JPH03229502A - ディジタル温度補償水晶発振器 - Google Patents

ディジタル温度補償水晶発振器

Info

Publication number
JPH03229502A
JPH03229502A JP2433890A JP2433890A JPH03229502A JP H03229502 A JPH03229502 A JP H03229502A JP 2433890 A JP2433890 A JP 2433890A JP 2433890 A JP2433890 A JP 2433890A JP H03229502 A JPH03229502 A JP H03229502A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frequency
temperature
temperature compensation
oscillation circuit
crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2433890A
Other languages
English (en)
Inventor
Haruyoshi Ota
太田 治良
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority to JP2433890A priority Critical patent/JPH03229502A/ja
Publication of JPH03229502A publication Critical patent/JPH03229502A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 水晶振動子の2つの冗なる共振周波数の温度特性差を(
り用しで、自己温度センシングにより温度補償するディ
ジタル温度補償水晶発振器に関する。
(従来の技術) 従来のディジモル温度補償水晶発振器は、水晶振動子の
温度補償に必要な温度り荷容脣データをみ己を牙り了・
にメモリしでおき、サーミスタ等のン品度検出素子より
得られろ検出温度データをへ/D変換してアクセスする
ことζこよりメモリされている温度t1荷容贋データを
読み出し、これをD/A変換して水晶振動子の負荷容φ
(直にf模し、その発振周波数が温度・(化によI)ず
一定になるように温度補償へを(テうものである。
第1S図は特開平1−212006号に開ボされたアナ
ログスイノチンク抵抗型補+71f電圧発生回路を8偏
するf、r来例を示す。ここでは、温度補償用の温度負
1苛容量データは演算素子(CPU)19dからスイッ
チング信号をアナロクスイッチ18に送り、ラダー抵抗
値を切り替えることにより連通な制ia!l電圧を発生
させ、フ【コーティング電極可変容債寮子(バリキャッ
プ相当)の容債値を制御り、でいる。温度は温度検出素
子20aにより検出して、それをA / I) ?換し
て記憶素子(ROM)191>にメモリされた負荷容量
データを、演算素子19 aを縁由してアクセスし利用
しているものである。
(発明が解決しようとする課題) 一般にこディジタル温度補償水晶発振器において、18
吋処理ヒツトの大きさを適当にとることにより制御精度
をとの様にも改善できる筈であるが、温度検出を、例え
はサーミスタ、熱電対なとのアナログ1を号をA/D変
換してf11用しているために、検出感度が低くためζ
こ直流増幅器を介在させなけれはならず、検出精度も高
々3桁の何効精度を維持するのか精−杯であり、しかも
検出16号が微弱直流13号であるから、外来(EMI
)ff音の妨害を受は易く、また後信号処理のためA/
D変換なとの[段により交流化しなけれはならず、具合
いの悪いことに、現在多用されているサーミスタ等の半
導体素子には経時変化が平均して数%あって信頼性に不
安があり、現在以上に温度補償精度を高め維持するには
大きな困難があった。
また、水晶振動子の水晶基板温度を検出しなけれはなら
ないここも拘らず、やむを得ず水晶振動子の容器に密着
させた温度検出素子の出力でもって代替検出しているか
