1989-09-27 | Pellicle packaging and handling system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03229254A true JPH03229254A (ja) | 1991-10-11 |
| JP2921955B2 JP2921955B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=23636912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26037190A Expired - Lifetime JP2921955B2 (ja) | 1989-09-27 | 1990-09-27 | 薄膜の包装及び取扱いシステム |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5042655A (ja) |
| EP (1) | EP0420122B1 (ja) |
| JP (1) | JP2921955B2 (ja) |
| KR (1) | KR940000101B1 (ja) |
| AT (1) | ATE115938T1 (ja) |
| CA (1) | CA2026248A1 (ja) |
| DE (1) | DE69015301T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05197135A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-08-06 | Yung-Tsai Yen | 光学ペリクルを保持する保持装置及び光学ペリクル使用方法 |
Families Citing this family (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USD334283S (en) | 1991-07-01 | 1993-03-30 | Edmund Scientific Company | Folding lens case |
| US5749469A (en) * | 1992-05-15 | 1998-05-12 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier |
| US5305878A (en) * | 1993-04-01 | 1994-04-26 | Yen Yung Tsai | Packaged optical pellicle |
| USD364739S (en) | 1993-08-19 | 1995-12-05 | Hoya Corporation | Case for camera filter |
| US5440458A (en) * | 1993-11-02 | 1995-08-08 | Volk; Donald A. | Illuminated lens case |
| USD357579S (en) | 1994-04-21 | 1995-04-25 | Abrams Richard W | Contact lens package |
| USD357803S (en) | 1994-04-21 | 1995-05-02 | Abrams Richard W | Package for a contact lens |
| USD357352S (en) | 1994-04-21 | 1995-04-18 | Abrams Richard W | Contact lens package |
| USD363161S (en) | 1994-04-21 | 1995-10-17 | Johnson & Johnson Vision Products, Inc. | Contact lens package |
| USD365679S (en) | 1994-04-21 | 1996-01-02 | Johnson & Johnson Vision Products, Inc. | Contact lens package |
| USD362962S (en) | 1994-04-21 | 1995-10-10 | Johnson & Johnson Vision Products, Inc. | Package for a contact lens |
| WO1996007199A2 (en) * | 1994-08-31 | 1996-03-07 | Heraeus Quarzglas Gmbh | Quartz glass jig for the heat treatment of silicon wafers and method and device for producing same |
| JP3143337B2 (ja) * | 1994-10-12 | 2001-03-07 | 信越ポリマー株式会社 | ペリクル収納容器 |
| USD380898S (en) * | 1995-01-26 | 1997-07-15 | Francis John Lovell | Contact lens storage container |
| US5720386A (en) * | 1996-08-29 | 1998-02-24 | Allsop, Inc. | Storage container for a disk-shaped recording medium |
| JP2001201847A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル容器 |
| US6736386B1 (en) * | 2001-04-10 | 2004-05-18 | Dupont Photomasks, Inc. | Covered photomask holder and method of using the same |
| US6734445B2 (en) * | 2001-04-23 | 2004-05-11 | Intel Corporation | Mechanized retractable pellicles and methods of use |
| JP4052947B2 (ja) * | 2001-05-17 | 2008-02-27 | 株式会社荏原製作所 | 基板搬送容器 |
| US6875282B2 (en) | 2001-05-17 | 2005-04-05 | Ebara Corporation | Substrate transport container |
| JP2005123292A (ja) * | 2003-10-15 | 2005-05-12 | Canon Inc | 収納装置、当該収納装置を用いた露光方法 |
| USD517906S1 (en) * | 2004-05-04 | 2006-03-28 | St. Shine Optical Co., Ltd. | Package for contact lenses |
| JP4286194B2 (ja) * | 2004-08-18 | 2009-06-24 | 信越化学工業株式会社 | ペリクルフレーム、および該フレームを用いたフォトリソグラフィー用ペリクル |
| US20060186011A1 (en) * | 2005-02-23 | 2006-08-24 | Uneka Concepts, Inc. | Modular object display, security and storage system |
| JP4391435B2 (ja) * | 2005-03-22 | 2009-12-24 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
| JP5583140B2 (ja) * | 2008-12-02 | 2014-09-03 | アリゾナ・ボード・オブ・リージェンツ，フォー・アンド・オン・ビハーフ・オブ・アリゾナ・ステート・ユニバーシティ | フレキシブル基板アセンブリを準備する方法およびその方法により準備されたフレキシブル基板アセンブリ |
| US8268514B2 (en) * | 2009-01-26 | 2012-09-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Pellicle mounting method and apparatus |
| US8158961B2 (en) * | 2009-07-31 | 2012-04-17 | Sciconsult, Inc. | Ophthalmic lens case equipped with an ultraviolet light source |
| US9588417B2 (en) * | 2015-05-28 | 2017-03-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Photomask pellicle |