ら、周囲温度の変化に対して、各部品の熱容量と検出位
置の差異に起因するヒステレシス現象が発生し、温度補
償特性の劣化を発生させていた。このため急激な温度変
化か加わらないように、断熱あるいは熱容量を大きくす
る処置なと特別な配慮を必要とすることがあった。
本発明は、これら水晶振動子の水晶基板温度の検出にま
つわる基本的な課題解決を図るため、水晶振動子の2つ
のUなる周波数が示す周波数温度特性を利用して、周波
数で水晶基板温度を自己検出することにより補償して、
高精度な温度補償のディジタル温度補償水晶発振器を提
供することを目的とする。
(課題を解決ずろためのf段) 振動姿態の差異、負前容にの差異なと共振周波数を菫に
する振動を同一水晶基板内に励振させると、内周波数の
温度特性に差賃を生しることが知られている。この原理
を利用して、同一水晶基板内に互いに結合しないように
少なくとも2つの穴なる共振周波数を共存させて、一方
の周波数または相互の周波数差を水晶基板自体の自己温
度検出に用い、予め計測してメモリしである他方のFl
波数または面記一方の周波数の温度補償データをアクセ
スしてこれを温度補償するものであるから、すなわち水
晶基板自体の温度情報に基づく補償であるがために、原
理的に検出温度と基板温度に差を生じない理想的な温度
補償か可能となり、これにより水晶振動子の温度変化に
よらず一定の高精度な温度補償信号に変換することがで
き、これをPLL発振回路の予め設定しである発振周波
数に対して位相制御を行うことにより、高精度に発振周
波数の温度補償を実現できるものである。
(発明の作用) 水晶振動子の基本波振動とオーバトーノ虎動とにおいて
周波数温度特性に比較的大きな差霜があり、特に基本波
振動と3次オーバ(・−ンとの間でその差異が著しいこ
とが従来より経験的に知られてい乙 例えはA Tカッ
トにおいて、この基本波と3次オーバトーンの周波数温
度特性の差は、その切断角度に換笠して約7分に相当す
るものである。5次以−に〇オーバトーンにおいては、
基本波と3次との差穎稈には大きくないことも経験的に
熟知されている。
また、同し振動姿態の同し共振周波数の振動゛Cあって
も、賃荷容漬が異なると励振周波数がシフトして穴なる
が、この負萌容予が特に数I)Fの比較的小容量の範囲
ここおいて、周波数温度特性に差異を生ずることが経験
的に知られている。
イ1限な水晶基板は、主賑動姿態の共振周波数の外に、
さまざまな副振動と称されろ主に水晶基板の外形寸法に
基づく振動姿態の周波数が多数あり、振ナカ姿態の差異
によりそれら周波数温度特性がすへて異なっていること
が知られている。例えは、A Tカット水晶基板におい
て、切断角度の近接したOTカット相当の面みすべり振
動がある。この振動姿態の周波数温度特性は2次曲線で
表されるが、最適切断角度から数分の偏差があるために
、動作使用温度範囲内にあっては直線近似てきる周波数
温度特性を示す。同様にして、B Tカット水晶基板に
はDTカットあるいはS c−カット相当の振動姿態が
あり、同様な周波数温度特性を示す。
αL こ号ら振動li態は、ATカットあるいは1〕′rカツ
トの厚みずへり振動姿態を励振する部分電極により同時
に共存し励振てきることが確認されている。
これら周波数温度特性は水晶基板、励振電極なと機構的
な構成のみに基づく特性であり、いわばその水晶振動子
本来の特性であって経時変化、特性′力化を本質的に受
けにくいものである。
本発明は、これら分間−水晶基板分内の異なる周波数の
異なる周波数温度特性の水晶振動子を用い−6自己温度
検出して同一基板において発賑の周波数温度補償を行う
ディジタル温度補償水晶発振器である。
へTカット基本波と3次オーバトーンの3次関数周波数
温度特性の差異ここついて詳細に考察する。
基準温度Ts(’(”:)に於ける周波数fsn(n=
1.3、以下間し)と温度T(℃)に於ける周波数fn
とから、温度差Δ1’=T−TS、周波数差Δ「。” 
r n  f S nとすると、その周波数差の1庸差
11百△f、/fs、は7欠のように表わされる。
ΔF+/fs+ J ΔT+b・ΔT2+c+ΔT3・・ (1)Δfi
/fs3 a3ΔT + 1) JΔT2+C3Δ’F−−−(2
)ここて「1とflは、電気機械結合係数と部分動産電
極の大きさと励振電極厚み(プレートバックφ)と水晶
基板の大きさなとの複雑な関数で表されるため整数関係
にない。このうちで、電気機械結合係数1ばか最も影響
が大きく、この賞因のみをり慮すると、η” b) /
 c (bJは角周波数、Cは水晶基ヰ反内音速を表す
)、11を基板厚みとして、1.1nηll=ηh/l
τ2・・・・・ (:3)なろ超越方程式か成り立−)
ことからも容易に整数関係に無いことが理解される。す
なわち、l! = 00圧電性を示さない純弾性体のと
きのJi、  基本波と高次の角周波′Fi(すなわち
lz) l I  L、−、) 3・・)の間に整数関
係が成立するだけである。
従って、rn= f3/f + (<3)と置くと、 
flと23f3の周波数差fb=3f1 f3 と、そ
の周波数温度変化量Δ[b=3Δr1−Δf3 とより
、周波数差f 1)に対する周波数温度変化量Δf t
、+の偏差値を(1)(2)式より求めることがてき、
Δf b / f )) = ((3al−ma3) / (3−m) )ΔT十((
3bl  mbq) / (:3  rn) )ΔT2
+((3C1−mCI) / (3−m) )Δ′r3
・(・1) と表すことができる。
A Tカットの水晶振動子の場合は、 (4)式の右辺
第1項が支配的であり、第2項以下の項は、第1項ζこ
比へて2桁ないしは4桁小さな値に過ぎないはとである
から、無視して差し支えない。
すなわち、△f b / I’ 11と△Tの間は略直
線関係にあり、水晶基板の温度変化が一価の周波数差の
変化と対応していることが知れる。
t、Y=って、同一水晶基板内の基本波振動周波数と3
次オーバト一ノ(高調波)周波数の差周波数により、水
晶基板そのそもの温度変化を高精度に周波数変化竿とし
て自己検出ずろことがてきろ。
前記したように、水晶振軸子の負荷容貰値を毘ならしめ
て周波数温度特性を変化させ温度補償に利用することか
できるが、これは数[)Fの小負荷容宿の場合において
認められろ現象であり、かつ周波数温度特性の差は比較
的小さいの−CρI粕遮て信頼度の高い温度補fNはあ
より!!l ?=ff−Cきない。
主I辰動虎動姿態と副徹動姿態を温度補償ζこ(11用
できるが、音響結合の少ない共イiてきる振動li態を
選ぶことが肝廿である。
例えは、第2図(C)、 ((」)に示すとおり、A 
Tカットの切断角度に近接してCTカット相肖の面すへ
り(FS)振手力があり、A Tカットの1′Xみすべ
り(TS)振動を励振する部分励振゛電極により、同時
にこのFs振動を励振することができる。この場合、都
合がよいことζこ、FS振動の節点は水晶基板面の中央
と4辺縁中央の5点こごあり、T S振動の面中央振動
変位cL:結合し何等かの影響を!jえることなく、水
晶基板を機械的にイ呆持することでき、両虎動姿態を容
易に共存させることができる。第:(図(c)に示すと
おり、A T Jlツト水晶基板のCTカット社■当の
FS振動姿態の周波数温度特性は、2次曲線で表され、
その″S温度点(極大値を示す温度)は、A’Tカット
の耐過切断よン7 角度とCTTカツトそれとの開の差に←9遺、水3字品
振動子の使用温度域内になく、従って使用温度域内の温
度変化に対して弔調減少な周波vi変化を71(ずか1
″)、この周波数変化ζこより基板温度を周波数変化と
して一価に検出することができる。さらに都合がよいこ
とに、両振動姿態の周波数を決定する境界条件が、A−
Tカットの水晶基板の主面厚みに対して、CT相当のF
S振動は辺縁部長さであるから、互いに直交していて独
立に周波数調整することができ、実用−1−非常に便利
である。また画周波数の差が極端に大きく、例えは、1
 lX11mmの10MHzのATカット水水晶析板あ
っては、CTTカツト当のFS振動周波数は約280 
k Hzであり、同時仁こ励振しても、簡皓なフィルタ
回路により各周波数を容易に分離するごとがてきり56
  水晶振軸子の等価回路のインピーダンスI+)も十