| KR102670392B1 (ko) * | 2017-06-15 | 2024-05-30 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 펠리클 및 펠리클 조립체 |
| KR102763336B1 (ko) | 2018-07-04 | 2025-02-07 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 위치설정 및 클램핑 경화를 위한 장치 |
| JP7176165B2 (ja) * | 2020-04-24 | 2022-11-22 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | Ｅｕｖレチクルポッド |
| USD977961S1 (en) * | 2021-08-10 | 2023-02-14 | MV Gold AG | Capsule casing |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3489265A (en) * | 1967-05-22 | 1970-01-13 | Product Packaging Corp | Fragile plate carrier |
| US3532213A (en) * | 1969-03-26 | 1970-10-06 | Varian Associates | Holder for inspection,shipping and storage of glass optical elements |
| US3615006A (en) * | 1969-06-26 | 1971-10-26 | Ibm | Storage container |
| US4549843A (en) * | 1983-03-15 | 1985-10-29 | Micronix Partners | Mask loading apparatus, method and cassette |
| US4470508A (en) * | 1983-08-19 | 1984-09-11 | Micro Lithography, Inc. | Dustfree packaging container and method |
| DE3481049D1 (de) * | 1983-08-29 | 1990-02-22 | Yung Tsai Yen | Staubfreier behaelter und dessen herstellung. |
| US4776462A (en) * | 1985-09-27 | 1988-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Container for a sheet-like article |
| US4697701A (en) * | 1986-05-30 | 1987-10-06 | Inko Industrial Corporation | Dust free storage container for a membrane assembly such as a pellicle and its method of use |
| JPS63178958A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-23 | キヤノン株式会社 | 防塵容器 |
| US4842136A (en) * | 1987-02-13 | 1989-06-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Dust-proof container having improved construction for holding a reticle therein |
-
1989
- 1989-09-27 US US07/413,352 patent/US5042655A/en not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-09-25 AT AT90118340T patent/ATE115938T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-09-25 EP EP90118340A patent/EP0420122B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-09-25 DE DE69015301T patent/DE69015301T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-26 CA CA002026248A patent/CA2026248A1/en not_active Abandoned
- 1990-09-27 KR KR1019900015337A patent/KR940000101B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 1990-09-27 JP JP26037190A patent/JP2921955B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05197135A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-08-06 | Yung-Tsai Yen | 光学ペリクルを保持する保持装置及び光学ペリクル使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2921955B2 (ja) | 1999-07-19 |
| ATE115938T1 (de) | 1995-01-15 |
| CA2026248A1 (en) | 1991-03-28 |
| US5042655A (en) | 1991-08-27 |
| KR910006124A (ko) | 1991-04-27 |
| EP0420122A1 (en) | 1991-04-03 |
| EP0420122B1 (en) | 1994-12-21 |
| DE69015301D1 (de) | 1995-02-02 |
| DE69015301T2 (de) | 1995-06-29 |
| KR940000101B1 (ko) | 1994-01-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2921955B2 (ja) | 薄膜の包装及び取扱いシステム | |
| JP5051840B2 (ja) | ペリクル収納容器内にペリクルを保管する方法 | |
| EP0529826B1 (en) | Optical pellicle holder | |
| US6573980B2 (en) | Removable optical pellicle | |
| JP2011034020A (ja) | ペリクル収納容器 | |
| KR19990006506A (ko) | 전자장치 저장용의 끈끈이 필름 프레임 | |
| US5033615A (en) | Wrapped glass cap article | |
| JP4202554B2 (ja) | 半導体リソグラフィ用ペリクル | |
| JPS63178973A (ja) | 半導体ウェーハー包装容器 | |
| JP2024175013A (ja) | ペリクルフレーム積層体及びこれを用いたペリクルの製造方法 | |
| JPH036915Y2 (ja) | ||
| JP5199217B2 (ja) | ペリクル | |
| JP3718074B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JPH0624837Y2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
| JPH0636597Y2 (ja) | 電子部品用保護テ−プ | |
| CN106672429A (zh) | 防尘薄膜组件收纳容器的包装构造体以及其包装方法 | |
| CN110282253B (zh) | 保护膜及包装结构 | |
| JPH0197961A (ja) | 露光用原板作成装置及び方法 | |
| JPH0123138Y2 (ja) | ||
| CN103086050A (zh) | 防尘薄膜组件收纳容器 | |
| JPH11255261A (ja) | 基板洗浄用ロールブラシの梱包方法、梱包体及び基板洗浄用ロールブラシの取り付け方法 | |
| JP2006062704A (ja) | 薄板支持容器 | |
| JP3704478B2 (ja) | 電子部品封止用蓋材ウエハ及びその製造方法 | |
| US4436220A (en) | Hermetic package using membrane seal | |
| JPH09138498A (ja) | ペリクル収納容器 |