数Ωに対して数十l(Ωと桁違いであるため、同一励振
電極ζこ接続L/−C励振させる各発振回路の開に電気
的な干渉を発生することもなく並列接続することができ
るなどの利点がある。
BTTカツト厚みすべり振動姿態に対するDTカット柑
冶の面すへり振動姿態の場合も、ATTカツト場合と同
様ζこ利用することかできる。
以−1−の通り、水晶基板温度そのものの変化を、一方
の周波数の変化または周波数差の変化として自己検出す
ることに上り、既述の通り、高精度に温度検出すること
ができろはかりてなく、従東の温度検出素子に不d丁欠
なA/D変19を介することなく、3己+ER子(EP
ROM、PROMなと)の7トレスをごの温度検出用の
周波数により直接アクセスするなとして、他の周波数の
温度補償に必要なデータを読み出して利用することがで
き、演算素子の簡素化に資することができる。
(実施例) 第1図は、本発明のブロックダイヤグラムを示すもので
、電圧制御発振器(〜ICO> 1と可変周波数分周器
(DrV)2と位相検波器(PD);3と低域濾波器(
LPF)/LとからなるP L I−、発振回路と、水
晶振動子を接続した発振回路(OSC)5と記憶素子(
ROM)7と演算素子(CP[J)6とからなる温度補
償水晶発振回路とより構成されている。P L L発振
回路は周波数foて芹振ロックしおり、この周波数は電
圧制御発振器lの発振周波数を設定することにより任意
に設定できるものである。この周波数foを可変周波数
分周器2において1)分周し低周波数伝号fo/hを得
て、これを位相検波器3に入力する。これとは別に、温
度補償水晶発振回路より入力する温度補償信号f x 
/ kが位相検波器3に入力されており、これら2つの
入力信号の間にf o / h = rx / l<の
関係を常に維持し続けるよう位相制御するため、位相制
御信号vdが位相検波器3より低15濾波器4を介して
電圧制御発振器lに入力されていて、終局に発振周波数
fOを温度補償制御している。
温度補([号f x / l<は、次のようにして得る
ことがてきる。同一水晶基板の2つの異なる周波数fx
、ftは発振回路5より出力されていて、このうち周波
数[lは水晶基板の温度と一価関係にある温度周波数デ
ータであり、また周波Ftfxは温度補償対象の同一水
晶基板の発振周波数である。この周波数[Xの周波数温
度特性は既に計測されて補償に必要な温度補償データ1
(が記fミ素fにメモリされているものである。このと
き、このみ己憶M−t−にメモリするデータアドレスを
九の7品度周波数データ「Lにリンクさせておくことに
より、周波数ftを記憶素子に入力して温度補償データ
l(を直接アクセスし読み出すことができるものである
。演W玄子〔Sは、周波数fxを温度補償データ1<ζ
こより分周演算して、温度補償信号f x/ kを出力
ずろものである。
第2図は、本発明の主要部を構成する水晶振動子の動作
例を説明するもので、同図(b)の切断角度に明り出さ
れたATカット水晶基板8は、同図(a) lご示ずと
おり、その表裏板面−Eに部分励1駅奄極9a、9bを
配設しである。しかるに、A′Fカットζこ近FMして
CTカット相当の面すべり振軸姿態(1” S )があ
るためζこ、同図(d)の厚みすべり1駅動姿態(T 
S)の共振による振軸変位のみならず、同図(C)の1
111記面すへり撮動姿態が同時励振される。この面す
へり振動姿態は水晶基板中央と4辺縁中央の5点に節点
をもつでいる。
従って、第3図(a)に示ずとおり水晶基板8を保持し
外部端子を導出して気密1・+thすることここより、
水晶振動子として組立てることかてぎろ。この水晶振動
そを用いて同図(b)の発振回路5を構成させることが
できるから、これより温度周波数データf1と温度補償
対象の周波数fyを得る。
この場合、同図((・)に示すとおり周波数f tは厚
みすべり標動li態を用いるので、温度補償対象のAT
カットの高周波周波数fxζこ比較し数オグタープ下が
った低周波であるか4′)、個別発振回路(OS C夏
 )If)  と  (O5C2)   l   14
七 値りIFを続してもLl、いに王i9ずろことなく
同時に励振できる。
[pに、低周波低域dA波器(LPFI)12をfia
t別発振回路10側に挿入しておくと、完全にモ渉を防
11−゛・t−ろことができ、これ番′)の周波数分離
を容易にこ行うことかできる。
第11図は、本発明に係ねろ水晶振動子の他の例を示す
もので、水晶基板l;(を′、′)、つの部分13 a
、1 :3 h に区分し、であり、それぞれ;(次オ
ーバト−ンb;力黒電極14d、17−11+と仄木波
励1肩電極15、工、151)によりぞれぞれ励振され
るものである。
両国分の間は音響的結合によろト渉を防+)−するため
ζJ架橋状に狭く加’11 シーCあ帆 かつ4(I械
的保持により音〕そ桔、つiを完全ζご防市し・でいろ
。この水晶振動イーに個別発振回路(O5に3)IF’
;と(OS<、:、□↓)17を接続して、独ケに画周
波数r Y++f\−2を発振させることかてきる。 
ごれから温度補1dス・J象の発振周波数「Xと、周波
数混合回路21を介し一〇温度191波数f t (=
3 f X l −f y□+)とを出ノ1ずろこと:
こより温度補償Cご利用することができる。なお、発振
周波FIf x +をその;Vま温度補償χ・i象の1
式1波数fxとずろ必要はなく、適当に分+51 L/
て発を層系全体のモ渉防+L(ご配慮することかできる
が、との周波数もip−色の正弦波であるか1.′1、
従来の微弱直流をA / D変換し−C72流化し利用
するものと比較すれは、(11′IT、干渉は著減して
雑音耐性4i飛躍的に改善されていて、発振周波数その
ものを利用しても実際には同等問題をヰしないことが多
い。ここで、温度補償対象の周波F1fxlこ基本波振
動姿態の周波数あるいは高次高調波振動姿態ルの周波数
の何れを選択するかは1f:意である。高次高調波振動
姿態は;3次に限ることもなく、5次以]−の& !J
J 姿態とすることもてきる。例えは、3次と7次を選
定し利用することができる。
第5図(a)、 (1))は、撮動姿態に13Tカット
水晶基板とこれに近接したDTカット相当の厚みすべり
振動8′態(FS)を、前記ATカット水晶基根とCT
カット相当の厚みすへり振動e態の場合と同様に、利用
できることを説明したものてある。この場合、第;(図
(a)と同様な構造の水晶1辰動そとして実施する。こ
とができる。
(発明の効果) 以1ニ台説明した通り、水晶基板自体の振動姿態の」(
虎周波数は基根特イーTのr;I波数温度特性を示すか
ら、逆にその周波数変化から基板温度を自己検出し、同
一・水晶基板内にある仙の枕振周波数の温度特性を予め
デー′lメモリより読み出しτ分周演算Tろことにより
、法扱ン晶1隻ζこI[確にJRttt Llつつ7!
l!度抽償を行い、一定不変のL”1波数を得ろことが
できろ理想的な原理に店ついているから、法へ温度を周
波数とし・で得られろため精度が榎茸的によくなり、サ
ンプリング誤差や顕子化誤差がなく滑らかな温度補償が
され、急激な温度変化にもヒス子しンスなく応答てきろ
+F、1if(な追従がri(能であること、温度検出
系に経時変化がなく高1゜軸性であること、潔度検出後
のA/r)変換が省略でき回路nj(化と高速尺応の改
汲が間待てきること、外来(ビN11)雑音にχ1する
白・j性か改Sされろこと等の外ここ、P L L発振
回路利用による汗依な発振周波数の選択の自由並びに使
用水晶振動子の周波数単一化が実現できるなと、実用−
ヒの極めて重要な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のディジタル温度補償水晶発振器の)1
1ツクダイヤグラムである。第2図(a)は本発明に利
用の水晶振動子の実施例であって、ATカント水晶基板
の斜視図、同図(1))は同水晶基板の切断方位を示す
斜視図、同図(c)は同水晶基板内に共存する而みすへ
り虎動姿傳の説明しJ、同図(d)は同じく厚みすべり
振動姿態の説明図である。第3図(a)は第2図のAT
カット水品ノ、(板を保持し気密封1ヒしてなる水晶振
動子の構造見取図、同図(F))は同水晶振動子を接続
してなる発振回路図、同図(c)は個別発振回路10.
11から出力する2共振周波数のI1g+波数温度特性
を示す図である。第4図(a)は本発明に利用の水晶振
動子の他の実施例であって、A Tカット水晶基板を2
つむこ区分して基本波撮動と23次高調波振動の利用を
説明するための構造見取図、同図(b)は同水晶振動子
を#き続しでなる発振回路図である。第5図(a)は本
発明に利用の水晶石チカその他の実施例であって、f3
 Tノ1ットとD′rカッ−・、81.ノJットなとに
関する水晶基板の切断力(Jの説明図、同図(t))は
同水晶入(板に共存する2J(1駅1.′1波数の温度
特性を示す図である。第子図/−+二訂1はt、γ来の
ディジタル温度補償水晶発振器の実施例である。 I ・ ・ ・ ・ ・ す060.+ :3 ・ ・ ・ ・ − +、xp ・ ・ ;)Q争番争0 [3・ ・ ・ ・ ・ 7 ・ ・ ・ ・ ・ 8、 l:(a。 ・電圧制御発振器 ・可変周波数分周器 ・1へ7相検波器 ・低域濾波器 ・発振回路 ・演算素子 ・記憶祈子 1  :3  b ・・・・水品姑板 9 a、9b、1 、′L a、 15.4.15【) ・・・・励振電極 1 4  b、 0、 1、 6、 7 ・個別発振回路   9h ・記憶素子 ・周波数ミキサー 第4図 番 九” 3fA”+ −fX3

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)電圧制御発振器と可変周波数分周器と位相検波器と
    低域濾波器とからなるPLL発振回路と、水晶振動子と
    発振回路と記憶素子と演算素子とからなる温度補償水晶
    振発振回路と、 を具備するディジタル温度補償発振器において、該水晶
    振動子は、同一の水晶基板内において2つの異なる共振
    周波数を同時に励振するための励振電極を表裏板面上に
    配設する該水晶基板を保持し接続端子を導出してなる水
    晶振動子として、該発振回路に接続し2つの異なる周波
    数を発振して出力し、 一方の周波数は、該記憶素子のアドレスマップデータと
    して読み込み他方の周波数を温度補償するための温度補
    償データを読み出してこれを該演算素子に入力し、 かつ前記他方の周波数は該演算素子に入力して前記温度
    補償データにより周波数分周されて温度補償信号に変換
    しこれを該位相検波器に入力することにより、 該位相検波器において該PLL発振回路の予め設定され
    た発振周波数を位相制御することを特徴とするディジタ
    ル温度補償水晶発振器。 2)請求項(1)記載の構成要素を具備するディジタル
    温度補償発振器において、 該発振回路は2つの異なる周波数を発振して一方の周波
    数と2つの周波数の周波数差とを出力し、前記周波数差
    は、該記憶素子のアドレスマップデータとして読み込み
    前記一方の周波数を温度補償するための温度補償データ
    を読み出してこれを該演算素子に入力し、 かつ前記一方の周波数は、該演算素子に入力して前記温
    度補償データにより周波数分周されて温度補償信号に変
    換しこれを該位相検波器に入力することにより、 該位相検波器において該PLL発振回路の予め設定され
    た発振周波数を位相制御することを特徴とするディジタ
    ル温度補償水晶発振器。
JP2433890A 1990-02-02 1990-02-02 ディジタル温度補償水晶発振器 Pending JPH03229502A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2433890A JPH03229502A (ja) 1990-02-02 1990-02-02 ディジタル温度補償水晶発振器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2433890A JPH03229502A (ja) 1990-02-02 1990-02-02 ディジタル温度補償水晶発振器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03229502A true JPH03229502A (ja) 1991-10-11

Family

ID=12135396

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2433890A Pending JPH03229502A (ja) 1990-02-02 1990-02-02 ディジタル温度補償水晶発振器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03229502A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102111107B (zh) 压电振荡器
US4872765A (en) Dual mode quartz thermometric sensing device
JP5737834B2 (ja) 正確で安定したlc型基準発振器のための方法、システム、および装置
US20120043999A1 (en) Mems stabilized oscillator
US4160183A (en) Oscillator having a quartz resonator cut to compensate for static and dynamic thermal transients
JPWO1994011706A1 (ja) 角速度検出回路
JPH04363913A (ja) 温度補償発振器および温度検出装置
JP6352263B2 (ja) 温度安定型lc発振器、及び温度ヌル位相での発振方法
JPH03229502A (ja) ディジタル温度補償水晶発振器
JPH02174407A (ja) 周波数温度補償水晶発振器
JPH02170607A (ja) 周波数温度補償水晶発振器
JPS6129652B2 (ja)
WO2024057606A1 (en) Mechanical resonator-based oscillators and related methods for generation of a phase used to compensate for temperature-dependent frequency errors
JPH03252204A (ja) 温度補償水晶発振器
Petit et al. Temperature compensated BAW resonator and its integrated thermistor for a 2.5 GHz electrical thermally compensated oscillator
US12388402B2 (en) Method for manufacturing oscillator
JPH0870232A (ja) 弾性表面波素子及び発振器
US20240250662A1 (en) Vibrator Device
JPH06308009A (ja) 信号変換回路
JPH0296406A (ja) 温度補償水晶発振器
JP2003229724A (ja) Fm検波回路
SU1170298A1 (ru) Датчик давлени
JPH0247633Y2 (ja)
Langfelder et al. Temperature Sensing for MEMS Sensors: A Review, and Chances for the Frequency-Control Community
CN118758344A (zh) 一种mems谐振式传感器